本發(fā)明涉及單晶制造，尤其是指一種用于石英筒的載具及其使用方法。

背景技術(shù)：

1、在光伏、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中，需要制造和使用高質(zhì)量單晶硅材料。一般情況下，單晶硅主要采用拉晶工藝制成。通過將多晶硅等原材料在高溫下熔化，然后通過籽晶浸入熔體，緩慢向上提拉，使硅原子在籽晶的基礎(chǔ)上按一定的晶體學(xué)方向生長，逐漸形成單晶硅棒的過程。

2、拉晶成型過程，需要通過石英加料筒定期往拉晶爐內(nèi)添加原料硅塊或者硅片。在此過程中，一般通過提吊設(shè)備將石英筒垂直吊起，然后再放置于載具上通過可移動(dòng)的載具來運(yùn)輸石英筒。為了保證石英筒運(yùn)輸過程的穩(wěn)定性，一般在載具上設(shè)置鎖扣機(jī)構(gòu)將石英筒鎖緊然后在不同位置之間移送石英筒。

3、現(xiàn)有技術(shù)中，運(yùn)輸石英筒的載具上的鎖扣機(jī)構(gòu)操作較為繁瑣，主要通過人工進(jìn)行鎖緊和解鎖，操作繁瑣，效率較低，且存在一定的安全隱患。雖然可以通過設(shè)置電力驅(qū)動(dòng)單元以及智能控制單元進(jìn)行夾持控制，但是由此會(huì)引起設(shè)備成本的增加。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明公開了一種用于石英筒的載具及其使用方法。

2、本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下：

3、第一方面，提供一種用于石英筒的載具，包括：

4、移動(dòng)機(jī)構(gòu)；

5、夾持機(jī)構(gòu)，設(shè)于所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)；所述夾持機(jī)構(gòu)包括聯(lián)動(dòng)組件以及多個(gè)沿所述聯(lián)動(dòng)組件的高度方向排布設(shè)置的夾持組件；

6、所述聯(lián)動(dòng)組件包括聯(lián)動(dòng)支架，設(shè)于所述聯(lián)動(dòng)支架底部一側(cè)的聯(lián)動(dòng)托板，可復(fù)位升降地設(shè)于所述聯(lián)動(dòng)托板上的支撐底盤，底端與所述支撐底盤固定連接的聯(lián)動(dòng)桿，以及多個(gè)沿所述聯(lián)動(dòng)支架高度方向固定于所述聯(lián)動(dòng)支架的滑動(dòng)支座；所述聯(lián)動(dòng)桿的頂端自下而上依次貫穿所述滑動(dòng)支座，并與所述滑動(dòng)支座滑動(dòng)連接；

7、所述夾持組件包括固定安裝于所述聯(lián)動(dòng)支架的夾持固定件，以及設(shè)于所述夾持固定件兩端的夾持合攏件；所述夾持固定件和所述夾持合攏件之間包圍形成夾持空間；并且，所述夾持合攏件與所述聯(lián)動(dòng)桿傳動(dòng)連接；

8、所述聯(lián)動(dòng)桿被設(shè)置為隨所述支撐底盤同步升降，并在升降過程中驅(qū)動(dòng)所述夾持合攏件擴(kuò)張或者合攏以實(shí)現(xiàn)所述夾持空間的擴(kuò)大或縮小。

9、在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述夾持固定件包括與所述聯(lián)動(dòng)支架固定的夾持固定部以及與所述夾持固定部固定連接的夾持定位部；其中，所述夾持定位部呈弧形。

10、在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述夾持合攏件包括夾持部，以及固定于所述夾持部一端的連接部；所述夾持部呈弧形；所述連接部包括與靠近所述夾持部一端的第一位置以及遠(yuǎn)離所述夾持部的第二位置；所述連接部于所述第一位置與所述夾持定位部鉸接以及實(shí)現(xiàn)所述夾持合攏件的轉(zhuǎn)動(dòng)開合；所述連接部于所述第二位置實(shí)現(xiàn)所述聯(lián)動(dòng)桿的傳動(dòng)連接，以將聯(lián)動(dòng)桿的上下運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變?yōu)閵A持合攏件的開合運(yùn)動(dòng)。

11、在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述夾持組件還包括一端與所述聯(lián)動(dòng)桿鉸接的第一連桿，一端與所述第一連桿鉸接的第二連桿，固定安裝于所述夾持固定件的夾持固定部的夾持支座，與所述第二連桿另一端固定連接的夾持移動(dòng)座，以及兩個(gè)分別與所述夾持移動(dòng)座連接的第三連桿；其中，所述第二連桿與所述夾持支座滑動(dòng)連接；兩個(gè)所述第三連桿的一端與所述夾持移動(dòng)座的一端鉸接，兩個(gè)所述第三連桿的另一端分別對應(yīng)同側(cè)夾持合攏件的夾持部的第二位置鉸接；所述第一連桿被設(shè)置為在所述聯(lián)動(dòng)桿升降過程中帶動(dòng)所述第二連桿和所述夾持移動(dòng)座沿垂直于所述聯(lián)動(dòng)桿升降的方向移動(dòng)，以使兩個(gè)所述第三連桿開合運(yùn)動(dòng)。

12、在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述夾持機(jī)構(gòu)還包括轉(zhuǎn)動(dòng)組件和限位支架；所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括固定于所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)上的帶座軸承，與所述帶座軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接的限位轉(zhuǎn)軸，以及與所述聯(lián)動(dòng)支架固定連接的連接支架；所述限位轉(zhuǎn)軸的兩端分別軸向穿過所述連接支架與所述帶座軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述限位支架與所述聯(lián)動(dòng)支架的底部固定連接，并固定于遠(yuǎn)離所述聯(lián)動(dòng)托板的一側(cè)。

13、在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述聯(lián)動(dòng)桿的底部設(shè)有連接件以與所述支撐底盤固定連接。

14、在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述聯(lián)動(dòng)組件還包括多個(gè)固定于所述支撐底盤底部的定位銷以及設(shè)于所述聯(lián)動(dòng)托板和所述支撐底盤之間的彈性件；所述定位銷向下延伸貫穿所述聯(lián)動(dòng)托板；所述彈性件對應(yīng)套設(shè)于所述定位銷，并且其兩端抵接于所述聯(lián)動(dòng)托板和所述支撐底盤。

15、在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括移動(dòng)底盤以及安裝于所述移動(dòng)底盤上的移動(dòng)框架；所述帶座軸承設(shè)于所述移動(dòng)框架的頂部；所述移動(dòng)框架被設(shè)置為對所述限位支架進(jìn)行限位，以使所述限位支架以限位轉(zhuǎn)軸為轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，最高轉(zhuǎn)動(dòng)至水平狀態(tài)。

16、在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述移動(dòng)框架的一側(cè)設(shè)有扶手。

17、第二方面，提供一種使用方法，利用如第一方面所提供的用于石英筒的載具，包括以下步驟：

18、當(dāng)石英筒自上而下置于支撐底盤上時(shí)，聯(lián)動(dòng)桿隨支撐底盤一起向下運(yùn)動(dòng)，并帶動(dòng)各夾持組件的夾持合攏件合攏，以使各夾持組件的夾持固定件和夾持合攏件之間的夾持空間減小，同步對石英筒進(jìn)行夾持；

19、當(dāng)石英筒自下而上從支撐底盤上提升時(shí)，支撐底盤隨支撐底盤一起向上復(fù)位移動(dòng)，聯(lián)動(dòng)桿向上運(yùn)動(dòng)，并帶動(dòng)各夾持組件的夾持合攏件擴(kuò)張，使各夾持組件的夾持固定件和夾持合攏件之間的夾持空間擴(kuò)大，解除對石英筒的夾持。

20、本發(fā)明的上述技術(shù)方案相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn)：

21、本發(fā)明所述的用于石英筒的載具實(shí)現(xiàn)對吊裝放置過程中石英筒進(jìn)行夾持，從而在運(yùn)輸石英筒的過程中保持石英筒的穩(wěn)定狀態(tài)。

22、本發(fā)明所述的用于石英筒的載具在石英筒下落過程中，利用石英筒的自重實(shí)現(xiàn)夾持機(jī)構(gòu)的自鎖，提升夾持機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定狀態(tài)；解鎖時(shí)，只需提升石英筒即可完成解鎖，過程簡單，操作便利，并且無需設(shè)置電力驅(qū)動(dòng)單元以及智能控制單元進(jìn)行夾持控制。

技術(shù)特征：

1.一種用于石英筒的載具，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英筒的載具，其特征在于，所述夾持固定件（221）包括與所述聯(lián)動(dòng)支架（211）固定的夾持固定部（2211）以及與所述夾持固定部（2211）固定連接的夾持定位部（2212）；所述夾持定位部（2212）呈弧形。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于石英筒的載具，其特征在于，所述夾持合攏件（222）包括夾持部（2221），以及固定于所述夾持部（2221）一端的連接部（2222）；所述夾持部（2221）呈弧形；所述連接部（2222）包括與靠近所述夾持部（2221）一端的第一位置（22221）以及遠(yuǎn)離所述夾持部（2221）的第二位置（22222）；所述連接部（2222）于所述第一位置（22221）與所述夾持定位部（2212）鉸接以及實(shí)現(xiàn)所述夾持合攏件（222）的轉(zhuǎn)動(dòng)開合；所述連接部（2222）于所述第二位置（22222）實(shí)現(xiàn)所述聯(lián)動(dòng)桿（214）的傳動(dòng)連接，以將聯(lián)動(dòng)桿（214）的上下運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變?yōu)閵A持合攏件（222）的開合運(yùn)動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于石英筒的載具，其特征在于，所述夾持組件（22）還包括一端與所述聯(lián)動(dòng)桿（214）鉸接的第一連桿（224），一端與所述第一連桿（224）鉸接的第二連桿（225），固定安裝于所述夾持固定件（221）的夾持固定部（2211）的夾持支座（226），與所述第二連桿（225）另一端固定連接的夾持移動(dòng)座（227），以及兩個(gè)分別與所述夾持移動(dòng)座（227）連接的第三連桿（228）；所述第二連桿（225）與所述夾持支座（226）滑動(dòng)連接；兩個(gè)所述第三連桿（228）的一端與所述夾持移動(dòng)座（227）的一端鉸接，兩個(gè)所述第三連桿（228）的另一端分別對應(yīng)同側(cè)夾持合攏件（222）的夾持部（2221）的第二位置（22222）鉸接；所述第一連桿（224）被設(shè)置為在所述聯(lián)動(dòng)桿（214）升降過程中帶動(dòng)所述第二連桿（225）和所述夾持移動(dòng)座（227）沿垂直于所述聯(lián)動(dòng)桿（214）升降的方向移動(dòng)，以使兩個(gè)所述第三連桿（228）開合運(yùn)動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英筒的載具，其特征在于，所述夾持機(jī)構(gòu)（2）還包括轉(zhuǎn)動(dòng)組件（23）和限位支架（24）；所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件（23）包括固定于所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)（1）上的帶座軸承（231），與所述帶座軸承（231）轉(zhuǎn)動(dòng)連接的限位轉(zhuǎn)軸（232），以及與所述聯(lián)動(dòng)支架（211）固定連接的連接支架（233）；所述限位轉(zhuǎn)軸（232）的兩端分別軸向穿過所述連接支架（233）與所述帶座軸承（231）連接；所述限位支架（24）與所述聯(lián)動(dòng)支架（211）的底部固定連接，并固定于遠(yuǎn)離所述聯(lián)動(dòng)托板（212）的一側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英筒的載具，其特征在于，所述聯(lián)動(dòng)桿（214）的底部設(shè)有連接件（2141）以與所述支撐底盤（213）固定連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英筒的載具，其特征在于，所述聯(lián)動(dòng)組件（21）還包括多個(gè)固定于所述支撐底盤（213）底部的定位銷（216）以及設(shè)于所述聯(lián)動(dòng)托板（212）和所述支撐底盤（213）之間的彈性件（217）；所述定位銷（216）向下延伸貫穿所述聯(lián)動(dòng)托板（212）；所述彈性件（217）對應(yīng)套設(shè)于所述定位銷（216），并且其兩端抵接于所述聯(lián)動(dòng)托板（212）和所述支撐底盤（213）。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于石英筒的載具，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)（1）包括移動(dòng)底盤（11）以及安裝于所述移動(dòng)底盤（11）上的移動(dòng)框架（12）；所述帶座軸承（231）設(shè)于所述移動(dòng)框架（12）的頂部；所述移動(dòng)框架（12）被設(shè)置為對所述限位支架（24）進(jìn)行限位，以使所述限位支架（24）以限位轉(zhuǎn)軸（232）為轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，最高轉(zhuǎn)動(dòng)至水平狀態(tài)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于石英筒的載具，其特征在于，所述移動(dòng)框架（12）的一側(cè)設(shè)有扶手（13）。

10.一種使用方法，其特征在于，利用如權(quán)利要求1-9中任意一項(xiàng)所述的用于石英筒的載具，包括以下步驟：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種用于石英筒的載具及其使用方法，其中載具包括：移動(dòng)機(jī)構(gòu)；夾持機(jī)構(gòu)，設(shè)于移動(dòng)機(jī)構(gòu)；夾持機(jī)構(gòu)包括聯(lián)動(dòng)組件以及多個(gè)沿聯(lián)動(dòng)組件的高度方向排布設(shè)置的夾持組件；聯(lián)動(dòng)組件包括聯(lián)動(dòng)支架，設(shè)于聯(lián)動(dòng)支架底部一側(cè)的聯(lián)動(dòng)托板，可復(fù)位升降地設(shè)于聯(lián)動(dòng)托板的支撐底盤，底端與支撐底盤固定連接的聯(lián)動(dòng)桿以及多個(gè)沿聯(lián)動(dòng)支架高度方向固定于聯(lián)動(dòng)支架且與聯(lián)動(dòng)桿連接的滑動(dòng)支座；夾持組件包括固定安裝于聯(lián)動(dòng)支架的夾持固定件以及設(shè)于夾持固定件兩端的夾持合攏件；夾持固定件和夾持合攏件之間包圍形成夾持空間；并且，夾持合攏件與聯(lián)動(dòng)桿傳動(dòng)連接。本發(fā)明中聯(lián)動(dòng)桿隨聯(lián)動(dòng)托板升降，并在升降過程中驅(qū)動(dòng)夾持合攏件擴(kuò)張或合攏以實(shí)現(xiàn)夾持空間的擴(kuò)大或縮小。

技術(shù)研發(fā)人員：付林霄,鄒揚(yáng)威,張能偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州玖物智能科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/30