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硅棒上下棒機(jī)的制作方法

文檔序號(hào):8859923閱讀:343來(lái)源:國(guó)知局
硅棒上下棒機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種硅棒上下棒機(jī),屬于多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]目前,目前國(guó)內(nèi)生產(chǎn)多晶硅的工藝大部分都是常規(guī)三氯氫硅氫還原法,即改良西門子法,改良西門子法或其他類似方法生產(chǎn)大直徑多晶硅的主要設(shè)備是多晶硅還原爐,多晶硅還原爐在細(xì)長(zhǎng)的硅芯上通上電源,使硅芯加熱發(fā)紅,直至表面溫度達(dá)到1100攝氏度,通入高純的三氯氫硅和氫氣,使其在高溫下發(fā)生氫還原反應(yīng),使三氯氫硅中的硅分子堆積在硅芯上,使其的直徑不斷地增大,通常,硅芯的直徑在7-10毫米,可以是圓形也可以是方型,或是其他形狀,最終通過(guò)氫還原反應(yīng)使直徑不斷地增大到120-200毫米,生產(chǎn)出高純太陽(yáng)能級(jí)6N或電子級(jí)IlN的多晶硅。
[0003]現(xiàn)硅芯的制備方法有二種,傳統(tǒng)的方法是用CZ法(區(qū)熔提拉法),即把直徑在20-50毫米的硅棒在充滿惰性氣體的真空爐膛內(nèi)用高頻感應(yīng)加熱,使其頂部局部熔化,從上部放入I根直徑在5-10毫米的籽晶,然后慢慢向上提拉,使其成為直徑在7-10毫米,長(zhǎng)度在1900-3000毫米之間的細(xì)長(zhǎng)硅芯,其缺點(diǎn)是提拉速度慢,一般為8-12毫米/分鐘,拉制I根2米的硅芯需要4小時(shí),生產(chǎn)效率低,電力消耗大,設(shè)備投資大。
[0004]另一種是用金剛石工具切割法,美國(guó)Diamond Wire Technology公司研制出采用金剛石線的數(shù)控多晶硅細(xì)長(zhǎng)硅芯多線切割機(jī)床,用于硅芯的制備。通過(guò)利用電鍍上金剛石微粒的細(xì)鋼絲線在被加工工件上高速地往復(fù)運(yùn)動(dòng)或單向移動(dòng),將硅棒壓在該機(jī)床用金剛石線交叉組成的方形線網(wǎng)上,從而將該硅棒切割成細(xì)長(zhǎng)的硅芯。其優(yōu)點(diǎn)十分明顯,10-12小時(shí)可以切割出200根左右2米長(zhǎng)的7X7或8X8毫米的方形硅芯,電力消耗小,加工效率高。
[0005]娃芯切割時(shí)需要將娃棒懸掛至切割機(jī)上,切割完成后需要將娃棒去下,由于娃棒重量較重,因此上下棒過(guò)程十分不便,大大制約了生產(chǎn)效率的提高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足,提供一種硅棒上下棒機(jī),它大大方便了硅棒的上下棒過(guò)程,提高了硅芯切割的生產(chǎn)效率。
[0007]本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種硅棒上下棒機(jī),它包括下支撐架,所述下支撐架底部設(shè)置有多個(gè)移動(dòng)滾輪,所述下支撐架后部設(shè)置有液壓泵,所述下支撐架中部設(shè)置有第一鉸接座,所述下支撐架上方設(shè)置有翻轉(zhuǎn)架,所述翻轉(zhuǎn)架底部設(shè)置有第二鉸接座,所述第一鉸接座和第二鉸接座之間連接設(shè)置有液壓缸,所述下支撐架頂部前端設(shè)置有第三鉸接座,所述翻轉(zhuǎn)架前端通過(guò)回轉(zhuǎn)軸與第三鉸接座相鉸接,所述液壓泵與液壓缸之間通過(guò)連接管相連接,所述翻轉(zhuǎn)架上方設(shè)置有料斗,所述翻轉(zhuǎn)架上設(shè)置有前后兩個(gè)固定支座,所述料斗通過(guò)銷軸與固定支座相連接。
[0008]所述料斗后端設(shè)置有托架。
[0009]所述下支撐架頂部后端設(shè)置有緩沖塊,所述緩沖塊位于下支撐架與料斗之間。
[0010]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型具有以下有益效果:
[0011]本實(shí)用新型一種硅棒上下棒機(jī),它大大方便了硅棒的上下棒過(guò)程,提高了硅芯切割的生產(chǎn)效率。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型一種硅棒上下棒機(jī)的示意圖。
[0013]圖2為本實(shí)用新型一種娃棒上下棒機(jī)另一視角的不意圖。
[0014]其中:
[0015]下支撐架I
[0016]移動(dòng)滾輪2
[0017]液壓泵3
[0018]第一鉸接座4
[0019]第二鉸接座5
[0020]液壓缸6
[0021]第三鉸接座7
[0022]回轉(zhuǎn)軸8
[0023]翻轉(zhuǎn)架9
[0024]連接管10
[0025]料斗11
[0026]固定支座12
[0027]銷軸13
[0028]托架14
[0029]緩沖塊15。
【具體實(shí)施方式】
[0030]參見(jiàn)圖1、圖2,本實(shí)用新型一種硅棒上下棒機(jī),它包括下支撐架1,所述下支撐架I底部設(shè)置有多個(gè)移動(dòng)滾輪2,所述下支撐架I后部設(shè)置有液壓泵3,所述下支撐架I中部設(shè)置有第一鉸接座4,所述下支撐架I上方設(shè)置有翻轉(zhuǎn)架9,所述翻轉(zhuǎn)架9底部設(shè)置有第二鉸接座5,所述第一鉸接座4和第二鉸接座5之間連接設(shè)置有液壓缸6,所述下支撐架I頂部前端設(shè)置有第三鉸接座7,所述翻轉(zhuǎn)架9前端通過(guò)回轉(zhuǎn)軸8與第三鉸接座7相鉸接,所述液壓泵3與液壓缸6之間通過(guò)連接管10相連接,所述翻轉(zhuǎn)架9上方設(shè)置有料斗11,所述翻轉(zhuǎn)架9上設(shè)置有前后兩個(gè)固定支座12,所述料斗11通過(guò)銷軸13與固定支座12相連接。
[0031]所述料斗11后端設(shè)置有托架14。
[0032]所述下支撐架I頂部后端設(shè)置有緩沖塊15,所述緩沖塊15位于下支撐架I與料斗11之間。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅棒上下棒機(jī),其特征在于:它包括下支撐架(I),所述下支撐架(I)底部設(shè)置有多個(gè)移動(dòng)滾輪(2 ),所述下支撐架(I)后部設(shè)置有液壓泵(3 ),所述下支撐架(I)中部設(shè)置有第一鉸接座(4 ),所述下支撐架(I)上方設(shè)置有翻轉(zhuǎn)架(9 ),所述翻轉(zhuǎn)架(9 )底部設(shè)置有第二鉸接座(5 ),所述第一鉸接座(4 )和第二鉸接座(5 )之間連接設(shè)置有液壓缸(6 ),所述下支撐架(I)頂部前端設(shè)置有第三鉸接座(7 ),所述翻轉(zhuǎn)架(9 )前端通過(guò)回轉(zhuǎn)軸(8 )與第三鉸接座(7 )相鉸接,所述液壓泵(3 )與液壓缸(6 )之間通過(guò)連接管(10 )相連接,所述翻轉(zhuǎn)架(9 )上方設(shè)置有料斗(11),所述翻轉(zhuǎn)架(9)上設(shè)置有前后兩個(gè)固定支座(12),所述料斗(11)通過(guò)銷軸(13)與固定支座(12)相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅棒上下棒機(jī),其特征在于:所述料斗(11)后端設(shè)置有托架(14)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅棒上下棒機(jī),其特征在于:所述下支撐架(I)頂部后端設(shè)置有緩沖塊(15 ),所述緩沖塊(15 )位于下支撐架(I)與料斗(11)之間。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種硅棒上下棒機(jī),它包括下支撐架(1),所述下支撐架(1)底部設(shè)置有多個(gè)移動(dòng)滾輪(2),所述下支撐架(1)后部設(shè)置有液壓泵(3),所述下支撐架(1)上方設(shè)置有翻轉(zhuǎn)架(9),所述下支撐架(1)與所述翻轉(zhuǎn)架(9)之間連接設(shè)置有液壓缸(6),所述翻轉(zhuǎn)架(9)前端通過(guò)回轉(zhuǎn)軸(8)與第三鉸接座(7)相鉸接,所述液壓泵(3)與液壓缸(6)之間通過(guò)連接管(10)相連接,所述翻轉(zhuǎn)架(9)上方設(shè)置有料斗(11),所述翻轉(zhuǎn)架(9)上設(shè)置有前后兩個(gè)固定支座(12),所述料斗(11)通過(guò)銷軸(13)與固定支座(12)相連接。本實(shí)用新型一種硅棒上下棒機(jī),它大大方便了硅棒的上下棒過(guò)程,提高了硅芯切割的生產(chǎn)效率。
【IPC分類】C01B33-035
【公開(kāi)號(hào)】CN204569436
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520242674
【發(fā)明人】陳大春, 袁鄭堂, 薛榮國(guó), 孫勇
【申請(qǐng)人】江陰東升新能源有限公司
【公開(kāi)日】2015年8月19日
【申請(qǐng)日】2015年4月21日
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