本技術涉及單晶硅生產設備,具體涉及一種單晶爐的喂料裝置。
背景技術:
1、為了降低單晶硅的生產成本和提升晶棒品質,行業(yè)技術人員經過大量實驗和數據驗證,開發(fā)出ocr及ccz(continuous?czocharlski,連續(xù)拉晶)兩種拉晶工藝。
2、采用以上兩種工藝拉制單晶硅棒時,通常在單晶爐外增加一個喂料機構,在保持拉晶的同時將固態(tài)硅料連續(xù)地加入單晶爐的坩堝中,從而保證連續(xù)拉晶的進行。
3、目前,根據應用場景的不同,不同廠家設計出各種不同的喂料機構,要么是單級振動,要么是兩級振動。但是,振動送料波動大、難以控制,其下料速度不能統一,喂料精準度偏差比較大,很難滿足ocr及ccz拉晶工藝的需求。
技術實現思路
1、針對現有技術的不足,本實用新型提供一種單晶爐的喂料裝置,以解決現有技術中振動送料波動大、難以控制,其下料速度不能統一,喂料精準度偏差比較大,很難滿足ocr及ccz拉晶工藝的需求的問題。
2、為實現上述目的,本實用新型提供了以下技術方案:
3、一種單晶爐的喂料裝置,包括:
4、料倉,用于盛裝硅料;及
5、輸料管,設于所述料倉下方,用于輸送硅料至單晶爐內的坩堝中;
6、其中,所述料倉的下料口與所述輸料管的進料口之間設有具有多個料格的輸料導輪,所述輸料導輪外接有帶變頻器的電機;通過所述電機的驅動,所述輸料導輪可逆時針旋轉以使得每個所述的料格上承所述下料口、下接所述進料口。
7、在本申請公開的一個實施例中,所述進料口下方對應的輸料管外側壁上安裝有振動器。
8、在本申請公開的一個實施例中,所述振動器為單級振動器。
9、在本申請公開的一個實施例中,所述輸料導輪包括帶進、出口的外殼及轉動設于所述外殼內部的輪體,所述外殼進口與所述下料口密封對接,所述外殼出口與所述進料口通過軟連接密封對接,所述輪體的轉軸穿過所述外殼后與所述電機的輸出軸相連接;
10、所述輪體上繞其轉軸設有多塊l型隔板,多塊所述的l型隔板圓周均勻分布以構成多個上述的料格。
11、在本申請公開的一個實施例中,每個所述的料格內襯聚四氟乙烯板。
12、在本申請公開的一個實施例中,所述料格繞所述輪體的轉軸圓周均勻分布有10個。
13、在本申請公開的一個實施例中,所述輸料導輪轉動設于所述下料口正下方,且位于所述進料口左上方。
14、在本申請公開的一個實施例中,所述下料口與進料口均呈矩形結構;
15、其中,所述下料口通過含有弧形擋板的腔體與所述輸料導輪的外殼進口密封對接。
16、與現有技術相比,本實用新型的有益效果是:
17、1、電機的輸出轉速通過變頻器控制,以達到控制輸料導輪旋轉速度的目的,使得每個料格能夠將定量的硅料送入輸料管,從而精確控制和穩(wěn)定統一加料速率,提高喂料的精準度和連續(xù)性,進而滿足ocr及ccz拉晶工藝的需求。
18、2、振動器可對進料口處的硅料進行振動以避免堵塞管道,同時能夠使得硅料持續(xù)行進,進一步提高喂料的連續(xù)性。
1.一種單晶爐的喂料裝置,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的單晶爐的喂料裝置,其特征在于,所述進料口下方對應的輸料管外側壁上安裝有振動器。
3.根據權利要求2所述的單晶爐的喂料裝置,其特征在于,所述振動器為單級振動器。
4.根據權利要求1~3中任意一項所述的單晶爐的喂料裝置,其特征在于:
5.根據權利要求4所述的單晶爐的喂料裝置,其特征在于,每個所述的料格內襯聚四氟乙烯板。
6.根據權利要求5所述的單晶爐的喂料裝置,其特征在于,所述料格繞所述輪體的轉軸圓周均勻分布有10個。
7.根據權利要求5或6所述的單晶爐的喂料裝置,其特征在于,所述輸料導輪轉動設于所述下料口正下方,且位于所述進料口左上方。
8.根據權利要求7所述的單晶爐的喂料裝置,其特征在于: