基板加工裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種加工脆性材料基板的基板加工裝置。
【背景技術】
[0002]基板加工裝置是用于例如分斷由玻璃等形成的脆性材料基板。專利文獻I公開了現有基板加工裝置的一個例子。該基板加工裝置具備:搬送帶，搬送脆性材料基板；定位裝置及夾緊裝置，在脆性材料基板的搬送方向上配置于搬送帶的上游側；及刻劃裝置，在脆性材料基板的搬送方向上配置于搬送帶的下游側?；寮庸ぱb置還具備:第I驅動裝置，在脆性材料基板的搬送方向上移動搬送帶；及第2驅動裝置，在脆性材料基板的搬送方向上移動夾緊裝置。
[0003]根據所述基板加工裝置，首先利用定位裝置決定脆性材料基板的位置。接著，利用定位裝置將脆性材料基板搬送至搬送帶上。然后，利用夾緊裝置夾緊載置于搬送帶上的脆性材料基板。之后，利用第I驅動裝置驅動搬送帶，同時利用第2驅動裝置驅動夾緊裝置，由此將脆性材料基板搬送至刻劃裝置。接著，利用刻劃裝置在脆性材料基板上形成切割道。然后，沿著切割道將該脆性材料基板分斷，由此形成特定大小的面板。
[0004][【背景技術】文獻]
[0005][專利文獻]
[0006][專利文獻I]再公表專利W02005/087458號公報

【發(fā)明內容】

[0007][發(fā)明所要解決的問題]
[0008]根據所述基板加工裝置，當搬送脆性材料基板時，第I驅動裝置及第2驅動裝置是以搬送帶及夾緊裝置同步移動的方式進行動作。但是，搬送帶的移動速度與夾緊裝置的移動速度有可能并不一致。這種情況下，被夾緊裝置夾緊的脆性材料基板相對于搬送帶而移動，在脆性材料基板與搬送帶之間產生摩擦，有可能會損傷脆性材料基板。
[0009]本發(fā)明的目的在于提供一種不易損傷脆性材料基板的基板加工裝置。
[0010][解決問題的技術手段]
[0011](I)本發(fā)明的一實施方式的基板加工裝置具備:搬送帶，搬送脆性材料基板；及夾緊裝置，將載置于所述搬送帶上的所述脆性材料基板夾緊；且所述搬送帶與所述夾緊裝置連結。
[0012]根據本基板加工裝置，由于搬送帶與夾緊裝置連結，因此搬送帶的移動速度與夾緊裝置的移動速度實質上一致。因此，減小脆性材料基板與搬送帶之間產生摩擦的可能性，從而不易損傷脆性材料基板。
[0013](2)根據所述基板加工裝置的一實施方式，還具備驅動裝置，所述驅動裝置通過對所述搬送帶及所述夾緊裝置兩者傳達驅動力，使所述搬送帶及所述夾緊裝置在所述脆性材料基板的搬送方向上移動。
[0014]根據本基板加工裝置，搬送帶及夾緊裝置通過共通的驅動裝置而在搬送方向移動，因此搬送帶的移動速度與夾緊裝置的移動速度實質上一致。因此，抑制脆性材料基板與搬送帶之間產生摩擦的情況，不易損傷脆性材料基板。
[0015](3)根據所述基板加工裝置的一實施方式，還具備前步驟裝置，所述前步驟裝置自所述搬送帶的上方向所述搬送帶上載置所述脆性材料基板，所述夾緊裝置具備:基板支撐部，相對于所述搬送帶的位置固定，從下方支撐所述脆性材料基板；及機械臂，相對于所述基板支撐部旋轉或移動，將所述脆性材料基板夾入機械臂與所述基板支撐部之間。
[0016]根據本基板加工裝置，利用前步驟裝置，將脆性材料基板從搬送帶的上方載置于搬送帶上。因此，構成夾緊裝置的基板支撐部即便相對于搬送帶的位置預先被固定，在脆性材料基板在搬送帶上移動的過程中也不會妨礙脆性材料基板的移動。而且，通過采用基板支撐部的位置被固定的構造，可以省去現有基板加工裝置包含的夾緊裝置的升降機構。因此，夾緊裝置的構成被簡化。
[0017](4)根據所述基板加工裝置的一實施方式，在所述搬送帶上形成有孔或凹部，所述基板支撐部配置于所述孔或所述凹部。
[0018]根據本基板加工裝置，與將基板支撐部配置于搬送帶周圍的情況相比，基板加工裝置中基板支撐部及搬送帶所占據的區(qū)域變小。因此，基板加工裝置容易小型化。
[0019](5)根據所述基板加工裝置的一實施方式，所述前步驟裝置決定所述搬送帶的寬度方向上所述脆性材料基板相對于所述搬送帶的位置。
[0020]根據本基板加工裝置，將經過前步驟裝置定位后的脆性材料基板載置于搬送帶及基板支撐部上。接著，通過夾緊裝置的機械臂旋轉或移動，脆性材料基板被夾緊裝置夾緊。因此，夾緊裝置夾緊脆性材料基板時決定的脆性材料基板的位置不易偏移。
[0021][發(fā)明的效果]
[0022]根據所述基板加工裝置的一實施方式，不易損傷脆性材料基板。
【附圖說明】
[0023]圖1是實施方式的基板加工裝置的正面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。
[0024]圖2是圖1的基板加工裝置的俯視圖。
[0025]圖3是圖1的基板加工裝置的背面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。
[0026]圖4是圖1的基板加工裝置的夾緊部的放大圖。
[0027]圖5是圖1的夾緊裝置的俯視圖。
[0028]圖6是圖5的夾緊裝置的側視圖。
[0029]圖7是圖6的夾緊裝置的機械臂打開的狀態(tài)的側視圖。
[0030]圖8是圖7的夾緊裝置的機械臂閉合的狀態(tài)的側視圖。
[0031]圖9是圖3的基板加工裝置正在搬送脆性材料基板的背面?zhèn)鹊牧Ⅲw圖。
【具體實施方式】
[0032]參照圖1，對基板加工裝置I的構成進行說明。
[0033]基板加工裝置I具備:搬送裝置10，搬送由玻璃等形成的脆性材料基板300 ;多個夾緊裝置40，夾緊脆性材料基板300 ;及刻劃裝置90，在由搬送裝置10搬送的脆性材料基板300上形成切割道。此外，在比刻劃裝置90更靠脆性材料基板300的搬送方向下游側，配置有斷開裝置200，所述斷開裝置200沿著切割道將脆性材料基板300分割。而且，在基板加工裝置I的框架2的側方配置有前步驟裝置100，所述前步驟裝置100決定搬送裝置10的搬送帶11的寬度方向上脆性材料基板300相對于搬送帶11的位置，并將脆性材料基板300自搬送帶11的上方載置于搬送帶11上。
[0034]參照圖2，對搬送裝置10的構成進行說明。
[0035]搬送裝置10具備:搬送帶11 (參照圖1)，供脆性材料基板300載置；多個支撐板12，安裝在基板加工裝置I的框架2上；及滾筒13A、13B，供搬送帶11卷繞。
[0036]搬送帶11形成有多個孔IIA (參照圖4)。多個支撐板12在搬送帶11 (參照圖1)的寬度方向空開間隔而排列，且前端安裝有多個滾筒13A。此外，在框架2中比支撐板12更靠脆性材料基板300的搬送方向的上游側，安裝有一個滾筒13B。
[0037]參照圖3及圖4，對驅動裝置20的構成進行說明。
[0038]如圖3所示，驅動裝置20具備:一對軌道21，形成在框架2的側方；一對導件22，沿著軌道21移動；2塊導件連結板23，連結一對導件22 ;搬送帶連結部24，連結導件連結板23與搬送帶11 ;及馬達25，使一對導件22移動。
[0039]—對軌道21為沿著脆性材料基板300的搬送方向延伸的形狀。一對導件22經由例如進給螺桿機構(省略圖示)而與馬達25的輸出軸連結。
[0040]2塊導件連結板23配置成自一對導件22中的一導件22跨及另一導件22。
[0041]如圖3及圖4所示，搬送帶連結部24具備自導件連結板23的下表面朝下方延伸的支柱24A、及安裝在搬送帶11上表面的支柱連結構件24B。
[0042]支柱連結構件24B是沿著脆性材料基板300的搬送方向延伸的長方體，相對于I個夾緊裝置40而在支撐板12的短邊方向空開間隔地配置2個，且在上表面安裝有支柱24A。
[0043]此外，在一對軌道21的下方配置有纜線引導裝置30。纜線引導裝置30具備搬送帶31，所述搬送帶31收容有向馬達25的控制裝置(省略圖示)供給電力的纜線(省略圖示)。作為搬送帶31的一端部的固定端31A與電源(省略圖示)連接，作為另一端部的移動端31B經由導件連結板32而與軌道21連結。
[0044]參照圖3，對夾緊裝置40的構成進行說明。
[0045]多個夾緊裝置40在支撐板12的短邊方向空開間隔而配置，具備夾緊脆性材料基板300 (參照圖1)的端部的夾緊部50、及驅動夾緊部50的夾緊驅動裝置60。
[0046]夾緊部50配置在相鄰的支撐板12之間。夾緊驅動裝置60配置在比夾緊部50更靠脆性材料基板300 (參照圖1)的搬送方向的上游側。
[0047]參照圖4，對夾緊部50的構成進行說明。
[0048]夾緊部50具備:基板支撐部51，安裝在搬送帶11的下表面；機械臂安裝臺52，安裝在搬送帶11的上表面；機械臂57，將脆性材料基板300 (參照圖1)夾入機械臂57與基板支撐部51之間；及桿連結部58，與夾緊驅動裝置60的機械臂連結桿80連結。
[0049]基板支撐部51的前端的支撐面51A與搬送帶11的上表面的關系為同一平面。
[0050]機械臂安裝臺52具備:壁部53，利用多個螺釘56而被固定在2個支柱連結構件24B的端部；及機械臂配置部54，自壁部53向脆性材料基板300(參照圖1)的搬送方向的下游側突出，且安裝在搬送帶11的上表面。
[0051]壁部53是與機械臂配置部54 —體地成形，形成有供機械臂連結桿80插入的孔53A。
[0052]機械臂57是配置在機械臂配置部54的槽54A內。機械臂57安裝成可繞安裝于機械臂配置部54的旋轉軸55旋轉。此外，機械臂57安裝成可繞安裝于桿連結部58的連結軸58A旋轉。
[0053]參照圖5及圖6，對夾緊驅動裝置