玻璃微粒沉積體的制造方法以及玻璃母材的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及通過OVD法（外部沉積法）、VAD法（氣相軸向沉積法）、MMD法（多燃 燒器多層沉積法）等使玻璃微粒沉積在起始棒上來制造玻璃微粒沉積體的玻璃微粒沉積 體制造方法以及對該玻璃微粒沉積體進行加熱從而使其透明化的玻璃母材制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 作為現(xiàn)有的玻璃母材制造方法，已知的是包括以下工序的制造方法：通過OVD法 或VAD法等制作玻璃微粒沉積體的沉積工序，以及對該玻璃微粒沉積體進行加熱從而制作 透明的玻璃母材的透明化工序。
[0003] 例如，專利文獻1公開了可在預(yù)制件（玻璃母材）形成時使用的、能使不含鹵化物 的八甲基環(huán)四硅氧烷（OMCTS)等含硅化合物氧化的精密燃燒器。
[0004] 專利文獻2公開了能夠使SiCl4&GeCl4或OMCTS等含硅化合物發(fā)生水解反應(yīng)或 氧化反應(yīng)的線型燃燒器。
[0005] [現(xiàn)有技術(shù)文獻]
[0006] [專利文獻]
[0007] 專利文獻1 :日本特表平11-510778號公報
[0008] 專利文獻2 :美國專利6743011號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009] 發(fā)明要解決的問題
[0010] 然而，在專利文獻1以及專利文獻2中記載的燃燒器中，將在燃燒器的火焰內(nèi)生成 的玻璃微粒沉積在起始棒上從而制造玻璃微粒沉積體時，在提高玻璃原料收率的方面有改 善的余地。
[0011] 因此，本發(fā)明是鑒于以上問題而進行的，且其目的在于提供能夠提高玻璃微粒沉 積體的玻璃原料收率的玻璃微粒沉積體的制造方法以及玻璃母材的制造方法。
[0012] 解決問題的方案
[0013] 作為可以解決上述課題的微粒沉積體的制造方法，本發(fā)明具有如下的沉積工序： 在反應(yīng)容器內(nèi)設(shè)置起始棒和玻璃微粒生成用燃燒器，向所述燃燒器中導(dǎo)入玻璃原料，在所 述燃燒器所形成的火焰內(nèi)使玻璃原料發(fā)生火焰熱分解反應(yīng)以生成玻璃微粒，并且使生成的 玻璃微粒沉積在所述起始棒上，從而制作玻璃微粒沉積體；
[0014] 在所述沉積工序中，每一個燃燒器至少設(shè)置兩個從所述燃燒器噴出玻璃原料的出 射口，并將從一個玻璃原料的出射口噴出的玻璃原料的流速設(shè)為4m/s以上60m/s以下。
[0015] 另外，作為可以解決上述課題的玻璃母材的制造方法，本發(fā)明提供這樣一種玻璃 母材的制造方法，其具有如下的透明化工序：通過上述任意一種玻璃微粒沉積體的制造方 法而制造玻璃微粒沉積體，對該制造的玻璃微粒沉積體進行加熱來制造透明的玻璃母材。
[0016] 發(fā)明的效果
[0017] 根據(jù)本發(fā)明的玻璃微粒沉積體的制造方法以及玻璃母材的制造方法，可以提高玻 璃微粒沉積體的玻璃原料收率。
[0018] 附圖簡要說明
[0019] 圖1是示出可以實施本發(fā)明的實施方式的一個例子的玻璃微粒沉積體的制造方 法的制造裝置的構(gòu)成圖。
[0020] 圖2(a)是從燃燒器面一側(cè)觀察在圖1所示的制造裝置中生成玻璃微粒的燃燒器 的一個例子的平面圖，（b)是（a)的平面圖的燃燒器面的原料噴口附近的放大圖。
[0021] 圖3示出了本發(fā)明的實施方式所述的燃燒器的原料噴口的其他例子，并且是燃燒 器面的原料噴口附近的放大圖。
[0022] 圖4是示出在圖1所示的制造裝置中生成玻璃微粒的燃燒器的另一個例子的前視 圖。
【具體實施方式】
[0023] (本發(fā)明的實施方式的說明）
[0024] 首先，舉例說明本發(fā)明的實施方式的內(nèi)容。
[0025] 本發(fā)明的玻璃微粒沉積體的制造方法的實施方式的一個例子具有以下（1)~（9) 的任一特征。
[0026] (1) 一種玻璃微粒沉積體的制造方法，具有如下的沉積工序：在反應(yīng)容器內(nèi)設(shè)置 起始棒和玻璃微粒生成用燃燒器，向所述燃燒器中導(dǎo)入玻璃原料，在所述燃燒器所形成的 火焰內(nèi)使玻璃原料發(fā)生火焰熱分解反應(yīng)以生成玻璃微粒，并且使生成的玻璃微粒沉積在所 述起始棒上，從而制作玻璃微粒沉積體；
[0027] 在所述沉積工序中，每一個燃燒器至少設(shè)置兩個從所述燃燒器噴出玻璃原料的出 射口，并將從一個玻璃原料的出射口噴出的玻璃原料的流速設(shè)為4m/s以上60m/s以下。
[0028] 根據(jù)具有這種特征的玻璃微粒沉積體的制造方法，使從玻璃微粒生成用燃燒器的 各出射口噴出的玻璃原料適當(dāng)擴展，可以促進玻璃原料和形成火焰的氣體的攪拌，從而提 高玻璃原料收率。
[0029] (2)在具有上述（1)的特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積工序中，優(yōu) 選上述每一個燃燒器設(shè)置三個以上的上述出射口。
[0030] (3)在具有上述（1)的特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積工序中，優(yōu) 選上述每一個燃燒器設(shè)置五個以上的上述出射口。
[0031] (4)在具有上述⑴~（3)中任一特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積 工序中，優(yōu)選將從上述一個玻璃原料的出射口噴出的原料玻璃的流速設(shè)為lOm/s以上40m/ s以下。
[0032] (5)在具有上述（1)~（3)的任一特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積 工序中，優(yōu)選將從上述一個玻璃原料的出射口噴出的原料玻璃的流速設(shè)為15m/s以上30m/ s以下。
[0033] (6)在具有上述（1)~（3)的任一特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積 工序中，優(yōu)選將上述玻璃原料以氣體狀態(tài)供給至各上述出射口。
[0034] (7)在具有上述（1)~（3)的任一特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積 工序中，優(yōu)選使上述玻璃原料成為氣體狀態(tài)，并將上述氣體狀態(tài)的玻璃原料和惰性氣體混 合，從而供給至各上述出射口。
[0035] (8)在具有上述（1)~（7)的任一特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積 工序中，優(yōu)選供給至上述燃燒器的上述玻璃原料為硅氧烷。
[0036] 根據(jù)該構(gòu)成，在生成玻璃微粒時不會產(chǎn)生HC1等有害物質(zhì)，并且可以抑制玻璃微 粒沉積體的制造成本。
[0037] (9)在具有上述（1)~（7)的任一特征的玻璃微粒沉積體的制造方法的上述沉積 工序中，優(yōu)選供給至上述燃燒器的上述玻璃原料為八甲基環(huán)四硅氧烷（OMCTS)。
[0038] 本發(fā)明的玻璃母材的制造方法的實施方式的一個例子具有以下（10)或（11)的任 一特征。
[0039] (10)通過上述（1)~（9)中的任一玻璃微粒沉積體的制造方法制造玻璃微粒沉積 體，并且具有對該制造的玻璃微粒沉積體進行加熱，從而制造透明的玻璃母材的透明化工 序。
[0040] 根據(jù)具有這種特征的玻璃母材的制造方法，能夠提高玻璃微粒沉積體的玻璃原料 收率。
[0041] (11)在上述（10)的玻璃母材的制造方法中，優(yōu)選通過OVD法、VAD法、MMD法中的 任意一種進行上述沉積工序中的玻璃微粒向上述起始棒的沉積。
[0042] (本發(fā)明的實施方式的具體內(nèi)容）
[0043] 基于圖1~圖4對本發(fā)明的玻璃微粒沉積體的制造方法以及玻璃母材的制造方 法的實施方式的一個例子進行說明。需要說明的是，以下的說明中，作為玻璃微粒沉積體 的制造方法，列舉使用〇VD(OutsideVaporDeposition)法的例子，但在以下說明的實施 方式中，可以用作玻璃微粒沉積體的制造方法的方法不限于0VD法。也可以使用與0VD法 一樣從玻璃原料中利用火焰熱分解反應(yīng)使玻璃沉積的方法，例如，VAD(VaporPhaseAxial Deposition)法或MMD(MultiburnerMultilayerDeposition)法等。
[0044] 圖1是能夠