本技術(shù)涉及擴(kuò)散裝置，具體為晶圓保溫擴(kuò)散裝置。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體立式爐的工藝過程中，擴(kuò)散爐用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝，擴(kuò)散工藝的主要用途是在高溫條件下對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行摻雜，即將元素磷、硼擴(kuò)散入晶圓，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。

2、目前行業(yè)內(nèi)臥式爐采用的進(jìn)氣方式大多為前端進(jìn)氣，后端出氣，現(xiàn)有立式擴(kuò)散爐需要改進(jìn)進(jìn)氣方式以增加腔室內(nèi)氣體的均勻性，使進(jìn)入擴(kuò)散爐內(nèi)的氣體更加的均勻，工藝反應(yīng)更加完善。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供晶圓保溫擴(kuò)散裝置，以解決上述背景技術(shù)提出的的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：晶圓保溫擴(kuò)散裝置，包括擴(kuò)散爐爐體，所述擴(kuò)散爐爐體內(nèi)部設(shè)置有均流裝置，所述擴(kuò)散爐爐體兩側(cè)外壁分別設(shè)置有進(jìn)氣主管和出氣管，所述進(jìn)氣主管與均流裝置之間設(shè)置有進(jìn)氣副管，所述擴(kuò)散爐爐體底部設(shè)置有爐門。

3、作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步描述：所述均流裝置包括集氣罩，所述集氣罩為截面為上窄下寬的梯形，進(jìn)氣副管遠(yuǎn)離進(jìn)氣主管的一端穿過擴(kuò)散爐爐體與集氣罩固定連接。

4、作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步描述：所述集氣罩底部固定安裝有固定框，所述固定框固定安裝在擴(kuò)散爐爐體內(nèi)部，所述固定框內(nèi)部設(shè)置有主導(dǎo)風(fēng)板，所述主導(dǎo)風(fēng)板內(nèi)部貫穿有驅(qū)動軸，所述驅(qū)動軸與固定框轉(zhuǎn)動連接，且驅(qū)動軸穿過擴(kuò)散爐爐體與外界電機(jī)連接。

5、作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步描述：所述固定框內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有多組副導(dǎo)風(fēng)板，所述副導(dǎo)風(fēng)板位于主導(dǎo)風(fēng)板的兩側(cè)，所述主導(dǎo)風(fēng)板和副導(dǎo)風(fēng)板下端正背面?zhèn)缺谠O(shè)置有聯(lián)動板，所述聯(lián)動板與主導(dǎo)風(fēng)板和副導(dǎo)風(fēng)板之間轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)動軸。

6、作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步描述：所述爐門上表面固定安裝有密封件，所述密封件的截面尺寸與擴(kuò)散爐爐體內(nèi)腔截面尺寸相同，所述密封件上表面固定安裝有支撐架，所述支撐架上固定安裝有多組上下等距分布的保溫層。

7、作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步描述：所述進(jìn)氣主管和出氣管遠(yuǎn)離擴(kuò)散爐爐體的一端均固定安裝有法蘭環(huán)。

8、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

9、本實(shí)用新型通過在晶圓保溫擴(kuò)散裝置上設(shè)計均流裝置，使用時，啟動與驅(qū)動軸連接的電機(jī)，以帶動主導(dǎo)風(fēng)板旋轉(zhuǎn)，因主導(dǎo)風(fēng)板與副導(dǎo)風(fēng)板之間安裝有聯(lián)動板，因此可在主導(dǎo)風(fēng)板旋轉(zhuǎn)時，帶動副導(dǎo)風(fēng)板跟隨轉(zhuǎn)動，從而調(diào)整進(jìn)氣副管輸送氣體的方向，使其在擴(kuò)散爐爐體內(nèi)部均勻擴(kuò)散，避免氣體在爐內(nèi)堆積，使得工藝反應(yīng)更加完善，可以減少氣流紊亂現(xiàn)象，增加工藝的穩(wěn)定性。

技術(shù)特征：

1.晶圓保溫擴(kuò)散裝置，包括擴(kuò)散爐爐體(1)，其特征在于：所述擴(kuò)散爐爐體(1)內(nèi)部設(shè)置有均流裝置(2)，所述擴(kuò)散爐爐體(1)兩側(cè)外壁分別設(shè)置有進(jìn)氣主管(3)和出氣管(5)，所述進(jìn)氣主管(3)與均流裝置(2)之間設(shè)置有進(jìn)氣副管(4)，所述擴(kuò)散爐爐體(1)底部設(shè)置有爐門(6)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓保溫擴(kuò)散裝置，其特征在于：所述均流裝置(2)包括集氣罩(201)，所述集氣罩(201)為截面為上窄下寬的梯形，進(jìn)氣副管(4)遠(yuǎn)離進(jìn)氣主管(3)的一端穿過擴(kuò)散爐爐體(1)與集氣罩(201)固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓保溫擴(kuò)散裝置，其特征在于：所述集氣罩(201)底部固定安裝有固定框(202)，所述固定框(202)固定安裝在擴(kuò)散爐爐體(1)內(nèi)部，所述固定框(202)內(nèi)部設(shè)置有主導(dǎo)風(fēng)板(203)，所述主導(dǎo)風(fēng)板(203)內(nèi)部貫穿有驅(qū)動軸(205)，所述驅(qū)動軸(205)與固定框(202)轉(zhuǎn)動連接，且驅(qū)動軸(205)穿過擴(kuò)散爐爐體(1)與外界電機(jī)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓保溫擴(kuò)散裝置，其特征在于：所述固定框(202)內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有多組副導(dǎo)風(fēng)板(204)，所述副導(dǎo)風(fēng)板(204)位于主導(dǎo)風(fēng)板(203)的兩側(cè)，所述主導(dǎo)風(fēng)板(203)和副導(dǎo)風(fēng)板(204)下端正背面?zhèn)缺谠O(shè)置有聯(lián)動板(206)，所述聯(lián)動板(206)與主導(dǎo)風(fēng)板(203)和副導(dǎo)風(fēng)板(204)之間轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)動軸(207)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓保溫擴(kuò)散裝置，其特征在于：所述爐門(6)上表面固定安裝有密封件(7)，所述密封件(7)的截面尺寸與擴(kuò)散爐爐體(1)內(nèi)腔截面尺寸相同，所述密封件(7)上表面固定安裝有支撐架(8)，所述支撐架(8)上固定安裝有多組上下等距分布的保溫層(9)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓保溫擴(kuò)散裝置，其特征在于：所述進(jìn)氣主管(3)和出氣管(5)遠(yuǎn)離擴(kuò)散爐爐體(1)的一端均固定安裝有法蘭環(huán)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提出晶圓保溫擴(kuò)散裝置，包括擴(kuò)散爐爐體，其特征在于：擴(kuò)散爐爐體內(nèi)部設(shè)置有均流裝置，擴(kuò)散爐爐體兩側(cè)外壁分別設(shè)置有進(jìn)氣主管和出氣管，進(jìn)氣主管與均流裝置之間設(shè)置有進(jìn)氣副管，擴(kuò)散爐爐體底部設(shè)置有爐門。本技術(shù)通過在晶圓保溫擴(kuò)散裝置上設(shè)計均流裝置，使用時，啟動與驅(qū)動軸連接的電機(jī)，以帶動主導(dǎo)風(fēng)板旋轉(zhuǎn)，因主導(dǎo)風(fēng)板與副導(dǎo)風(fēng)板之間安裝有聯(lián)動板，因此可在主導(dǎo)風(fēng)板旋轉(zhuǎn)時，帶動副導(dǎo)風(fēng)板跟隨轉(zhuǎn)動，從而調(diào)整進(jìn)氣副管輸送氣體的方向，使其在擴(kuò)散爐爐體內(nèi)部均勻擴(kuò)散，避免氣體在爐內(nèi)堆積，使得工藝反應(yīng)更加完善，可以減少氣流紊亂現(xiàn)象，增加工藝的穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員：陳偉濤,陳曉娜
受保護(hù)的技術(shù)使用者：深圳市億港電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240524
技術(shù)公布日：2024/12/30