本技術(shù)涉及上游防護(hù)片，具體涉及一種分段式的上游防護(hù)片。

背景技術(shù)：

1、碳化硅外延反應(yīng)室的上游防護(hù)片作用為防止旋轉(zhuǎn)基座盤(pán)飛出，傳統(tǒng)的上游防護(hù)片為一體式結(jié)構(gòu)，使用lpe106外延爐進(jìn)行碳化硅外延生長(zhǎng)過(guò)程中，上游防護(hù)片只有靠近源氣的一側(cè)容易附著上外延反應(yīng)產(chǎn)物，進(jìn)而容易出現(xiàn)熱膨脹導(dǎo)致防護(hù)片形變，影響氣流，需要頻繁更換，且在進(jìn)行更換時(shí)往往需要將整個(gè)上游防護(hù)片都更換掉，經(jīng)濟(jì)成本較高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型旨在提供一種分段式的上游防護(hù)片,以解決上述存在的技術(shù)問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：一種分段式的上游防護(hù)片,包括前端防護(hù)片與后端防護(hù)片，后端防護(hù)片的內(nèi)側(cè)為弧形支撐口，弧形支撐口用于安裝在旋轉(zhuǎn)基座盤(pán)的周向外圍以形成防護(hù)支撐。

3、優(yōu)選地，前端防護(hù)片的厚度朝遠(yuǎn)離后端防護(hù)片的方向而逐漸減小。

4、優(yōu)選地，前端防護(hù)片的頂面為平面，底面為傾斜面，且該傾斜面為朝遠(yuǎn)離后端防護(hù)片的方向而逐漸向上傾斜。

5、優(yōu)選地，前端防護(hù)片上設(shè)置有tac涂層。

6、優(yōu)選地，在俯視視角下，后端防護(hù)片的外側(cè)呈l形直角結(jié)構(gòu)，前端防護(hù)片呈矩形結(jié)構(gòu)，前端防護(hù)片與l形直角結(jié)構(gòu)的其中一個(gè)直角邊平齊設(shè)置。

7、優(yōu)選地，后端防護(hù)片包括底層防護(hù)片與固定在底層防護(hù)片上的頂層防護(hù)片，前端防護(hù)片的頂面與頂層防護(hù)片的頂面處于同一水平高度。

8、優(yōu)選地，弧形支撐口包括分別位于底層防護(hù)片與頂層防護(hù)片內(nèi)側(cè)的底層弧形支撐口、頂層弧形支撐口，底層弧形支撐口與頂層弧形支撐口同弧心設(shè)置，且頂層弧形支撐口相比于底層弧形支撐口更靠近外側(cè)。

9、本實(shí)用新型具有以下有益效果：

10、本實(shí)用新型包括前端防護(hù)片與后端防護(hù)片，后端防護(hù)片的內(nèi)側(cè)為弧形支撐口，弧形支撐口用于安裝在旋轉(zhuǎn)基座盤(pán)的周向外圍以形成防護(hù)支撐，通過(guò)將上游防護(hù)片設(shè)計(jì)為分段式結(jié)構(gòu)，即包括前端防護(hù)片與后端防護(hù)片，使得在使用lpe106外延爐進(jìn)行碳化硅外延生長(zhǎng)過(guò)程中，上游防護(hù)片靠近源氣的一端的前端防護(hù)片不易附著上外延反應(yīng)產(chǎn)物，不易出現(xiàn)熱膨脹導(dǎo)致發(fā)生形變，保證氣流穩(wěn)定，同時(shí)也不會(huì)對(duì)后端防護(hù)片產(chǎn)生影響，從而只需要單獨(dú)對(duì)前端防護(hù)片進(jìn)行更換即可，不需要對(duì)整個(gè)上游防護(hù)片進(jìn)行更換，節(jié)省了經(jīng)濟(jì)成本。

技術(shù)特征：

1.一種分段式的上游防護(hù)片,其特征在于：包括前端防護(hù)片與后端防護(hù)片，后端防護(hù)片的內(nèi)側(cè)為弧形支撐口，弧形支撐口用于安裝在旋轉(zhuǎn)基座盤(pán)的周向外圍以形成防護(hù)支撐。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分段式的上游防護(hù)片,其特征在于：前端防護(hù)片的厚度朝遠(yuǎn)離后端防護(hù)片的方向而逐漸減小。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分段式的上游防護(hù)片,其特征在于：前端防護(hù)片的頂面為平面，底面為傾斜面，且該傾斜面為朝遠(yuǎn)離后端防護(hù)片的方向而逐漸向上傾斜。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分段式的上游防護(hù)片,其特征在于：前端防護(hù)片上設(shè)置有tac涂層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分段式的上游防護(hù)片,其特征在于：在俯視視角下，后端防護(hù)片的外側(cè)呈l形直角結(jié)構(gòu)，前端防護(hù)片呈矩形結(jié)構(gòu)，前端防護(hù)片與l形直角結(jié)構(gòu)的其中一個(gè)直角邊平齊設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分段式的上游防護(hù)片,其特征在于：后端防護(hù)片包括底層防護(hù)片與固定在底層防護(hù)片上的頂層防護(hù)片，前端防護(hù)片的頂面與頂層防護(hù)片的頂面處于同一水平高度。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的分段式的上游防護(hù)片,其特征在于：弧形支撐口包括分別位于底層防護(hù)片與頂層防護(hù)片內(nèi)側(cè)的底層弧形支撐口、頂層弧形支撐口，底層弧形支撐口與頂層弧形支撐口同弧心設(shè)置，且頂層弧形支撐口相比于底層弧形支撐口更靠近外側(cè)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種分段式的上游防護(hù)片,包括前端防護(hù)片與后端防護(hù)片，后端防護(hù)片的內(nèi)側(cè)為弧形支撐口，弧形支撐口用于安裝在旋轉(zhuǎn)基座盤(pán)的周向外圍以形成防護(hù)支撐，通過(guò)將上游防護(hù)片設(shè)計(jì)為分段式結(jié)構(gòu)，即包括前端防護(hù)片與后端防護(hù)片，使得在使用LPE106外延爐進(jìn)行碳化硅外延生長(zhǎng)過(guò)程中，上游防護(hù)片靠近源氣的一端的前端防護(hù)片不易附著上外延反應(yīng)產(chǎn)物，不易出現(xiàn)熱膨脹導(dǎo)致發(fā)生形變，保證氣流穩(wěn)定，同時(shí)也不會(huì)對(duì)后端防護(hù)片產(chǎn)生影響，從而只需要單獨(dú)對(duì)前端防護(hù)片進(jìn)行更換即可，不需要對(duì)整個(gè)上游防護(hù)片進(jìn)行更換，節(jié)省了經(jīng)濟(jì)成本。

技術(shù)研發(fā)人員：黃毅龍,孫永強(qiáng),李凱希,趙俊杰,張澤康,熊壯,馮淦,趙建輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：瀚天天成電子科技（廈門(mén)）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240528
技術(shù)公布日：2025/1/9