浸泡式玻璃基板蝕刻機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示器的制程領(lǐng)域，尤其涉及一種浸泡式玻璃基板蝕刻機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]在顯示技術(shù)領(lǐng)域，液晶顯示器(Liquid Crystal Display，LCD)具有機(jī)身薄、省點(diǎn)、無輻射等眾多優(yōu)點(diǎn)，得到了廣泛的應(yīng)用，如:移動(dòng)電話、個(gè)人數(shù)字助理(PDA)、數(shù)字相機(jī)、計(jì)算機(jī)屏幕或筆記本屏幕等。
[0003]薄膜晶體管(Thin Film Transistor,TFT)液晶顯示器一般包括殼體、設(shè)于殼體內(nèi)的液晶面板及設(shè)于殼體內(nèi)的背光模組(backlight module)。液晶顯示面板的工作原理是在兩片平行的玻璃基板當(dāng)中放置液晶分子，通過玻璃基板通電與否來控制液晶分子改變方向，將背光模組的光線折射出來產(chǎn)生畫面。
[0004]上述TFT-1XD的制程一般包括:前段陣列(Array)制程、中段成盒(Cell)制程、及后段模組組裝制程。前段陣列制程又包括:玻璃基板的清洗與干燥、鍍膜、涂光刻膠、曝光、顯影、蝕刻、去除光刻膠等制程。
[0005]受限于前段制程，玻璃基板廠商所能提供的玻璃基板厚度只能到0.5mm，而顯示產(chǎn)品要求玻璃基板的厚度已經(jīng)達(dá)到了 0.3mm甚至更薄。因此，需要對平板玻璃基板進(jìn)行減薄工藝，即將已成盒后的雙面玻璃基板通過物理或化學(xué)方法去除一層而實(shí)現(xiàn)減薄。其中，化學(xué)方法即化學(xué)蝕刻，通常采用浸泡方式將玻璃基板完全進(jìn)入蝕刻藥液進(jìn)行蝕刻。
[0006]請參閱如圖1，現(xiàn)有的玻璃基板的浸泡式蝕刻機(jī)100僅底部有鼓泡(bubble)機(jī)構(gòu)110帶動(dòng)槽液循環(huán)，但此底部bubble機(jī)構(gòu)110不能均勻?qū)⒉ＡП砻娴姆磻?yīng)生成物(Sludge)及時(shí)清除，且玻璃表面蝕刻液替換率低，一旦底部bubble機(jī)構(gòu)110變形或者其中的部分孔位111堵塞，將導(dǎo)致蝕刻異常，如蝕刻后的玻璃基板上產(chǎn)生水波紋、或者蝕刻后的玻璃基板的厚度異常。再者，隨玻璃世代增加，需要進(jìn)行薄化工藝的玻璃尺寸不斷增加，G5.1世代的玻璃尺寸相較于G4.5代已由730mm*920mm增加到了 1200mm*1300mm，對于現(xiàn)有的浸泡式蝕刻方式，僅通過底部bubble機(jī)構(gòu)來帶動(dòng)整體槽液循環(huán)的難度增加，相應(yīng)蝕刻異常的風(fēng)險(xiǎn)也在增加。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種浸泡式玻璃基板蝕刻機(jī)，設(shè)備內(nèi)設(shè)置有多層鼓泡板，強(qiáng)化設(shè)備內(nèi)槽液循環(huán)，使得玻璃表面的生成物能及時(shí)去除，并能夠使槽液內(nèi)循環(huán)更加均勻。
[0008]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種浸泡式玻璃基板蝕刻機(jī)，其特征在于，包括一槽體、位于所述槽體底部的底部鼓泡板、置于所述槽體內(nèi)并位于所述底部鼓泡板上的內(nèi)框、及位于內(nèi)框內(nèi)的數(shù)層間隔設(shè)置的內(nèi)框鼓泡板；
[0009]所述底部鼓泡板與內(nèi)框鼓泡板分別包括數(shù)條鼓泡管道，所述鼓泡管道具有多個(gè)鼓泡孔。
[0010]所述內(nèi)框的相對兩側(cè)壁上分別沿豎直方向間隔設(shè)置有數(shù)個(gè)橫向固定條，所述相對兩側(cè)壁上的數(shù)個(gè)橫向固定條分別相對設(shè)置。
[0011]所述橫向固定條朝向內(nèi)框內(nèi)部的側(cè)面上沿所述橫向固定條的延伸方向設(shè)有數(shù)個(gè)間隔設(shè)置的第一凹槽，所述第一凹槽用于固定待蝕刻的玻璃基板。
[0012]所述橫向固定條的上端面上沿所述橫向固定條的延伸方向設(shè)有數(shù)個(gè)間隔設(shè)置的第二凹槽，所述第二凹槽用于固定所述內(nèi)框鼓泡板。
[0013]所述內(nèi)框鼓泡板的數(shù)條鼓泡管道分別卡設(shè)于所述橫向固定條上的數(shù)個(gè)第二凹槽中，從而使所述內(nèi)框鼓泡板固定在所述橫向固定條上。
[0014]所述橫向固定條與所述內(nèi)框之間為固定連接，所述內(nèi)框鼓泡板與所述橫向固定條之間為固定連接。
[0015]所述第一凹槽與所述第二凹槽在所述橫向固定條上交錯(cuò)設(shè)置。
[0016]所述鼓泡管道上的鼓泡孔的氣孔開口向下。
[0017]所述多個(gè)鼓泡孔沿鼓泡管道均勻分布，且每一鼓泡孔均為圓形鼓泡孔。
[0018]所述內(nèi)框鼓泡板還包括與所述內(nèi)框鼓泡板的數(shù)條鼓泡管道相連接的外管路支架，所述內(nèi)框側(cè)壁外相對于所述橫向固定條的位置設(shè)置有外延承載結(jié)構(gòu)，所述外延承載結(jié)構(gòu)用于承載所述外管路支架。
[0019]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明的浸泡式玻璃基板蝕刻機(jī)，通過在內(nèi)框內(nèi)設(shè)置多層鼓泡板，相較于現(xiàn)有蝕刻機(jī)中僅底部設(shè)有鼓泡板的結(jié)構(gòu)，能夠強(qiáng)化槽內(nèi)槽液循環(huán)，使玻璃基板表面產(chǎn)生的生成物被及時(shí)去除，并能夠使槽內(nèi)槽液循環(huán)更加均勻，避免水波紋及厚度蝕刻異常的產(chǎn)生。
[0020]為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。
【附圖說明】
[0021]下面結(jié)合附圖，通過對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】詳細(xì)描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其他有益效果顯而易見。
[0022]附圖中，
[0023]圖1為現(xiàn)有的浸泡式玻璃基板蝕刻機(jī)的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖2為本發(fā)明的浸泡式玻璃基板蝕刻機(jī)的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖3為本發(fā)明的浸泡式玻璃基板蝕刻機(jī)中的橫向固定條的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖4為本發(fā)明的浸泡式玻璃基板蝕刻機(jī)中的橫向固定條的正視圖；
[0027]圖5為本發(fā)明的浸泡式玻璃基板蝕刻機(jī)中的橫向固定條的俯視圖；
[0028]圖6為圖2的浸泡式玻璃基板蝕刻機(jī)中的單層內(nèi)框鼓泡板的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的實(shí)施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0030]請參閱圖2-6，本發(fā)明提供一種浸泡式玻璃基板蝕刻機(jī)，包括一槽體10、位于所述槽體10底部的底部鼓泡板20、置于所述槽體10內(nèi)并位于所述底部鼓泡板20上的內(nèi)框30、及位于內(nèi)框30內(nèi)的數(shù)層間隔設(shè)置的內(nèi)框鼓泡板40 ;
[0031]所述底部鼓泡板20與內(nèi)框鼓泡板40均包括數(shù)條鼓泡管道，所述鼓泡管道上具有均勻分布的圓形鼓泡孔；
[0032]具體地，所述鼓泡管道上的圓形鼓泡孔的氣孔開口