本技術(shù)涉及單晶硅制造，具體涉及一種直拉單晶爐中用于副室的導(dǎo)向裝置。

背景技術(shù)：

1、目前單晶硅行業(yè)為實現(xiàn)降本增效，推行自動化已成為主要任務(wù)之一。自動加料可節(jié)約成本，縮短工時，自動加料主要流程為：掛料筒、副室旋回、副室下降至下限。但在副室降低至下限時，常出現(xiàn)導(dǎo)向柱與導(dǎo)向孔出現(xiàn)偏差，導(dǎo)致副室無法降到下限位，嚴重的還會導(dǎo)致副室結(jié)構(gòu)變形，影響后續(xù)拉晶。

2、因此，提出本申請。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種直拉單晶爐中用于副室的導(dǎo)向裝置，通過設(shè)置導(dǎo)向套，使導(dǎo)向柱準確定位導(dǎo)向孔，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題。

2、為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用了以下方案：

3、一種直拉單晶爐中用于副室的導(dǎo)向裝置，包括主爐室和位于主爐室上方的副爐室，所述主爐室和副爐室的外周分別設(shè)有第一安裝塊和第二安裝塊，所述第一安裝塊的上方設(shè)有導(dǎo)向柱，所述第二安裝塊的下方設(shè)有導(dǎo)向套，所述導(dǎo)向柱貫穿導(dǎo)向套。

4、優(yōu)選地，所述導(dǎo)向套包括一體成型的圓柱狀的第一部和喇叭狀的第二部，所述第一部設(shè)有等徑的第一通孔，所述第二部設(shè)有變徑的第二通孔。

5、優(yōu)選地，所述第二安裝塊設(shè)有導(dǎo)向孔，所述導(dǎo)向孔分別與第一通孔、第二通孔頂端的孔徑相同。

6、優(yōu)選地，所述第一部設(shè)有第一螺孔，所述第二安裝塊設(shè)有第二螺孔，所述第二安裝塊與第一部之間設(shè)有沉頭螺釘，所述沉頭螺釘?shù)牡锥艘来谓?jīng)過第二螺孔和第一螺孔。

7、優(yōu)選地，所述第一螺孔為盲孔，所述第二螺孔為通孔并且為臺階孔。

8、優(yōu)選地，所述導(dǎo)向套采用四氟乙烯材質(zhì)，所述第一安裝塊和第二安裝塊采用金屬材質(zhì)。

9、優(yōu)選地，所述第二部的底部對稱設(shè)有裝配套筒的滑槽，所述套筒內(nèi)通過彈簧連接有活塞桿，所述活塞桿遠離彈簧的端部設(shè)有夾持板，所述夾持板的一側(cè)設(shè)有緩沖墊。

10、本實用新型具有的有益效果：

11、本實用新型主要通過設(shè)置第一部為圓柱狀及第二部為喇叭狀的導(dǎo)向套進行輔助導(dǎo)向，導(dǎo)向套增加原有第二安裝塊的高度，使導(dǎo)向柱先與第二部接觸，進行初步導(dǎo)向作用，從而在夾持板的作用下進行輔助夾持使導(dǎo)向柱依次進入第一通孔和導(dǎo)向孔定位，使導(dǎo)向柱能準確定位到導(dǎo)向孔，保證自動加料順利完成，減少事故的發(fā)生。

技術(shù)特征：

1.一種直拉單晶爐中用于副室的導(dǎo)向裝置，其特征在于，包括主爐室(1)和位于主爐室(1)上方的副爐室(2)，所述主爐室(1)和副爐室(2)的外周分別設(shè)有第一安裝塊(4)和第二安裝塊(5)，所述第一安裝塊(4)的上方設(shè)有導(dǎo)向柱(6)，所述第二安裝塊(5)的下方設(shè)有導(dǎo)向套(3)，所述導(dǎo)向柱(6)貫穿導(dǎo)向套(3)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直拉單晶爐中用于副室的導(dǎo)向裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向套(3)包括一體成型的圓柱狀的第一部(30)和喇叭狀的第二部(31)，所述第一部(30)設(shè)有等徑的第一通孔(301)，所述第二部(31)設(shè)有變徑的第二通孔(310)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種直拉單晶爐中用于副室的導(dǎo)向裝置，其特征在于，所述第二安裝塊(5)設(shè)有導(dǎo)向孔(51)，所述導(dǎo)向孔(51)分別與第一通孔(301)、第二通孔(310)頂端的孔徑相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種直拉單晶爐中用于副室的導(dǎo)向裝置，其特征在于，所述第一部(30)設(shè)有第一螺孔(300)，所述第二安裝塊(5)設(shè)有第二螺孔(50)，所述第二安裝塊(5)與第一部(30)之間設(shè)有沉頭螺釘(7)，所述沉頭螺釘(7)的底端依次經(jīng)過第二螺孔(50)和第一螺孔(300)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種直拉單晶爐中用于副室的導(dǎo)向裝置，其特征在于，所述第一螺孔(300)為盲孔，所述第二螺孔(50)為通孔并且為臺階孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種直拉單晶爐中用于副室的導(dǎo)向裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向套(3)采用四氟乙烯材質(zhì)，所述第一安裝塊(4)和第二安裝塊(5)采用金屬材質(zhì)。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種直拉單晶爐中用于副室的導(dǎo)向裝置，其特征在于，所述第二部(31)的底部對稱設(shè)有裝配套筒(312)的滑槽(311)，所述套筒(312)內(nèi)通過彈簧(314)連接有活塞桿(313)，所述活塞桿(313)遠離彈簧(314)的端部設(shè)有夾持板(315)，所述夾持板(315)的一側(cè)設(shè)有緩沖墊(316)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種直拉單晶爐中用于副室的導(dǎo)向裝置，包括主爐室和位于主爐室上方的副爐室，所述主爐室和副爐室的外周分別設(shè)有第一安裝塊和第二安裝塊，所述第一安裝塊的上方設(shè)有導(dǎo)向柱，所述第二安裝塊的下方設(shè)有導(dǎo)向套，所述導(dǎo)向柱貫穿導(dǎo)向套。使導(dǎo)向柱能準確定位到導(dǎo)向孔，提高導(dǎo)向效率，保證自動加料順利完成，減少事故的發(fā)生。

技術(shù)研發(fā)人員：周惠,關(guān)樹軍,洪華,路建華
受保護的技術(shù)使用者：樂山市京運通半導(dǎo)體材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240523
技術(shù)公布日：2024/12/30