本技術(shù)涉及單晶硅的制造領(lǐng)域,具體而言,涉及一種護盤壓板和單晶爐。
背景技術(shù):
1、單晶爐拉制單晶可分為爐體裝置、加熱裝置、保溫裝置、冷卻裝置及提升裝置;其中原生硅料盛放在坩堝中通過加熱裝置將固體融化為液體,在運行過程中如果石英坩堝發(fā)生破裂就會導致硅液漏出流入下部造成整個下軸癱瘓無法運作,在爐底下部有護盤壓板,既可以盛住漏下去的硅液又可以反射部分熱量保證底部熱量的穩(wěn)定,不會造成熱量流失過多。
2、但,現(xiàn)有護盤壓板表面為平整面,發(fā)生漏硅事故硅液無法盛住,向兩側(cè)流出至爐底造成事故擴大;緊靠平面方式,熱量反射量較小。
3、鑒于此,特提出本申請。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本實用新型的目的在于提供一種護盤壓板和單晶爐,旨在改善背景技術(shù)提到的至少一種問題。
2、本實用新型的實施例是這樣實現(xiàn)的:
3、第一方面,本實用新型提供一種護盤壓板,包括板體,板體的一面上設(shè)置有多個錐面凹坑。
4、在可選的實施方式中,錐面凹坑的深度為4~6mm。
5、在可選的實施方式中,錐面凹坑的開口直徑大小為3~5mm。
6、在可選的實施方式中,錐面凹坑均勻布滿板體的一面。
7、在可選的實施方式中,相鄰的錐面凹坑之間的距離為0~2mm。
8、在可選的實施方式中,板體上還設(shè)置有多個裝配孔。
9、在可選的實施方式中,所有的錐面凹坑的尺寸相同。
10、第二方面,本實用新型提供一種單晶爐,包括設(shè)置在爐底的如前述實施方式任一項的護盤壓板,護盤壓板設(shè)置有錐面凹坑的一面朝向爐內(nèi)。
11、本實用新型實施例的有益效果是:
12、本實用新型提供的護盤壓板,在其一面設(shè)置錐面凹坑,在發(fā)生漏硅事故后錐面凹坑可盛住大量硅液,防止硅液流入爐底造成事故擴大;此外,錐面凹坑的設(shè)置加大了整個反射的表面積,使得爐底的保溫性極大的加強,整體爐內(nèi)熱平衡穩(wěn)定性提高,減少熱量的流失;保溫性的加強使得加熱器輸出熱量降低,從而能減少氧的產(chǎn)生,達到降耗降氧的效果。
1.一種護盤壓板,其特征在于,包括板體,所述板體的一面上設(shè)置有多個錐面凹坑。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的護盤壓板,其特征在于,所述錐面凹坑的深度為4~6mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的護盤壓板,其特征在于,所述錐面凹坑的開口直徑大小為3~5mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的護盤壓板,其特征在于,所述錐面凹坑均勻布滿所述板體的一面。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的護盤壓板,其特征在于,相鄰的所述錐面凹坑之間的距離為0~2mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的護盤壓板,其特征在于,所述板體上還設(shè)置有多個裝配孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求1~6任一項所述護盤壓板,其特征在于,所有的所述錐面凹坑的尺寸相同。
8.一種單晶爐,其特征在于,包括設(shè)置在爐底的如權(quán)利要求1~7任一項所述的護盤壓板,所述護盤壓板設(shè)置有所述錐面凹坑的一面朝向爐內(nèi)。