本技術(shù)涉及氫化物氣相外延反應(yīng)設(shè)備，尤其涉及一種鎵舟內(nèi)部反應(yīng)結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、氫化物氣相外延設(shè)備為化合物生長(zhǎng)工藝設(shè)備，主要用于在高溫環(huán)境下通過(guò)如h2、hcl等氫化物氣體，使襯底表面外延生長(zhǎng)一層如gaas、gan等的厚膜或晶體。鎵舟內(nèi)部的反應(yīng)原理如說(shuō)明書(shū)附圖中圖6所示，在設(shè)備反應(yīng)中存在由于鎵舟內(nèi)部因氯化氫氣體進(jìn)氣，與反應(yīng)后的氣態(tài)氯化鎵出口在同一個(gè)空間內(nèi)，且距離較近，容易出現(xiàn)氯化氫氣體還未完全與液態(tài)金屬鎵反應(yīng)，就直接從出氣口通入底部生長(zhǎng)區(qū)，造成反應(yīng)氣體的浪費(fèi)，因反應(yīng)不完全，氯化鎵合成效率不可控，造成工藝不穩(wěn)定，不可控。鑒于上述原因，本申請(qǐng)?zhí)岢鲆环N在有限的空間內(nèi)，增加氯化氫氣體流經(jīng)的路徑，即增加氯化氫氣體與金屬鎵接觸反應(yīng)時(shí)間的鎵舟內(nèi)部反應(yīng)結(jié)構(gòu)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是針對(duì)背景技術(shù)中存在的問(wèn)題，提出一種在有限的空間內(nèi)，增加氯化氫氣體流經(jīng)的路徑，即增加氯化氫氣體與金屬鎵接觸反應(yīng)時(shí)間的鎵舟內(nèi)部反應(yīng)結(jié)構(gòu)。

2、本實(shí)用新型的技術(shù)方案：一種鎵舟內(nèi)部反應(yīng)結(jié)構(gòu)，包括位于鎵舟中用于氯化氫與金屬鎵反應(yīng)的殼體，所述殼體的內(nèi)壁固定連接有上隔板，所述上隔板的底部連接有多組豎向隔板；

3、所述殼體中安裝有貫穿其的氣體管道，所述氣體管道分為兩段，上段所述氣體管道與上隔板的頂部連接，下段所述氣體管道貫穿上隔板的底部以及殼體的底部；

4、所述上隔板上開(kāi)設(shè)有貫穿其的通孔二，所述上隔板的內(nèi)壁還開(kāi)設(shè)有空腔，且上隔板的底部開(kāi)設(shè)有通孔一。

5、可選的，所述豎向隔板的一側(cè)面板壁與殼體的內(nèi)壁固定連接。

6、可選的，所述豎向隔板的底部與板面與殼體的底部?jī)?nèi)壁之間存在間隙。

7、可選的，上段所述氣體管道的一側(cè)開(kāi)設(shè)有用于金屬鎵和氯化氫流出的通孔三。

8、可選的，下段所述氣體管道的頂部貫穿上隔板的底部且不與空腔的頂部?jī)?nèi)壁接觸。

9、可選的，所述上隔板將殼體的內(nèi)部反應(yīng)空間分為流通腔和反應(yīng)腔，所述通孔二用于貫通反應(yīng)腔和流通腔。

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下有益的技術(shù)效果：

11、本實(shí)用新型通過(guò)先將液體金屬鎵通入反應(yīng)腔中，并將液體金屬鎵充分的在反應(yīng)腔中分散后將氣體氯化氫從氣體管道中通過(guò)反應(yīng)腔，由于多組豎向隔板的設(shè)置，會(huì)增加氯化氫的流經(jīng)反應(yīng)路徑，形成迂回路徑，從而增加氯化氫與液體金屬鎵的反應(yīng)時(shí)間，避免氣體的浪費(fèi)；

12、進(jìn)一步的還通過(guò)設(shè)置豎向隔板底部與殼體的內(nèi)壁之間存在間隙，方便液體金屬鎵充分的在殼體的底部?jī)?nèi)壁分散流通，同時(shí)在停機(jī)后金屬鎵會(huì)凝固，底部的間隙設(shè)置有利于固化時(shí)候的應(yīng)力釋放，保護(hù)內(nèi)部石英結(jié)構(gòu)不會(huì)因此破裂，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命；

13、綜上，本實(shí)用新型形成迂回路徑，增加氣體的反應(yīng)路徑，從而增加氯化氫和金屬鎵的反應(yīng)時(shí)間，使得充分反應(yīng)，避免反應(yīng)氣體的浪費(fèi)，提高反應(yīng)效果。

技術(shù)特征：

1.一種鎵舟內(nèi)部反應(yīng)結(jié)構(gòu)，包括位于鎵舟中用于氯化氫與金屬鎵反應(yīng)的殼體(1)，其特征在于：所述殼體(1)的內(nèi)壁固定連接有上隔板(2)，所述上隔板(2)的底部連接有多組豎向隔板(3)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鎵舟內(nèi)部反應(yīng)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述豎向隔板(3)的一側(cè)面板壁與殼體(1)的內(nèi)壁固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鎵舟內(nèi)部反應(yīng)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述豎向隔板(3)的底部與板面與殼體(1)的底部?jī)?nèi)壁之間存在間隙。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鎵舟內(nèi)部反應(yīng)結(jié)構(gòu)，其特征在于，上段所述氣體管道(4)的一側(cè)開(kāi)設(shè)有用于金屬鎵和氯化氫流出的通孔三(41)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鎵舟內(nèi)部反應(yīng)結(jié)構(gòu)，其特征在于，下段所述氣體管道(4)的頂部貫穿上隔板(2)的底部，且不與空腔(22)的頂部?jī)?nèi)壁接觸。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鎵舟內(nèi)部反應(yīng)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述上隔板(2)將殼體(1)的內(nèi)部反應(yīng)空間分為流通腔(11)和反應(yīng)腔(12)，所述通孔二(23)用于貫通反應(yīng)腔(12)和流通腔(11)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及氫化物氣相外延反應(yīng)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種鎵舟內(nèi)部反應(yīng)結(jié)構(gòu)。其技術(shù)方案包括：位于鎵舟中用于氯化氫與金屬鎵反應(yīng)的殼體，所述殼體的內(nèi)壁固定連接有上隔板，所述上隔板的底部連接有多組豎向隔板；所述殼體中安裝有貫穿其的氣體管道，所述氣體管道分為兩段，上段所述氣體管道與上隔板的頂部連接，下段所述氣體管道貫穿上隔板的底部以及殼體的底部；所述上隔板上開(kāi)設(shè)有貫穿其的通孔二，所述上隔板的內(nèi)壁還開(kāi)設(shè)有空腔，且上隔板的底部開(kāi)設(shè)有通孔一。本技術(shù)形成迂回路徑，增加氣體的反應(yīng)路徑，從而增加氯化氫和金屬鎵的反應(yīng)時(shí)間，使得充分反應(yīng)，避免反應(yīng)氣體的浪費(fèi)，提高反應(yīng)效果。

技術(shù)研發(fā)人員：丁成,高明哲
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海璽唐半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240123
技術(shù)公布日：2025/1/9