一種用于cvd沉積車(chē)床的旋轉(zhuǎn)密封裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于光纖預(yù)制棒加工設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種用于CVD沉積車(chē)床的旋轉(zhuǎn)密封裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]MCVD和FCVD是光纖預(yù)制棒的兩種沉積加工工藝，旋轉(zhuǎn)密封裝置是MCVD和FCVD加工設(shè)備的核心部分。進(jìn)料氣管與預(yù)制棒沉積襯管之間通過(guò)旋轉(zhuǎn)密封裝置分別實(shí)現(xiàn)靜態(tài)及動(dòng)態(tài)旋轉(zhuǎn)密封。現(xiàn)有的旋轉(zhuǎn)密封裝置主要由金屬圈、旋轉(zhuǎn)端頭、金屬軸承套、金屬小軸承、以及大、小橡膠封圈組成，金屬圈通過(guò)旋轉(zhuǎn)端頭與金屬軸承套連接，大橡膠圈置于金屬圈之間的斜面內(nèi)，金屬圈通過(guò)大橡膠圈的擠壓變形，與工藝沉積管行程接觸密封并一同旋轉(zhuǎn)，金屬軸承套通過(guò)金屬小軸承里的小橡膠圈與工藝金屬管接觸實(shí)現(xiàn)靜止密封及連接。這樣的旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)存在以下幾方面的問(wèn)題:1、現(xiàn)有設(shè)備組成復(fù)雜，每次工藝沉積完成之后都需要拆卸及清理，操作繁瑣，維護(hù)也相當(dāng)麻煩；2、安裝容易不到位，密封性難以保證；3、旋轉(zhuǎn)密封裝置內(nèi)部有橡膠密封圈，需要涂抹潤(rùn)滑劑，當(dāng)工藝金屬管道穿過(guò)時(shí)容易將潤(rùn)滑劑帶入工藝沉積管，產(chǎn)生車(chē)技缺陷；4、進(jìn)料管道需要穿過(guò)多個(gè)部件，清理難度較大，如果清理不到位，容易使沉積的預(yù)制棒產(chǎn)生氣泡等缺陷，同時(shí)引入的污染物容易導(dǎo)致光纖衰耗增加，引發(fā)產(chǎn)品報(bào)廢風(fēng)險(xiǎn)；5.與旋轉(zhuǎn)密封接頭對(duì)接的進(jìn)料金屬氣管長(zhǎng)期裸露在空氣中，容易銹蝕，從而影響預(yù)制棒及光纖質(zhì)量；6.金屬小軸承因氯化物潮解容易生銹，從而影響產(chǎn)品性能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的問(wèn)題，提供一種用于CVD沉積車(chē)床的旋轉(zhuǎn)密封裝置，該裝置便于安裝和拆卸、安裝質(zhì)量好，并且使用性能穩(wěn)定。
[0004]本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:提供一種用于CVD (化學(xué)氣相沉積)沉積車(chē)床的旋轉(zhuǎn)密封裝置，該裝置包括旋轉(zhuǎn)體、密封端蓋、尾端密封體、端封、第一鎖緊件、第二鎖緊件，進(jìn)料氣管通過(guò)尾端密封體、第一鎖緊件固定在端封上，尾端密封體、第一鎖緊件、端封對(duì)進(jìn)料氣管進(jìn)行靜態(tài)密封，預(yù)制棒沉積襯管與進(jìn)料氣管通過(guò)旋轉(zhuǎn)體連接密封，預(yù)制棒沉積襯管通過(guò)第二鎖緊件、密封端蓋固定在旋轉(zhuǎn)體上，端封與旋轉(zhuǎn)體之間通過(guò)密封體件、支撐件實(shí)現(xiàn)預(yù)制棒沉積襯管的旋轉(zhuǎn)密封以及進(jìn)料氣管的靜態(tài)密封。
[0005]按上述技術(shù)方案，旋轉(zhuǎn)體、密封端蓋、尾端密封體、端封、第一鎖緊件、第二鎖緊件，均采用聚四氟乙烯材料。
[0006]按上述技術(shù)方案，密封體件中開(kāi)設(shè)潔凈壓縮空氣吹掃進(jìn)氣孔和出氣孔，潔凈壓縮空氣使用氮?dú)狻?br>[0007]按上述技術(shù)方案，通過(guò)端封蓋將支撐件與旋轉(zhuǎn)體固定。
[0008]按上述技術(shù)方案，還包括X向調(diào)節(jié)板件、Y向調(diào)節(jié)板件、導(dǎo)軌、支撐體、安裝底板，在端封上設(shè)置卡口，將端封固定在X向調(diào)節(jié)板上，在Y向調(diào)節(jié)板上沿豎直方向開(kāi)設(shè)腰槽，X向調(diào)節(jié)板通過(guò)緊固螺釘、螺母與Y向調(diào)節(jié)板連接在一起，緊固螺釘穿過(guò)腰槽，Y向調(diào)節(jié)板固定到安裝在導(dǎo)軌上的滑塊上，與滑塊一起沿導(dǎo)軌滑動(dòng)。緊固螺釘、螺母擰緊時(shí)，X向調(diào)節(jié)板與Y向調(diào)節(jié)板固定連接在一起，彼此之間不可移動(dòng)。緊固螺釘、螺母不擰緊時(shí)，緊固螺釘可在腰槽中上下滑動(dòng)，從而調(diào)節(jié)X向調(diào)節(jié)板件、Y向調(diào)節(jié)板件之間的相對(duì)位置。導(dǎo)軌通過(guò)螺釘固定在支撐體上，滑塊上設(shè)有鎖緊手柄，鎖緊手柄鎖緊時(shí)將滑塊固定在導(dǎo)軌上，支撐體與安裝底板通過(guò)螺釘固定連接在一起，旋轉(zhuǎn)密封裝置通過(guò)安裝底板固定在CVD沉積車(chē)床的前端機(jī)頭上。
[0009]按上述技術(shù)方案，還包括O型圈一，O型圈一的內(nèi)圈、外圈分別與尾端密封體的內(nèi)表面、端封的外端面之間過(guò)盈配合進(jìn)行密封。
[0010]按上述技術(shù)方案，還包括O型圈四，O型圈四的內(nèi)圈、外圈分別與預(yù)制棒沉積襯管的外端面、密封端蓋的內(nèi)表面之間過(guò)盈配合進(jìn)行密封。
[0011]按上述技術(shù)方案，端封與密封體件之間通過(guò)螺紋進(jìn)行連接并通過(guò)O型圈二進(jìn)行密封。
[0012]按上述技術(shù)方案，端封蓋與密封體件通過(guò)螺紋連接；旋轉(zhuǎn)體通過(guò)支撐件進(jìn)行導(dǎo)向與端封蓋固定在一起，旋轉(zhuǎn)體的尾端延伸到端封內(nèi)，并通過(guò)O型圈三進(jìn)行密封。
[0013]本發(fā)明產(chǎn)生的有益效果是:1、旋轉(zhuǎn)密封裝置各部件及靜態(tài)密封連接件均使用聚四氟乙烯材料，由于其不受氯化物腐蝕及良好的自潤(rùn)滑特性，不會(huì)產(chǎn)生碎肩及金屬氧化物，可以保持整個(gè)裝置的性能穩(wěn)定；2、由于旋轉(zhuǎn)密封裝置是通過(guò)安裝底板使用螺釘固定在車(chē)床的前端機(jī)頭上，化學(xué)氣相沉積過(guò)程開(kāi)始及結(jié)束均無(wú)需拆卸，操作及維護(hù)簡(jiǎn)單且避免二次污染；
3、由于該旋轉(zhuǎn)密封裝置有X向及Y向調(diào)節(jié)板，可實(shí)現(xiàn)預(yù)制棒沉積襯管自對(duì)中功能，擴(kuò)展了設(shè)備使用的容忍性；4、由于密封體件上設(shè)有高純N2吹掃功能，可有效防止外界空氣進(jìn)入密封體件的內(nèi)部，從而污染進(jìn)料氣管管口及預(yù)制棒沉積襯管。
【附圖說(shuō)明】
[0014]下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明，附圖中:
圖1是本發(fā)明實(shí)施例旋轉(zhuǎn)密封裝置的剖面圖；
圖2是本發(fā)明實(shí)施例旋轉(zhuǎn)密封裝置的整體布局圖；
圖3是本發(fā)明實(shí)施例旋轉(zhuǎn)密封裝置的軸側(cè)視圖；
圖4是本發(fā)明實(shí)施例旋轉(zhuǎn)密封裝置的仰視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0016]本發(fā)明實(shí)施例中，提供一種用于CVD沉積車(chē)床的旋轉(zhuǎn)密封裝置，該裝置包括旋轉(zhuǎn)體、密封端蓋、尾端密封體、端封、第一鎖緊件、第二鎖緊件，進(jìn)料氣管通過(guò)尾端密封體、第一鎖緊件固定在端封上，尾端密封體、第一鎖緊件、端封對(duì)進(jìn)料氣管進(jìn)行靜態(tài)密封，預(yù)制棒沉積襯管與進(jìn)料氣管通過(guò)旋轉(zhuǎn)體連接密封，預(yù)制棒沉積襯管通過(guò)第二鎖緊件、密封端蓋固定在旋轉(zhuǎn)體上，端封與旋轉(zhuǎn)體之間通過(guò)密封體件、支撐件實(shí)現(xiàn)預(yù)制棒沉積襯管的旋轉(zhuǎn)密封以及進(jìn)料氣管的靜態(tài)密封。
[0017]其中，旋轉(zhuǎn)體、密封端蓋、尾端密封體、端封、第一鎖緊件、第二鎖緊件，均采用聚四氟乙烯材料。由于聚四氟乙烯材料不受氯化物腐蝕及良好的自潤(rùn)滑特性，不會(huì)產(chǎn)生碎肩及金屬氧化物，可以保持整個(gè)裝置的性能穩(wěn)定
進(jìn)一步地，密封體件中開(kāi)設(shè)潔凈壓縮空氣吹掃進(jìn)氣孔和出氣孔，潔凈壓縮空氣可以選用氮?dú)??？纱_保密封體件的潔凈環(huán)境。
[0018]進(jìn)一步地，通過(guò)端封蓋將支撐件與旋轉(zhuǎn)體固定，使整個(gè)裝置的穩(wěn)定性更好。
[0019]本發(fā)明實(shí)施例中，該旋轉(zhuǎn)密封裝置還包括X向調(diào)節(jié)板件、Y向調(diào)節(jié)板件、導(dǎo)軌、支撐體、安裝底板，如圖2-圖4所示，在端封上設(shè)置卡口，將端封固定在X向調(diào)節(jié)板22上，在Y向調(diào)節(jié)板23上沿豎直方向開(kāi)設(shè)腰槽，X向調(diào)節(jié)板通過(guò)緊固螺釘、螺母與Y向調(diào)節(jié)板連接在一起，緊固螺釘穿過(guò)腰槽，Y向調(diào)節(jié)板固定到安裝在導(dǎo)軌24上的滑塊上，與滑塊一起沿導(dǎo)軌滑動(dòng)。緊固螺釘、螺母擰緊時(shí)，X向調(diào)節(jié)板與Y向調(diào)節(jié)板固定連接在一起，彼此之間不可移動(dòng)。緊固螺釘、螺母不擰緊時(shí)，緊固螺釘可在腰槽中上下滑動(dòng)，從而調(diào)節(jié)X向調(diào)節(jié)板件、Y向調(diào)節(jié)板件之間的相對(duì)位置