一種陽(yáng)光選擇濾光膜系的雙銀節(jié)能玻璃沉積方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及建筑及交通用具等節(jié)能窗用領(lǐng)域，具體涉及一種陽(yáng)光選擇濾光膜系的雙銀節(jié)能玻璃沉積方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)的高速增長(zhǎng)，社會(huì)的快速發(fā)展，每年新增建筑約20億平方米。然而其中大部分仍為高能耗建筑，只有5%達(dá)到節(jié)能建筑要求。在建筑能耗之中，采暖和空調(diào)能耗占比最大，約占60%?70%。采暖和空調(diào)能耗主要通過(guò)建筑外圍結(jié)構(gòu)與室外環(huán)境的熱交換消耗。我國(guó)北方寒冷地區(qū)冬季采暖需用大量煤炭，夏季炎熱的南方地區(qū)及夏季全國(guó)的空調(diào)制冷需用大量電能。而據(jù)統(tǒng)計(jì)，窗戶能耗量占建筑外圍結(jié)構(gòu)能耗的50%。而在傳熱損耗中，窗框占15%，玻璃占約85%。可見(jiàn)，玻璃節(jié)能性能的高低，直接影響建筑能耗。傳統(tǒng)的Low?E玻璃不具備根據(jù)不同的地區(qū)瑋度和氣候?qū)κ覂?nèi)溫度人體舒適度的要求，對(duì)太陽(yáng)光不具有進(jìn)行選擇性的過(guò)濾透過(guò)的功能。這樣大多數(shù)只能用于高瑋度的寒冷地區(qū)，且只是在冬季，其低輻射的性能才得到發(fā)揮。在炎熱的夏季全國(guó)及南方地區(qū)，傳統(tǒng)的Low?E玻璃由于不能對(duì)陽(yáng)光進(jìn)行可選擇性的透過(guò)，并且由于較低的透過(guò)率的原因，不僅不能降低能耗，使得建筑室內(nèi)和交通工具內(nèi)的熱量過(guò)多的聚集，反而更加加大了空調(diào)制冷需用的大量電能。再者，傳統(tǒng)的Low?E玻璃過(guò)厚的金屬膜層增加了可見(jiàn)光的反射，在可見(jiàn)光光譜范圍內(nèi)的整體透過(guò)性不高，容易造成光污染，且室外反射顏色，并不滿足建筑設(shè)計(jì)外觀的設(shè)計(jì)要求。同樣的，交通工具的窗用玻璃由于不具有節(jié)約能源的功能，無(wú)論是在寒冷的冬季還是在炎熱的夏季，為了保持交通工具內(nèi)的溫度舒適，都要消耗大量的燃料，也造成了更大的環(huán)境污染。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處，本發(fā)明的目的是提供一種工藝簡(jiǎn)單，節(jié)能環(huán)保的陽(yáng)光選擇濾光膜系的雙銀節(jié)能玻璃沉積方法。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案的如下:本發(fā)明為一種陽(yáng)光選擇濾光膜系的雙銀節(jié)能玻璃的薄膜沉積方法，所述陽(yáng)光選擇濾光膜系的雙銀節(jié)能玻璃從內(nèi)到外依次為玻璃基體、陽(yáng)光減反膜系、陽(yáng)光選擇濾光膜系、功能連接轉(zhuǎn)換膜系、第一可見(jiàn)光透過(guò)增強(qiáng)膜系、第一膜層附著力增強(qiáng)的膜系、第一單銀低輻射膜系、第二膜層附著力增強(qiáng)的膜系、第二可見(jiàn)光透過(guò)增強(qiáng)膜系、第三膜層附著力增強(qiáng)的膜系、第二單銀低輻射膜系、第四膜層附著力增強(qiáng)的膜系、第三可見(jiàn)光透過(guò)增強(qiáng)膜系、色彩調(diào)制膜系和表面覆蓋膜系；
[0005]在薄膜正常生產(chǎn)濺射過(guò)程中，在大型平板玻璃連續(xù)磁控濺射鍍膜機(jī)上依次配置靶材，進(jìn)行工業(yè)化連續(xù)生產(chǎn)；調(diào)節(jié)玻璃的傳送速度在3?8m/min ;每對(duì)陰極上所施加的功率為20?60kw，施加在靶材上的電流為50?120A ;氣相沉積時(shí)通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335SCCm，當(dāng)所需的工藝氣體為氬氣和氧氣的混合時(shí)，加入的氧氣的流量為氬氣流量的1?8% ;當(dāng)所需的工藝氣體為氬氣和除氧氣以外的其他工藝氣體的混合時(shí)，加入的其他工藝氣體的流量為氬氣流量的3?8%。
[0006]進(jìn)一步地，在薄膜正常生產(chǎn)濺射沉積陽(yáng)光減反膜系的過(guò)程中，每對(duì)陰極上所施加的功率為40?60kw，施加在靶材上的電流為100?120A ;氣相沉積時(shí)通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335sccm，當(dāng)所需的工藝氣體為氬氣和氧氣的混合時(shí)，加入的氧氣的流量為氬氣流量的1?8% ;當(dāng)所需的工藝氣體為氬氣和除氧氣以外的其他工藝氣體的混合時(shí)，加入的其他工藝氣體的流量為氬氣流量的3?8% ;所述陽(yáng)光減反膜系由金屬氧化物和金屬氟化物組成。
[0007]進(jìn)一步地，在薄膜正常生產(chǎn)濺射沉積陽(yáng)光選擇濾光膜系的過(guò)程中，每對(duì)陰極上所施加的功率為40?60kw，施加在靶材上的電流為100?120A ;氣相沉積時(shí)通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335SCCm，當(dāng)所需的工藝氣體為氬氣和氧氣的混合時(shí)，加入的氧氣的流量為氬氣流量的1?8% ;當(dāng)所需的工藝氣體為氬氣和除氧氣以外的其他工藝氣體的混合時(shí)，加入的其他工藝氣體的流量為氬氣流量的3?8% ;所述陽(yáng)光選擇濾光膜系由金屬氧化物和金屬氟化物組成。
[0008]更進(jìn)一步地，在薄膜正常生產(chǎn)濺射沉積功能連接轉(zhuǎn)換膜系的過(guò)程中，每對(duì)陰極上所施加的功率為30?40kw，施加在靶材上的電流為75?100A ;氣相沉積時(shí)通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335SCCm，當(dāng)所需的工藝氣體為氬氣和氧氣的混合時(shí)，加入的氧氣的流量為氬氣流量的1?8% ;當(dāng)所需的工藝氣體為氬氣和除氧氣以外的其他工藝氣體的混合時(shí)，加入的其他工藝氣體的流量為氬氣流量的3?8% ;所述功能連接轉(zhuǎn)換膜系由金屬氧化物和金屬硫化物組成。
[0009]進(jìn)一步地，在薄膜正常生產(chǎn)濺射沉積第一可見(jiàn)光透過(guò)增強(qiáng)膜系、第二可見(jiàn)光透過(guò)增強(qiáng)膜系和第三可見(jiàn)光透過(guò)增強(qiáng)膜系的過(guò)程中，每對(duì)陰極上所施加的功率為40?60kw，施加在靶材上的電流為100?120A ;氣相沉積時(shí)通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335SCCm，當(dāng)所需的工藝氣體為氬氣和氧氣的混合時(shí)，加入的氧氣的流量為氬氣流量的1?8% ;所述第一可見(jiàn)光透過(guò)增強(qiáng)膜系、第二可見(jiàn)光透過(guò)增強(qiáng)膜系和第三可見(jiàn)光透過(guò)增強(qiáng)膜系均為透明導(dǎo)電金屬氧化物。
[0010]進(jìn)一步地，在薄膜正常生產(chǎn)濺射第一膜層附著力增強(qiáng)的膜系、第二膜層附著力增強(qiáng)的膜系、第三膜層附著力增強(qiáng)的膜系和第四膜層附著力增強(qiáng)的膜系的過(guò)程中，每對(duì)陰極上所施加的功率為20?30kw，施加在靶材上的電流為50?75A ;氣相沉積時(shí)通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335sCCm ;所述第一膜層附著力增強(qiáng)的膜系、第二膜層附著力增強(qiáng)的膜系、第三膜層附著力增強(qiáng)的膜系和第四膜層附著力增強(qiáng)的膜系均由金屬氧化物和非金屬氧化物組成。
[0011]更進(jìn)一步地，在薄膜正常生產(chǎn)濺射第一單銀低輻射膜系和第二單銀低輻射膜系的過(guò)程中，每對(duì)陰極上所施加的功率為20?30kw，施加在靶材上的電流為50?75A ;氣相沉積時(shí)通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335sCCm ;所述第一單銀低輻射膜系和第二單銀低輻射膜系由銀和其他金屬組成，所述其他金屬為鉻、鎳或鈦。
[0012]進(jìn)一步地，在薄膜正常生產(chǎn)濺射沉積色彩調(diào)制膜系的過(guò)程中，每對(duì)陰極上所施加的功率為40?60kw，施加在靶材上的電流為100?120A ;氣相沉積時(shí)通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335sccm，當(dāng)所需的工藝氣體為氬氣和氧氣的混合時(shí)，加入的氧氣的流量為氬氣流量的1?8% ;當(dāng)所需的工藝氣體為氬氣和除氧氣以外的其他工藝氣體的混合時(shí)，加入的其他工藝氣體的流量為氬氣流量的3?8% ;所述色彩調(diào)制膜系由金屬氧化物、非金屬氧化物、金屬硫化物和金屬氮化物組成。
[0013]進(jìn)一步地，在薄膜正常生產(chǎn)濺射沉積表面覆蓋膜系的過(guò)程中，每對(duì)陰極上所施加的功率為40?60kw，施加在靶材上的電流為100?120A ;氣相沉積時(shí)通入的工藝氣體為氬氣，所述氬氣的流量為325?335sccm，當(dāng)所需的工藝氣體為氬氣和氧氣的混合時(shí)，加入的氧氣的流量為氬氣流量的1?8% ;所述表面覆蓋膜系由金屬氧化物和非金屬氧化物組成。
[0014]有益效果:本發(fā)明工藝簡(jiǎn)單，節(jié)能環(huán)保。在薄膜正常生產(chǎn)濺射過(guò)程中，根據(jù)我們?cè)O(shè)計(jì)的膜層匹配組合和材料以及生產(chǎn)工藝，能夠達(dá)到不對(duì)玻璃機(jī)體加熱，實(shí)現(xiàn)整個(gè)膜系的常溫氣相沉積。
【具體實(shí)施方式】<