長晶爐水循環(huán)系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種長晶爐水循環(huán)系統(tǒng)，屬于晶體生長設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]長晶爐是一種常見的晶體生長設(shè)備，主要包括爐體、爐體部件、上法蘭、下法蘭、左抽空管、右抽空管、電纜、擴散泵和冷阱。
[0003]因為長晶爐的爐體內(nèi)部需要融化高熔點的晶體生長原料，其內(nèi)部工作溫度極高。為了避免高溫對爐體及其外圍設(shè)備，尤其是其控制設(shè)備造成損傷。通常需要對爐體進行冷卻。然而，現(xiàn)有的水循環(huán)系統(tǒng)的設(shè)計缺陷經(jīng)常會導(dǎo)致爐體冷卻不均勻和不耐高溫的電纜冷卻不足，而導(dǎo)致控制系統(tǒng)失效的問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]實用新型目的:本實用新型的目的在于提供一種能夠?qū)t體均勻冷卻的長晶爐水循環(huán)系統(tǒng)。
[0005]技術(shù)方案:本實用新型長晶爐水循環(huán)系統(tǒng)，包括進水管道、出水管道、第一水冷支路、第二水冷支路、第三水冷支路，進水管道分別聯(lián)通各水冷支路再聯(lián)通至出水管道，第一水冷支路設(shè)置于長晶爐的爐體上部處，第二水冷支路設(shè)置于設(shè)置于長晶爐的爐體中部處，第三水冷支路設(shè)置于長晶爐的爐體下部處?，F(xiàn)有技術(shù)當(dāng)中經(jīng)常為對爐體采用一條水冷支路進行整體冷卻。雖然爐體整體耐溫較高，但是因為一條水冷支路在水冷的末端水溫已經(jīng)較高，冷卻效果并不好。因此在此采用三條分立的水冷支路分別冷卻長晶爐的上部、中部和下部以達到更均勻的冷卻效果。
[0006]進一步地，還包括第一預(yù)留水冷支路。預(yù)留水冷支路給未來可能會需要添加的擴展設(shè)備，以增強設(shè)計的靈活性。
[0007]進一步地，還包括第一水壓表、第一溫度表、第二水壓表、第二溫度表，第一水壓表與第一溫度表設(shè)置于進水管道處，第二水壓表和第二溫度表設(shè)置于出水管道處。通過水壓表和溫度表可以了解水循環(huán)系統(tǒng)的工作狀態(tài)。
[0008]進一步地，還包括第四水冷支路、第五水冷支路、第六水冷支路、第七水冷支路、第八水冷支路、第九水冷支路、第十水冷支路，其中，第四水冷支路、第五水冷支路、第六水冷支路設(shè)置于長晶爐爐體上部的電纜處，第七水冷支路、第八水冷支路、第九水冷支路設(shè)置于爐體中部的電纜處，第十水冷支路設(shè)置于爐體下部的電纜處。因為電纜不耐高溫，需要冷卻到較低的溫度以保證電纜及控制系統(tǒng)的正常工作。爐體上部共設(shè)置6根水冷電纜，每一路水冷支路串聯(lián)連接兩根水冷電纜，共設(shè)置三路水冷支路；同時，爐體中部也設(shè)置有6根水冷電纜，連接和冷卻方式與爐體上部相同，而下部電纜溫度低于中部電纜和上部電纜，因此依然只需要設(shè)置一路水冷支路即可滿足電纜的冷卻要求。
[0009]進一步地，還包括第十一水冷支路、第十二水冷支路、第十三水冷支路、第十四水冷支路、第十五水冷支路、第十六水冷支路、第十七水冷支路，其中括第十一水冷支路設(shè)置于長晶爐的爐體附件處，第十二水冷支路設(shè)置于長晶爐的上法蘭處，第十三水冷支路設(shè)置于長晶爐的下法蘭處，第十四水冷支路設(shè)置于長晶爐的左抽空管處，第十五水冷支路設(shè)置于長晶爐的右抽空管處、第十六水冷支路設(shè)置于長晶爐的擴散泵處、第第十七水冷支路設(shè)置于長晶爐的冷阱處。
[0010]進一步地，各水冷支路均設(shè)置有流量計、球閥。
[0011]進一步地，各水冷支路球閥的數(shù)量均為兩個。
[0012]進一步地，進水管道和出水管道末端均設(shè)置有堵頭。
[0013]本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其有益效果是:通過設(shè)置水循環(huán)系統(tǒng)，使得爐體溫度更加均勻，并且能夠保證電纜的正常工作溫度。
【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明長晶爐水循環(huán)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0015]下面對本實用新型技術(shù)方案進行詳細說明，但是本實用新型的保護范圍不局限于實施例。
[0016]實施例1:
[0017]如圖1所示，本實施例的包括進水管道1、出水管道2、第一水冷支路3、第二水冷支路4、第三水冷支路5、第四水冷支路12、第五水冷支路13、第六水冷支路14、第七水冷支路15、第八水冷支路16、第九水冷支路17、第十水冷支路18、第^^一水冷支路13、第十二水冷支路13、第十三水冷支路14、第十四水冷支路15、第十五水冷支路16、第十六水冷支路24、第十七水冷支路25、第一水壓表8、第一溫度表9、第二水壓表10、第二溫度表11和第一預(yù)留水冷支路6。進水管道I分別聯(lián)通各水冷支路再聯(lián)通至出水管道2，第一水冷支路3設(shè)置于長晶爐的爐體上部處，第二水冷支路4設(shè)置于設(shè)置于長晶爐的爐體中部處，第三水冷支路設(shè)置于長晶爐的爐體下部處。第一水壓表8與第一溫度表9設(shè)置于進水管道I處，第二水壓表10和第二溫度表11設(shè)置于出水管道處。第四水冷支路12、第五水冷支路13、第六水冷支路14設(shè)置于長晶爐爐體上部的電纜處，第七水冷支路15、第八水冷支路16、第九水冷支路17設(shè)置于爐體中部的電纜處，第十水冷支路18設(shè)置于爐體下部的電纜處。括第十一水冷支路13設(shè)置于長晶爐的爐體附件處，第十二水冷支路13設(shè)置于長晶爐的上法蘭處，第十三水冷支路14設(shè)置于長晶爐的下法蘭處，第十四水冷支路15設(shè)置于長晶爐的左抽空管處，第十五水冷支路16設(shè)置于長晶爐的右抽空管處、第十六水冷支路24設(shè)置于長晶爐的擴散泵處、第第十七水冷支路25設(shè)置于長晶爐的冷阱處。各水冷支路均設(shè)置有流量計、球閥。各水冷支路球閥的數(shù)量均為兩個。進水管道I和出水管道2末端均設(shè)置有堵頭7。
[0018]如上，盡管參照特定的優(yōu)選實施例已經(jīng)表示和表述了本實用新型，但其不得解釋為對本實用新型自身的限制。在不脫離所附權(quán)利要求定義的本實用新型的精神和范圍前提下，可對其在形式上和細節(jié)上作出各種變化。
【主權(quán)項】
1.一種長晶爐水循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，包括進水管道(I)、出水管道(2)、第一水冷支路(3)、第二水冷支路(4)、第三水冷支路(5)，所述進水管道(I)分別聯(lián)通各水冷支路再聯(lián)通至所述出水管道(2)，所述第一水冷支路(3)設(shè)置于長晶爐的爐體上部處，所述第二水冷支路(4)設(shè)置于所述設(shè)置于長晶爐的爐體中部處，所述第三水冷支路設(shè)置于長晶爐的爐體下部處。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長晶爐水循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，還包括第一預(yù)留水冷支路(6)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長晶爐水循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，還包括第一水壓表(8)、第一溫度表(9)、第二水壓表(10)、第二溫度表(11)，所述第一水壓表(8)與第一溫度表(9)設(shè)置于所述進水管道(I)處，所述第二水壓表(10)和第二溫度表(11)設(shè)置于所述出水管道處。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長晶爐水循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，還包括第四水冷支路(12)、第五水冷支路(13)、第六水冷支路(14)、第七水冷支路(15)、第八水冷支路(16)、第九水冷支路(17)、第十水冷支路(18)，其中，第四水冷支路(12)、第五水冷支路(13)、第六水冷支路(14)設(shè)置于長晶爐爐體上部的電纜處，所述第七水冷支路(15)、第八水冷支路(16)、第九水冷支路(17)設(shè)置于爐體中部的電纜處，所述第十水冷支路(18)設(shè)置于爐體下部的電纜處。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的長晶爐水循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，還包括第十一水冷支路(13)、第十二水冷支路(13)、第十三水冷支路(14)、第十四水冷支路(15)、第十五水冷支路(16)、第十六水冷支路(24)、第十七水冷支路(25)，其中所述括第^^一水冷支路(13)設(shè)置于長晶爐的爐體附件處，所述第十二水冷支路(13)設(shè)置于長晶爐的上法蘭處，所述第十三水冷支路(14)設(shè)置于長晶爐的下法蘭處，所述第十四水冷支路(15)設(shè)置于長晶爐的左抽空管處，所述第十五水冷支路(16)設(shè)置于長晶爐的右抽空管處、所述第十六水冷支路(24)設(shè)置于長晶爐的擴散泵處、所述第十七水冷支路(25)設(shè)置于長晶爐的冷阱處。6.根據(jù)權(quán)利要求1?5任一所述的長晶爐水循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，各水冷支路均設(shè)置有流量計、球閥。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的長晶爐水循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，各水冷支路球閥的數(shù)量均為兩個。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的長晶爐水循環(huán)系統(tǒng)，其特征在于，所述的進水管道(I)和出水管道(2)末端均設(shè)置有堵頭(7)。
【專利摘要】本實用新型公開一種長晶爐水循環(huán)系統(tǒng)，包括進水管道、出水管道、第一水冷支路、第二水冷支路、第三水冷支路，所述進水管道分別聯(lián)通各水冷支路再聯(lián)通至所述出水管道，所述第一水冷支路設(shè)置于所述長晶爐的爐體上部處，所述第二水冷支路設(shè)置于所述長晶爐的爐體中部處，所述第三水冷支路設(shè)置于所述長晶爐的爐體下部處。本實用新型通過設(shè)置水循環(huán)系統(tǒng)，使得爐體溫度更加均勻，并且能夠保證電纜及擴散泵的正常工作溫度。
【IPC分類】C30B35/00
【公開號】CN204661865
【申請?zhí)枴緾N201520149383
【發(fā)明人】李輝, 姜宏偉, 張洪濤
【申請人】南京晶升能源設(shè)備有限公司
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2015年3月16日