用于液晶玻璃蝕刻裝置的藥液的更新方法、藥液更新用噴嘴及更新用藥液的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種用于液晶玻璃蝕刻裝置的藥液的更新方法、藥液更新用噴嘴及更 新用藥液。
【背景技術(shù)】
[0002] 液晶玻璃通過(guò)化學(xué)處理被蝕刻，但為此而應(yīng)用的處理方法能夠大致分為以薄板 化、輕量化為目的的減薄法（SlimmingMethod)和以產(chǎn)品形狀加工為目的的圖案形成法。在 此，在化學(xué)處理中的不可避免的問(wèn)題之一就是被加工物質(zhì)與蝕刻液的反應(yīng)而生成的固體物 質(zhì)。若導(dǎo)致因該固體物質(zhì)的堆積而阻礙液體流動(dòng)以及污染加劇，則難以進(jìn)行基于連續(xù)過(guò)濾 處理方法的蝕刻液管理，或難以應(yīng)對(duì)高精度的制造設(shè)備。
[0003] 并且，蝕刻劑即將作為將相對(duì)于液晶玻璃組件的蝕刻液吐出到液晶玻璃等時(shí)的噴 嘴，根據(jù)各種情況使用與蝕刻裝置相比相對(duì)小型的噴嘴。之所以使用小型噴嘴，是因?yàn)?個(gè) 液晶玻璃組件需要多個(gè)小型噴嘴，必然會(huì)引起多個(gè)噴嘴中蝕刻液吐出條件的均勻化問(wèn)題。 液晶玻璃組件內(nèi)部的蝕刻的偏差也會(huì)影響產(chǎn)品規(guī)格，因此難以通過(guò)組合小型噴嘴來(lái)實(shí)現(xiàn)液 晶玻璃組件內(nèi)部的均勻化，而需要根本性對(duì)策。
[0004] 經(jīng)調(diào)查以往技術(shù)獲知，有日本專利公開(kāi)2002-251794號(hào)的光致抗蝕劑去除裝置， 該裝置的目的雖然在于以通過(guò)從多個(gè)噴霧噴嘴噴出的置換/清洗液來(lái)置換藥物并將其去 除，并且，通過(guò)使玻璃原板保持件旋轉(zhuǎn)來(lái)?yè)u晃置換/清洗液，但也是一個(gè)小型噴嘴的使用 例。并且，日本專利公開(kāi)2003-91885號(hào)中，作為去除光致抗蝕劑層的構(gòu)件具備液體吐出噴 嘴，該噴嘴在使玻璃基板旋轉(zhuǎn)的同時(shí)進(jìn)行超聲波振動(dòng)的基礎(chǔ)上，將光阻材料去除藥液滴到 玻璃基板表面，用于此的噴嘴也是小型噴嘴。如此，用于蝕刻液吐出的噴嘴通常為小型噴 嘴。
[0005] 專利文獻(xiàn)1 :日本專利公開(kāi)2002-251794號(hào)
[0006] 專利文獻(xiàn)2 :日本專利公開(kāi)2003-91885號(hào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007] 本發(fā)明鑒于上述情況而完成，其課題在于為了以維持最佳環(huán)境的狀態(tài)進(jìn)行液晶玻 璃的蝕刻而促進(jìn)用于液晶玻璃蝕刻裝置的藥液的更新，且由此獲得高品質(zhì)的液晶玻璃組 件。并且，本發(fā)明的另一課題在于將用于蝕刻裝置的藥液同時(shí)吐出到液晶玻璃組件整體并 且抽吸上述藥液，由此實(shí)現(xiàn)高精度的玻璃蝕刻。
[0008] 為解決所述課題，本發(fā)明針對(duì)用于液晶玻璃蝕刻裝置的藥液的更新方法，采用如 下手段，即在填充藥液的蝕刻液槽中配置藥液的吐出用噴嘴和抽吸用噴嘴，且在藥液中浸 泡上述噴嘴的狀態(tài)下進(jìn)行藥液的吐出、抽吸，同時(shí)進(jìn)行使用上述噴嘴的吐出、抽吸以向藥液 施加均勻的應(yīng)力，由此促進(jìn)藥液的更新。
[0009] 本發(fā)明涉及一種液晶玻璃的蝕刻，所使用的藥液主要為用于蝕刻處理的蝕刻劑即 蝕刻液，或者為用于清洗通過(guò)玻璃成分與蝕刻液的反應(yīng)而生成的固體成分的蝕刻裝置的清 洗處理的清洗液等。
[0010] 蝕刻裝置由在裝置的蝕刻液槽的內(nèi)部搬入液晶玻璃的輸送帶、向輸送帶上的液晶 玻璃吐出蝕刻液的噴嘴、供給蝕刻液的配管及各種閥裝置等構(gòu)成，與它們的蝕刻液接觸的 部分常常處于被蝕刻液淋濕的狀態(tài)。而在非運(yùn)行狀態(tài)下不會(huì)流動(dòng)，并且有時(shí)蝕刻液會(huì)泄漏， 因此非運(yùn)行狀態(tài)下上述液體成分會(huì)干燥。如此，若反復(fù)出現(xiàn)被蝕刻液淋濕和干燥，則固體成 分每次都會(huì)在蝕刻裝置的表面上成為層而反復(fù)堆積，其結(jié)果，固體成分堆積在與蝕刻液接 觸的部分而阻礙蝕刻液的流動(dòng)，即便是精密的蝕刻裝置也越來(lái)越難以發(fā)揮其原有的性能。 如此，用于液晶玻璃的蝕刻的蝕刻液成為對(duì)蝕刻裝置造成不好的影響的誘因，因此相當(dāng)于 本發(fā)明中的藥液。然而，此外必須清洗蝕刻液的固體成分，因此清洗蝕刻裝置等的清洗液作 為本發(fā)明中的藥液也至關(guān)重要。通過(guò)適當(dāng)實(shí)施上述蝕刻液、清洗液等藥液的更新來(lái)保證精 密的蝕刻加工，并且，蝕刻裝置經(jīng)清洗之后始終維持最佳的狀態(tài)，因此能夠穩(wěn)定地實(shí)施精密 的蝕刻加工。
[0011] 并且，本發(fā)明的用于液晶玻璃蝕刻裝置的藥液的更新方法中，用于藥液的吐出及 抽吸的噴嘴具有如下結(jié)構(gòu)，即為同時(shí)對(duì)蝕刻處理對(duì)象的液晶玻璃組件的整體進(jìn)行藥液的吐 出、抽吸，而具備具有液晶玻璃組件的長(zhǎng)度以上的長(zhǎng)度的狹縫狀的開(kāi)口部。在此，對(duì)本發(fā)明 中的噴嘴的意義進(jìn)行具體說(shuō)明。圖1中，11為本發(fā)明的噴嘴，12為蝕刻液的液面，13為通過(guò) 感光性材料圖像形成的抗蝕劑，14為在其上開(kāi)口的開(kāi)口部，15為液晶玻璃，并且16為由粘 著片構(gòu)成的保護(hù)材，保護(hù)成為圖案形成方法中的傳感器驅(qū)動(dòng)電路的金屬蒸鍍膜17。上述僅 僅是液晶玻璃15的結(jié)構(gòu)的一例。圖1所示的開(kāi)始蝕刻時(shí)，相對(duì)于開(kāi)口部14的寬度K深度 J1較淺，通過(guò)來(lái)自噴嘴11的吐出應(yīng)力而獲得排出開(kāi)口部?jī)?nèi)的蝕刻液所需的充分的作用，因 此實(shí)際可以認(rèn)為不存在蝕刻液排出的障礙。
[0012] 而進(jìn)行蝕刻反應(yīng)，且如圖2所示開(kāi)口部14若增大至深度J2,則蝕刻液從噴嘴11到 達(dá)開(kāi)口底部的距離增加，因此從蝕刻液受到的排出方向的阻力R成為增加的趨勢(shì)。阻力R 以R=J/K(J為深度J1或J2)表示。因此，發(fā)生開(kāi)口部14的內(nèi)部的藥液（此時(shí)為蝕刻液） 的更新效率下降且垂直方向的蝕刻特性下降的狀況，而且當(dāng)小型噴嘴中附著反應(yīng)產(chǎn)物并堆 積時(shí)，其影響顯而易見(jiàn)。
[0013] 因此圖2中可知，若從噴嘴11將抽吸的應(yīng)力施加到抗蝕劑開(kāi)口部14,則應(yīng)力向J2 方向作用，將與和噴嘴11相對(duì)應(yīng)的抗蝕劑開(kāi)口部14的接觸距離（長(zhǎng)度）作為L(zhǎng)并乘以作 用剖面J2(深度）XK(寬度）的積，即與J2XKXL的體積相當(dāng)?shù)乃幰旱玫礁?。通過(guò)藥液 的更新，若在相同系統(tǒng)的液體中，則能夠?qū)⑾喈?dāng)于被噴嘴11抽吸的總體積的量的藥液在同 一時(shí)間內(nèi)供給到液體槽的例如底部，由此促進(jìn)藥液更新，尤其將垂直方向的蝕刻特性維持 在最佳狀態(tài)。
[0014] 本發(fā)明的噴嘴20通過(guò)上述方法改善因蝕刻處理而產(chǎn)生的不良狀況，不僅對(duì)蝕刻 處理有效，還對(duì)向蝕刻裝置等的清洗液的吐出有效，因此如圖3所示，為同時(shí)向液晶玻璃組 件22整體吐出藥液，而具備具有液晶玻璃組件的長(zhǎng)度N以上的長(zhǎng)度M的狹縫狀開(kāi)口部21。 圖3中示出具有多個(gè)產(chǎn)品23的液晶玻璃組件22,每一個(gè)產(chǎn)品23之間為空白（余白）。另 外，圖3僅表示概念，現(xiàn)實(shí)中不太可能。
[0015] 其中，若能夠同時(shí)向液晶玻璃組件22整體吐出藥液，則無(wú)需具有液晶玻璃組件22 的長(zhǎng)度N以上的長(zhǎng)度，例如可通過(guò)連結(jié)多個(gè)比上述長(zhǎng)度短的狹縫狀開(kāi)口部來(lái)構(gòu)成噴嘴。即 可考慮將噴嘴大致分割成2、3個(gè)左右，使這些同時(shí)吐出藥液，也將此考慮在可行范圍內(nèi)。然 而，組合多個(gè)噴嘴時(shí)，在多個(gè)液流的邊界部分發(fā)生卡門渦街，不論其影響大小都會(huì)影響到玻 璃組件。因此，除了逼不得已的情況或以此能夠獲得較大的利益的情況之外，利益較少。雖 然有這種情況，但不僅是1個(gè)狹縫狀開(kāi)口部，還是分成多個(gè)，均滿足本發(fā)明的要件，這點(diǎn)從 上述說(shuō)明中即可了解。
[0016] 圖4為應(yīng)用本發(fā)明的浸泡型蝕刻裝置的概略圖（可以將上述圖1、圖2及圖3想成 圖4的一部分）。該圖中，液晶玻璃組件22 -邊通過(guò)輸送帶24移動(dòng)，一邊在裝置的蝕刻液 槽25中受到蝕刻液的吐出作用，并且受到抽吸作用。26為噴射器（ejector)，27為吐出電 路，28為抽吸電路，它們分別具有可調(diào)整流量的閥。在這些電路27、28的管端，具有所述噴 嘴11的功能的噴嘴27a、28a隔著液晶玻璃組件22上下而設(shè)，并且抽吸流體以成為均勻的 應(yīng)力的方式通過(guò)泵而經(jīng)由回流電路29在液體槽內(nèi)回流，由此實(shí)現(xiàn)藥液的更新。
[0017] 如上所述，本發(fā)明中作為用于液晶玻璃蝕刻裝置的藥液有用于清洗通過(guò)附著于液 晶玻璃組件、及用于其蝕刻處理的裝置及配件類的玻璃成分與蝕刻液的反應(yīng)而生成的固體 成分的清洗液。并且，該清洗液以硝酸、過(guò)氧化氫、鹵酸鹽及其酸性鹽作為必要成分而構(gòu)成。
[0018] 作為成為本發(fā)明的對(duì)象的液晶玻璃組件能夠使用至今所使用的通用的原料。通 常，相應(yīng)的有用于薄膜晶體管（TFT)的超白玻璃、用于觸控面板的藍(lán)板玻璃（也用于超白玻 璃）等，但本發(fā)明也可應(yīng)用于上述玻璃材料及上述以外的各種玻璃材料。
[0019] 作為相對(duì)于由上述各種玻璃材料構(gòu)成的液晶玻璃組件的蝕刻劑即藥劑，通常使用 鹽酸、硫酸、硝酸、氟酸、酸性氟化銨及中性氟化銨……等。并且，玻璃成分組成中例如作為 穩(wěn)定劑存在鋁或鉀的氧化物。因此，產(chǎn)生蝕刻液和作為穩(wěn)定劑而添加的成分的反應(yīng)產(chǎn)物，而 產(chǎn)生該反應(yīng)產(chǎn)物作為溶解度低的疏水鹽而析出的問(wèn)題。
[0020] 所析出的物質(zhì)例如在純堿系藍(lán)板玻璃中有似2