本技術(shù)涉及l(fā)ed半導(dǎo)體，具體地說，尤其涉及一種石墨基板的化學(xué)氣象沉積裝置。

背景技術(shù)：

1、近年來，以gan基為半導(dǎo)體材料的半導(dǎo)體器件研究方向已非常成熟，led發(fā)光二極管已形成穩(wěn)定的產(chǎn)業(yè)鏈，為進(jìn)一步的降低成本提升產(chǎn)能，led外延生長使用襯底逐步從2英寸過渡至4英寸、6英寸，大尺寸襯底需保證好的片內(nèi)均勻性，這對外延生長的溫度均勻性要求更高，石墨基板是襯底與底部加熱器間的熱傳導(dǎo)媒介，因此，石墨基板的溫度均勻性和穩(wěn)定性對led外延產(chǎn)業(yè)有至關(guān)重要的作用，用于承載襯底的外延石墨基板具有多個間隔分布的圓形凹槽，襯底放置于圓形凹槽內(nèi)生長，每個圓形凹槽內(nèi)可放置一片外延襯底。如公告號為cn109411401b的襯底支撐裝置以及外延生長設(shè)備，其通過填充氣體進(jìn)一步降低襯底邊緣熱傳導(dǎo)散失。

2、由于石墨載盤的導(dǎo)熱性能明顯優(yōu)于空氣，所以外延片和圓形凹槽接觸區(qū)域的溫度高于外延片其它區(qū)域，因目前的石墨基板中襯底與圓形凹槽的接觸區(qū)域為邊緣，通過多個突起接觸，使得外延片邊緣區(qū)域的溫度偏高，致使外延片邊緣區(qū)域的波長偏短，最終導(dǎo)致外延片波長分布不均勻。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的，在于提供一種石墨基板的化學(xué)氣象沉積裝置，其通過在載盤主體背面設(shè)置凹陷圓環(huán)，利用空氣導(dǎo)熱比石墨導(dǎo)熱差的原理，能使外延片與多個突起接觸位置的溫度與外延片中間溫度接近，使波長均勻性更佳。

2、本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：

3、一種石墨基板的化學(xué)氣象沉積裝置，包括載盤主體，載盤主體上設(shè)有若干襯底放置口，所述襯底放置口呈環(huán)形布置于載盤主體上，所述襯底放置口內(nèi)設(shè)有若干支撐塊，所述若干襯底放置口背面的載盤主體上設(shè)有與若干襯底放置口相對應(yīng)的凹陷圓環(huán)。

4、進(jìn)一步地，所述的同一個凹陷圓環(huán)沿離心方向凹陷圓環(huán)的深度逐漸加深，凹陷圓環(huán)沿離心方向凹陷圓環(huán)的寬度逐漸加寬。

5、進(jìn)一步地，所述的若干支撐塊呈環(huán)形布置于襯底放置口內(nèi)。

6、進(jìn)一步地，所述的若干支撐塊的形狀為三角形。

7、進(jìn)一步地，所述的凹陷圓環(huán)的近圓心圓環(huán)區(qū)域的寬度大于凹陷圓環(huán)的遠(yuǎn)圓心圓環(huán)區(qū)域的寬度；凹陷圓環(huán)的近圓心圓環(huán)區(qū)域的深度大于凹陷圓環(huán)的遠(yuǎn)圓心圓環(huán)區(qū)域的深度。

8、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

9、1.通過在載盤主體背面設(shè)置凹陷圓環(huán)，利用空氣導(dǎo)熱比石墨導(dǎo)熱差的原理，能使外延片與多個突起接觸位置的溫度與外延片中間溫度接近，使波長均勻性更佳。

10、2.通過設(shè)計凹陷圓環(huán)沿離心方向，深度逐漸加深，寬度逐漸加寬，能夠有效改善離心力導(dǎo)致的外延片與載盤接觸導(dǎo)致的邊緣溫度偏高問題，解決邊緣波長偏短的問題，使波長均勻性更佳。

11、3.僅通過載盤主體的結(jié)構(gòu)改進(jìn)，節(jié)約成本，提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)特征：

1.一種石墨基板的化學(xué)氣象沉積裝置，包括載盤主體(3)，載盤主體(3)上設(shè)有若干襯底放置口(1)，其特征在于：所述襯底放置口(1)呈環(huán)形布置于載盤主體(3)上，所述襯底放置口(1)內(nèi)設(shè)有若干支撐塊(2)，所述若干襯底放置口(1)背面的載盤主體(3)上設(shè)有與若干襯底放置口(1)相對應(yīng)的凹陷圓環(huán)(4)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨基板的化學(xué)氣象沉積裝置，其特征在于：所述的凹陷圓環(huán)(4)沿離心方向凹陷圓環(huán)(4)的深度逐漸加深，凹陷圓環(huán)(4)沿離心方向凹陷圓環(huán)(4)的寬度逐漸加寬。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨基板的化學(xué)氣象沉積裝置，其特征在于：所述的若干支撐塊(2)呈環(huán)形布置于襯底放置口(1)內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨基板的化學(xué)氣象沉積裝置，其特征在于：所述的若干支撐塊(2)的形狀為三角形。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石墨基板的化學(xué)氣象沉積裝置，其特征在于：所述的凹陷圓環(huán)(4)的近圓心圓環(huán)區(qū)域(41)的寬度大于凹陷圓環(huán)(4)的遠(yuǎn)圓心圓環(huán)區(qū)域(42)的寬度；凹陷圓環(huán)(4)的近圓心圓環(huán)區(qū)域(41)的深度大于凹陷圓環(huán)(4)的遠(yuǎn)圓心圓環(huán)區(qū)域(42)的深度。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種石墨基板的化學(xué)氣象沉積裝置，它屬于LED半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，其通過在載盤主體背面設(shè)置凹陷圓環(huán)，利用空氣導(dǎo)熱比石墨導(dǎo)熱差的原理，能使外延片與多個突起接觸位置的溫度與外延片中間溫度接近，使波長均勻性更佳。它主要包括載盤主體，載盤主體上設(shè)有若干襯底放置口，所述襯底放置口呈環(huán)形布置于載盤主體上，所述襯底放置口內(nèi)設(shè)有若干支撐塊，所述若干襯底放置口背面的載盤主體上設(shè)有與若干襯底放置口相對應(yīng)的凹陷圓環(huán)。本技術(shù)主要用于石墨基板的化學(xué)氣象沉積。

技術(shù)研發(fā)人員：程海林,朱帥
受保護(hù)的技術(shù)使用者：湖南藍(lán)芯微電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240418
技術(shù)公布日：2025/1/20