一種藍(lán)寶石晶體的旋轉(zhuǎn)稱重機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及藍(lán)寶石晶體加工設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種藍(lán)寶石晶體的旋轉(zhuǎn)稱重機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石晶體的化學(xué)成分為氧化鋁化；學(xué)式(α -A1203)，是由三個(gè)氧原子和兩個(gè)鋁原子以共價(jià)鍵型式結(jié)合而成，其晶體結(jié)構(gòu)為六方晶格結(jié)構(gòu)，具有良好的耐腐蝕性，硬度高，耐高溫性能好，已被廣泛地應(yīng)用于科學(xué)技術(shù)、國防與民用工業(yè)、電子技術(shù)的許多領(lǐng)域，比如透紅外窗口材料，微電子領(lǐng)域的襯底基片，激光基質(zhì)、光學(xué)元件及其它用途等。
[0003]在藍(lán)寶石晶體的改良泡生法中，籽晶的穩(wěn)定旋轉(zhuǎn)而不產(chǎn)生重量的測量誤差是晶體生長過程中是極為重要的因素。籽晶旋轉(zhuǎn)可以保證籽晶在引晶過程中籽晶各個(gè)方向上受熱均勻，使晶體各向具有相同的生長速度，而稱重傳感器的意義在于晶體生長過程中測量晶體的重量，從而判斷晶體的生長狀態(tài)，是后續(xù)的功率控制的唯一的決策依據(jù)。
[0004]介于以上要求，需要保證稱重傳感器具有較高精度的同時(shí)，還要從機(jī)械結(jié)構(gòu)上保證其傳感器的負(fù)載穩(wěn)定，不能受振動(dòng)等因素干擾其測量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種藍(lán)寶石晶體的旋轉(zhuǎn)稱重機(jī)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，機(jī)械穩(wěn)定性好，轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中，稱重傳感器可以準(zhǔn)確的測量出實(shí)時(shí)的負(fù)載數(shù)據(jù)而測量誤差不受轉(zhuǎn)動(dòng)影響。
[0006]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:提供一種藍(lán)寶石晶體的旋轉(zhuǎn)稱重機(jī)構(gòu)，包括伺服電機(jī)、電機(jī)安裝板、轉(zhuǎn)盤和籽晶桿，所述的電機(jī)安裝板的上端安裝固定有伺服電機(jī)，該伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)桿穿過電機(jī)安裝板與轉(zhuǎn)盤相連，該轉(zhuǎn)盤與豎直布置的籽晶桿的上端相連，所述的籽晶桿朝下依次穿過上底板、中底板、磁流體和下底板，所述的上底板和中底板之間的籽晶桿上套接有與上底板的中心螺紋孔相連的圓螺母，該上底板與轉(zhuǎn)盤之間層疊布置有套在籽晶桿外側(cè)的出水套和進(jìn)水套，所述的上底板和中底板之間通過若干根限位螺釘連接支撐，所述的中底板和下底板之間夾放有稱重傳感器。
[0007]作為對(duì)本實(shí)用新型所述的技術(shù)方案的一種補(bǔ)充，所述的伺服電機(jī)的下端轉(zhuǎn)動(dòng)桿與水平布置的撥塊的一端之間通過鍵相連，該撥塊的另一端通過豎直布置有傳動(dòng)銷與轉(zhuǎn)盤的上端面邊緣處相連，這種傳動(dòng)方式比較平穩(wěn)。
[0008]作為對(duì)本實(shí)用新型所述的技術(shù)方案的一種補(bǔ)充，所述的稱重傳感器對(duì)稱布置在磁流體的兩側(cè)，保證受力的均勻性。
[0009]作為對(duì)本實(shí)用新型所述的技術(shù)方案的一種補(bǔ)充，所述的電機(jī)安裝板和上底板之間通過若干塊支撐板連接支撐，提高整個(gè)裝置的穩(wěn)定形和強(qiáng)度。
[0010]進(jìn)一步的，所述的籽晶桿的上端一側(cè)側(cè)壁上布置有銑平面，所述的轉(zhuǎn)盤的內(nèi)部穿有緊定螺釘與銑平面頂住，這種連接結(jié)構(gòu)便于拆裝，連接穩(wěn)定。
[0011]進(jìn)一步的，所述的籽晶桿通過外側(cè)套接的深溝球軸承與出水套相連，轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn)。
[0012]進(jìn)一步的，所述的限位螺釘上套接有兩個(gè)螺母將中底板夾住，方便調(diào)整上底板和中底板之間的距離。
[0013]伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)撥塊繞著伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)桿轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)通過傳動(dòng)銷帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)盤帶動(dòng)籽晶桿轉(zhuǎn)動(dòng)，籽晶桿的下端通過螺紋連接有籽晶夾頭，并裝夾有籽晶，籽晶一邊轉(zhuǎn)動(dòng)一邊生長，稱重傳感器能檢測到籽晶重量的變化。
[0014]上底板和中底板之間的距離通過調(diào)整限位螺釘上螺母的位置來調(diào)節(jié)，圓螺母將上底板與出水套和進(jìn)水套壓緊，防止籽晶桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)出水套和進(jìn)水套轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)減少籽晶桿轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)引起的振動(dòng)對(duì)稱重傳感器的影響。
[0015]出水套和進(jìn)水套內(nèi)通有循環(huán)的冷卻水，保證了籽晶桿在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中溫度不會(huì)過尚O
[0016]有益效果
[0017]本實(shí)用新型涉及一種藍(lán)寶石晶體的旋轉(zhuǎn)稱重機(jī)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，機(jī)械穩(wěn)定性好，轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中，稱重傳感器可以準(zhǔn)確的測量出實(shí)時(shí)的負(fù)載數(shù)據(jù)而測量誤差不受轉(zhuǎn)動(dòng)影響。
【附圖說明】
[0018]圖1是本實(shí)用新型的主視結(jié)構(gòu)圖；
[0019]圖2是本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。應(yīng)理解，這些實(shí)施例僅用于說明本實(shí)用新型而不用于限制本實(shí)用新型的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本實(shí)用新型講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型作各種改動(dòng)或修改，這些等價(jià)形式同樣落于本申請(qǐng)所附權(quán)利要求書所限定的范圍。
[0021]如圖1-2所示，本實(shí)用新型的實(shí)施方式涉及一種藍(lán)寶石晶體的旋轉(zhuǎn)稱重機(jī)構(gòu)，包括伺服電機(jī)1、電機(jī)安裝板2、轉(zhuǎn)盤6和籽晶桿17，所述的電機(jī)安裝板2的上端安裝固定有伺服電機(jī)I，該伺服電機(jī)I的轉(zhuǎn)動(dòng)桿穿過電機(jī)安裝板2與轉(zhuǎn)盤6相連，該轉(zhuǎn)盤6與豎直布置的籽晶桿17的上端相連，所述的籽晶桿17朝下依次穿過上底板7、中底板14、磁流體15和下底板16，所述的上底板7和中底板14之間的籽晶桿17上套接有與上底板7的中心螺紋孔相連的圓螺母13，該上底板7與轉(zhuǎn)盤6之間層疊布置有套在籽晶桿17外側(cè)的出水套11和進(jìn)水套12，所述的上底板7和中底板14之間通過若干根限位螺釘18連接支撐，所述的中底板14和下底板16之間夾放有稱重傳感器8。
[0022]所述的伺服電機(jī)I的下端轉(zhuǎn)動(dòng)桿與水平布置的撥塊5的一端之間通過鍵3相連，該撥塊5的另一端通過豎直布置有傳動(dòng)銷9與轉(zhuǎn)盤6的上端面邊緣處相連，這種傳動(dòng)方式比較平穩(wěn)。
[0023]所述的稱重傳感器8對(duì)稱布置在磁流體15的兩側(cè)，保證受力的均勻性。
[0024]所述的電機(jī)安裝板2和上底板7之間通過若干塊支撐板4連接支撐，提高整個(gè)裝置的穩(wěn)定形和強(qiáng)度。
[0025]所述的籽晶桿17的上端一側(cè)側(cè)壁上布置有銑平面，所述的轉(zhuǎn)盤6的內(nèi)部穿有緊定螺釘與銑平面頂住，這種連接結(jié)構(gòu)便于拆裝，連接穩(wěn)定。
[0026]所述的籽晶桿17通過外側(cè)套接的深溝球軸承10與出水套11相連，轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn)。
[0027]所述的限位螺釘18上套接有兩個(gè)螺母將中底板14夾住，方便調(diào)整上底板7和中底板14之間的距離。
[0028]實(shí)施例
[0029]伺服電機(jī)I的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)撥塊5繞著伺服電機(jī)I的轉(zhuǎn)動(dòng)桿轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)通過傳動(dòng)銷9帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤6轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)盤6帶動(dòng)籽晶桿17轉(zhuǎn)動(dòng)，籽晶桿17的下端通過螺紋連接有籽晶夾頭，并裝夾有籽晶，籽晶一邊轉(zhuǎn)動(dòng)一邊生長，稱重傳感器8能檢測到籽晶重量的變化。
[0030]上底板7和中底板14之間的距離通過調(diào)整限位螺釘18上螺母的位置來調(diào)節(jié)，圓螺母13將上底板7與出水套11和進(jìn)水套12壓緊，防止籽晶桿17轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)出水套11和進(jìn)水套12轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)減少籽晶桿17轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)引起的振動(dòng)對(duì)稱重傳感器8的影響。
[0031]出水套11和進(jìn)水套12內(nèi)通有循環(huán)的冷卻水，保證了籽晶桿17在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中溫度不會(huì)過高。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種藍(lán)寶石晶體的旋轉(zhuǎn)稱重機(jī)構(gòu)，包括伺服電機(jī)(I)、電機(jī)安裝板(2)、轉(zhuǎn)盤(6)和籽晶桿(17)，其特征在于，所述的電機(jī)安裝板(2)的上端安裝固定有伺服電機(jī)(1)，該伺服電機(jī)⑴的轉(zhuǎn)動(dòng)桿穿過電機(jī)安裝板⑵與轉(zhuǎn)盤(6)相連，該轉(zhuǎn)盤(6)與豎直布置的籽晶桿(17)的上端相連，所述的籽晶桿(17)朝下依次穿過上底板(7)、中底板(14)、磁流體(15)和下底板(16)，所述的上底板(7)和中底板(14)之間的籽晶桿(17)上套接有與上底板(7)的中心螺紋孔相連的圓螺母(13)，該上底板(7)與轉(zhuǎn)盤(6)之間層疊布置有套在籽晶桿(17)外側(cè)的出水套(11)和進(jìn)水套(12)，所述的上底板(7)和中底板(14)之間通過若干根限位螺釘(18)連接支撐，所述的中底板(14)和下底板(16)之間夾放有稱重傳感器(8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石晶體的旋轉(zhuǎn)稱重機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述的伺服電機(jī)(I)的下端轉(zhuǎn)動(dòng)桿與水平布置的撥塊(5)的一端之間通過鍵(3)相連，該撥塊(5)的另一端通過豎直布置有傳動(dòng)銷(9)與轉(zhuǎn)盤￠)的上端面邊緣處相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的藍(lán)寶石晶體的旋轉(zhuǎn)稱重機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述的稱重傳感器(8)對(duì)稱布置在磁流體(15)的兩側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石晶體的旋轉(zhuǎn)稱重機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述的電機(jī)安裝板(2)和上底板(7)之間通過若干塊支撐板(4)連接支撐。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)所述的藍(lán)寶石晶體的旋轉(zhuǎn)稱重機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述的籽晶桿(17)的上端一側(cè)側(cè)壁上布置有銑平面，所述的轉(zhuǎn)盤(6)的內(nèi)部穿有緊定螺釘與銑平面頂住。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)所述的藍(lán)寶石晶體的旋轉(zhuǎn)稱重機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述的籽晶桿(17)通過外側(cè)套接的深溝球軸承(10)與出水套(11)相連。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)所述的藍(lán)寶石晶體的旋轉(zhuǎn)稱重機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述的限位螺釘(18)上套接有兩個(gè)螺母將中底板(14)夾住。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種藍(lán)寶石晶體的旋轉(zhuǎn)稱重機(jī)構(gòu)，包括伺服電機(jī)、電機(jī)安裝板、轉(zhuǎn)盤和籽晶桿，電機(jī)安裝板的上端安裝固定有伺服電機(jī)，該伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)桿穿過電機(jī)安裝板與轉(zhuǎn)盤相連，該轉(zhuǎn)盤與豎直布置的籽晶桿的上端相連，籽晶桿朝下依次穿過上底板、中底板、磁流體和下底板，上底板和中底板之間的籽晶桿上套接有與上底板的中心螺紋孔相連的圓螺母，該上底板與轉(zhuǎn)盤之間層疊布置有套在籽晶桿外側(cè)的出水套和進(jìn)水套，上底板和中底板之間通過若干根限位螺釘連接支撐，中底板和下底板之間夾放有稱重傳感器。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，機(jī)械穩(wěn)定性好，轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中，稱重傳感器可以準(zhǔn)確的測量出實(shí)時(shí)的負(fù)載數(shù)據(jù)而測量誤差不受轉(zhuǎn)動(dòng)影響。
【IPC分類】C30B15-28, C30B29-20
【公開號(hào)】CN204385321
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420784320
【發(fā)明人】呂迅, 樂永幸, 洪波, 王小玲
【申請(qǐng)人】寧波循澤電子科技有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請(qǐng)日】2014年12月12日