本技術(shù)涉及單晶爐取棒工裝,具體為一種單晶爐晶棒提取工裝。
背景技術(shù):
1、單晶硅生產(chǎn)過程中,使用的石英坩堝會在高溫下和硅溶液生成大量的sio,sio會在高溫情況下與含碳元素部件進(jìn)行反應(yīng),形成晶棒,再利用工具將晶棒從單晶爐副室中降下取出。
2、現(xiàn)有的人工提取晶棒裝置在使用時,還需要人工將兩個上部卡環(huán)合頁鉸接后實(shí)現(xiàn)鎖緊扣住,才能將整個單晶爐棒體實(shí)現(xiàn)夾持鎖緊,且對不不同爐中的晶棒半徑尺寸也會發(fā)生改變,導(dǎo)致工裝無法達(dá)到理想的使用效果。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種單晶爐晶棒提取工裝,用于克服現(xiàn)有技術(shù)中的上述缺陷。
2、根據(jù)本實(shí)用新型的一種單晶爐晶棒提取工裝,包括晶棒與外殼,所述外殼內(nèi)開設(shè)有開腔,所述開腔內(nèi)設(shè)有能夠前后滑動的推塊,所述開腔的后端設(shè)有能夠左右對稱開口,所述開腔的上下兩側(cè)壁上均固定連接有導(dǎo)滑軌,所述導(dǎo)滑軌呈t字形設(shè)置,所述導(dǎo)滑軌與所述推塊滑動配合,所述推塊上固設(shè)有向前延伸的拉桿,所述拉桿的前端固設(shè)有把手,所述開腔的兩個后端開口處均固設(shè)有固定桿,兩個所述固定桿上均轉(zhuǎn)動連接有夾爪,所述夾爪向后延伸設(shè)有貼合端能夠與所述晶棒的周面貼合,所述夾爪的后端轉(zhuǎn)動連接有抵接輪與所述推塊的端面抵接,所述固定桿與所述夾爪之間連接設(shè)有兩個上下設(shè)置的扭筒,所述扭筒包括固定設(shè)置在所述固定桿外周上的固定殼,與固定殼和所述夾爪連接的扭簧,所述外殼的后端固設(shè)有支撐板,所述支撐板呈v字形設(shè)置,所述支撐板上固設(shè)有兩個左右對稱的支撐桿,兩個所述支撐桿上套設(shè)有彈性板,所述彈性板能夠與所述晶棒的周面抵接。
3、本實(shí)用新型的有益效果是:
4、通過左右兩個夾爪的后端夾持晶棒的周面,并在支撐板的支撐下,保持對不同尺寸的晶棒處的夾持,從而實(shí)現(xiàn)在單人作業(yè)下對不同半徑型號的晶棒進(jìn)行夾持工作的完成度,取棒起來更加省時省力,方便快捷,通過彈性板與晶棒的前端緊貼,增加對晶棒處的摩擦力,防止打滑,在取棒過程中穩(wěn)定性更好。
1.一種單晶爐晶棒提取工裝,包括晶棒(10)與外殼(11),所其特征在于:述外殼(11)內(nèi)開設(shè)有開腔(18),所述開腔(18)內(nèi)設(shè)有能夠前后滑動的推塊(14),所述推塊(14)上固設(shè)有向前延伸的拉桿(12),所述拉桿(12)的前端固設(shè)有把手,所述開腔(18)的兩個后端開口處均固設(shè)有固定桿(15),兩個所述固定桿(15)上均轉(zhuǎn)動連接有夾爪(16),所述夾爪(16)向后延伸設(shè)有貼合端能夠與所述晶棒(10)的周面貼合,所述夾爪(16)的后端轉(zhuǎn)動連接有抵接輪(17)與所述推塊(14)的端面抵接,所述固定桿(15)與所述夾爪(16)之間連接設(shè)有兩個上下設(shè)置的扭筒(22),所述外殼(11)的后端固設(shè)有支撐板(19)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐晶棒提取工裝,其特征在于:所述支撐板(19)呈v字形設(shè)置,所述支撐板(19)上固設(shè)有兩個左右對稱的支撐桿(21),兩個所述支撐桿(21)上套設(shè)有彈性板(20),所述彈性板(20)能夠與所述晶棒(10)的周面抵接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種單晶爐晶棒提取工裝,其特征在于:所述扭筒(22)包括固定設(shè)置在所述固定桿(15)外周上的固定殼,與固定殼和所述夾爪(16)連接的扭簧。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種單晶爐晶棒提取工裝,其特征在于:所述開腔(18)的上下兩側(cè)壁上均固定連接有導(dǎo)滑軌(13),所述導(dǎo)滑軌(13)呈t字形設(shè)置,所述導(dǎo)滑軌(13)與所述推塊(14)滑動配合。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種單晶爐晶棒提取工裝,其特征在于:所述開腔(18)的后端設(shè)有能夠左右對稱開口。