一種磷化銦多晶無液封合成裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種磷化銦多晶的合成裝置，尤其是涉及一種磷化銦多晶的無液封接合成裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科技的發(fā)展和進(jìn)步，半導(dǎo)體材料愈來愈多地應(yīng)用在光電器件中，例如磷化銦多晶等材料，而磷化銦多晶等材料需要合成，目前現(xiàn)有的磷化銦多晶的合成工藝存在著眾多缺陷和不便，合成的磷化銦多晶結(jié)晶性不好并且成品率較低。因此，尋找一種能夠避免以上缺陷的無液封接合成裝置成為目前最為迫切的需要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明提供一種磷化銦多晶無液封合成裝置，包括合成爐體和位于合成爐體內(nèi)的石墨系統(tǒng)，石墨系統(tǒng)包括保溫單兀、加熱單兀和合成單兀，保溫單兀包括石墨保溫罩和石墨保溫桶，加熱單元包括電極、加熱器和外圍溫控電路，合成單元、以及加熱單元中的電極和加熱器位于保溫單元的內(nèi)部，加熱單元中的加熱器和電極位于合成單元外圍中下部，合成單元包括石墨坩堝蓋、石墨坩堝和氮化硼坩堝，其特征在于，所述石墨系統(tǒng)還包括使合成單元升降轉(zhuǎn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)單元，運(yùn)動(dòng)單元與合成單元、合成爐體相連接；石墨坩堝和石墨坩堝蓋在連接處設(shè)計(jì)臺(tái)階形狀相吻合。
【具體實(shí)施方式】
[0004]下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本發(fā)明。應(yīng)理解，這些實(shí)施例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本發(fā)明講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明作各種改動(dòng)或修改，這些等價(jià)形式同樣落于本申請(qǐng)所附權(quán)利要求書所限定的范圍。
[0005]該磷化銦多晶無液封合成裝置，包括合成爐體和位于合成爐體內(nèi)的石墨系統(tǒng)，石墨系統(tǒng)包括保溫單元、加熱單元和合成單元，保溫單元包括石墨保溫罩和石墨保溫桶，加熱單元包括電極、加熱器和外圍溫控電路，合成單元、以及加熱單元中的電極和加熱器位于保溫單元的內(nèi)部，加熱單元中的加熱器和電極位于合成單元外圍中下部，合成單元包括石墨坩堝蓋、石墨坩堝和氮化硼坩堝，其特征在于，所述石墨系統(tǒng)還包括使合成單元升降轉(zhuǎn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)單元，運(yùn)動(dòng)單元與合成單元、合成爐體相連接；石墨坩堝和石墨坩堝蓋在連接處設(shè)計(jì)臺(tái)階形狀相吻合。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種磷化銦多晶無液封合成裝置，包括合成爐體和位于合成爐體內(nèi)的石墨系統(tǒng)，石墨系統(tǒng)包括保溫單元、加熱單元和合成單元，保溫單元包括石墨保溫罩和石墨保溫桶，加熱單元包括電極、加熱器和外圍溫控電路，合成單元、以及加熱單元中的電極和加熱器位于保溫單元的內(nèi)部，加熱單元中的加熱器和電極位于合成單元外圍中下部，合成單元包括石墨坩堝蓋、石墨坩堝和氮化硼坩堝，其特征在于，所述石墨系統(tǒng)還包括使合成單元升降轉(zhuǎn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)單元，運(yùn)動(dòng)單元與合成單元、合成爐體相連接；石墨坩堝和石墨坩堝蓋在連接處設(shè)計(jì)臺(tái)階形狀相吻合。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種磷化銦多晶無液封合成裝置，包括合成爐體和位于合成爐體內(nèi)的石墨系統(tǒng)，石墨系統(tǒng)包括保溫單元、加熱單元和合成單元，保溫單元包括石墨保溫罩和石墨保溫桶，加熱單元包括電極、加熱器和外圍溫控電路，合成單元、以及加熱單元中的電極和加熱器位于保溫單元的內(nèi)部，加熱單元中的加熱器和電極位于合成單元外圍中下部，合成單元包括石墨坩堝蓋、石墨坩堝和氮化硼坩堝，其特征在于，所述石墨系統(tǒng)還包括使合成單元升降轉(zhuǎn)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)單元，運(yùn)動(dòng)單元與合成單元、合成爐體相連接；石墨坩堝和石墨坩堝蓋在連接處設(shè)計(jì)臺(tái)階形狀相吻合。
【IPC分類】C30B29-40, C30B28-04
【公開號(hào)】CN104695013
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310646123
【發(fā)明人】王雪梅, 孟憲斌
【申請(qǐng)人】青島潤(rùn)鑫偉業(yè)科貿(mào)有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請(qǐng)日】2013年12月4日