一種低壓擴散爐爐門密封裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種低壓擴散爐爐門密封裝置，包括：由前至后依次排列且同軸設置的爐門、固定軸及固定座，爐門的后端面中心固定有軸承座，軸承座內設有向心關節(jié)軸承，向心關節(jié)軸承的外圈固定在軸承座內，向心關節(jié)軸承的內圈固定套在固定軸的前端，固定軸的后端固定在固定座內，固定座的前端面還固定有支撐板，支撐板上設有間隔設有多個彈簧調整組件。本發(fā)明具有自動校正功能，能更好的滿足低壓擴散爐反應腔的密封要求。
【專利說明】
一種低壓擴散爐爐門密封裝置
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及擴散爐的爐門，尤其涉及一種低壓擴散爐爐門密封裝置。
【背景技術】
[0002]在光伏行業(yè)中，高溫擴散爐主要用于對單晶硅片、多晶硅片進行摻雜形成PN結。隨著擴散工藝的發(fā)展，傳統(tǒng)的高溫擴散爐的摻雜均勻性無法滿足先進電池工藝路線的技術需求，低壓擴散爐應運而生，然而低壓擴散工藝需在真空環(huán)境下進行，其爐門的密封性能直接影響生產質量。
[0003]現(xiàn)有技術中的爐門密封裝置，多數(shù)都是將爐門通過螺釘直接固定在爐門固定座上，爐門的位置主要依靠調節(jié)螺釘進行調整，當通過調節(jié)爐門固定座的螺釘對爐門進行調整，這種靠螺釘調整的方式操作起來相當麻煩，需人工手動進行調節(jié)，并且經常需要反復多次調節(jié)，生產效率低。

【發(fā)明內容】

[0004]為解決上述技術問題，本發(fā)明提出一種低壓擴散爐爐門密封裝置，該爐門密封裝置具有自動校正功能，只要稍微調節(jié)就能輕松達到良好的密封效果。
[0005]本發(fā)明采用的技術方案是，設計一種低壓擴散爐爐門密封裝置，包括:由前至后依次排列且同軸設置的爐門、固定軸及固定座，爐門的后端面中心固定有軸承座，軸承座內設有向心關節(jié)軸承，向心關節(jié)軸承的外圈固定在軸承座內，向心關節(jié)軸承的內圈固定套在固定軸的前端，固定軸的后端固定在固定座內。
[0006]固定座的前端面還固定有支撐板，支撐板上設有間隔設有多個彈簧調整組件，至少有三個彈簧調整組件以爐門的軸線為中心均勻排列。彈簧調整組件包括:固定在支撐板上的調整套筒，設于調整套筒內的調整螺釘，后端設在調整套筒內、前端向爐門伸出的頂柱，設于調整套筒內的彈簧，彈簧的兩端壓縮在調整螺釘與頂柱之間。
[0007]其中，頂柱由位于調整套筒內的后圓柱和伸出調整套筒外的前圓柱構成，后圓柱直徑大于前圓柱直徑，調整套筒的前端設有恰好容納前圓柱活動穿過的伸縮孔。
[0008]優(yōu)選的，調整套筒的后端內側壁設有內調整螺紋，調整螺釘?shù)耐鈧缺谠O有與內調整螺紋配合的外調整螺紋，轉動調整螺釘可調整其在調整套筒內的前后位置。
[0009]優(yōu)選的，爐門的后端面還固定至少一個防轉銷，支撐板上設有直徑大于防轉銷的限位孔，防轉銷伸入該限位孔內。
[0010]優(yōu)選的，支撐板上設有四個彈簧調整組件，其中兩個彈簧調整組件位于爐門的上部兩側，另外兩個彈簧調整組件呈直線排列在所述爐門的下部中間。
[0011]優(yōu)選的，爐門上固定有三個以爐門的軸線為中心均勻排列的防轉銷，其中兩個防轉銷位于爐門的下部兩側，另外一個防轉銷位于爐門的上部中間。
[0012]與現(xiàn)有技術，本發(fā)明采用向心關節(jié)軸承作為核心部件，爐門在向心關節(jié)軸承的作用下可傾斜擺動調節(jié)位置，再采用彈簧對向心關節(jié)軸承形成的萬向空間進行約束，推動爐門傾斜擺動以緊密貼合反應腔端口處的密封法蘭，達到自動校正位置并密封反應腔的效果O
【附圖說明】
[0013]下面結合實施例和附圖對本發(fā)明進行詳細說明，其中:
圖1是本發(fā)明的背面示意圖；
圖2是圖1中A-A的剖面示意圖；
圖3是圖2中B處的放大不意圖；
圖4是本發(fā)明的立體示意圖；
圖5是本發(fā)明密封在反應腔端口的剖面示意圖。
【具體實施方式】
[0014]如圖1、2所示，本發(fā)明提出的低壓擴散爐爐門密封裝置，包括:同軸設置的爐門1、固定軸2和固定座3，爐門1、固定軸2和固定座3由前至后依次排列，固定軸2的后端固定在固定座3內，固定軸2的前端通過一向心關節(jié)軸承4與爐門I的后端面連接。
[0015]如圖3所示，固定軸2的前端固定在向心關節(jié)軸承4的內圈中，固定軸2的前端設有一圈向外凸出的限位圈，固定軸2上還套有位于向心關節(jié)軸承4與固定座3之間的套筒5，固定軸2的后端設有螺紋孔，固定座3上設有連通至該螺紋孔的鎖緊孔，固定軸2通過螺釘固定在固定座3上，螺釘鎖緊后向心關節(jié)軸承4的內圈被夾持在限位圈與套筒5之間，實現(xiàn)其內圈與固定軸2的固定連接。
[0016]爐門I的后端面中心固定有軸承座6，軸承座6的前端為敞口，向心關節(jié)軸承4位于該軸承座6內，向心關節(jié)軸承4的外圈與爐門I的后端面之間還設有墊圈7，軸承座6的后端設有通孔，通孔的尺寸恰好將向心關節(jié)軸承4的外圈限制在軸承座6內，軸承座6與爐門I固定后，向心關節(jié)軸承4的外圈被夾持在墊圈7和軸承座之間，實現(xiàn)其外圈與爐門I的固定連接。
[0017]如圖1、2、4所示，固定座3的前端面還固定有支撐板8，支撐板8上設有間隔設有多個彈簧調整組件，至少有三個彈簧調整組件以爐門I的軸線為中心均勻排列。彈簧調整組件包括:調整套筒9、調整螺釘1、彈簧11和頂柱12。
[0018]調整套筒9固定在支撐板8上，支撐板8上設有容納調整套筒9穿過的安裝孔，調整套筒9通過螺母座13和螺母14固定在支撐板8上，調整套筒9的前端外側壁設有外固定螺紋，螺母座13和螺母14分別套在該外固定螺紋上，支撐板8夾持在螺母座13與螺母14之間，實現(xiàn)調整套筒9與支撐板8的固定連接。調整螺釘10連接在調整套筒9的后端內，頂柱12由前圓柱和直徑大于前圓柱的后圓柱構成，后圓柱位于調整套筒9內，前圓柱位于調整套筒9外向爐門I伸出，調整套筒9的前端設有恰好容納前圓柱活動穿過的伸縮孔，彈簧11的兩端壓縮在調整螺釘10與頂柱12的后端之間，由于彈簧11處于壓縮狀態(tài)，保證頂柱12上始終有向前推動爐門I的推力。
[0019]如圖5所示，實際安裝使用時固定座3的后端還連接有驅動機構，通過驅動機構推動爐門密封裝置向反應腔15移動，反應腔15的端口密封設有密封法蘭16，密封法蘭16的端面上設有一圈向外凸出密封圈17，爐門I移動直至完全貼合在密封法蘭16上，擠壓密封圈17以完成反應腔15的密封。由于向心關節(jié)軸承4是一種球面滑動軸承，其滑動接觸表面是一個內球面和一個外球面，運動時可以在任意角度旋轉擺動，向心關節(jié)軸承4安裝后可傾斜擺動去貼合密封法蘭16的表面，以自動適應密封法蘭16和密封圈17，位置調整效果非常好，同時在爐門I旋轉擺動的過程中，由于多個頂柱12始終對爐門I存在向前推動的推力，保證爐門I在適應密封法蘭16和密封圈17的同時，能緊密壓制在密封圈17的表面，密封性能更好。
[0020]較優(yōu)的，如圖1、4所示，支撐板8上設有四個彈簧調整組件，其中兩個彈簧調整組件位于爐門I的上部兩側，另外兩個彈簧調整組件呈直線排列在爐門I的下部中間，這是由于爐門I存在重力，在重力作用下爐門I會向下擺動，即頂部向前傾斜、底部向后傾斜，在爐門I的下部中間設置兩個彈簧調整組件可使爐門I保持豎直，爐門I與密封法蘭16貼合后各個位置的受力也比較均勻。
[0021]更優(yōu)的，如圖2所示，調整套筒9的后端內側壁設有內調整螺紋，調整螺釘10的外側壁設有與內調整螺紋配合的外調整螺紋，轉動調整螺釘10可使其在調整套筒9內前后移動，以改變彈簧11的壓縮狀態(tài)，調整頂柱12作用在爐門I上的推力。
[0022]進一步的，如圖2、3所示，為了防止爐門I以向心關節(jié)軸承4為中心360°轉動，爐門I的后端面還固定至少一個防轉銷18，支撐板8上設有直徑大于防轉銷18的限位孔，防轉銷18伸入該限位孔內，既不會影響爐門I在一定范圍內的旋轉擺動，又限制了爐門I的360°轉動，在本實施例中，如圖1、4所示，爐門I上固定有三個以爐門I的軸線為中心均勻排列的防轉銷18，其中兩個防轉銷18位于爐門的下部兩側，另外一個防轉銷18位于爐門I的上部中間。
[0023]以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包含在本發(fā)明的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種低壓擴散爐爐門密封裝置，包括:由前至后依次排列且同軸設置的爐門(1)、固定軸(2)及固定座(3)，其特征在于，所述爐門(I)的后端面中心固定有軸承座(6)，所述軸承座(6)內設有向心關節(jié)軸承(4)，所述向心關節(jié)軸承(4)的外圈固定在所述軸承座(6)內，所述向心關節(jié)軸承(4)的內圈固定套在所述固定軸(2)的前端，所述固定軸(2)的后端固定在所述固定座(3)內； 所述固定座(3)的前端面還固定有支撐板(8)，所述支撐板(8)上設有間隔設有多個彈簧調整組件，至少有三個所述彈簧調整組件以所述爐門(I)的軸線為中心均勻排列； 所述彈簧調整組件包括:固定在所述支撐板(8)上的調整套筒(9)，設于所述調整套筒(9)內的調整螺釘(10)，后端設在所述調整套筒(9)內、前端向所述爐門(I)伸出的頂柱(12)，設于所述調整套筒(9)內的彈簧(11)，所述彈簧(11)的兩端壓縮在所述調整螺釘(10)與所述頂柱(12)之間。2.如權利要求1所述的低壓擴散爐爐門密封裝置，其特征在于，所述頂柱(12)由位于所述調整套筒(9)內的后圓柱和伸出所述調整套筒(9)外的前圓柱構成，所述后圓柱直徑大于前圓柱直徑，所述調整套筒(9)的前端設有恰好容納所述前圓柱活動穿過的伸縮孔。3.如權利要求2所述的低壓擴散爐爐門密封裝置，其特征在于，所述調整套筒(9)的后端內側壁設有內調整螺紋，所述調整螺釘(10)的外側壁設有與所述內調整螺紋配合的外調整螺紋，轉動所述調整螺釘(10)可調整其在所述調整套筒(9)內的前后位置。4.如權利要求1至3任一項所述的低壓擴散爐爐門密封裝置，其特征在于，所述爐門(I)的后端面還固定至少一個防轉銷(18)，所述支撐板(8)上設有直徑大于所述防轉銷(18)的限位孔，所述防轉銷(18)伸入該限位孔內。5.如權利要求4所述的低壓擴散爐爐門密封裝置，其特征在于，所述支撐板(8)上設有四個彈簧調整組件，其中兩個彈簧調整組件位于所述爐門(I)的上部兩側，另外兩個彈簧調整組件呈直線排列在所述爐門(I)的下部中間。6.如權利要求5所述的低壓擴散爐爐門密封裝置，其特征在于，所述爐門(I)上固定有三個以所述爐門(I)的軸線為中心均勻排列的防轉銷(18)，其中兩個防轉銷(18)位于所述爐門(I)的下部兩側，另外一個防轉銷(18)位于所述爐門(I)的上部中間。
【文檔編號】C30B31/10GK106048731SQ201610660200
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年8月12日 公開號201610660200.9, CN 106048731 A, CN 106048731A, CN 201610660200, CN-A-106048731, CN106048731 A, CN106048731A, CN201610660200, CN201610660200.9
【發(fā)明人】楊寶立, 張勇
【申請人】深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司