本發(fā)明涉及半導體加工，尤其是涉及一種石英火加工用輔助裝置。

背景技術：

1、火加工是半導體石英加工行業(yè)的一道工序。半導體火加工利用高溫熔并技術對半導體器件進行加工。它可以通過對半導體材料進行高溫加熱和部分熔化，定向更改其物理性能和結構特性，從而制造出所需的電子元器件。其能夠控制半導體材料的性能和結構，改變器件的性能和結構，從而實現更高效的電子器件，因此半導體火加工的技術在半導體工藝中占有重要地位?，F有半導體石英加工過程中，一般使用不同高度的石墨墊塊和石墨墊片組合調整不同高度規(guī)格的半導體石英件，由于墊塊種類多，造成墊塊管理困難、且調整效率慢的問題。

2、例如，中國專利公開號cn110127995a，公開日2019年08月16日，名為“石英立式舟槽棒加工系統和方法”，包括：工作平臺，石墨靠山、石英支撐架和石英槽棒被放置在工作平臺上；多個石英支撐架，被排列放置在工作平臺上，用于支撐放置石英槽棒；石墨靠山，在石英槽棒被放置在石英支撐架上之后，石墨靠山用于頂靠石英槽棒的一端；機器人手臂，在機器人手臂的前端設有火焰槍卡爪，火焰槍卡爪用于卡住火焰槍的噴管。

3、現有專利存在的缺點是：現有半導體石英加工過程中，一般使用不同高度的石墨墊塊和石墨墊片組合調整不同高度規(guī)格的半導體石英件，由于墊塊種類多，造成墊塊管理困難、且調整效率慢的問題。

技術實現思路

1、本發(fā)明的目的是為了解決現有半導體石英加工過程中一般使用不同高度的石墨墊塊和石墨墊片組合調整不同高度規(guī)格的半導體石英件，由于墊塊種類多，造成墊塊管理困難、且調整效率慢的問題，提供一種適用于不同高度規(guī)格的半導體石英件、調整高效的石英火加工用輔助裝置。

2、為了實現上述目的，本發(fā)明采用以下技術方案：

3、一種石英火加工用輔助裝置，包括底桿和設置在底桿上端的螺桿，螺桿上端套設有開口朝下的調節(jié)套，調節(jié)套內固設有鑲套，鑲套套設在螺桿上端并與螺桿螺紋連接，螺桿上套設彈簧，彈簧壓縮在底桿和鑲套之間。本技術方案中所述的一種石英火加工用輔助裝置，替代現有加工中使用不同高度的石墨墊塊和石墨墊片，以此來調整不同高度規(guī)格的半導體石英件。底桿設置在工作臺上，通過螺桿與鑲套之間的螺紋連接來調整調節(jié)套的高度，調整更便捷更直觀。不需要更換不同的墊塊和墊片，半導體石英件放置在調節(jié)套的上端即可，通過若干輔助裝置支撐待加工的半導體石英件，適用于不同高度規(guī)格的半導體石英件、調整高效。

4、作為優(yōu)選，所述底桿和調節(jié)套的材質采用石墨，所述鑲套和螺桿的材質采用金屬材質?；鸺庸r，底桿和調節(jié)套的材質采用石墨，起到耐高溫的作用。在石墨調節(jié)套內嵌設嵌套，鑲套和螺桿螺紋連接，由于石墨螺紋不耐用，鑲套和螺桿的材質采用金屬材質，提高螺紋連接的使用壽命。

5、作為優(yōu)選，所述底桿下端設有進氣機構，所述進氣機構通過底桿和螺桿連通鑲套內腔，所述調節(jié)套與鑲套之間設有與鑲套內腔連通的第一間隙，進氣機構進氣以使所述彈簧外形成環(huán)形風幕，所述鑲套內腔與第一間隙上端連通。所述進氣機構進氣以使所述彈簧外形成環(huán)形風幕，在對半導體石英件長時間火加工時，風幕對彈簧起到隔溫作用，防止高溫作用下彈簧的彈性改變，同時對鑲件起到冷卻的作用，防止鑲件和螺桿之間的螺紋在高溫作用下改變，保證輔助裝置在火加工過程中的調高精度。

6、作為優(yōu)選，所述調節(jié)套上端設有連通調節(jié)套外部和鑲套內腔的出氣孔，所述出氣孔內設有通過拉緊件拉緊在所述出氣孔內的壓塊，進氣機構進氣驅動壓塊上升以使鑲套內腔與調節(jié)套外部連通。本技術方案中，所述壓塊包括壓塊本體和設置在壓塊本體上的錐體，所述椎體的橫截面上大下小，所述壓塊本體的側壁上設有流道，所述出氣孔的上端設有安裝槽，所述安裝槽與所述椎體和壓塊本體配合，進氣機構進氣驅動壓塊上升也是椎體與安裝槽的內壁形成間隙，所述間隙連通流道以使鑲套內腔與調節(jié)套外部連通。所述壓塊拉緊在所述出氣孔內時，所述壓塊的上端面與所述調節(jié)套的上端面齊平。所述壓塊的材質采用石墨材質。

7、當石英件放置在輔助裝置上的過程中，所述進氣機構通入常溫的空氣，進氣機構進氣驅動壓塊上升，鑲套內的部分空氣向外吹出，對石英件放置過程中起到緩沖保護作用，放置只有制品放置在輔助裝置上時造成撞擊；鑲套內的另一部分空氣從第一間隙吹出，在彈簧外形成環(huán)形風幕。

8、作為優(yōu)選，所述螺桿的外壁上設有刻度，所述刻度與所述調節(jié)套的下端配合。所述刻度使得鑲套與螺桿之間調節(jié)的高度更加直觀。

9、作為優(yōu)選，所述調節(jié)套的下部套設在所述底桿的上部，所述調節(jié)套與底桿之間設有連通底桿外部的第二間隙，所述調節(jié)套的上部側壁設有與調節(jié)套下端配合的刻度。所述調節(jié)套的下部套設在所述底桿的上部，所述彈簧位于所述調節(jié)套和螺桿之間，所述調節(jié)套對彈簧起到保護作用，防止高溫作用下彈簧的彈性改變，保證輔助裝置在火加工過程中的調高精度。

10、作為優(yōu)選，所述螺桿上端水平設有通孔，所述通孔內設有壓緊塊，所述壓緊塊通過壓緊件壓緊在所述鑲套內壁上。所述壓緊塊進一步提高螺桿與鑲套之前的穩(wěn)定性。

11、作為優(yōu)選，所述調節(jié)套包括兩端貫通的套筒和設置在所述套筒上的套蓋，所述套蓋蓋設在所述鑲套的上端，所述套蓋與所述鑲套密封連接，所述套蓋與所述套筒密封連接。所述套蓋的內壁上設有密封圈，依次起到密封作用。

12、作為優(yōu)選，所述底桿上設有貫通底桿上端和底桿下端的第一通孔，所述螺桿上設有貫通螺桿上端和螺桿下端的第二通孔，所述第一通孔與第二通孔連通，所述第二通孔與鑲套內腔連通，所述鑲套上端側壁設有豁口，所述鑲套內腔與間隙通過所述豁口連通。

13、作為優(yōu)選，當石英件放置在輔助裝置上的過程中，所述進氣機構通入常溫的空氣；當石英件火加工過程中，所述進氣機構通入氧氣；當石英件退火過程中，所述進氣機構通入冷卻的空氣。

14、本技術方案中，當石英件放置在輔助裝置上的過程中，所述進氣機構通入常溫的空氣，空氣驅動壓塊上升并從出氣孔吹出，起到緩沖保護石英件的作用；當石英件火加工過程中，所述進氣機構通入氧氣，起到助燃的作用，所述壓塊的上部外側壁呈上大下小的圓錐面，使得氧氣四散開，使得石英件的火加工更均勻；當石英件退火過程中，所述進氣機構通入冷卻的空氣，起到冷卻作用。

15、因此，本發(fā)明具有如下有益效果：替代現有加工中使用不同高度的石墨墊塊和石墨墊片，適用于不同高度規(guī)格的半導體石英件、調整高效；提高輔助裝置的使用壽命和使用精度。

技術特征：

1.一種石英火加工用輔助裝置，其特征是，包括底桿和設置在底桿上端的螺桿，螺桿上端套設有開口朝下的調節(jié)套，調節(jié)套內固設有鑲套，鑲套套設在螺桿上端并與螺桿螺紋連接，螺桿上套設彈簧，彈簧壓縮在底桿和鑲套之間。

2.根據權利要求1所述的一種石英火加工用輔助裝置，其特征是，所述底桿和調節(jié)套的材質采用石墨，所述鑲套和螺桿的材質采用金屬材質。

3.根據權利要求2所述的一種石英火加工用輔助裝置，其特征是，所述底桿下端設有進氣機構，所述進氣機構通過底桿和螺桿連通鑲套內腔，所述調節(jié)套與鑲套之間設有與鑲套內腔連通的第一間隙，進氣機構進氣以使所述彈簧外形成環(huán)形風幕，所述鑲套內腔與第一間隙上端連通。

4.根據權利要求1或2或3所述的一種石英火加工用輔助裝置，其特征是，所述調節(jié)套上端設有連通調節(jié)套外部和鑲套內腔的出氣孔，所述出氣孔內設有通過拉緊件拉緊在所述出氣孔內的壓塊，進氣機構進氣驅動壓塊上升以使鑲套內腔與調節(jié)套外部連通。

5.根據權利要求1或2或3所述的一種石英火加工用輔助裝置，其特征是，所述螺桿的外壁上設有刻度，所述刻度與所述調節(jié)套的下端配合。

6.根據權利要求1或2或3所述的一種石英火加工用輔助裝置，其特征是，所述調節(jié)套的下部套設在所述底桿的上部，所述調節(jié)套與底桿之間設有連通底桿外部的第二間隙，所述調節(jié)套的上部側壁設有與調節(jié)套下端配合的刻度。

7.根據權利要求1或2或3所述的一種石英火加工用輔助裝置，其特征是，所述螺桿上端水平設有通孔，所述通孔內設有壓緊塊，所述壓緊塊通過壓緊件壓緊在所述鑲套內壁上。

8.根據權利要求1或2或3所述的一種石英火加工用輔助裝置，其特征是，所述調節(jié)套包括兩端貫通的套筒和設置在所述套筒上的套蓋，所述套蓋蓋設在所述鑲套的上端，所述套蓋與所述鑲套密封連接，所述套蓋與所述套筒密封連接。

9.根據權利要求3所述的一種石英火加工用輔助裝置，其特征是，所述底桿上設有貫通底桿上端和底桿下端的第一通孔，所述螺桿上設有貫通螺桿上端和螺桿下端的第二通孔，所述第一通孔與第二通孔連通，所述第二通孔與鑲套內腔連通，所述鑲套上端側壁設有豁口，所述鑲套內腔與間隙通過所述豁口連通。

10.根據權利要求4所述的一種石英火加工用輔助裝置，其特征是，當石英件放置在輔助裝置上的過程中，所述進氣機構通入常溫的空氣；當石英件火加工過程中，所述進氣機構通入氧氣；當石英件退火過程中，所述進氣機構通入冷卻的空氣。

技術總結
本發(fā)明公開了一種石英火加工用輔助裝置，涉及半導體加工技術領域，包括底桿和設置在底桿上端的螺桿，螺桿上端套設有開口朝下的調節(jié)套，調節(jié)套內固設有鑲套，鑲套套設在螺桿上端并與螺桿螺紋連接，螺桿上套設彈簧，彈簧壓縮在底桿和鑲套之間。本技術方案中所述的一種石英火加工用輔助裝置，替代現有加工中使用不同高度的石墨墊塊和石墨墊片，以此來調整不同高度規(guī)格的半導體石英件，具有適用不同高度規(guī)格的半導體石英件、調整高效的優(yōu)點。

技術研發(fā)人員：周樂生,吳然紅,楊軍
受保護的技術使用者：杭州大和熱磁電子有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/1/28