本技術(shù)屬單晶硅棒加工，更具體地說(shuō)，特別涉及一種單晶硅棒加工冷卻裝置。

背景技術(shù)：

1、目前，單晶硅棒，是用于制造半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池的，單晶硅棒是通過(guò)區(qū)熔或直拉工藝在爐膛中整形或提拉形成的，是硅原子按籽晶的晶格排列方向，重新排列的硅單晶體棒。單晶硅棒于生產(chǎn)過(guò)程中，需要通過(guò)降溫輔助其成型，于是使用冷卻設(shè)備對(duì)其進(jìn)行加工。

2、現(xiàn)有的降溫設(shè)備通常采用水冷方式進(jìn)行冷卻，雖然可以進(jìn)行快速冷卻，但是硅棒在冷卻前會(huì)由于表面過(guò)熱，吸附外部的粉塵，同時(shí)水冷過(guò)后表面還附帶有水珠，很容易粘塵，導(dǎo)致表面被污染，無(wú)法保證硅棒在冷卻過(guò)程中的潔凈，不能進(jìn)行及時(shí)處理，工作人員無(wú)法進(jìn)行觀察冷卻狀況，不能實(shí)時(shí)進(jìn)行檢查，無(wú)法保證硅棒的冷卻穩(wěn)定性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種單晶硅棒加工冷卻裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種單晶硅棒加工冷卻裝置，包括冷卻箱，所述冷卻箱上通過(guò)鉸鏈連接有防護(hù)罩殼，且防護(hù)罩殼通過(guò)連桿套件與冷卻箱連接，所述防護(hù)罩殼兩側(cè)設(shè)置有料口，所述冷卻箱兩端設(shè)置有牽引機(jī)構(gòu)，通過(guò)牽引機(jī)構(gòu)帶動(dòng)硅棒件輸送，所述冷卻箱內(nèi)設(shè)置有水冷倉(cāng)以及風(fēng)干倉(cāng)，且通過(guò)設(shè)置在冷卻箱內(nèi)的擋水隔板進(jìn)行獨(dú)立區(qū)分，所述水冷倉(cāng)內(nèi)設(shè)置有冷卻機(jī)構(gòu)，所述風(fēng)干倉(cāng)內(nèi)設(shè)置有多個(gè)出風(fēng)口，所述多個(gè)出風(fēng)口上方正對(duì)硅棒件，每個(gè)出風(fēng)口內(nèi)均安裝有風(fēng)機(jī)，相鄰兩個(gè)出風(fēng)口之間設(shè)置有導(dǎo)向筒，所述導(dǎo)向筒與硅棒件間隙配合。

3、作為本實(shí)用新型一種可選的方案，所述防護(hù)罩殼頂部設(shè)置有觀察口，觀察口內(nèi)安裝有鋼化玻璃。

4、作為本實(shí)用新型一種可選的方案，所述料口上對(duì)稱設(shè)置有毛刷板，通過(guò)毛刷板將硅棒件進(jìn)行清理。

5、作為本實(shí)用新型一種可選的方案，所述牽引機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)向架，所述導(dǎo)向架對(duì)稱安裝在硅棒件兩側(cè)，所述導(dǎo)向架頂部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)端設(shè)置有輸送輪，通過(guò)輸送輪將單晶硅棒穩(wěn)定輸送，。

6、作為本實(shí)用新型一種可選的方案，所述冷卻機(jī)構(gòu)包括供水管組，所述供水管組分為三個(gè)管口，且其中兩個(gè)管口對(duì)稱分布，且均安裝有第一噴嘴，所述第一噴嘴斜對(duì)硅棒件，通過(guò)支撐架將第一噴嘴進(jìn)行固定安裝，另一管口頂部設(shè)置有第二噴嘴，所述第二噴嘴上方正對(duì)硅棒件，所述水冷倉(cāng)內(nèi)設(shè)置有漏水孔，所述水冷倉(cāng)底部設(shè)置有排水口，所述水冷倉(cāng)一側(cè)設(shè)置有進(jìn)水口，用于持續(xù)的供水。

7、作為本實(shí)用新型一種可選的方案，所述擋水隔板一側(cè)安裝有對(duì)稱的電動(dòng)缸，所述電動(dòng)缸推出端設(shè)置有海綿塊，所述海綿塊內(nèi)設(shè)置有卡槽，通過(guò)海綿塊進(jìn)行快速吸水。

8、本實(shí)用新型提供了一種單晶硅棒加工冷卻裝置，具備以下有益效果：

9、通過(guò)設(shè)置的驅(qū)動(dòng)電機(jī)，帶動(dòng)硅棒件輸送至冷卻箱內(nèi)，通過(guò)進(jìn)水口進(jìn)行持續(xù)供水，在第一噴嘴以及第二噴嘴的設(shè)置下，進(jìn)行全面的冷卻，硅棒件穿過(guò)擋水隔板進(jìn)入導(dǎo)向筒內(nèi)，期間，通過(guò)設(shè)置的電動(dòng)缸帶動(dòng)海綿塊進(jìn)行快速吸水，便于后期的風(fēng)干，設(shè)置的風(fēng)機(jī)對(duì)經(jīng)過(guò)的硅棒件進(jìn)行持續(xù)風(fēng)干，兩端設(shè)置的毛刷板可以對(duì)進(jìn)出的硅棒件進(jìn)行快速清理，避免冷卻前后硅棒件表面粘塵，提高硅棒件冷卻的穩(wěn)定性以及表面質(zhì)量。

技術(shù)特征：

1.一種單晶硅棒加工冷卻裝置，其特征在于：包括冷卻箱(1)，所述冷卻箱(1)上通過(guò)鉸鏈連接有防護(hù)罩殼(2)，且防護(hù)罩殼(2)通過(guò)連桿套件(101)與冷卻箱(1)連接，所述防護(hù)罩殼(2)兩側(cè)設(shè)置有料口，所述冷卻箱(1)兩端設(shè)置有牽引機(jī)構(gòu)，通過(guò)牽引機(jī)構(gòu)帶動(dòng)硅棒件(10)輸送，所述冷卻箱(1)內(nèi)設(shè)置有水冷倉(cāng)(3)以及風(fēng)干倉(cāng)(11)，且通過(guò)設(shè)置在冷卻箱(1)內(nèi)的擋水隔板(5)進(jìn)行獨(dú)立區(qū)分，所述水冷倉(cāng)(3)內(nèi)設(shè)置有冷卻機(jī)構(gòu)，所述風(fēng)干倉(cāng)(11)內(nèi)設(shè)置有多個(gè)出風(fēng)口(111)，所述多個(gè)出風(fēng)口(111)上方正對(duì)硅棒件(10)，每個(gè)出風(fēng)口(111)內(nèi)均安裝有風(fēng)機(jī)(13)，相鄰兩個(gè)出風(fēng)口(111)之間設(shè)置有導(dǎo)向筒(12)，所述導(dǎo)向筒(12)與硅棒件(10)間隙配合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒加工冷卻裝置，其特征在于：所述防護(hù)罩殼(2)頂部設(shè)置有觀察口(201)，觀察口(201)內(nèi)安裝有鋼化玻璃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒加工冷卻裝置，其特征在于：所述料口上對(duì)稱設(shè)置有毛刷板(202)，通過(guò)毛刷板(202)將硅棒件(10)進(jìn)行清理。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒加工冷卻裝置，其特征在于：所述牽引機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)向架(8)，所述導(dǎo)向架(8)對(duì)稱安裝在硅棒件(10)兩側(cè)，所述導(dǎo)向架(8)頂部設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電機(jī)(801)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(801)驅(qū)動(dòng)端設(shè)置有輸送輪(9)，通過(guò)輸送輪(9)將單晶硅棒穩(wěn)定輸送。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒加工冷卻裝置，其特征在于：所述冷卻機(jī)構(gòu)包括供水管組(4)，所述供水管組(4)分為三個(gè)管口，且其中兩個(gè)管口對(duì)稱分布，且均安裝有第一噴嘴(401)，所述第一噴嘴(401)斜對(duì)硅棒件(10)，通過(guò)支撐架(301)將第一噴嘴(401)進(jìn)行固定安裝，另一管口頂部設(shè)置有第二噴嘴(402)，所述第二噴嘴(402)上方正對(duì)硅棒件(10)，所述水冷倉(cāng)(3)內(nèi)設(shè)置有漏水孔(302)，所述水冷倉(cāng)(3)底部設(shè)置有排水口(102)，所述水冷倉(cāng)(3)一側(cè)設(shè)置有進(jìn)水口(103)，用于持續(xù)的供水。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅棒加工冷卻裝置，其特征在于：所述擋水隔板(5)一側(cè)安裝有對(duì)稱的電動(dòng)缸(6)，所述電動(dòng)缸(6)推出端設(shè)置有海綿塊(7)，所述海綿塊(7)內(nèi)設(shè)置有卡槽，通過(guò)海綿塊(7)進(jìn)行快速吸水。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種單晶硅棒加工冷卻裝置，包括冷卻箱，冷卻箱上通過(guò)鉸鏈連接有防護(hù)罩殼，且防護(hù)罩殼通過(guò)連桿套件與冷卻箱連接，提高整體強(qiáng)度，防護(hù)罩殼兩側(cè)設(shè)置有料口，冷卻箱兩端設(shè)置有牽引機(jī)構(gòu)，通過(guò)牽引機(jī)構(gòu)帶動(dòng)硅棒件輸送，冷卻箱內(nèi)設(shè)置有水冷倉(cāng)以及風(fēng)干倉(cāng)，且通過(guò)設(shè)置在冷卻箱內(nèi)的擋水隔板進(jìn)行獨(dú)立區(qū)分，水冷倉(cāng)內(nèi)設(shè)置有冷卻機(jī)構(gòu)，風(fēng)干倉(cāng)內(nèi)設(shè)置有多個(gè)出風(fēng)口，多個(gè)出風(fēng)口上方正對(duì)硅棒件，每個(gè)出風(fēng)口內(nèi)均安裝有風(fēng)機(jī)，相鄰兩個(gè)出風(fēng)口之間設(shè)置有導(dǎo)向筒，導(dǎo)向筒與硅棒件間隙配合，其優(yōu)點(diǎn)在于，可以對(duì)硅棒件進(jìn)行穩(wěn)定的清理，自動(dòng)輸送，快速水冷以及自動(dòng)吸水風(fēng)干，保證冷卻的同時(shí)還可以進(jìn)行表面清潔，大大提高硅棒件的整體質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：陳晶
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無(wú)錫藝新能源有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240508
技術(shù)公布日：2024/12/23