平向右移動(dòng)，且逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，可以實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)該子線圈B和與之相鄰的子線圈A之間的間距L減小，由于同時(shí)通過(guò)調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)桿20移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)相鄰兩個(gè)子線圈之間的間距，從而可以提高調(diào)節(jié)效率。另夕卜，容易理解，當(dāng)調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)桿20水平向左移動(dòng)，且逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，以及當(dāng)調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)桿20水平向左移動(dòng)，且逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí)，雖然同時(shí)通過(guò)調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)桿20移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)相鄰兩個(gè)子線圈之間的間距，但是二者的調(diào)節(jié)結(jié)果剛好相反(一種用于調(diào)節(jié)相鄰兩個(gè)子線圈之間的間距增大，另一種是調(diào)節(jié)相鄰兩個(gè)子線圈之間的間距減小)，因此沒(méi)有實(shí)際意義。
[0041]進(jìn)一步需要說(shuō)明的是，采用本實(shí)施例提供的調(diào)節(jié)裝置時(shí)，不需要對(duì)感應(yīng)線圈的每個(gè)子線圈均設(shè)置該調(diào)節(jié)裝置，只需要對(duì)相鄰兩個(gè)子線圈中的一個(gè)設(shè)置該調(diào)節(jié)裝置，另一個(gè)子線圈的位置保持不變即可，如圖3所示，對(duì)子線圈B設(shè)置有該調(diào)節(jié)裝置，對(duì)子線圈A并沒(méi)有設(shè)置調(diào)節(jié)裝置，只通過(guò)第一固定桿28、支撐桿22和第二固定桿29固定，但是，在實(shí)際應(yīng)用中，也可以不需要借助第一固定桿28、支撐桿22和第二固定桿29將子線圈A進(jìn)行固定，在本實(shí)施例中，借助該調(diào)節(jié)裝置可以實(shí)現(xiàn)在冷卻水液面26的上方對(duì)任意相鄰的兩個(gè)子線圈的間距進(jìn)行調(diào)節(jié)，即，可以實(shí)現(xiàn)間接位于冷卻水內(nèi)的感應(yīng)線圈的相鄰的兩個(gè)子線圈的間距進(jìn)行調(diào)節(jié)，當(dāng)然，本實(shí)施例提供的調(diào)節(jié)裝置也可以應(yīng)用于其他不可以直接調(diào)節(jié)的感應(yīng)線圈以及可以直接調(diào)節(jié)的感應(yīng)線圈上。容易理解，當(dāng)感應(yīng)線圈的子線圈的數(shù)量為偶數(shù)時(shí)，應(yīng)該設(shè)置的調(diào)節(jié)裝置的數(shù)量為子線圈數(shù)量的一半；當(dāng)感應(yīng)線圈的子線圈的數(shù)量為奇數(shù)時(shí)，應(yīng)該設(shè)置的調(diào)節(jié)裝置的數(shù)量為子線圈的數(shù)量加I的一半。
[0042]另外需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，通過(guò)實(shí)現(xiàn)連接桿21的固定端圍繞該旋轉(zhuǎn)軸23旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)相鄰兩個(gè)子線圈之間的間距，容易理解，在采用這種方式調(diào)節(jié)相鄰兩個(gè)子線圈之間的間距時(shí)，與該調(diào)節(jié)裝置連接的子線圈B與反應(yīng)腔室在豎直方向上的間距也發(fā)生變化，但由于該變化相對(duì)于兩個(gè)子線圈之間間距L的變化較小，因此子線圈B與反應(yīng)腔室在豎直方向上的間距發(fā)生的變化不予以考慮。
[0043]本實(shí)施例提供的調(diào)節(jié)裝置，其借助支撐桿22支撐連接桿21，且支撐桿22與連接桿21動(dòng)連接；以及借助連接桿21的固定端與感應(yīng)線圈一個(gè)子線圈B固定連接，連接桿21的活動(dòng)端與調(diào)節(jié)桿20的一端通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸23固定；并通過(guò)調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)桿20的移動(dòng)和/或旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)與之連接的連接桿21的活動(dòng)端圍繞旋轉(zhuǎn)軸23旋轉(zhuǎn)，因而間接帶動(dòng)連接桿21的固定端圍繞旋轉(zhuǎn)軸23旋轉(zhuǎn)，固定端在旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中帶動(dòng)與之固定連接的子線圈B移動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)該子線圈B和與之相鄰的子線圈A之間的間距L。由上可知，不僅可以實(shí)現(xiàn)對(duì)感應(yīng)線圈的相鄰兩個(gè)子線圈A和B之間的間距進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而可以提高感應(yīng)線圈對(duì)托盤(pán)加熱的均勻性，進(jìn)而可以提高工藝質(zhì)量；而且可以實(shí)現(xiàn)間接地調(diào)節(jié)相鄰兩個(gè)子線圈之間的間距，從而可以提高該調(diào)節(jié)裝置的實(shí)用性。
[0044]作為另外一個(gè)技術(shù)方案，本實(shí)施例還提供一種反應(yīng)腔室，包括感應(yīng)線圈和調(diào)節(jié)裝置，感應(yīng)線圈采用感應(yīng)加熱的方式對(duì)設(shè)置在反應(yīng)腔室內(nèi)托盤(pán)進(jìn)行加熱，感應(yīng)線圈設(shè)置在反應(yīng)腔室的底部下方，且感應(yīng)線圈沿反應(yīng)腔室的下表面螺旋狀纏繞，調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)節(jié)感應(yīng)線圈相鄰的兩個(gè)子線圈之間的間隙，調(diào)節(jié)裝置采用上述實(shí)施例提供的調(diào)節(jié)裝置。
[0045]并且，在本實(shí)施例中，對(duì)應(yīng)于感應(yīng)線圈的每個(gè)子線圈還設(shè)置有調(diào)節(jié)柱，調(diào)節(jié)柱用于調(diào)節(jié)與之對(duì)應(yīng)的該子線圈與反應(yīng)腔室在豎直方向上的間距，通過(guò)調(diào)節(jié)柱調(diào)節(jié)每個(gè)子線圈與反應(yīng)腔室在豎直方向上的間距，以及通過(guò)上述第一實(shí)施例提供的調(diào)節(jié)裝置調(diào)節(jié)相鄰兩個(gè)子線圈之間的間距，可以進(jìn)一步提高感應(yīng)線圈對(duì)托盤(pán)加熱的均勻性，從而可以提高工藝質(zhì)量。
[0046]容易理解，調(diào)節(jié)柱應(yīng)該和與之對(duì)應(yīng)的子線圈連接的調(diào)節(jié)裝置之間在該子線圈的周向上存在一定間距，這使得調(diào)節(jié)柱調(diào)節(jié)子線圈與反應(yīng)腔室在豎直方向上的間距不受調(diào)節(jié)裝置的影響，可以有助于調(diào)節(jié)柱調(diào)節(jié)與之對(duì)應(yīng)的子線圈下降或者上升。
[0047]本實(shí)施例提供的反應(yīng)腔室，其采用上述實(shí)施例提供的調(diào)節(jié)裝置，可以提高對(duì)反應(yīng)腔室內(nèi)托盤(pán)加熱的均勻性，從而可以提高工藝質(zhì)量。
[0048]作為另外一個(gè)技術(shù)方案，本實(shí)施例還提供一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括反應(yīng)腔室，反應(yīng)腔室采用上述實(shí)施例提供的反應(yīng)腔室。
[0049]本實(shí)施例提供的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其采用上述實(shí)施例提供的反應(yīng)腔室，可以提高工藝質(zhì)量，從而可以提高半導(dǎo)體加工設(shè)備的良品率。
[0050]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說(shuō)明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的原理和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種調(diào)節(jié)裝置，用于調(diào)節(jié)感應(yīng)線圈相鄰兩個(gè)子線圈之間的間距，其特征在于，包括調(diào)節(jié)桿、連接桿和支撐桿，其中， 所述支撐桿用于支撐所述連接桿，且所述支撐桿與所述連接桿動(dòng)連接； 所述連接桿的固定端與所述感應(yīng)線圈的一個(gè)子線圈固定連接，所述連接桿的活動(dòng)端與所述調(diào)節(jié)桿的一端通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸固定； 通過(guò)調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)桿的移動(dòng)和/或旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)與之連接的所述連接桿的活動(dòng)端圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，因而間接帶動(dòng)所述連接桿的固定端圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，所述固定端在旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中帶動(dòng)與之固定連接的子線圈移動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)該子線圈和與之相鄰的子線圈之間的間距。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，在所述調(diào)節(jié)桿上，沿其移動(dòng)的路徑設(shè)置有與調(diào)節(jié)所述感應(yīng)線圈的相鄰兩個(gè)子線圈之間的間距具有一定的對(duì)應(yīng)關(guān)系的刻度值，在所述調(diào)節(jié)桿移動(dòng)的過(guò)程中通過(guò)讀取所述調(diào)節(jié)桿上的刻度值來(lái)判斷相鄰兩個(gè)子線圈之間的當(dāng)前間距。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，還包括輔助連接桿，所述輔助連接桿的數(shù)量為多個(gè)，所述多個(gè)輔助連接桿依次串接固定形成一個(gè)輔助連接鏈，且各個(gè)輔助連接桿所在的直線不在同一條直線上； 所述輔助連接鏈?zhǔn)锥伺c所述連接桿的活動(dòng)端通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸固定，所述輔助連接鏈尾端與所述調(diào)節(jié)桿的一端固定， 通過(guò)調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)桿移動(dòng)和/或旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)與之連接的所述輔助連接鏈進(jìn)行相應(yīng)地運(yùn)動(dòng)，并間接帶動(dòng)所述連接桿的活動(dòng)端圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，還包括輔助支撐桿，所述輔助支撐桿的數(shù)量相對(duì)所述輔助連接桿的數(shù)量少一個(gè)，且每個(gè)所述輔助支撐桿設(shè)置在相鄰兩個(gè)所述輔助連接桿的連接點(diǎn)處，用以支撐該相鄰的兩個(gè)所述輔助連接桿。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，還包括調(diào)節(jié)螺母，所述調(diào)節(jié)螺母與所述調(diào)節(jié)桿采用螺紋連接方式固定，并通過(guò)旋轉(zhuǎn)所述調(diào)節(jié)螺母實(shí)現(xiàn)所述調(diào)節(jié)桿的移動(dòng)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，在所述調(diào)節(jié)桿上沿其移動(dòng)的路徑設(shè)置有多個(gè)卡位，每個(gè)所述卡位對(duì)應(yīng)于所述感應(yīng)線圈的相鄰兩個(gè)子線圈之間固定的間距， 還包括卡件，用于在調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)桿移動(dòng)的過(guò)程中將在一個(gè)所述卡位處將所述調(diào)節(jié)桿固定，以調(diào)節(jié)所述感應(yīng)線圈的相鄰兩個(gè)子線圈之間的間距。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)桿在沿其移動(dòng)方向的截面上的投影形狀包括直線、曲線、折線或者直線、曲線和折線中的兩種或者三種串接的形狀。8.一種反應(yīng)腔室，包括感應(yīng)線圈和調(diào)節(jié)裝置，所述感應(yīng)線圈采用感應(yīng)加熱的方式對(duì)設(shè)置在所述反應(yīng)腔室內(nèi)托盤(pán)進(jìn)行加熱，所述感應(yīng)線圈設(shè)置在所述反應(yīng)腔室的底部下方，且所述感應(yīng)線圈沿所述反應(yīng)腔室的下表面螺旋狀纏繞，所述調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)節(jié)所述感應(yīng)線圈相鄰的兩個(gè)子線圈之間的間隙，其特征在于，所述調(diào)節(jié)裝置采用權(quán)利要求1-7任意一項(xiàng)所述的調(diào)節(jié)裝置。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的反應(yīng)腔室，其特征在于，對(duì)應(yīng)于所述感應(yīng)線圈的每個(gè)子線圈還設(shè)置有調(diào)節(jié)柱，所述調(diào)節(jié)柱用于調(diào)節(jié)與之對(duì)應(yīng)的該子線圈與所述反應(yīng)腔室在豎直方向上的間距。10.一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括反應(yīng)腔室，其特征在于，所述反應(yīng)腔室采用權(quán)利要求8-9任意一項(xiàng)所述的反應(yīng)腔室。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供一種調(diào)節(jié)裝置、反應(yīng)腔室及半導(dǎo)體加工設(shè)備，調(diào)節(jié)裝置包括調(diào)節(jié)桿、連接桿和支撐桿，支撐桿用于支撐連接桿，且支撐桿與連接桿動(dòng)連接；連接桿的固定端與感應(yīng)線圈的一個(gè)子線圈固定連接，連接桿的活動(dòng)端與調(diào)節(jié)桿的一端通過(guò)旋轉(zhuǎn)軸固定；通過(guò)調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)桿的移動(dòng)和/或旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)與之連接的連接桿的活動(dòng)端圍繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，因而間接帶動(dòng)連接桿的固定端圍繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，固定端在旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中帶動(dòng)與之固定連接的子線圈移動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)該子線圈和與之相鄰的子線圈之間的間距。本發(fā)明提供的調(diào)節(jié)裝置，不僅可以提高感應(yīng)線圈對(duì)托盤(pán)加熱的均勻性，從而可以提高工藝質(zhì)量；而且可以提高該調(diào)節(jié)裝置的實(shí)用性。
【IPC分類(lèi)】C30B29/06, C30B25/10, C30B25/16
【公開(kāi)號(hào)】CN104928754
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410099577
【發(fā)明人】蒲春
【申請(qǐng)人】北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
【公開(kāi)日】2015年9月23日
【申請(qǐng)日】2014年3月18日