源4，在該其他路徑產(chǎn)生朝向外部的空氣流動(dòng)。由此，也可以防止碎玻璃從該其他路徑進(jìn)入到封閉空間。
[0083]而且，在本實(shí)施方式中，供氣口 27d、27e配置在外殼27的下部、也就是外殼27的從Z軸方向中央靠近輪保持器222的位置。因此，即便在靠近輪保持器222的位置、也就是靠近產(chǎn)生碎玻璃位置的位置產(chǎn)生間隙，也可以增強(qiáng)從該間隙噴出的空氣的流動(dòng)。由此，可有效地防止碎玻璃從碎玻璃的飛散量特別容易變多的輪保持器222附近的間隙進(jìn)入到封閉空間。
[0084]而且，由于兩個(gè)供氣口 27d、27e分別形成在外殼27的右側(cè)面部27b及左側(cè)面部27c，因此可根據(jù)正壓源4的位置，將適當(dāng)?shù)墓饪?27d、27e用于空氣供給。由此，可使對(duì)供氣口 27d、27e進(jìn)行的供氣線的配管變簡(jiǎn)單。例如，在上下配置一對(duì)刻劃頭2的情況下，配置在上側(cè)的刻劃頭2與配置在下側(cè)的刻劃頭2成為相互朝向相反的關(guān)系。在本實(shí)施方式中，在右側(cè)面部27b及左側(cè)面部27c分別設(shè)置供氣口 27d、27e，因此對(duì)于上下的刻劃頭2，可選擇使用靠近正壓源4側(cè)的供氣口 27d、27e。
[0085]以上，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不受所述實(shí)施方式任何限制，而且，本發(fā)明的實(shí)施方式除以上所述以外也可以進(jìn)行各種變更。
[0086]例如，在所述實(shí)施方式中，供氣口 27d、27e分別形成在外殼27的右側(cè)面部27b及左側(cè)面部27c，但供氣口的配置位置并不限定于此。例如，也可以在外殼27的前表面部27a設(shè)置供氣口，或者還可以在基座板23、頂板24或底板25設(shè)置供氣口。
[0087]而且，在所述實(shí)施方式中，橡膠框26以將基座板23、頂板24及底板25連接的方式配置，但橡膠框26的配置部位并不限于此。例如，橡膠框26也可以只配置在碎玻璃的飛散量在周圍特別容易變多的底板25，或者還可以只配置在底板25及基座板23。在橡膠框26只配置在底板25的情況下，在基座板23與外殼27之間、及頂板24與外殼27之間會(huì)產(chǎn)生間隙。然而，由于在這些間隙從正壓源4供給的空氣向外部流動(dòng)，因此可抑制碎玻璃從該間隙進(jìn)入到封閉空間內(nèi)。但是，在此情況下，當(dāng)正壓源4為非作動(dòng)狀態(tài)時(shí)、或如空氣流動(dòng)弱時(shí)，會(huì)引起碎玻璃從間隙進(jìn)入到封閉空間內(nèi)。由此，優(yōu)選為如所述實(shí)施方式那樣在基座板23及頂板24也配置橡膠框26而提高封閉空間的氣密性。
[0088]進(jìn)而，在所述實(shí)施方式中，通過(guò)圓筒凸輪212及凸輪從動(dòng)件213，將伺服馬達(dá)211的旋轉(zhuǎn)方向的驅(qū)動(dòng)力轉(zhuǎn)換成升降方向(Z軸方向)的驅(qū)動(dòng)力，但收容在封閉空間的升降機(jī)構(gòu)的構(gòu)成并不限于此。例如，也可以將使用滾珠螺桿的升降機(jī)構(gòu)收容在封閉空間，還可以使用其他構(gòu)成的升降機(jī)構(gòu)。
[0089]此外，在使用滾珠螺桿的升降機(jī)構(gòu)中，滾珠螺桿包含滾珠螺桿螺帽及螺旋軸。滾珠螺桿螺帽固定在按壓部214，螺旋軸連結(jié)于所述實(shí)施方式中的伺服馬達(dá)211的輸出軸。如果使伺服馬達(dá)211的輸出軸旋轉(zhuǎn)，則連結(jié)于輸出軸的螺旋軸旋轉(zhuǎn)，從而滾珠螺桿螺帽沿著螺旋軸的軸向(Z軸方向)升降。由此，固定滾珠螺桿螺帽的按壓部214沿上下方向(Z軸方向)被施壓。這樣一來(lái)，升降機(jī)構(gòu)21可變更為各種機(jī)構(gòu)。
[0090]而且，在所述實(shí)施方式中，基座板23、頂板24及底板25互為獨(dú)立個(gè)體，但本發(fā)明的實(shí)施方式并不限于該構(gòu)成。例如，也可以使基座板23與頂板24及底板25由一個(gè)構(gòu)件一體地形成，或者也可以使基座板23與頂板24由一個(gè)構(gòu)件一體地形成，或者還可以使基座板23與底板25由一個(gè)構(gòu)件一體地形成。這樣一來(lái)，基座板23與頂板24及底板25連接的構(gòu)成可進(jìn)行各種變更。
[0091]而且，在所述實(shí)施方式中，設(shè)置了橡膠框26作為密封構(gòu)件，但密封構(gòu)件并不限于此。例如，也可以通過(guò)以跨及外殼27的周緣與基座板23、頂板24及底板25的上表面的方式貼附膠帶，而將外殼27與基座板23、頂板24及底板25之間的間隙堵住。在此情況下，密封構(gòu)件為膠帶。還可以通過(guò)使用其他密封構(gòu)件的方法來(lái)提高封閉空間的氣密性。
[0092]而且，在所述實(shí)施方式中，作為在脆性材料基板G的表面形成劃線的切割器，使用繞支軸旋轉(zhuǎn)的刀輪224，但形成劃線的切割器并不限于此。例如，也可以將本發(fā)明應(yīng)用在使用如下切割器的刻劃頭，該切割器一邊壓接在脆性材料基板G的表面一邊在不旋轉(zhuǎn)的情況下移動(dòng)。
[0093]此外，本發(fā)明的實(shí)施方式可在權(quán)利要求書(shū)所示的技術(shù)思想的范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行各種變更。
[0094][符號(hào)說(shuō)明]
[0095]I 刻劃裝置
[0096]2 刻劃頭
[0097]4 正壓源
[0098]5 移動(dòng)機(jī)構(gòu)
[0099]11 平臺(tái)
[0100]15 導(dǎo)桿
[0101]16滑動(dòng)單元
[0102]17 馬達(dá)
[0103]21升降機(jī)構(gòu)
[0104]222輪保持器
[0105]224刀輪
[0106]23基座板
[0107]24頂板
[0108]25底板
[0109]26橡膠框
[0110]27外殼
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種刻劃頭，其特征在于包含: 機(jī)構(gòu)部，一端具有刀具保持器，并且使該刀具保持器升降； 壁部，將供所述機(jī)構(gòu)部配置的空間劃分為封閉空間；以及 供氣口，設(shè)置在所述壁部，用以對(duì)所述封閉空間供給氣體。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻劃頭，其特征在于: 所述壁部包含: 基座板； 頂板，以連接于所述基座板的方式設(shè)置； 底板，以連接于所述基座板的方式設(shè)置，與所述頂板隔開(kāi)特定間隔而對(duì)向；以及 外殼，分別抵接于所述頂板、所述底板及所述基座板而形成所述封閉空間；并且 在所述頂板與底板之間設(shè)置所述機(jī)構(gòu)部， 在所述外殼設(shè)置有所述供氣口。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的刻劃頭，其特征在于: 在所述外殼與所述頂板相互抵接的抵接部、及所述外殼與所述底板相互抵接的抵接部中的至少靠近所述刀具保持器一方的抵接部，設(shè)置有用以提高所述封閉空間的氣密性的密封構(gòu)件。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的刻劃頭，其特征在于: 在所述外殼與所述基座板相互抵接的抵接部，設(shè)置有用以提高所述封閉空間的氣密性的密封構(gòu)件。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的刻劃頭，其特征在于: 所述供氣口配置在從所述壁部的所述機(jī)構(gòu)部的升降方向的中央偏向靠近所述刀具保持器一側(cè)的位置。6.一種刻劃裝置，其包含: 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的刻劃頭； 支撐部，支撐切斷對(duì)象的基板； 移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使所述刻劃頭相對(duì)于由所述支撐部支撐的所述基板移動(dòng)；以及 正壓源，連接于所述供氣口，對(duì)所述封閉空間供給氣體。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種可抑制碎玻璃混入到刻劃頭的機(jī)構(gòu)部的刻劃頭以及刻劃裝置?？虅濐^(2)包含：升降機(jī)構(gòu)(21)，一端具有輪保持器(222)，并且使該輪保持器(222)升降；基座板(23)、頂板(24)、底板(25)及外殼(27)，將供升降機(jī)構(gòu)配置的空間劃分為封閉空間；以及供氣口(27d、27e)，分別設(shè)置在外殼(27)的右側(cè)面部(27b)及左側(cè)面部(27c)，用以對(duì)所述封閉空間供給氣體。
【IPC分類】C03B33/10
【公開(kāi)號(hào)】CN104909553
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510041061
【發(fā)明人】成尾徹
【申請(qǐng)人】三星鉆石工業(yè)股份有限公司
【公開(kāi)日】2015年9月16日
【申請(qǐng)日】2015年1月27日