本技術(shù)涉及的是一種區(qū)熔爐下軸同步旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，屬于區(qū)熔設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、區(qū)熔爐是一種生產(chǎn)單晶硅的設(shè)備，控制溫度梯度使狹窄的熔區(qū)移過材料而生長出單晶。

2、區(qū)熔爐的軸承倉(如cn102877118a中的軸承倉組件)上端帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)大盤旋轉(zhuǎn)，大盤上固定有三根收放單晶夾持片的鋼絲。工作時(shí)，下主軸旋轉(zhuǎn)必須與軸承倉絕對(duì)同步，而下軸總長超過三米，受設(shè)備工藝限制，工作過程主軸最大端跳應(yīng)≤0.1mm，因此，同步旋轉(zhuǎn)精度與單晶成功率呈正向關(guān)系。現(xiàn)有技術(shù)同步旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)存在側(cè)向力影響主軸旋轉(zhuǎn)精度運(yùn)動(dòng)的問題，導(dǎo)致單晶成晶率無法滿足生產(chǎn)需要。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型提出的是一種區(qū)熔爐下軸同步旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其目的旨在克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足，實(shí)現(xiàn)提高下軸旋轉(zhuǎn)精度，提高單晶成晶率。

2、本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案：一種區(qū)熔爐下軸同步旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)包括下主軸，下主軸下端通過主軸連接板連接大直驅(qū)電機(jī)的動(dòng)轉(zhuǎn)子，大直驅(qū)電機(jī)設(shè)置在下驅(qū)動(dòng)托盤內(nèi)底部，下主軸上端與下爐室過渡板之間通過軸承倉定位，下主軸上端連接軸承倉的動(dòng)轉(zhuǎn)子，軸承倉底部設(shè)直驅(qū)電機(jī)支架，直驅(qū)電機(jī)支架上端外側(cè)連接下提拉框頂面板內(nèi)端，直驅(qū)電機(jī)支架下端固定連接小直驅(qū)電機(jī)外殼，軸承倉動(dòng)轉(zhuǎn)子底端裝有過渡法蘭，過渡法蘭連接小直驅(qū)電機(jī)動(dòng)轉(zhuǎn)子，下主軸、大直驅(qū)電機(jī)、小直驅(qū)電機(jī)和軸承倉同心設(shè)置，軸承倉動(dòng)轉(zhuǎn)子頂端連接大盤，大盤上裝有鋼絲繩固定螺母。下主軸可隨大直驅(qū)電機(jī)動(dòng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)，軸承倉則可隨小直驅(qū)電機(jī)旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)，軸承倉動(dòng)轉(zhuǎn)子與大盤的連接可保證大盤旋轉(zhuǎn)與下主軸旋轉(zhuǎn)的同步性要求。

3、優(yōu)選的，所述的大直驅(qū)電機(jī)底端與下驅(qū)動(dòng)托盤內(nèi)側(cè)間設(shè)可調(diào)間隙余量，下驅(qū)動(dòng)托盤兩側(cè)設(shè)有內(nèi)端接觸大直驅(qū)電機(jī)側(cè)壁的頂塊。用于調(diào)整大直驅(qū)電機(jī)位置方便后續(xù)調(diào)整下主軸、大直驅(qū)電機(jī)、小直驅(qū)電機(jī)和軸承倉的同心，確保下主軸旋轉(zhuǎn)端跳滿足要求。

4、優(yōu)選的，所述的軸承倉的動(dòng)轉(zhuǎn)子內(nèi)側(cè)上下與下主軸之間分別設(shè)有一圓環(huán)?？杀ＷC下主軸與軸承倉同心。

5、優(yōu)選的，所述的圓環(huán)為t43圓環(huán)。良好的熱膨脹性能和小摩擦系數(shù)能夠很大程度保證主軸與軸承倉間運(yùn)動(dòng)時(shí)通暢。

6、本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，實(shí)現(xiàn)了區(qū)熔爐主軸與軸承倉的同步旋轉(zhuǎn)，采用雙直驅(qū)同步旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，下主軸安裝在固定于下驅(qū)動(dòng)托盤上的大直驅(qū)電機(jī)動(dòng)轉(zhuǎn)子上，下主軸與直驅(qū)電機(jī)動(dòng)轉(zhuǎn)子同心，提拉框上端(下爐體底端)連接軸承倉，在軸承倉動(dòng)轉(zhuǎn)子下方固定小直驅(qū)電機(jī)，而軸承倉動(dòng)轉(zhuǎn)子上方固定大盤，鋼絲繩一端可固定在大盤上，軸承倉內(nèi)側(cè)與下主軸接觸，實(shí)現(xiàn)大直驅(qū)電機(jī)、小直驅(qū)電機(jī)、軸承倉、下主軸同心同步旋轉(zhuǎn)?？捎行齻?cè)向力對(duì)主軸旋轉(zhuǎn)精度運(yùn)動(dòng)的影響，從而提高主軸旋轉(zhuǎn)精度，進(jìn)而提高單晶成晶率。

技術(shù)特征：

1.一種區(qū)熔爐下軸同步旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括下主軸(1)，下主軸(1)下端通過主軸連接板(2)連接大直驅(qū)電機(jī)(3)的動(dòng)轉(zhuǎn)子，大直驅(qū)電機(jī)(3)設(shè)置在下驅(qū)動(dòng)托盤(4)內(nèi)底部，下主軸(1)上端與下爐室過渡板(5)之間通過軸承倉(6)定位，下主軸(1)上端連接軸承倉(6)的動(dòng)轉(zhuǎn)子，軸承倉(6)底部設(shè)直驅(qū)電機(jī)支架(8)，直驅(qū)電機(jī)支架(8)上端外側(cè)連接下提拉框(9)頂面板內(nèi)端，直驅(qū)電機(jī)支架(8)下端固定連接小直驅(qū)電機(jī)(10)外殼，軸承倉(6)動(dòng)轉(zhuǎn)子底端裝有過渡法蘭(11)，過渡法蘭(11)連接小直驅(qū)電機(jī)(10)動(dòng)轉(zhuǎn)子，下主軸(1)、大直驅(qū)電機(jī)(3)、小直驅(qū)電機(jī)(10)和軸承倉(6)同心設(shè)置，軸承倉(6)動(dòng)轉(zhuǎn)子頂端連接大盤(12)，大盤(12)上裝有鋼絲繩固定螺母(13)。

2.如權(quán)利要求1所述的一種區(qū)熔爐下軸同步旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述的大直驅(qū)電機(jī)(3)底端與下驅(qū)動(dòng)托盤(4)內(nèi)側(cè)間設(shè)可調(diào)間隙余量，下驅(qū)動(dòng)托盤(4)兩側(cè)設(shè)有內(nèi)端接觸大直驅(qū)電機(jī)(3)側(cè)壁的頂塊。

3.如權(quán)利要求1所述的一種區(qū)熔爐下軸同步旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述的軸承倉(6)的動(dòng)轉(zhuǎn)子內(nèi)側(cè)上下與下主軸(1)之間分別設(shè)有一圓環(huán)(7)。

4.如權(quán)利要求3所述的一種區(qū)熔爐下軸同步旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述的圓環(huán)(7)為t43圓環(huán)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)是區(qū)熔爐下軸同步旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)是下主軸下端通過主軸連接板連接大直驅(qū)電機(jī)的動(dòng)轉(zhuǎn)子，大直驅(qū)電機(jī)設(shè)置在下驅(qū)動(dòng)托盤內(nèi)底部，下主軸上端與下爐室過渡板之間通過軸承倉定位，下主軸上端連接軸承倉的動(dòng)轉(zhuǎn)子，軸承倉底部設(shè)直驅(qū)電機(jī)支架，直驅(qū)電機(jī)支架上端外側(cè)連接下提拉框頂面板內(nèi)端，直驅(qū)電機(jī)支架下端固定連接小直驅(qū)電機(jī)外殼，軸承倉動(dòng)轉(zhuǎn)子底端裝有過渡法蘭，過渡法蘭連接小直驅(qū)電機(jī)動(dòng)轉(zhuǎn)子，下主軸、大/小直驅(qū)電機(jī)和軸承倉同心設(shè)置，軸承倉動(dòng)轉(zhuǎn)子頂端連接大盤，大盤上裝有鋼絲繩固定螺母。下主軸可隨大直驅(qū)電機(jī)動(dòng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，軸承倉則可隨小直驅(qū)電機(jī)旋轉(zhuǎn)，軸承倉動(dòng)轉(zhuǎn)子與大盤的連接可保證大盤與下主軸旋轉(zhuǎn)的同步性要求?？商岣邌尉С删?。

技術(shù)研發(fā)人員：胡動(dòng)力,王人松,賈新旺,岳增可
受保護(hù)的技術(shù)使用者：連科半導(dǎo)體有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240422
技術(shù)公布日：2024/12/30