本技術(shù)涉及單晶爐，具體涉及一種單晶爐的提拉頭及單晶爐。

背景技術(shù)：

1、單晶爐是晶體生長設(shè)備中最重要的產(chǎn)品系列，用它來制作人工晶體，單晶生長速度最高，最容易實現(xiàn)人工控制，因此也獲得了最廣泛的應(yīng)用。其中，單晶爐的提拉頭在晶體生長過程中起關(guān)鍵性作用，是硅單晶爐的核心部件，單晶爐需要利用提拉頭將硅棒在爐腔升降及旋轉(zhuǎn)，以滿足生產(chǎn)工藝需求。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，單晶爐的提拉頭主要包括晶升機構(gòu)和晶轉(zhuǎn)機構(gòu)，晶升機構(gòu)位于晶轉(zhuǎn)機構(gòu)上方，利用晶轉(zhuǎn)機構(gòu)驅(qū)動晶升機構(gòu)旋轉(zhuǎn)；晶升機構(gòu)主要包括圓柱式繞線輪、旋轉(zhuǎn)電機及升降繩，晶轉(zhuǎn)驅(qū)動電機利用花鍵驅(qū)動繞線輪旋轉(zhuǎn)，繞線輪帶動升降繩收納或釋放，從而升降繩將硅棒升降及旋轉(zhuǎn)。其中，繞線輪密封在密封罩內(nèi)，升降繩的上端卷繞在繞線輪上，升降繩的下端穿過晶轉(zhuǎn)機構(gòu)并用于帶動硅棒升降及旋轉(zhuǎn)。由于晶轉(zhuǎn)驅(qū)動電機設(shè)置在密封罩外部，旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸需要利用磁流體動密封來密封，在單晶爐運行過程中，旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸的磁流體動密封可能密封失效導(dǎo)致爐腔內(nèi)真空容易漏氧造成硅棒氧含量高，影響硅棒的品質(zhì)；另外，由于繞線輪為圓柱式繞線輪，升降繩卷繞在繞線輪上的螺旋繞線槽上，升降繩升降過程中，升降繩會在繞線輪上沿繞線輪的長度方向擺動，硅棒擺動幅度大，影響硅棒生長速度和品質(zhì)，甚至中斷生長。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型提供一種單晶爐的提拉頭，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)的單晶爐存在爐腔內(nèi)真空容易漏氧影響硅棒品質(zhì)、及硅棒升降過程中容易擺動而影響硅棒生長速度和品質(zhì)的問題。

2、本實用新型是這樣實現(xiàn)的，提供一種單晶爐的提拉頭，包括晶轉(zhuǎn)機構(gòu)、及支撐于所述晶轉(zhuǎn)機構(gòu)上的晶升機構(gòu)，所述晶升機構(gòu)包括：

3、可轉(zhuǎn)動支撐于所述晶轉(zhuǎn)機構(gòu)上的固定板；

4、與所述固定板蓋合形成密閉空間的密封罩；

5、設(shè)于所述密閉空間內(nèi)并支撐于所述固定板上的支座；

6、呈圓盤式的繞線輪，設(shè)于所述密閉空間內(nèi)并可轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述支座，所述繞線輪的外周面設(shè)有繞線槽；

7、設(shè)于所述密閉空間內(nèi)的限位輪，可轉(zhuǎn)動設(shè)置于所述支座并位于所述繞線輪下方，所述限位輪的外周面設(shè)有限位槽；

8、晶升驅(qū)動電機，設(shè)于所述密閉空間內(nèi)并與所述繞線輪連接；及

9、升降繩，所述升降繩上部分卷繞于所述繞線槽上，所述升降繩下部分嵌入所述限位槽并穿過所述固定板及所述晶轉(zhuǎn)機構(gòu)。

10、優(yōu)選的，所述晶轉(zhuǎn)機構(gòu)包括內(nèi)設(shè)有中心孔的轉(zhuǎn)軸、套設(shè)于所述轉(zhuǎn)軸的磁流體密封件、與所述轉(zhuǎn)軸固定連接的轉(zhuǎn)臺、及與所述轉(zhuǎn)臺傳動連接并用于驅(qū)動所述轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)的晶轉(zhuǎn)驅(qū)動電機，所述升降繩穿過所述轉(zhuǎn)軸的中心孔。

11、優(yōu)選的，所述晶轉(zhuǎn)機構(gòu)還包括支板、可轉(zhuǎn)動安裝于所述支板上的帶輪，所述晶轉(zhuǎn)驅(qū)動電機與所述帶輪連接，所述帶輪通過皮帶與所述轉(zhuǎn)臺形成傳動。

12、優(yōu)選的，所述繞線輪的旋轉(zhuǎn)中心與所述轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)中心位于同一豎直方向連線上，所述限位輪的旋轉(zhuǎn)中心偏離所述豎直方向連線設(shè)置。

13、優(yōu)選的，所述晶升機構(gòu)還包括設(shè)于所述固定板上的多個稱重傳感器，所述支座支撐于多個所述稱重傳感器上。

14、優(yōu)選的，所述密封罩設(shè)有透明觀察窗。

15、優(yōu)選的，還包括：

16、固定于所述密封罩外部的航空插頭，所述航空插頭與所述晶升驅(qū)動電機電連接；

17、固定于所述密封罩外部的滑環(huán)，所述滑環(huán)設(shè)有與所述密封罩的旋轉(zhuǎn)中心同軸設(shè)置的過線孔，外部線纜穿過所述過線孔并與所述航空插頭連接。

18、優(yōu)選的，還包括：

19、u形管，所述u形管一端支撐固定于所述晶轉(zhuǎn)機構(gòu)上，另一端支撐于所述滑環(huán)頂部，所述外部線纜穿過所述u形管的內(nèi)孔。

20、優(yōu)選的，還包括固定于所述密封罩外部的配重塊。

21、本實用新型還提供一種單晶爐，包括上述的單晶爐的提拉頭。

22、本實用新型提供的一種單晶爐的提拉頭通過將晶升驅(qū)動電機及繞線輪均封裝在密封罩內(nèi)，晶升驅(qū)動電機與繞線輪之間無需通過磁流體密封裝置連接密封，避免了單晶爐在運行過程中由于晶升驅(qū)動電機與繞線輪之間的磁流體密封裝置密封可能失效導(dǎo)致爐腔內(nèi)漏氧影響硅棒品質(zhì)的問題，提升單晶爐的運行可靠性，確保單晶爐加工的硅棒品質(zhì)；同時，通過將繞線輪設(shè)置為圓盤式繞線輪，通過圓盤式繞線輪收放升降繩，并通過限位輪對升降繩進行限位，可以減小升降繩帶動硅棒的擺動幅度，提升硅棒生長速度和品質(zhì)。

技術(shù)特征：

1.一種單晶爐的提拉頭，其特征在于，包括晶轉(zhuǎn)機構(gòu)、及支撐于所述晶轉(zhuǎn)機構(gòu)上的晶升機構(gòu)，所述晶升機構(gòu)包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的提拉頭，其特征在于，所述晶轉(zhuǎn)機構(gòu)包括內(nèi)設(shè)有中心孔的轉(zhuǎn)軸、套設(shè)于所述轉(zhuǎn)軸的磁流體密封件、與所述轉(zhuǎn)軸固定連接的轉(zhuǎn)臺、及與所述轉(zhuǎn)臺傳動連接并用于驅(qū)動所述轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)的晶轉(zhuǎn)驅(qū)動電機，所述升降繩穿過所述轉(zhuǎn)軸的中心孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐的提拉頭，其特征在于，所述晶轉(zhuǎn)機構(gòu)還包括支板、可轉(zhuǎn)動安裝于所述支板上的帶輪，所述晶轉(zhuǎn)驅(qū)動電機與所述帶輪連接，所述帶輪通過皮帶與所述轉(zhuǎn)臺形成傳動。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐的提拉頭，其特征在于，所述繞線輪的旋轉(zhuǎn)中心與所述轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)中心位于同一豎直方向連線上，所述限位輪的旋轉(zhuǎn)中心偏離所述豎直方向連線設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的提拉頭，其特征在于，所述晶升機構(gòu)還包括設(shè)于所述固定板上的多個稱重傳感器，所述支座支撐于多個所述稱重傳感器上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的提拉頭，其特征在于，所述密封罩設(shè)有透明觀察窗。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的提拉頭，其特征在于，還包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的單晶爐的提拉頭，其特征在于，還包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐的提拉頭，其特征在于，還包括固定于所述密封罩外部的配重塊。

10.一種單晶爐，其特征在于，包括如權(quán)利要求1～9任意一項所述的單晶爐的提拉頭。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)適用于單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，提供一種單晶爐的提拉頭及單晶爐，包括晶轉(zhuǎn)機構(gòu)及晶升機構(gòu)，晶升機構(gòu)包括：可轉(zhuǎn)動支撐于晶轉(zhuǎn)機構(gòu)上的固定板；與固定板蓋合形成密閉空間的密封罩；設(shè)于密閉空間內(nèi)的支座；呈圓盤式的繞線輪，設(shè)于密閉空間內(nèi)并可轉(zhuǎn)動設(shè)置于支座，繞線輪的外周面設(shè)有繞線槽；限位輪，可轉(zhuǎn)動設(shè)置于支座，限位輪的外周面設(shè)有限位槽；晶升驅(qū)動電機，設(shè)于密閉空間內(nèi)并與繞線輪連接；升降繩，升降繩上部分卷繞于繞線槽上，升降繩下部分嵌入限位槽并穿過固定板及晶轉(zhuǎn)機構(gòu)。本技術(shù)的單晶爐的提拉頭可避免單晶爐運行過程中爐腔內(nèi)漏氧影響硅棒品質(zhì)的問題，且可以減小升降繩帶動硅棒的擺動幅度，提升硅棒生長速度和品質(zhì)。

技術(shù)研發(fā)人員：徐春雷,王剛,王永謙,陳剛
受保護的技術(shù)使用者：珠海富山愛旭太陽能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240424
技術(shù)公布日：2024/12/30