波長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件及其制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及用于吸收發(fā)光的一部分并進(jìn)行波長(zhǎng)變換使其發(fā)光的波長(zhǎng)變換用石英 玻璃構(gòu)件及其制造方法。另外，本發(fā)明涉及吸收發(fā)光的一部分并進(jìn)行波長(zhǎng)變換使其發(fā)光，且 防止構(gòu)件表面的有機(jī)物的附著，賦予遮蔽紫外線的功能的波長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件及其制 造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 波長(zhǎng)變換材料對(duì)某波長(zhǎng)的光線進(jìn)行波長(zhǎng)變換，并根據(jù)利用用途，提取比該波長(zhǎng)更 長(zhǎng)波長(zhǎng)的光，提升效率。
[0003] 近年來(lái)，一般的太陽(yáng)能電池中，對(duì)硅結(jié)晶直接照射太陽(yáng)光而引起激發(fā)，以產(chǎn)生電 能，但太陽(yáng)光中包含的紫外波長(zhǎng)的光變成熱，而成為能量損失。另外，由于所利用的太陽(yáng)光 能量被大量集結(jié)，集結(jié)部分的發(fā)熱度會(huì)非常增大，因而需要可耐高溫的材料。為此，需要一 種石英玻璃制的波長(zhǎng)變換材料，其將太陽(yáng)光的紫外波長(zhǎng)成分尚效地變換成長(zhǎng)波長(zhǎng)，提升太 陽(yáng)能電池的發(fā)電效率的同時(shí)，可耐受高溫。
[0004] 接著，說(shuō)明激光發(fā)訊技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)例。對(duì)于大輸出Nd :YAG激光的激發(fā)，通常使 用氙氣閃光燈。其發(fā)光為遍及200nm~1000 nm的連續(xù)發(fā)光，由于Nd :YAG激光的必要波長(zhǎng) 為530nm~550nm、580nm~600nm，因此紫外區(qū)的光成為能量損失。因此，若能波長(zhǎng)變換此 紫外線，而用作對(duì)Nd: YAG有效的波長(zhǎng)，可提升激光的發(fā)光效率。在此領(lǐng)域也同樣地，作為可 耐受高溫、紫外線的材料，需要利用石英的材料。
[0005] 另外，雖然正在開(kāi)發(fā)化合物半導(dǎo)體所成藍(lán)色LED芯片、或放射紫外線的LED芯片， 但也在嘗試通過(guò)將此LED芯片、與各種熒光體組合，從而開(kāi)發(fā)出包含白色，對(duì)芯片的光線進(jìn) 行波長(zhǎng)變換的發(fā)光裝置。此發(fā)光裝置有小型、輕量、省電的長(zhǎng)處。在此領(lǐng)域也同樣地，作為 可耐受高溫、紫外線的材料，需要利用石英的材料。在此領(lǐng)域也同樣地，作為可耐受高溫、紫 外線的材料，需要利用石英的材料。另外，在它們的光關(guān)聯(lián)用途中，需要發(fā)光強(qiáng)度的面內(nèi)均 勻性作為重要的要求特性。
[0006] 而且，近年來(lái)，植物工廠用的照明，替代熒光燈而LED化。植物的成長(zhǎng)根據(jù)植物種 類(lèi)和成長(zhǎng)階段需要各種波長(zhǎng)的光，一般而言適用可見(jiàn)光。在此領(lǐng)域中，作為波長(zhǎng)變換效率優(yōu) 異，耐水性、耐藥品性?xún)?yōu)異的材料，也需要利用石英的材料。
[0007] 然而，以往的太陽(yáng)能電池的波長(zhǎng)變換材料中，公開(kāi)有將吸收紫外光而在可見(jiàn)區(qū)域 發(fā)光的有機(jī)金屬絡(luò)合物配合于樹(shù)脂，以提升太陽(yáng)能電池的變換效率的密封材料、太陽(yáng)能電 池（專(zhuān)利文獻(xiàn)1及專(zhuān)利文獻(xiàn)2)。
[0008] 但是，專(zhuān)利文獻(xiàn)1及專(zhuān)利文獻(xiàn)2中利用的有機(jī)金屬絡(luò)合物耐光性缺乏，由于光的連 續(xù)照射而有機(jī)金屬絡(luò)合物劣化且變換效率降低，而且由于在密封材料中利用樹(shù)脂，有該樹(shù) 脂黃變的問(wèn)題。
[0009] 作為用于Nd :YAG激光的激發(fā)的氙氣閃光燈的波長(zhǎng)變換材料，公開(kāi)有在二氧化硅 玻璃中摻雜銅，將紫外線變換成可見(jiàn)光的材料（專(zhuān)利文獻(xiàn)3)。
[0010] 但是，專(zhuān)利文獻(xiàn)3所公開(kāi)的方法的制造工序?yàn)楦邷毓に?，需要高價(jià)的制造設(shè)備，從 成本或環(huán)境負(fù)荷的降低的觀點(diǎn)出發(fā)有問(wèn)題。
[0011] 作為以往的藍(lán)色、紫外LED發(fā)光裝置，有用含有熒光體的保護(hù)樹(shù)脂包圍LED芯片， 進(jìn)一步用密封樹(shù)脂包圍整體的發(fā)光裝置。
[0012] 但是，使用含有熒光體的樹(shù)脂的以往的方法中，由于LED芯片所產(chǎn)生的紫外線，而 被覆樹(shù)脂（保護(hù)樹(shù)脂、密封樹(shù)脂）劣化。一般而言，已知對(duì)于由將碳、氫、氧、氮等元素鍵合 成網(wǎng)絡(luò)狀的有機(jī)高分子化合物構(gòu)成的保護(hù)樹(shù)脂及密封樹(shù)脂而言，若照射紫外線，則有機(jī)高 分子的網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)被切斷，各種光學(xué)性特性及化學(xué)性特性劣化。
[0013] 此外，已知在含有聚硅氧烷組成物前體的溶液中混合熒光體，通過(guò)涂布、加熱，將 熒光體密封于二氧化硅玻璃中的方法（專(zhuān)利文獻(xiàn)4)。但是，聚硅氧烷組成物前體多數(shù)具有 有機(jī)官能團(tuán)，若進(jìn)行加熱則在其有機(jī)官能團(tuán)分解時(shí)，易產(chǎn)生氣體、龜裂等。另外，由聚硅氧烷 組成物前體制作二氧化硅玻璃時(shí)，必須經(jīng)過(guò)水解、縮聚、干燥、燒結(jié)、和復(fù)雜的工序，有難以 量產(chǎn)化的問(wèn)題。
[0014] 植物工廠中，常使用到水或肥料。因此，利用密封上述記載的熒光體的樹(shù)脂的LED 照明時(shí)，水蒸氣透過(guò)性高，耐藥品性低，不適于這樣的用途。
[0015] 在各以往例中，存在如下問(wèn)題：使用的激發(fā)光的波長(zhǎng)包含400nm以下的紫外線時(shí)， 有紫外線通過(guò)波長(zhǎng)變換材料，照射于對(duì)象物，而帶來(lái)劣化、化學(xué)反應(yīng)等各種不良影響。
[0016] 另外，存在如下問(wèn)題：在各波長(zhǎng)變換材的表面，伴隨持續(xù)的使用，氣氛中的塵埃、金 屬元素粒子、有機(jī)物的微塵等附著而粘上，變換的光被反射、散射、吸收，而不會(huì)從波長(zhǎng)變換 材放出，表面部分的強(qiáng)度劣化進(jìn)展，微小粒子從表面飛散等，功能顯著下降。
[0017] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0018] 專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0019] 專(zhuān)利文獻(xiàn)1 :國(guó)際公開(kāi)第2008/047427號(hào)公報(bào)
[0020] 專(zhuān)利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)2010-258293號(hào)公報(bào)
[0021] 專(zhuān)利文獻(xiàn)3 :日本特開(kāi)2005-272243號(hào)公報(bào)
[0022] 專(zhuān)利文獻(xiàn)4 :國(guó)際公開(kāi)第2010/110204號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0023] 發(fā)明要解決的課題
[0024] 本發(fā)明鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題點(diǎn)而完成，第1，其目的在于提供環(huán)境耐受性、耐 熱性、耐久性及演色性高，能夠以低溫工藝制造，可高效地進(jìn)行波長(zhǎng)變換的波長(zhǎng)變換用石英 玻璃構(gòu)件及其制造方法。
[0025] 另外，第2,本發(fā)明的目的在于提供防止紫外線的泄漏，環(huán)境耐受性、耐熱性、耐久 性、表面防污性、表面穩(wěn)定性、發(fā)光強(qiáng)度的均勻性、演色性?xún)?yōu)異，能夠以低溫工藝制造，可高 效地進(jìn)行波長(zhǎng)變換的波長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件及其制造方法。
[0026] 此外，第3,本發(fā)明的目的在于提供防止紫外線的泄漏，環(huán)境耐受性、發(fā)光強(qiáng)度的穩(wěn) 定性、耐熱性、耐久性、表面防污性、表面穩(wěn)定性、發(fā)光強(qiáng)度的均勻性、演色性?xún)?yōu)異，能夠以低 溫工藝制造，可高效地進(jìn)行波長(zhǎng)變換的波長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件及其制造方法。
[0027] 用于解決課題的手段
[0028] 為解決上述課題，本發(fā)明人等對(duì)于使用環(huán)境耐受性、耐熱性及耐久性?xún)?yōu)異的石英 玻璃表層膜與熒光體粒子制作能夠以低溫工藝制造的波長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件的方法進(jìn) 行了深入研宄，結(jié)果發(fā)現(xiàn)本發(fā)明。
[0029] 本發(fā)明的波長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件的第1方式，其特征在于，是石英玻璃基材與 在其表面形成石英玻璃表層膜而成的波長(zhǎng)變換用石英玻璃部材，所述石英玻璃表層膜通 過(guò)將含有平均粒徑為〇. I ym~20 μL?的熒光體粒子、和球狀疏水性且平均粒徑為Inm~ IOOnm的球狀的二氧化硅微粒的含聚硅氮烷溶液涂布于所述石英玻璃基材表面上后，在大 氣中干燥，之后在水蒸氣氣氛下進(jìn)行加熱處理而獲得，所述含聚硅氮烷溶液中的熒光體粒 子相對(duì)于聚硅氮烷及熒光體粒子的合計(jì)量之比為10 :3~7質(zhì)量份，所述石英玻璃表層膜的 NH基團(tuán)濃度為1000 ppm以下。
[0030] 本發(fā)明的波長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件優(yōu)選所述石英玻璃表層膜的厚度為1 μπι~ 500 μ m〇
[0031] 用于石英玻璃基材的石英玻璃優(yōu)選為合成石英玻璃。石英玻璃基材更優(yōu)選為通 過(guò)四氯化娃化合物的火焰水解而生成，且所述石英玻璃基材的OH基團(tuán)濃度為IOppm~ 1000 ppm的合成石英。
[0032] 本發(fā)明的波長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件的制造方法的第1方式，其特征在于，其是在 石英玻璃基材的表面，將含有平均粒徑為〇. I ym~20 ym的熒光體粒子、和球狀疏水性且 平均粒徑為Inm~IOOnm并且0· 1~10質(zhì)量％的二氧化硅微粒的含聚硅氮烷溶液涂布于 所述石英玻璃基材，在水蒸氣氣氛下進(jìn)行加熱，形成石英玻璃表層膜的波長(zhǎng)變換用石英玻 璃構(gòu)件的制造方法，所述含聚硅氮烷溶液中的熒光體粒子相對(duì)于聚硅氮烷及熒光體粒子的 合計(jì)量之比為10 :3~7質(zhì)量份。
[0033] 將所述含聚硅氮烷溶液涂布于所述石英玻璃基材上后，在大氣中干燥，之后在水 蒸氣氣氛下加熱至100~600°c，形成厚度0. 1 μ m~10 μ m的石英玻璃表層膜，通過(guò)多次重 復(fù)所述石英玻璃表層膜的形成處理，從而形成厚度1~500 μ m的石英玻璃表層膜的層疊結(jié) 構(gòu)。
[0034] 本發(fā)明的波長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件的第2方式，其特征在于，包含石英玻璃基材、 形成于所述石英玻璃基材的表面且含有熒光體粒子的波長(zhǎng)變換石英玻璃層、和形成于所述 波長(zhǎng)變換石英玻璃層的表面的透明被覆膜。
[0035] 所述透明被覆膜優(yōu)選為透明無(wú)機(jī)膜。
[0036] 所述透明無(wú)機(jī)膜優(yōu)選為含Ti無(wú)機(jī)膜。
[0037] 所述含Ti無(wú)機(jī)膜優(yōu)選含有銳鈦礦結(jié)晶化的氧化鈦。
[0038] 優(yōu)選在所述波長(zhǎng)變換用石英玻璃層與所述透明被覆膜之間，形成具有所述波長(zhǎng)變 換石英玻璃層的熒光體粒子濃度的10~60%程度的熒光體粒子濃度的中間石英玻璃層而 成。通過(guò)像這樣形成中間石英玻璃層，所述透明被覆膜有難以剝離的優(yōu)點(diǎn)。
[0039] 所述石英玻璃基材優(yōu)選為合成石英玻璃。這是由于合成石英玻璃的紫外線的透過(guò) 特性?xún)?yōu)異。
[0040] 所述石英玻璃基材優(yōu)選包含選自6&、&、(：11、及11中的一種以上元素的石英玻璃。 這是由于通過(guò)包含這些元素，有吸收紫外線的效果。
[0041] 所述石英玻璃基材優(yōu)選為包含微小泡和/或微小界面的光散射石英玻璃。這是由 于通過(guò)成為包含微小泡和/或微小界面的光散射石英玻璃，光均勻地分散。
[0042] 本發(fā)明的波長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件的制造方法的第2方式，其特征在于，其是制 造所述波長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件的制造方法，所述透明被覆膜是將含有二氧化硅和/或二 氧化硅前體的溶液在所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層或所述中間石英玻璃層的表面進(jìn)行薄膜涂 布，干燥后，進(jìn)行加熱而形成的。
[0043] 所述透明被覆膜及波長(zhǎng)變換石英玻璃層優(yōu)選通過(guò)溶膠凝膠法而形成。例如用溶膠 凝膠法合成二氧化硅時(shí)，可以通過(guò)使含TEOS等硅前體的溶膠進(jìn)行水解、縮聚反應(yīng)，從而成 為凝膠體態(tài)，合成二氧化硅。
[0044] 優(yōu)選包括如下工序：將含有平均粒徑為0. 1 μ m~20 μ m的熒光體粒子、和球狀疏 水性且平均粒徑為Inm~IOOnm的球狀的二氧化硅微粒的含聚硅氮烷溶液涂布于所述石英 玻璃基材后，在大氣中干燥，之后在水蒸氣氣氛下進(jìn)行加熱處理，從而在所述石英玻璃基材 的表面形成波長(zhǎng)變換石英玻璃層的工序；和在所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層的表面形成所述透 明被覆膜的工序，所述含聚硅氮烷溶液中的熒光體粒子相對(duì)于聚硅氮烷及熒光體粒子的合 計(jì)量之比為10 :1~9質(zhì)量份，所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層的NH基團(tuán)濃度為1000 ppm以下。
[0045] 優(yōu)選包括如下工序：將混合平均粒徑為0. 1 μπι~20 μπι的熒光體粒子、水、和 TEOS而成的TEOS水解溶液涂布于所述石英玻璃基材后，在大氣中干燥，在所述石英玻璃基 材的表面形成波長(zhǎng)變換石英玻璃層的工序；和在所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層的表面形成所述 透明被覆膜的工序，所述TEOS水解溶液中的熒光體粒子相對(duì)于TEOS及熒光體粒子的合計(jì) 量之比為10:1~9質(zhì)量份。
[0046] 另外，優(yōu)選所述含Ti無(wú)機(jī)膜通過(guò)在所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層的表面涂布含有Ti 的溶液，之后進(jìn)行燒結(jié)而形成。
[0047] 本發(fā)明的波長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件的第3方式，其特征在于，包含石英玻璃基材、 和形成于所述石英玻璃基材的表面且含有熒光體粒子的波長(zhǎng)變換石英玻璃層，所述波長(zhǎng)變 換石英玻璃層的熒光體濃度從玻璃基材側(cè)向所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層的表面?zhèn)扔筛邼舛?向低濃度分布。
[0048] 通過(guò)像這樣使所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層的熒光體濃度從玻璃基材側(cè)向所述波長(zhǎng) 變換石英玻璃層的表面?zhèn)葟母邼舛认虻蜐舛确植?，由此熱傳?dǎo)率在所述石英玻璃基材的附 近變高。因此，在所述玻璃基材的內(nèi)側(cè)、或接觸配置的硅單結(jié)晶、LED元件產(chǎn)生的熱能容易 向外部放出，抑制硅單結(jié)晶、LED元件的過(guò)熱，而不會(huì)產(chǎn)生發(fā)電效率、發(fā)光效率的下降。
[0049] 優(yōu)選所述波長(zhǎng)變換用石英玻璃層被層疊而形成，所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層的熒光 體種類(lèi)為多種，在各層使用不同的熒光體，層疊多層而形成。熒光體由于各自的平均粒度、 密度不同，為了使各熒光體均勻地分散層疊，需要在對(duì)于各熒光體適當(dāng)?shù)臈l件下層疊，由此 可以得到均勻的發(fā)光強(qiáng)度分布。不變更層疊條件時(shí)，熒光體的分布產(chǎn)生不均，無(wú)法得均勻的 發(fā)光強(qiáng)度分布。如此，通過(guò)將本發(fā)明的波長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件用于光關(guān)聯(lián)元件、例如LED 元件的玻璃密封部，能夠得到均勻的面內(nèi)發(fā)光強(qiáng)度。
[0050] 所述石英玻璃基材優(yōu)選為合成石英玻璃。這是由于合成石英玻璃的紫外線的透過(guò) 特性?xún)?yōu)異。
[0051] 另外，所述石英玻璃基材優(yōu)選為包含選自6&、&、(：11、及11中的一種元素以上的石 英玻璃。這是由于通過(guò)包含這些元素，有吸收紫外線的效果。
[0052] 所述石英玻璃基材優(yōu)選為包含微小泡和/或微小界面的光散射石英玻璃。這是由 于通過(guò)成為包含微小泡和/或微小界面的光散射石英玻璃，光均勻地分散。
[0053] 優(yōu)選進(jìn)一步包含形成于所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層的表面的透明被覆膜者為佳。
[0054] 所述透明被覆膜優(yōu)選為透明無(wú)機(jī)膜。
[0055] 所述透明無(wú)機(jī)膜優(yōu)選為含Ti無(wú)機(jī)膜。
[0056] 所述含Ti無(wú)機(jī)膜優(yōu)選含有銳鈦礦結(jié)晶化的氧化鈦。
[0057] 優(yōu)選在所述波長(zhǎng)變換用石英玻璃層與所述透明被覆膜之間，形成具有所述波長(zhǎng)變 換石英玻璃層的熒光體粒子濃度的10~60%程度的熒光體粒子濃度的中間石英玻璃層而 成。通過(guò)像這樣形成中間石英玻璃層，透明被覆膜與波長(zhǎng)變換石英玻璃層的熱膨脹度之差 緩和，有難以因加熱時(shí)的熱膨脹量的不同導(dǎo)致所述透明被覆膜發(fā)生剝離的優(yōu)點(diǎn)。
[0058] 本發(fā)明的波長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件的制造方法的第3方式，其特征在于，其是波 長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件的制造方法，所述透明被覆膜是將含有二氧化硅和/或二氧化硅前 體的溶液進(jìn)行薄膜涂布，干燥后，進(jìn)行加熱而形成的。
[0059] 所述透明被覆膜及所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層優(yōu)選通過(guò)溶膠凝膠法而形成。
[0060] 所述含Ti無(wú)機(jī)膜優(yōu)選通過(guò)將含有Ti的溶液涂布于所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層的表 面，之后進(jìn)行燒結(jié)而形成。
[0061] 此外，本發(fā)明的波長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件的制造方法的第3方式可以包括如下工 序：將含有平均粒徑為〇. 1 μπι~20 μπι的熒光體粒子、和球狀疏水性且平均粒徑為Inm~ IOOnm的球狀的二氧化硅微粒的含聚硅氮烷溶液涂布于所述石英玻璃基材后，在大氣中干 燥，之后在水蒸氣氣氛下進(jìn)行加熱處理，從而在所述石英玻璃基材的表面形成波長(zhǎng)變換石 英玻璃層的工序；和進(jìn)一步在所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層的表面形成透明被覆膜的工序，所 述含聚硅氮烷溶液中的熒光體粒子相對(duì)于聚硅氮烷及熒光體粒子的合計(jì)量之比為10 :1~ 9質(zhì)量份，所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層的NH基團(tuán)濃度為1000 ppm以下。
[0062] 優(yōu)選將所述含聚硅氮烷溶液涂布于所述石英玻璃基材上之后，在大氣中干燥，之 后在水蒸氣氣氛下加熱至100~600°c，形成厚度0. 1 μ m~10 μ m的波長(zhǎng)變換石英玻璃層， 通過(guò)多次重復(fù)所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層的形成處理，從而形成厚度1~500 μ m的波長(zhǎng)變換 石英玻璃層的層疊結(jié)構(gòu)。
[0063] 另外，本發(fā)明的波長(zhǎng)變換用石英玻璃構(gòu)件的制造方法的第3的方式可以包括以下 工序：制備在TEOS水解溶液中混合平均粒徑為0.1 ym~20 ym的熒光體粒子、和水的溶 液，涂布于所述石英玻璃基材后，在大氣中干燥，在所述石英玻璃基材的表面形成波長(zhǎng)變 換石英玻璃層的工序；和在所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層的表面形成透明被覆膜的工序，所述 TEOS水解溶液中的熒光體粒子相對(duì)于TEOS及熒光體粒子的合計(jì)量之比為10 :1~9質(zhì)量 份。
[0064] 優(yōu)選將所述TEOS水解溶液涂布于所述石英玻璃基材上之后，在大氣中干燥，之后 加熱至300~1000°C，形成厚度0. 1 μ m~10 μ m的波長(zhǎng)變換石英玻璃層，通過(guò)多次重復(fù)所 述波長(zhǎng)變換石英玻璃層的形成處理，從而形成厚達(dá)1~500 μ m的波長(zhǎng)變換石英玻璃層的層 疊結(jié)構(gòu)。
[0065] 優(yōu)選所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層的各積層的熒光體濃度從所述石英玻璃基材向透 明被覆膜從高濃度向低濃度調(diào)整而層疊。
[0066] 優(yōu)選所述波長(zhǎng)變換石英玻璃層的熒光體種類(lèi)為多種，在各層使用不同的熒光體， 層疊多層而形成。
[0067] 發(fā)明效果
[0068] 根據(jù)本發(fā)明的第1方式，起到能夠提供環(huán)境耐受性、耐熱性、耐久性及演色性高， 能夠以低溫工藝制造，可高效地進(jìn)行波長(zhǎng)變換的波長(zhǎng)變