一種直拉單晶爐熱場用堝桿的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種直拉單晶爐熱場用禍桿。
【背景技術(shù)】
[0002]直拉單晶爐熱場用禍桿屬于直拉單晶爐的主要部件之一，其作用是帶動石英坩禍升降與旋轉(zhuǎn)，目前，在直拉單晶熱場中，由于工作環(huán)境溫度很高，直拉單晶爐熱場用禍桿采用石墨材質(zhì)制作，石墨材質(zhì)導熱性能強，容易將熱場中部分熱能導出，造成電能的浪費。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種直拉單晶爐熱場用禍桿，它具有結(jié)構(gòu)合理、節(jié)能降耗等特點。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采取的技術(shù)方案是:
[0005]一種直拉單晶爐熱場用禍桿，包括石墨材質(zhì)的托盤，在托盤的底部連接石墨材質(zhì)的支撐柱，支撐柱與托盤同軸心，托盤與支撐柱為分體結(jié)構(gòu)，托盤與支撐柱螺紋連接；在支撐柱的內(nèi)部設(shè)有支撐柱保溫碳氈腔室，支撐柱保溫碳氈腔室開口于支撐柱的上端面，支撐柱保溫碳氈腔室上部為與支撐柱同軸心的圓柱形腔室，圓柱形腔室的直徑為支撐柱中間部分直徑的三分之一，圓柱形腔室的高度為支撐柱高度的三分之一，圓柱形腔室下端為截頭圓錐體形腔室，截頭圓錐體形腔室與圓柱形腔室同軸心，且其上底面直徑與圓柱形腔室直徑相同，其下底面直徑為圓柱形腔室下底面直徑的三分之一，其高度為圓柱形腔室高度的四分之一；支撐柱保溫碳氈腔室內(nèi)設(shè)有形體與支撐柱保溫碳氈腔室相適配的支撐柱保溫碳氈塊；在托盤的徑向設(shè)有第一托盤保溫碳氈腔室，第一托盤保溫碳氈腔室貫通于托盤，第一托盤保溫碳氈腔室為圓柱形腔室，第一托盤保溫碳氈腔室的軸心位于托盤高度的三分之一處，且與托盤的直徑重合，第一托盤保溫碳氈腔室的直徑為托盤高度的三分之一，在第一托盤保溫碳氈腔室的兩側(cè)對稱設(shè)有第二托盤保溫碳氈腔室，第一托盤保溫碳氈腔室和兩個第二托盤保溫碳氈腔室直徑相同，且在同一平面上，第一托盤保溫碳氈腔室和第二托盤保溫碳氈腔室之間的距離為托盤半徑的五分之四，兩個第二托盤保溫碳氈腔室貫通于托盤，第一托盤保溫碳氈腔室和第二托盤保溫碳氈腔室內(nèi)均設(shè)有與各自腔室相適配的托盤保溫碳租塊。
[0006]本實用新型進一步改進在于:
[0007]支撐柱的外壁徑向設(shè)有用于固定支撐柱保溫碳氈塊的頂絲。
[0008]在支撐柱保溫碳氈塊的頂部中央豎向設(shè)有內(nèi)螺紋孔。
[0009]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:
[0010]本實用新型通過在支撐柱的內(nèi)部設(shè)置支撐柱保溫碳氈腔室，支撐柱保溫碳氈腔室內(nèi)設(shè)有形體與支撐柱保溫碳氈腔室相適配的支撐柱保溫碳氈塊，在托盤的徑向設(shè)置第一托盤保溫碳氈腔室和兩個第二托盤保溫碳氈腔室，第一托盤保溫碳氈腔室和第二托盤保溫碳氈腔室內(nèi)均設(shè)有與各自腔室相適配的托盤保溫碳氈塊，在禍桿中，合理使用隔熱性能好且熔點高的物質(zhì)保溫碳氈，可以有效起到降低熱能散失的目的。支撐柱保溫碳氈腔室開口于支撐柱的上端面，支撐柱保溫碳氈腔室上部為與支撐柱同軸心的圓柱形腔室，圓柱形腔室的直徑為支撐柱中間部分直徑的三分之一，圓柱形腔室的高度為支撐柱高度的三分之一，圓柱形腔室下端為截頭圓錐體形腔室，截頭圓錐體形腔室與圓柱形腔室同軸心，且其上底面直徑與圓柱形腔室直徑相同，其下底面直徑為圓柱形腔室下底面直徑的三分之一，其高度為圓柱形腔室高度的四分之一；在托盤的徑向設(shè)有第一托盤保溫碳氈腔室，第一托盤保溫碳氈腔室貫通于托盤，第一托盤保溫碳氈腔室為圓柱形腔室，第一托盤保溫碳氈腔室的軸心位于托盤高度的三分之一處，且與托盤的直徑重合，第一托盤保溫碳氈腔室的直徑為托盤高度的三分之一，在第一托盤保溫碳氈腔室的兩側(cè)對稱設(shè)有第二托盤保溫碳氈腔室，第一托盤保溫碳氈腔室和兩個第二托盤保溫碳氈腔室直徑相同，且在同一平面上，第一托盤保溫碳氈腔室和第二托盤保溫碳氈腔室之間的距離為托盤半徑的五分之四，兩個第二托盤保溫碳氈腔室貫通于托盤，以上數(shù)據(jù)為多次試驗后的最佳數(shù)據(jù)，根據(jù)支撐柱的結(jié)構(gòu)特點，在保障其強度的情況下，最大限度地增大保溫碳氈的使用空間，以減少熱能損失；托盤與支撐柱為分體結(jié)構(gòu)，托盤與支撐柱螺紋連接；根據(jù)結(jié)構(gòu)特點，合理利用禍桿的空間，便于支撐柱保溫碳氈腔室的利用，在支撐柱保溫碳氈塊的頂部中央豎向設(shè)有內(nèi)螺紋孔，便于通過螺栓將其取出。本實用新型具有結(jié)構(gòu)合理、節(jié)能降耗等特點。
【附圖說明】
[0011]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2是圖1中托盤的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖3是圖1中支撐柱的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]在附圖中:1、托盤；2、支撐柱；3、支撐柱保溫碳氈腔室；4、支撐柱保溫碳氈塊；5、第一托盤保溫碳氈腔室；6、第二托盤保溫碳氈腔室；7、支撐柱保溫碳氈塊上的內(nèi)螺紋孔；
8、頂絲。
【具體實施方式】
[0015]下面將結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型進行進一步詳細說明。
[0016]由圖1-3所示的實施例可知，本實施例包括石墨材質(zhì)的托盤1，在托盤I的底部連接石墨材質(zhì)的支撐柱2，支撐柱2與托盤I同軸心，托盤I與支撐柱2為分體結(jié)構(gòu)，托盤I與支撐柱2螺紋連接；在支撐柱2的內(nèi)部設(shè)有支撐柱保溫碳氈腔室3，支撐柱保溫碳氈腔室3開口于支撐柱2的上端面，支撐柱保溫碳氈腔室3上部為與支撐柱2同軸心的圓柱形腔室，圓柱形腔室的直徑為支撐柱2中間部分直徑的三分之一，圓柱形腔室的高度為支撐柱2高度的三分之一，圓柱形腔室下端為截頭圓錐體形腔室，截頭圓錐體形腔室與圓柱形腔室同軸心，且其上底面直徑與圓柱形腔室直徑相同，其下底面直徑為圓柱形腔室下底面直徑的三分之一，其高度為圓柱形腔室高度的四分之一；支撐柱保溫碳氈腔室3內(nèi)設(shè)有形體與支撐柱保溫碳氈腔室3相適配的支撐柱保溫碳氈塊4，在支撐柱保溫碳氈塊4的頂部中央豎向設(shè)有內(nèi)螺紋孔7，用于旋接螺桿以將支撐柱保溫碳氈塊4取出，支撐柱2的外壁徑向設(shè)有用于固定支撐柱保溫碳氈塊4的頂絲8 ;在托盤I的徑向設(shè)有第一托盤保溫碳氈腔室5，第一托盤保溫碳氈腔室5貫通于托盤1，第一托盤保溫碳氈腔室5為圓柱形腔室，第一托盤保溫碳氈腔室5的軸心位于托盤I高度的三分之一處，且與托盤I的直徑重合，第一托盤保溫碳氈腔室5的直徑為托盤I高度的三分之一，在第一托盤保溫碳氈腔室5的兩側(cè)對稱設(shè)有第二托盤保溫碳氈腔室6，第一托盤保溫碳氈腔室5和兩個第二托盤保溫碳氈腔室6直徑相同，且在同一平面上，第一托盤保溫碳氈腔室5和第二托盤保溫碳氈腔室6之間的距離為托盤I半徑的五分之四，兩個第二托盤保溫碳氈腔室6貫通于托盤1，第一托盤保溫碳氈腔室5和第二托盤保溫碳氈腔室6內(nèi)均設(shè)有與各自腔室相適配的托盤保溫碳氈塊。
【主權(quán)項】
1.一種直拉單晶爐熱場用禍桿，包括石墨材質(zhì)的托盤(I)，在所述托盤(I)的底部連接石墨材質(zhì)的支撐柱(2)，所述支撐柱(2)與所述托盤(I)同軸心，其特征在于:所述托盤(I)與所述支撐柱(2)為分體結(jié)構(gòu)，所述托盤(I)與所述支撐柱(2)螺紋連接；在所述支撐柱(2)的內(nèi)部設(shè)有支撐柱保溫碳氈腔室(3)，所述支撐柱保溫碳氈腔室(3)開口于所述支撐柱(2)的上端面，所述支撐柱保溫碳氈腔室(3)上部為與所述支撐柱(2)同軸心的圓柱形腔室，所述圓柱形腔室的直徑為所述支撐柱(2)中間部分直徑的三分之一，所述圓柱形腔室的高度為所述支撐柱(2)高度的三分之一，所述圓柱形腔室下端為截頭圓錐體形腔室，所述截頭圓錐體形腔室與所述圓柱形腔室同軸心，且其上底面直徑與圓柱形腔室直徑相同，其下底面直徑為所述圓柱形腔室下底面直徑的三分之一，其高度為所述圓柱形腔室高度的四分之一；所述支撐柱保溫碳氈腔室(3)內(nèi)設(shè)有形體與支撐柱保溫碳氈腔室(3)相適配的支撐柱保溫碳氈塊(4);在所述托盤(I)的徑向設(shè)有第一托盤保溫碳氈腔室(5)，所述第一托盤保溫碳氈腔室(5)貫通于所述托盤(I)，所述第一托盤保溫碳氈腔室(5)為圓柱形腔室，所述第一托盤保溫碳氈腔室(5)的軸心位于所述托盤(I)高度的三分之一處，且與所述托盤(I)的直徑重合，所述第一托盤保溫碳氈腔室(5)的直徑為所述托盤(I)高度的三分之一，在所述第一托盤保溫碳氈腔室(5)的兩側(cè)對稱設(shè)有第二托盤保溫碳氈腔室￠)，所述第一托盤保溫碳氈腔室(5)和所述兩個第二托盤保溫碳氈腔室(6)直徑相同，且在同一平面上，所述第一托盤保溫碳氈腔室(5)和所述第二托盤保溫碳氈腔室(6)之間的距離為所述托盤(I)半徑的五分之四，所述兩個第二托盤保溫碳氈腔室(6)貫通于所述托盤(1)，所述第一托盤保溫碳氈腔室(5)和所述第二托盤保溫碳氈腔室￠)內(nèi)均設(shè)有與各自腔室相適配的托盤保溫碳氈塊。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直拉單晶爐熱場用禍桿，其特征在于:所述支撐柱(2)的外壁徑向設(shè)有用于固定支撐柱保溫碳氈塊(4)的頂絲(8)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種直拉單晶爐熱場用禍桿，其特征在于:在所述支撐柱保溫碳氈塊(4)的頂部中央豎向設(shè)有內(nèi)螺紋孔(7)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種直拉單晶爐熱場用堝桿，包括石墨材質(zhì)的托盤，在托盤的底部連接石墨材質(zhì)的支撐柱，支撐柱與托盤同軸心，托盤與支撐柱為分體結(jié)構(gòu)，托盤與支撐柱螺紋連接；在支撐柱的內(nèi)部設(shè)有支撐柱保溫碳氈腔室，支撐柱保溫碳氈腔室內(nèi)設(shè)有形體與支撐柱保溫碳氈腔室相適配的支撐柱保溫碳氈塊；在托盤的徑向設(shè)有第一托盤保溫碳氈腔室，在第一托盤保溫碳氈腔室的兩側(cè)對稱設(shè)有第二托盤保溫碳氈腔室，第一托盤保溫碳氈腔室和第二托盤保溫碳氈腔室內(nèi)均設(shè)有與各自腔室相適配的托盤保溫碳氈塊。本實用新型具有結(jié)構(gòu)合理、節(jié)能降耗等特點。
【IPC分類】C30B15/30
【公開號】CN204727987
【申請?zhí)枴緾N201520397335
【發(fā)明人】閆廣寧, 張浩強, 張鵬, 王怡然, 李永峰, 王東, 趙飛
【申請人】河北寧晉松宮半導體有限公司
【公開日】2015年10月28日
【申請日】2015年6月10日