硅氣體出口，16、折流板，2、電加熱器，3、冷氫化反應(yīng)器，4、除塵洗滌塔。
【具體實(shí)施方式】
[0020]本實(shí)用新型是針對(duì)目前采用導(dǎo)熱油汽化四氯化硅存在的耗能高、導(dǎo)熱油使用量大，四氯化硅冷氫化后的合成氣體熱量未回收利用的缺陷進(jìn)行的改進(jìn)。
[0021]本實(shí)用新型的關(guān)鍵點(diǎn)在于用四氯化硅冷氫化后的合成氣體代替導(dǎo)熱油來汽化四氯化硅，從而克服了上述缺陷。
[0022]下面結(jié)合具體實(shí)施例來詳細(xì)闡述本實(shí)用新型:
[0023]實(shí)施例1
[0024]本實(shí)施例包括汽化器1、電加熱器2、冷氫化反應(yīng)器3和除塵洗滌塔4，所述汽化器I通過管道分別與除塵洗滌塔4、電加熱器2和冷氫化反應(yīng)器3相連，所述電加熱器2通過管道與冷氫化反應(yīng)器3相連。
[0025]所述汽化器I包括一個(gè)汽化罐體10，在汽化罐體10的頂部設(shè)置合成氣體進(jìn)口 12，在汽化罐體的底部設(shè)置合成氣體出口 13，在汽化罐體內(nèi)縱向設(shè)置多根換熱管11，換熱管11相互平行設(shè)置；換熱管11 一端與合成氣體進(jìn)口 12相連通，另一端與合成氣體出口 13相連通；汽化罐體10的側(cè)面設(shè)置有四氯化硅液體進(jìn)口 14和四氯化硅汽體出口 15，四氯化硅液體進(jìn)口 14和四氯化硅汽體出口 15與汽化罐體10相連通；所述合成氣體進(jìn)口 12通過管道與冷氫化反應(yīng)器3的排氣口相連，所述合成氣體出口 13通過管道與除塵洗滌塔4相連，所述四氯化硅氣體出口 15通過管道與電加熱器2相連。
[0026]四氯化硅液體從四氯化硅液體進(jìn)口 14流進(jìn)汽化罐體10內(nèi)，與換熱管11接觸，汽化成四氯化硅汽體從四氯化硅氣體出口 15排出，與氫氣混合后進(jìn)入電加熱器3中進(jìn)行加熱至550°C，然后進(jìn)入冷氫化反應(yīng)器3中與硅進(jìn)行冷氫化反應(yīng)，反應(yīng)后生成的合成氣體經(jīng)過管道從汽化器I的合成氣體進(jìn)口 12進(jìn)入到汽化器中給汽化器提供熱能，進(jìn)入汽化器I中的合成氣體的溫度為350°C左右；換熱后的合成氣體通過合成氣體出口 13經(jīng)過管道進(jìn)入除塵洗滌塔4中。
[0027]本實(shí)施例整個(gè)汽化過程沒有使用導(dǎo)熱油來汽化四氯化硅，降低了汽化成本，同時(shí)沒有導(dǎo)熱油的參與，也就不會(huì)引起導(dǎo)熱油的泄漏，而且本本實(shí)施例的熱量來自四氯化硅冷氫化后的高溫合成氣體，對(duì)該氣體中的熱量進(jìn)行了回收再利用，而不是直接進(jìn)入下游濕法洗滌流程，大大減少了能量的消耗，進(jìn)而降低了四氯化硅的汽化成本。
[0028]實(shí)施例2
[0029]本實(shí)施例包括汽化器1、電加熱器2、冷氫化反應(yīng)器3和除塵洗滌塔4，所述汽化器I通過管道分別與除塵洗滌塔4、電加熱器2和冷氫化反應(yīng)器3相連，所述電加熱器2通過管道與冷氫化反應(yīng)器3相連。
[0030]所述汽化器I包括一個(gè)汽化罐體10，在汽化罐體10的頂部設(shè)置合成氣體進(jìn)口 12，在汽化罐體的底部設(shè)置合成氣體出口 13，在汽化罐體內(nèi)縱向設(shè)置多根換熱管11，換熱管11相互平行設(shè)置；換熱管11 一端與合成氣體進(jìn)口 12相連通，另一端與合成氣體出口 13相連通；汽化罐體10的側(cè)面設(shè)置有四氯化硅液體進(jìn)口 14和四氯化硅汽體出口 15，四氯化硅液體進(jìn)口 14和四氯化硅汽體出口 15與汽化罐體10相連通；所述合成氣體進(jìn)口 12通過管道與冷氫化反應(yīng)器3的排氣口相連，所述合成氣體出口 13通過管道與除塵洗滌塔4相連，所述四氯化硅氣體出口 15通過管道與電加熱器2相連。
[0031]本實(shí)施例中的冷氫化反應(yīng)器3為氣固相流化床。
[0032]本實(shí)施例還包括折流板16，折流板16垂直連接在換熱管11上。所述換熱管11有多根，相互平行安裝在汽化罐體10內(nèi)；所述折流板16有多塊，相互平行設(shè)置，換熱管11垂直穿過折流板16。本實(shí)施例整個(gè)汽化過程沒有使用導(dǎo)熱油來汽化四氯化硅，降低了汽化成本，同時(shí)沒有導(dǎo)熱油的參與，也就不會(huì)引起導(dǎo)熱油的泄漏，而且本本實(shí)施例的熱量來自四氯化硅冷氫化后的高溫合成氣體，對(duì)該氣體中的熱量進(jìn)行了回收再利用，而不是直接進(jìn)入下游濕法洗滌流程，大大減少了能量的消耗，進(jìn)而降低了四氯化硅的汽化成本。設(shè)置的折流板的作用是增大四氯化硅液體的流動(dòng)面積，提高汽化效率。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種四氯化硅冷氫化裝置，包括汽化器、電加熱器、冷氫化反應(yīng)器和除塵洗滌塔，其特征在于:所述汽化器通過管道分別與洗滌塔、電加熱器和冷氫化反應(yīng)器相連，所述電加熱器通過管道與冷氫化反應(yīng)器相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種四氯化硅冷氫化裝置，其特征在于:所述汽化器包括汽化罐體和換熱管，換熱管縱向排列在汽化罐體內(nèi)，汽化罐體的頂部設(shè)置有合成氣體進(jìn)口，汽化罐體底部設(shè)置有合成氣體出口，汽化罐體側(cè)面設(shè)置有四氯化硅液體進(jìn)口和四氯化硅氣體出口，合成氣體進(jìn)口和合成氣體出口與換熱管相連通，四氯化硅液體進(jìn)口和四氯化硅氣體出口與汽化罐體連通，所述合成氣體進(jìn)口通過管道與冷氫化反應(yīng)器的排氣口相連，所述合成氣體出口通過管道與除塵洗滌塔相連，所述四氯化硅氣體出口通過管道與電加熱器相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種四氯化硅冷氫化裝置，其特征在于:所述汽化器還包括折流板，折流板垂直連接在換熱管上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種四氯化硅冷氫化裝置，其特征在于:所述換熱管有多根，相互平行安裝在汽化罐體內(nèi)；所述折流板有多塊，相互平行設(shè)置，換熱管垂直穿過折流板。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種四氯化硅冷氫化裝置包括汽化器、電加熱器、冷氫化反應(yīng)器和除塵洗滌塔，所述汽化器通過管道分別與洗滌塔、電加熱器和冷氫化反應(yīng)器相連，所述電加熱器通過管道與冷氫化反應(yīng)器相連。本實(shí)用新型充分利用四氯化硅在進(jìn)行冷氫化反應(yīng)后的高溫合成氣體中的熱量汽化四氯化硅，大大減少了能量的消耗，同時(shí)不再使用高溫導(dǎo)熱油，大大降低了四氯化硅汽化成本。
【IPC分類】C01B33-107
【公開號(hào)】CN204529329
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520191893
【發(fā)明人】周奇, 李斌, 甘居富
【申請(qǐng)人】四川永祥多晶硅有限公司
【公開日】2015年8月5日
【申請(qǐng)日】2015年4月1日