本技術(shù)涉及單晶體制備，尤其涉及一種料棒載具及浮區(qū)爐。

背景技術(shù)：

1、現(xiàn)有技術(shù)中，浮區(qū)爐是一種采用浮區(qū)法生長(zhǎng)單晶的加熱設(shè)備。浮區(qū)法是一種制備高質(zhì)量單晶體的技術(shù)，通過在材料熔體表面形成浮動(dòng)區(qū)域，促使晶體生長(zhǎng)?；静襟E包括熔化材料、形成浮區(qū)、緩慢移動(dòng)結(jié)晶，最終產(chǎn)出優(yōu)質(zhì)單晶，該技術(shù)在科學(xué)研究和半導(dǎo)體工業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。這種技術(shù)中的常用加熱方法是光學(xué)加熱，其通過光的聚焦和調(diào)制，以強(qiáng)大的光場(chǎng)加熱材料，使其局域熔化并形成浮區(qū)，然后在凝固過程中即可形成所需的單晶體。在使用時(shí)，將一長(zhǎng)一短的兩根料棒分別豎直連接于浮區(qū)爐內(nèi)的上端和下端，通過浮區(qū)爐的加熱后，兩段料棒之間可形成浮區(qū)，反應(yīng)過程中，浮區(qū)相對(duì)料棒自下而上移動(dòng)，以完成結(jié)晶過程。初始下方料棒較短上方較長(zhǎng)，反應(yīng)后下方料棒處生成單晶并變長(zhǎng)，上方料棒反應(yīng)變短。但是單一次反應(yīng)過程生成的材料有時(shí)達(dá)不到單晶標(biāo)準(zhǔn)，需要將反應(yīng)后的兩段料棒拆下，然后替換位置再重新進(jìn)行反應(yīng)，或者直接更換新的料棒，料棒通常經(jīng)過多段金屬絲的纏繞進(jìn)行固定，料棒的拆卸過程操作不便，給使用者的工作效率帶來了影響。因此需要一種方便料棒上下調(diào)換位置的料棒載具。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本實(shí)用新型提出一種料棒載具，可以便捷地調(diào)換料棒的位置。

2、本實(shí)用新型還提出一種包括上述料棒載具的浮區(qū)爐。

3、根據(jù)本實(shí)用新型第一方面實(shí)施例的料棒載具，用于裝載料棒，并安裝于浮區(qū)爐底部的第一連接座，或者浮區(qū)爐頂部的第二連接座；所述料棒載具包括：固定部，所述固定部用于固定所述料棒；第一連接部，與所述固定部連接，當(dāng)所述料棒載具設(shè)置在所述浮區(qū)爐的底部時(shí)，所述第一連接部與所述第一連接座可拆卸連接；當(dāng)所述料棒載具設(shè)置在所述浮區(qū)爐的頂部時(shí)，所述第一連接部與所述第二連接座可拆卸連接。

4、根據(jù)本實(shí)用新型第一方面實(shí)施例的料棒載具，至少具有如下有益效果：通過在料棒載具上設(shè)置第一連接部，不僅可以將料棒載具連接在浮區(qū)爐底部的第一連接座上還可以將料棒載具連接在第二連接座上。使得在將料棒上下調(diào)換時(shí)，只需要將料棒載具從浮區(qū)爐上拆卸下來進(jìn)行上下位置的調(diào)換，而無需將料棒從料棒載具中拆卸下來?；蛘?，將浮區(qū)爐下方或上方的料棒進(jìn)行單獨(dú)替換時(shí)，無需將料棒從料棒載具中拆卸下來，直接更換新的安裝有料棒載具的料棒。從而使得調(diào)換料棒的位置時(shí)操作更加的便捷。

5、根據(jù)本實(shí)用新型第二方面實(shí)施例的料棒載具，用于裝載料棒，并安裝于浮區(qū)爐底部的第一連接座，或者浮區(qū)爐頂部的第二連接座；所述料棒載具包括：固定部，所述固定部用于固定所述料棒；第一連接部，與所述固定部連接，當(dāng)所述料棒載具設(shè)置在所述浮區(qū)爐的底部時(shí)，所述第一連接部與所述第一連接座可拆卸連接；第二連接部，與所述固定部連接，當(dāng)所述料棒載具設(shè)置在所述浮區(qū)爐的頂部時(shí)，所述第二連接部與所述第二連接座可拆卸連接。

6、根據(jù)本實(shí)用新型第二方面實(shí)施例的料棒載具，至少具有如下有益效果：通過在料棒載具上設(shè)置第一連接部和第二連接部，不僅可以將料棒載具連接在浮區(qū)爐底部的第一連接座上還可以將料棒載具連接在第二連接座上。使得在將料棒上下調(diào)換時(shí)，只需要將料棒載具從浮區(qū)爐上拆卸下來進(jìn)行上下位置的調(diào)換，而無需將料棒從料棒載具中拆卸下來。從而使得調(diào)換料棒的上下位置時(shí)操作更加的便捷。并且分別通過第一連接部和第一連接座進(jìn)行連接，通過第二連接部和第二連接座進(jìn)行連接，可以更好地和浮區(qū)爐內(nèi)頂部的第二連接座以及底部的第一連接座進(jìn)行配合連接。

7、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述固定部包括環(huán)形套，所述環(huán)形套上設(shè)置有通孔，所述通孔遠(yuǎn)離所述第一連接部的一端用于容納所述料棒；或者，所述固定部沿周向設(shè)置有多個(gè)夾持體，多個(gè)所述夾持體能夠沿所述固定部的徑向相向靠攏并相互鎖定，以?shī)A持所述料棒，以及多個(gè)所述夾持體能夠解除鎖定，并沿所述固定部的徑向相互遠(yuǎn)離，以釋放所述料棒。

8、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述固定部包括環(huán)形套，所述環(huán)形套上設(shè)置有通孔，所述通孔供所述料棒穿設(shè)，所述固定部還包括頂絲，所述環(huán)形套設(shè)有至少一個(gè)沿徑向貫穿的第二螺紋孔，所述第二螺紋孔與所述通孔連通，所述頂絲螺接于所述第二螺紋孔內(nèi)，并用于沿徑向壓緊所述料棒。

9、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述環(huán)形套遠(yuǎn)離所述第一連接部一端的外徑沿第一方向依次減小，所述第一方向?yàn)閺乃龅谝贿B接部到所述固定部的方向。

10、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述固定部還包括墊套，至少部分所述墊套容納于所述通孔內(nèi)，所述墊套用于套設(shè)在所述料棒的一端，所述頂絲能夠沿所述固定部的徑向抵接于所述墊套。

11、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述第一連接部設(shè)置有第一螺紋孔，至少部分所述第一連接座能夠螺紋連接于所述第一螺紋孔內(nèi)。

12、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述第一連接部設(shè)置有第一螺紋孔，至少部分所述第一連接座能夠螺紋連接于所述第一螺紋孔內(nèi)；所述第二連接部包括掛環(huán)，所述掛環(huán)能夠掛接于所述第二連接座，所述第一連接部還設(shè)有沿徑向貫穿的穿線孔，所述掛環(huán)的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述穿線孔內(nèi)，所述第一螺紋孔的內(nèi)螺紋不超過所述穿線孔在第一方向上的中心，所述第一方向?yàn)閺乃龅谝贿B接部到所述固定部的方向

13、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述第一連接部設(shè)置有第一螺紋孔，至少部分所述第一連接座能夠螺紋連接于所述第一螺紋孔內(nèi)；所述第二連接部包括掛環(huán)，所述掛環(huán)能夠掛接于所述第二連接座，所述料棒載具還包括過渡部，所述第一連接部和所述固定部均與所述過渡部連接，所述掛環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述過渡部，并能夠相對(duì)所述過渡部上下翻轉(zhuǎn)。

14、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述固定部的內(nèi)部設(shè)有用于裝載料棒的通孔，所述固定部與所述第一連接部分別位于所述料棒載具相背的兩端，所述過渡部位于所述固定部與所述第一連接部之間。

15、根據(jù)本實(shí)用新型第二方面實(shí)施例的浮區(qū)爐，包括第一方面實(shí)施例中的料棒載具；第一連接座，所述第一連接部可拆卸連接于所述第一連接座；第二連接座，與所述第一連接座相對(duì)設(shè)置，并位于所述第一連接座的上方，所述第二連接部可拆卸連接于所述第二連接部。

16、根據(jù)本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，所述第一連接部與所述第一連接座螺接，所述第二連接部與所述第二連接座螺接；或者，所述第一連接部與所述第一連接座螺接，所述第二連接部掛接于所述第二連接座。

17、本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。

技術(shù)特征：

1.料棒載具，其特征在于，用于裝載料棒，并安裝于浮區(qū)爐底部的第一連接座，或者浮區(qū)爐頂部的第二連接座；

2.料棒載具，其特征在于，用于裝載料棒，并安裝于浮區(qū)爐底部的第一連接座，或者浮區(qū)爐頂部的第二連接座；

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的料棒載具，其特征在于，所述固定部包括環(huán)形套，所述環(huán)形套上設(shè)置有通孔，所述通孔遠(yuǎn)離所述第一連接部的一端用于容納所述料棒；

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的料棒載具，其特征在于，所述固定部包括環(huán)形套，所述環(huán)形套上設(shè)置有通孔，所述通孔供所述料棒穿設(shè)，所述固定部還包括頂絲，所述環(huán)形套設(shè)有至少一個(gè)沿徑向貫穿的第二螺紋孔，所述第二螺紋孔與所述通孔連通，所述頂絲螺接于所述第二螺紋孔內(nèi)，并用于沿徑向壓緊所述料棒。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的料棒載具，其特征在于，所述環(huán)形套遠(yuǎn)離所述第一連接部一端的外徑沿第一方向依次減小，所述第一方向?yàn)閺乃龅谝贿B接部到所述固定部的方向。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的料棒載具，其特征在于，所述固定部還包括墊套，至少部分所述墊套容納于所述通孔內(nèi)，所述墊套用于套設(shè)在所述料棒的一端，所述頂絲能夠沿所述固定部的徑向抵接于所述墊套。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的料棒載具，其特征在于，所述第一連接部設(shè)置有第一螺紋孔，至少部分所述第一連接座能夠螺紋連接于所述第一螺紋孔內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的料棒載具，其特征在于，所述第一連接部設(shè)置有第一螺紋孔，至少部分所述第一連接座能夠螺紋連接于所述第一螺紋孔內(nèi)；所述第二連接部包括掛環(huán)，所述掛環(huán)能夠掛接于所述第二連接座，所述第一連接部還設(shè)有沿徑向貫穿的穿線孔，所述掛環(huán)的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述穿線孔內(nèi)，所述第一螺紋孔的內(nèi)螺紋不超過所述穿線孔在第一方向上的中心，所述第一方向?yàn)閺乃龅谝贿B接部到所述固定部的方向。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的料棒載具，其特征在于，所述第一連接部設(shè)置有第一螺紋孔，至少部分所述第一連接座能夠螺紋連接于所述第一螺紋孔內(nèi)；所述第二連接部包括掛環(huán)，所述掛環(huán)能夠掛接于所述第二連接座，所述料棒載具還包括過渡部，所述第一連接部和所述固定部均與所述過渡部連接，所述掛環(huán)轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述過渡部，并能夠相對(duì)所述過渡部上下翻轉(zhuǎn)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的料棒載具，其特征在于，所述固定部的內(nèi)部設(shè)有用于裝載料棒的通孔，所述固定部與所述第一連接部分別位于所述料棒載具相背的兩端，所述過渡部位于所述固定部與所述第一連接部之間。

11.浮區(qū)爐，其特征在于，包括：

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的浮區(qū)爐，其特征在于，所述第一連接部與所述第一連接座螺接，所述第二連接部與所述第二連接座螺接；

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了料棒載具，用于將料棒安裝在浮區(qū)爐上，所述浮區(qū)爐的底部設(shè)置有第一連接座，所述浮區(qū)爐的頂部設(shè)置有第二連接座；所述料棒載具包括：固定部，所述固定部用于固定所述料棒并使所述料棒的一端位于所述浮區(qū)爐的浮區(qū)內(nèi)；第一連接部，當(dāng)所述料棒載具設(shè)置在所述浮區(qū)爐的底部時(shí)，所述第一連接部用于將所述固定部連接在所述第一連接座上；第二連接部，當(dāng)所述料棒載具設(shè)置在所述浮區(qū)爐的頂部時(shí)，所述第二連接部用于將所述固定部連接在所述第二連接座上。對(duì)于本技術(shù)的料棒載具，可以便捷地調(diào)換料棒的位置。

技術(shù)研發(fā)人員：胡彪言
受保護(hù)的技術(shù)使用者：粵港澳大灣區(qū)（廣東）量子科學(xué)中心
技術(shù)研發(fā)日：20240423
技術(shù)公布日：2024/12/26