一種可替換的引晶觀察窗口結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種與引晶爐相連接的觀察窗口結(jié)構(gòu),具體涉及一種可替換的引晶觀察窗口結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]泡生法是在一根受冷的提拉桿上安裝籽晶,將坩禍內(nèi)原料熔化為熔體,然后將籽晶與熔體接觸,如果界面的溫度適合,熔體則沿籽晶晶向進(jìn)行結(jié)晶生長(zhǎng)(引晶)。而引晶作為晶體生長(zhǎng)的重要環(huán)節(jié),直接關(guān)系到晶體質(zhì)量的好壞,其非常依賴于技術(shù)人員的引晶經(jīng)驗(yàn)和操作水平。然而目前還沒(méi)有統(tǒng)一量化的標(biāo)準(zhǔn)和操作規(guī)程來(lái)控制引晶過(guò)程,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化引晶。
[0003]目前在引晶期間,技術(shù)人員需要通過(guò)觀察窗口來(lái)查看籽晶與熔體的接觸和生長(zhǎng)情況,進(jìn)而做出正確的判斷,但是原料熔化到引晶過(guò)程結(jié)束一般為20小時(shí)左右,在此過(guò)程中,由于爐內(nèi)溫度高達(dá)2100°C,爐內(nèi)鎢鉬等雜質(zhì)揮發(fā)物會(huì)不斷吸附在觀察窗口上,導(dǎo)致觀察窗口的可視性被逐漸破壞,直接影響到引晶效果。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為了克服上述問(wèn)題,本實(shí)用新型提供一種可替換的引晶觀察窗口結(jié)構(gòu),其通過(guò)可替換的窗口設(shè)計(jì),在保證真空度正常的狀態(tài)下,確保在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中可隨時(shí)更換透鏡。
[0005]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:一種可替換的引晶觀察窗口結(jié)構(gòu),包括與引晶爐相連接的觀察口接管,與觀察口接管相連的密封下蓋,安裝在密封下蓋上的密封上蓋,與觀察口接管對(duì)應(yīng)設(shè)置的視鏡壓蓋,以及安置在視鏡壓蓋與密封上蓋之間的視鏡。所述密封上蓋與密封下蓋之間設(shè)有一空腔,空腔內(nèi)設(shè)有一組透鏡,連接各透鏡的撥盤(pán),以及與撥盤(pán)相連且貫穿于密封上蓋的撥動(dòng)件。工作時(shí),人眼依次透過(guò)視鏡、透鏡、觀察口接管觀察引晶爐內(nèi)的生長(zhǎng)情況,當(dāng)某一片透鏡受揮發(fā)物污染后,轉(zhuǎn)動(dòng)撥動(dòng)件,使得另一片透鏡運(yùn)動(dòng)至先前透鏡的位置,實(shí)現(xiàn)對(duì)引晶過(guò)程的不間斷觀察。
[0006]作為本實(shí)用新型的具體實(shí)施方案,透鏡在撥盤(pán)上均勻布置有三個(gè),當(dāng)然其并不限于三個(gè),也可以是其他數(shù)量,如四個(gè)、五個(gè)。
[0007]作為本實(shí)用新型的一種改進(jìn),在視鏡壓蓋靠近密封上蓋一側(cè)還設(shè)有用于安置視鏡的階梯槽。
[0008]為防止透鏡在空腔內(nèi)出現(xiàn)晃動(dòng)影響引晶過(guò)程的觀察,在撥動(dòng)件上還設(shè)置有限位結(jié)構(gòu)。上述限位結(jié)構(gòu)的實(shí)施方式有多種,如在撥動(dòng)件與密封下蓋之間設(shè)置壓簧。在通常情況下壓簧將撥動(dòng)件向上抵壓,當(dāng)需要更換時(shí),向下按壓并轉(zhuǎn)動(dòng)撥動(dòng)件。當(dāng)然限位結(jié)構(gòu)的具體結(jié)構(gòu)不限于上述方式,本領(lǐng)域技術(shù)人員可采用其他結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn),在此不再贅述。
[0009]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比,其優(yōu)點(diǎn)在于:
[0010]本實(shí)用新型通過(guò)在觀察口接管與視鏡之間安裝密封上蓋、密封下蓋、撥動(dòng)件、撥盤(pán)和一組透鏡,透鏡安置在密封上蓋與密封下蓋之間的空腔內(nèi)。工作時(shí),人眼依次透過(guò)視鏡、透鏡、觀察口接管觀察引晶爐內(nèi)的生長(zhǎng)情況,當(dāng)某一片透鏡受揮發(fā)物污染后,只需轉(zhuǎn)動(dòng)撥動(dòng)件,使得撥盤(pán)上的另一片透鏡運(yùn)動(dòng)至先前透鏡的位置,實(shí)現(xiàn)對(duì)引晶過(guò)程的不間斷觀察。此夕卜,采用三片透鏡聯(lián)合設(shè)計(jì),在保證真空度正常的狀態(tài)下,確保在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中可隨時(shí)更換。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,適用性強(qiáng),可廣泛應(yīng)用在晶體引晶領(lǐng)域上。
[0011]以下將結(jié)合附圖和實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行較為詳細(xì)的說(shuō)明。
【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型的剖視圖。
[0013]圖2為圖1的A-A剖視圖。
[0014]圖中,1、觀察口接管;2、密封下蓋;3、密封上蓋;4、視鏡壓蓋;5、視鏡;6、透鏡;7、撥盤(pán);8、撥動(dòng)件;9、階梯槽。
【具體實(shí)施方式】
[0015]實(shí)施例,請(qǐng)參閱圖1,一種可替換的引晶觀察窗口結(jié)構(gòu),包括與引晶爐(圖中未示出)相連接的觀察口接管I,與觀察口接管I通過(guò)螺栓緊固的密封下蓋2,與密封下蓋2通過(guò)螺栓連接的密封上蓋3,以及通過(guò)螺栓連接在密封上蓋3上的視鏡壓蓋4。其中,視鏡壓蓋4與觀察口接管I對(duì)應(yīng)設(shè)置,在視鏡壓蓋4靠近密封上蓋3 —側(cè)還設(shè)有一階梯槽9,該階梯槽內(nèi)安置有視鏡5。在密封上蓋3與密封下蓋2之間設(shè)有一空腔,空腔內(nèi)設(shè)有一組透鏡6,連接各透鏡的撥盤(pán)7,以及與撥盤(pán)7相連且貫穿于密封上蓋3的撥動(dòng)件8。上述觀察口接管1、一透鏡4和視鏡5形成觀察通道。優(yōu)選的,撥動(dòng)件8上還設(shè)置有防止透鏡6出現(xiàn)晃動(dòng)的限位結(jié)構(gòu)。
[0016]請(qǐng)參閱圖2,透鏡6在撥盤(pán)7上均勻布置有三個(gè),且透鏡的形狀為圓形。撥動(dòng)件8設(shè)置在撥盤(pán)7的圓心處。
[0017]以上所述僅是對(duì)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例,并非對(duì)本實(shí)用新型的范圍進(jìn)行限定,故在不脫離本實(shí)用新型設(shè)計(jì)精神的前提下,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對(duì)本實(shí)用新型所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或裝飾,均應(yīng)落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種可替換的引晶觀察窗口結(jié)構(gòu),包括與引晶爐相連接的觀察口接管(1),其特征在于:還包括與觀察口接管(I)相連的密封下蓋(2),安裝在密封下蓋(2)上的密封上蓋(3),與觀察口接管(I)對(duì)應(yīng)設(shè)置的視鏡壓蓋(4),以及安置在視鏡壓蓋(4)與密封上蓋(3)之間的視鏡(5);所述密封上蓋(3)與密封下蓋(2)之間設(shè)有一空腔,空腔內(nèi)設(shè)有一組透鏡(6),連接各透鏡的撥盤(pán)(7),以及與所述撥盤(pán)(7)相連且貫穿于密封上蓋(3)的撥動(dòng)件⑶。2.如權(quán)利要求1所述可替換的引晶觀察窗口結(jié)構(gòu),其特征在于:所述透鏡(6)在撥盤(pán)(7)上均勻布置有三個(gè)。3.如權(quán)利要求1所述可替換的引晶觀察窗口結(jié)構(gòu),其特征在于:所述視鏡壓蓋(4)靠近密封上蓋(3) —側(cè)還設(shè)有用于安置視鏡(5)的階梯槽(9)。4.如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述可替換的引晶觀察窗口結(jié)構(gòu),其特征在于:所述撥動(dòng)件(8)設(shè)置在撥盤(pán)(7)的中間位置。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種可替換的引晶觀察窗口結(jié)構(gòu),包括觀察口接管,與觀察口接管相連的密封下蓋,安裝在密封下蓋上的密封上蓋,與觀察口接管對(duì)應(yīng)設(shè)置的視鏡壓蓋,以及視鏡。密封上蓋與密封下蓋之間設(shè)有一空腔,空腔內(nèi)設(shè)有一組透鏡,連接各透鏡的撥盤(pán),以及與撥盤(pán)相連且貫穿于密封上蓋的撥動(dòng)件。本實(shí)用新型通過(guò)在觀察口接管與視鏡之間安裝密封上蓋、密封下蓋、撥動(dòng)件、撥盤(pán)和一組透鏡,透鏡安置在密封上蓋與密封下蓋之間的空腔內(nèi)。工作時(shí),人眼依次透過(guò)視鏡、一透鏡、觀察口接管觀察引晶爐內(nèi)的生長(zhǎng)情況,當(dāng)某一片透鏡受揮發(fā)物污染后,只需轉(zhuǎn)動(dòng)撥動(dòng)件,使得撥盤(pán)上的另一片透鏡運(yùn)動(dòng)至先前透鏡的位置,實(shí)現(xiàn)對(duì)引晶過(guò)程的不間斷觀察。
【IPC分類(lèi)】C30B17/00
【公開(kāi)號(hào)】CN204779917
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520480615
【發(fā)明人】張會(huì)選, 李凱, 徐峰
【申請(qǐng)人】黃山市東晶光電科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年11月18日
【申請(qǐng)日】2015年7月1日