專利名稱:低溫等離子體放電管的制作方法
技術領域:
本實用新型是一種低溫等離子體放電管。
目前,在低溫等離子體處理工業(yè)廢氣等裝置中使用的放電管,其外電極一般為管狀,內(nèi)電極為棒狀,并用絕緣材料如陶瓷管等作為單電介質(zhì)層。管狀外電極套在管狀絕緣材料外側。這種結構的放電管往往出現(xiàn)絲狀電放或局部放電現(xiàn)象,使放電不均勻。此外,氣體通過放電區(qū)域時,分子會被解離,同時生成大量自由基或其他活性物質(zhì)等。而管狀外電極的放電區(qū)域是連續(xù)的,于是這些活性物質(zhì)將反復受到電激活,直到流出放電管,其能量不能得到充分利用,因而使工作效率不高。另外,用該放電管處理工業(yè)廢氣時,需要大功率電源,且連續(xù)運作棒狀內(nèi)電極容易發(fā)熱,影響使用壽命。
本實用新型的目的在于提供一種能夠大大提高工作效率,且可適合于大功率連續(xù)運轉工作狀態(tài)的低溫等離子體放電管。
本實用新型設計的低溫等離子體放電管由內(nèi)、外電極和隔阻電介質(zhì)構成。其中電介質(zhì)采用內(nèi)、外管雙層結構形式,內(nèi)、外管之間有通氣空間,外電極采用帶狀形式,以螺旋形狀纏繞于外管外側面,內(nèi)電極采用管狀或絲狀結構,置于內(nèi)管里面。內(nèi)、外管在兩端處同軸固定,需處理的氣體可進入放電管的內(nèi)、外管之間。內(nèi)管可通氣或通水,以便對內(nèi)電極進行氣冷或水冷。其結構如
圖1和圖2所示。
本實用新型設計的放電管,其內(nèi)、外管采用絕緣材料,如陶瓷或石英、玻璃等,長度一般為100~500mm,壁厚2-3mm,外管的內(nèi)徑一般為15~100mm,內(nèi)管外徑可為10~96mm。
本放電管的內(nèi)、外電極可采用不銹鋼或鎳或其它金屬材料,帶狀外電極寬度為5-20mm,內(nèi)電極直徑只要小于內(nèi)管內(nèi)徑即可。內(nèi)、外電極分別與電源連接。
本實用新型設計的低溫等離子體放電管,由于外電極成螺旋狀,每一個放電區(qū)域具有一定間隔,氣體中的活性粒子在非放電區(qū)域中有一定時間與有害氣體分子作用,使有害氣體分子產(chǎn)生充分的化學變化。這樣,使這些活性物質(zhì)的能量得到充分利用,其結果是對有害氣體的去除率大為提高,即提高了能量的利用效率,也提高了處理廢氣的工作效率。而且,由于電介質(zhì)采用雙層管狀結構,處理的氣體從兩管中間流過,避免了絲狀放電或局部放電現(xiàn)象,使放電均勻,也有利于提高處理廢氣的工作效率。由于對內(nèi)電極設計有冷卻裝置(內(nèi)管通氣或通水),可避免因長時間連續(xù)運轉而產(chǎn)生的高溫,延長使用壽命。
本實用新型設計的低溫等離子體放電管可用于工業(yè)廢氣處理裝置,也可以用于臭氧發(fā)生裝置等。
圖1為本實用新型設計的放電管的結構圖。
圖2為本放電管的兩端的內(nèi)、外管的叉形固定支架。
其中,1為外管,2為內(nèi)管,3為外電極,4為內(nèi)電極,5為上支架,6為下支架。
實施例如附圖所示,內(nèi)、外管采用石英玻璃材料制作,放電管長度為300mm,外管1的內(nèi)徑為40mm,內(nèi)管2外徑10mm,帶狀外電極3采用不銹鋼材料,帶寬為5mm,以螺旋形狀纏繞于外管外側面,螺距為5mm。內(nèi)電極4采用不銹鋼管,外直徑為8mm,置于內(nèi)管2中間。上、下支架5和6制成三叉形狀,將內(nèi)、外管同軸固定。本放電管可用于低溫等離子體處理工業(yè)廢氣的裝置。
權利要求1.一種低溫等離子體放電管,由內(nèi)、外電極和隔阻電介質(zhì)構成,其特征在于隔阻介質(zhì)采用內(nèi)、外管雙層結構形式,在兩端處同軸固定,內(nèi)、外管之間有通氣空間,外電極采用帶狀金屬,以螺旋形狀纏繞于外管外側面,內(nèi)電極采用管狀或絲狀結構,置于內(nèi)管里面,內(nèi)管可通氣或通水。
2.根據(jù)權利要求1所述的低溫等離子體放電管,其特征在于所說的放電管長度為100~500mm,壁厚2-3mm,外管內(nèi)徑15~100mm,內(nèi)管外徑10~96mm。
3.根據(jù)權利要求1所述的低溫等離子體放電管,其特征在于所說的帶狀外電極寬度為5-20mm,內(nèi)電極外直徑小于內(nèi)管內(nèi)徑。
專利摘要本實用新型是一種低溫等離子體放電管,其隔阻介質(zhì)利用內(nèi)、外管狀雙層結構形式,同軸固定。外電極采用帶狀形式以螺旋形狀纏繞于外管外側面,內(nèi)電極采用管狀或絲狀結構,置于內(nèi)管里面。內(nèi)管可通氣或通水,對內(nèi)電極進行冷卻。本放電管可避免絲狀放電或局部放電現(xiàn)象,使放電均勻;可充分利用由電離產(chǎn)生的活性粒子的能量,提高工作效率;可防止因長時間連續(xù)運轉而產(chǎn)生的高溫,延長使用壽命。本放電管可用于工業(yè)廢氣處理裝置和臭氧發(fā)生裝置等。
文檔編號C01B13/11GK2312518SQ9724275
公開日1999年3月31日 申請日期1997年11月28日 優(yōu)先權日1997年11月28日
發(fā)明者侯惠奇, 劉先年, 潘循晢, 張振滿 申請人:復旦大學