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一種彩色氧化鋁寶石單晶的生長(zhǎng)方法

文檔序號(hào):8454384閱讀:500來源:國(guó)知局
一種彩色氧化鋁寶石單晶的生長(zhǎng)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種單晶的生長(zhǎng)方法,具體涉及一種彩色氧化鋁寶石單晶的生長(zhǎng)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中有關(guān)彩色氧化鋁寶石單晶的生長(zhǎng)方法有很多,有火焰法、水熱法、泡生法等,其中火焰法是目前生長(zhǎng)氧化鋁寶石最常用的方法,但是由于該方法的溫度梯度很大,不適合生長(zhǎng)大尺寸的寶石晶體,而且采用該方法生長(zhǎng)的寶石晶體中存在很大的熱應(yīng)力,很容易在生長(zhǎng)后期造成晶體的開裂;采用水熱法生長(zhǎng)的寶石晶體是目前人造寶石晶體中質(zhì)量最好的,但是該方法的缺點(diǎn)也很明顯,該方法生長(zhǎng)緩慢,不適合大規(guī)模工業(yè)化的生產(chǎn)方式;泡生法能夠生長(zhǎng)大尺寸氧化鋁寶石單晶,生長(zhǎng)的晶體直徑大,質(zhì)量好,是目前生長(zhǎng)大尺寸氧化鋁寶石單晶比較成熟的方法,但是不管采用哪種方法,當(dāng)生長(zhǎng)彩色氧化鋁寶石單晶時(shí),均將氧化鋁與致色劑分別投入生長(zhǎng)爐爐膛內(nèi),在熔化過程中引起致色劑的揮發(fā),致色劑得不到有效合理的利用,對(duì)生長(zhǎng)爐內(nèi)的生長(zhǎng)腔體造成一定的污染,嚴(yán)重影響彩色氧化鋁寶石單晶的質(zhì)量,增加了生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明提供了一種彩色氧化鋁寶石單晶的生長(zhǎng)方法,先將氧化鋁與致色劑預(yù)熔化為混合均勻的坯料,然后將坯料放入生長(zhǎng)腔內(nèi)的坩禍中,用氬氣作為保護(hù)氣,根據(jù)致色劑的物化性能,確定生長(zhǎng)腔的氣氛和具體的降電壓速率,經(jīng)過泡生法的基本工藝過程最終得到彩色氧化鋁寶石晶體。
[0004]一種彩色氧化鋁寶石單晶的生長(zhǎng)方法,先將氧化鋁與致色劑經(jīng)過預(yù)熔化過程制成混合均勻的坯料,然后再將坯料放入生長(zhǎng)爐內(nèi)的坩禍中,經(jīng)過抽真空、通保護(hù)氣、升溫化料、引晶、放肩、等徑生長(zhǎng)、降溫、出爐過程,最終得到顏色均勻的彩色氧化鋁寶石單晶。其具體步驟如下:
(1)預(yù)熔化:采用通冷卻水的冷坩禍,冷坩禍的外部設(shè)置有可移動(dòng)的感應(yīng)線圈,將氧化鋁與致色劑放置在冷坩禍中,然后對(duì)感應(yīng)線圈通電,采用導(dǎo)電的石墨電極棒打火,打火完成后使感應(yīng)線圈在打火位置停留20min,使熔區(qū)充分?jǐn)U大,取出石墨電極棒,開啟電機(jī),不斷實(shí)現(xiàn)熔化-凝固-熔化-凝固的過程,當(dāng)氧化鋁與致色劑全部熔化時(shí),斷電,待熔體完全凝固并冷卻至室溫,停止通冷卻水,即得到預(yù)熔化的坯料,待用;
(2)抽真空:將步驟(I)所得坯料放入生長(zhǎng)爐內(nèi)的坩禍中,將籽晶固定在籽晶桿上,通冷卻水,待生長(zhǎng)腔內(nèi)的真空度達(dá)到3X10_3Pa _5X10_3Pa時(shí),停止抽真空;
(3)通保護(hù)氣:向生長(zhǎng)腔內(nèi)通入氬氣,待生長(zhǎng)腔內(nèi)的壓力達(dá)到13Pa-KT1Pa時(shí),停止通氬氣;
(4)升溫化料:啟動(dòng)加熱裝置,設(shè)定程序24h內(nèi)將坯料熔化;
(5)引晶:降下籽晶桿,直到籽晶與熔液接觸,開啟籽晶旋轉(zhuǎn),采用提拉法的拉晶工藝進(jìn)行引晶操作,引晶30次;
(6)放肩:設(shè)定降電壓速率和籽晶桿提拉速度進(jìn)行放肩;
(7)等徑生長(zhǎng):提拉籽晶桿,降低加熱功率;
(8)降溫:設(shè)定降電壓速率至電壓降為零,再通氬氣冷卻晶體,待生長(zhǎng)腔內(nèi)壓力達(dá)到15Pa時(shí),停止通氬氣;
(9)出爐:開啟進(jìn)氣閥,使得生長(zhǎng)腔內(nèi)壓力與外界相同,停止通冷卻水,得到顏色均勻的彩色氧化鋁寶石單晶。
[0005]所述步驟(I)將致色劑和氧化鋁原料放置在冷坩禍中,冷坩禍外設(shè)置有可移動(dòng)的感應(yīng)線圈,利用石墨電極引熔,熔融氧化鋁不斷擴(kuò)大熔區(qū),使氧化鋁原料和致色劑不斷實(shí)現(xiàn)熔化-凝固-熔化-凝固的過程,最終得到氧化鋁和致色劑混合均勻的坯料。
[0006]所述步驟(I)所用的冷坩禍為高頻感應(yīng)坩禍,為市售設(shè)備。
[0007]之所以將氧化鋁與致色劑經(jīng)過預(yù)熔化過程制成坯料,是因?yàn)?I)能夠?qū)ρ趸X與致色劑進(jìn)行一次純化過程,通過預(yù)熔化不僅提高了坯料的堆積密度和純度,而且減少了晶體生長(zhǎng)中的氣泡,最終提高了單晶的質(zhì)量;(2)由于預(yù)熔化過程非???,不斷的熔化-凝固-熔化-凝固,致色劑來不及揮發(fā)就凝固了,能夠?qū)⒅律珓┳畲笙薅鹊谋A?,提高其利用率和純度?3)經(jīng)過預(yù)熔化過程,能夠?qū)⒀趸X與致色劑充分完全混合,減少致色劑在生長(zhǎng)爐爐膛內(nèi)的揮發(fā),保持良好的生長(zhǎng)腔的氣氛,保證彩色氧化鋁寶石單晶的質(zhì)量,同時(shí)防止揮發(fā)的致色劑與生長(zhǎng)爐中的其他組件發(fā)生反應(yīng),減少生長(zhǎng)爐爐膛組件的損耗,降低生產(chǎn)成本。
[0008]在步驟(2)抽真空后又在步驟(3)通入惰性氣體氬氣,是為了保證單晶生長(zhǎng)環(huán)境中需要的氣體和壓強(qiáng),一方面,通入惰性氣體氬氣是為了防止致色劑在生長(zhǎng)爐爐膛內(nèi)的揮發(fā),同時(shí)防止揮發(fā)的致色劑與生長(zhǎng)爐中的其他組件發(fā)生反應(yīng),減少生長(zhǎng)爐爐膛組件的損耗,降低生產(chǎn)成本;另一方面,保持一定的壓強(qiáng)使得單晶能夠很好地生長(zhǎng),從而保證單晶產(chǎn)品的質(zhì)量和純度。
[0009]步驟(8)所述降溫過程中通入氬氣的目的是為了加速降溫。
[0010]本發(fā)明所述方法所用的生長(zhǎng)爐為無色氧化鋁寶石晶體生長(zhǎng)爐,為市售設(shè)備,該生長(zhǎng)爐的保溫層材質(zhì)是氧化鋯。
[0011 ] 所述致色劑中的致色元素選自Cr或Fe和Ti或Ni或Cr和Fe和Ti或Ni和Cr或Co和Ni或Ce或Ni和Cr或V和Ni。
[0012]所述致色劑是含有致色元素的氧化物。
[0013]若致色劑采用氧化物的形式加入,則致色劑與氧化鋁不斷熔化-凝固-熔化-凝固,制成混合均勻的坯料。
[0014]所述致色劑中的致色元素占致色劑與氧化鋁總重量的百分比為0.2%_5%。若致色元素占的比例過小,容易造成晶體不能著色;若所占比例過大,則造成彩色氧化鋁寶石單晶的顏色過深,嚴(yán)重的甚至在單晶中產(chǎn)生不熔物的摻雜,嚴(yán)重影響彩色氧化鋁寶石單晶的質(zhì)量,增加生產(chǎn)成本。
[0015]步驟(3)中所述通保護(hù)氣后生長(zhǎng)腔內(nèi)的壓力為KT1-1O3 Pa。若生長(zhǎng)腔內(nèi)的壓力過大,則會(huì)造成安全隱患;若生長(zhǎng)腔內(nèi)的壓力過小,導(dǎo)致致色劑揮發(fā),單晶產(chǎn)品的顏色不好。
[0016]所述等徑生長(zhǎng)過程中降電壓速率為3mV/h -5mV/h。若降電壓速率過大,則晶體會(huì)開裂,單晶產(chǎn)品質(zhì)量有缺陷;若降電壓速率過小,則周期變長(zhǎng),導(dǎo)致生產(chǎn)成本過高。
[0017]所述預(yù)熔化所需溫度為2050°C -2300°C。由于氧化鋁的熔點(diǎn)比致色劑的熔點(diǎn)高得多,所以只要能夠達(dá)到氧化鋁的熔點(diǎn),就能實(shí)現(xiàn)氧化鋁和致色劑的不斷熔化-凝固-熔化-凝固,這樣致色劑來不及揮發(fā)就凝固了,能夠?qū)⒅律珓┳畲笙薅鹊谋A?,提高其利用率和純度?br>[0018]步驟(I)預(yù)熔化過程中所述通電的電壓為10kV,保持電壓的穩(wěn)定,以便使得氧化鋁和致色劑混合的更均勻。
[0019]所述升溫化料所需的溫度為2050°C -2100°C,設(shè)定程序24h內(nèi)將坯料熔化,在保證單晶產(chǎn)品質(zhì)量的基礎(chǔ)上,能夠減少生長(zhǎng)周期,降低生產(chǎn)成本。
[0020]本發(fā)明采用所述方法生長(zhǎng)彩色氧化鋁寶石單晶,其關(guān)鍵在于添加致色劑的方法,先將致色劑與氧化鋁經(jīng)過預(yù)熔化過程制成混合均勻的坯料,然后將坯料放入生長(zhǎng)腔內(nèi)的坩禍中,用氬氣作為保護(hù)氣,根據(jù)致色劑的物化性能,確定生長(zhǎng)腔的氣氛和具體的降電壓速率,經(jīng)過泡生法的基本工藝過程最終得到彩色氧化鋁寶石晶體。本發(fā)明所述方法能夠避免致色劑的揮發(fā),有效減少了致色劑的損失以及對(duì)生長(zhǎng)腔體的污染,提高了彩色氧化鋁寶石單晶的質(zhì)量,降低了生產(chǎn)成本。
【具體實(shí)施方式】
[0021]實(shí)施例1
一種紅色氧化鋁寶石單晶的生長(zhǎng)方法,具體步驟如下:
(1)預(yù)熔化:采用通冷卻水的銅排密集排布組成的冷坩禍,冷坩禍的外部設(shè)置有可移動(dòng)的感應(yīng)線圈,將氧化鋁與氧化鉻放置在冷坩禍中,元素鉻占氧化鋁與氧化鉻的重量百分比為0.2%,然后對(duì)感應(yīng)線圈通電,通電電壓為10kV,控制溫度為2050°C,采用導(dǎo)電的石墨電極棒打火,打火完成后使感應(yīng)線圈在打火位
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