一種分體式四氟套絕緣密封裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
:
[0001]本實(shí)用新型屬于多晶硅行業(yè)的生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，涉及到一種分體式四氟套絕緣密封
目.0
【背景技術(shù)】
:
[0002]多晶硅氫化爐是西門子法生產(chǎn)多晶硅工藝中的主要裝備，主要通過(guò)對(duì)氫化爐爐內(nèi)安裝的加熱體通電發(fā)熱，并使四氯化硅和氫氣在高溫下進(jìn)行反應(yīng)，得到三氯氫硅，氫化爐在運(yùn)行過(guò)程中，經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)斷電或物料泄漏的狀況，生產(chǎn)設(shè)備的穩(wěn)定性較差，造成生產(chǎn)效率低下，造成這一狀況的主要原因是缺少四氟套保護(hù)裝置，所以迫切需要一種裝置改進(jìn)這種狀況。
【實(shí)用新型內(nèi)容】:
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種分體式四氟套絕緣密封裝置，能夠在氫化爐生產(chǎn)過(guò)程中保護(hù)四氟套在高溫下不被燒蝕，增加四氟套使用壽命。
[0004]本實(shí)用新型由如下技術(shù)方案實(shí)施:一種分體式四氟套絕緣密封裝置，其包括圓筒狀內(nèi)環(huán)、圓筒狀外環(huán)和環(huán)狀頂蓋；內(nèi)環(huán)密封滑動(dòng)套接在四氟套內(nèi)插接的電極外壁上，內(nèi)環(huán)頂端高于四氟套頂端；外環(huán)密封滑動(dòng)套接在四氟套外壁上，外環(huán)底端與四氟套底座頂端密封相接，外環(huán)頂端與內(nèi)環(huán)頂端在同一水平面上；頂蓋密封滑動(dòng)套接在電極上，頂蓋底面密封扣合在內(nèi)環(huán)和外環(huán)的頂端上。
[0005]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn):采用分體式設(shè)計(jì)，安裝在四氟套周圍，對(duì)四氟套形成一個(gè)獨(dú)立的空間，將四氟套完全的保護(hù)在絕緣瓷環(huán)中，保護(hù)四氟套在高溫下不被燒蝕，降低了裝置熱應(yīng)力引起的集中損壞，即起到保護(hù)四氟套的作用，又降低使用費(fèi)用，更換方便，增加四氟套使用壽命。
【附圖說(shuō)明】
:
[0006]圖1為本實(shí)用新型使用示意圖。
[0007]圖2為本實(shí)用新型內(nèi)環(huán)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]圖3為本實(shí)用新型外環(huán)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖4為本實(shí)用新型頂蓋結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖5為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]內(nèi)環(huán)1、外環(huán)2、頂蓋3、四氟套4、電極5、底座6。
[0012]【具體實(shí)施方式】:如圖1至圖5所示，一種分體式四氟套絕緣密封裝置，其主要結(jié)構(gòu)如下:其包括圓筒狀內(nèi)環(huán)1、圓筒狀外環(huán)2和環(huán)狀頂蓋3 ;內(nèi)環(huán)I密封滑動(dòng)套接在四氟套4內(nèi)插接的電極5外壁上，內(nèi)環(huán)I頂端高于四氟套4頂端；外環(huán)2密封滑動(dòng)套接在四氟套4外壁上，外環(huán)2底端與四氟套4底座6頂端密封相接，外環(huán)2頂端與內(nèi)環(huán)I頂端在同一水平面上；頂蓋3密封滑動(dòng)套接在電極5上，頂蓋3底面密封扣合在內(nèi)環(huán)I和外環(huán)2的頂端上。
[0013]內(nèi)環(huán)1、外環(huán)2和頂蓋3的材料為純度達(dá)到99%的高純度AL2O3，其抗折強(qiáng)度:300MPa，體積密度:> 3.70g/cm，介電常數(shù):10GHZ20°C，體積電阻率:500 °C >10Ω.cm擊穿強(qiáng)度:15KV/mm，化學(xué)穩(wěn)定性:1:9HCL ^ 0.7mg/cm0
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種分體式四氟套絕緣密封裝置，其特征在于，其包括圓筒狀內(nèi)環(huán)、圓筒狀外環(huán)和環(huán)狀頂蓋；所述內(nèi)環(huán)密封滑動(dòng)套接在四氟套內(nèi)插接的電極外壁上，所述內(nèi)環(huán)頂端高于所述四氟套頂端；所述外環(huán)密封滑動(dòng)套接在所述四氟套外壁上，所述外環(huán)底端與所述四氟套底座頂端密封相接，所述外環(huán)頂端與所述內(nèi)環(huán)頂端在同一水平面上；所述頂蓋密封滑動(dòng)套接在所述電極上，所述頂蓋底面密封扣合在所述內(nèi)環(huán)和所述外環(huán)的頂端上。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種分體式四氟套絕緣密封裝置，其包括圓筒狀內(nèi)環(huán)、圓筒狀外環(huán)和環(huán)狀頂蓋；內(nèi)環(huán)密封滑動(dòng)套接在四氟套內(nèi)插接的電極外壁上，內(nèi)環(huán)頂端高于四氟套頂端；外環(huán)密封滑動(dòng)套接在四氟套外壁上，外環(huán)底端與四氟套底座頂端密封相接，外環(huán)頂端與內(nèi)環(huán)頂端在同一水平面上；頂蓋密封滑動(dòng)套接在電極上，頂蓋底面密封扣合在內(nèi)環(huán)和外環(huán)的頂端上。優(yōu)點(diǎn)在于：絕緣瓷環(huán)采用分體式設(shè)計(jì)，是降低絕緣瓷環(huán)的熱應(yīng)力引起的集中損壞，將四氟套完全的保護(hù)在絕緣瓷環(huán)中，即起到保護(hù)四氟套的作用，又降低使用費(fèi)用，更換方便。
【IPC分類】C01B33-107
【公開(kāi)號(hào)】CN204342445
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420735696
【發(fā)明人】孫永生
【申請(qǐng)人】?jī)?nèi)蒙古神舟硅業(yè)有限責(zé)任公司
【公開(kāi)日】2015年5月20日
【申請(qǐng)日】2014年11月29日