一種保溫筒及具有該保溫筒的長晶爐的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及長晶設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種節(jié)能保溫筒及具有該保溫筒的長晶爐。
【背景技術(shù)】
[0002]長晶爐是晶體生長的關(guān)鍵設(shè)備，其通過調(diào)節(jié)功率或者電壓控制熱場溫度來實(shí)現(xiàn)長晶，其結(jié)構(gòu)包括爐體，設(shè)置在爐體中心的用于安置坩禍的鎢托桿，以及安裝在爐體內(nèi)的保溫筒。其中，現(xiàn)有保溫筒通常采用多層的鉬片結(jié)構(gòu)作保溫屏，其缺點(diǎn)是:使用幾個(gè)周期后鉬片經(jīng)常因?yàn)槠茡p或變形需要更換，一旦沒有及時(shí)更換，則會(huì)因某個(gè)方向熱量流失過快而造成爐內(nèi)溫場不均勻，進(jìn)而出現(xiàn)晶體粘禍或生長不穩(wěn)定等現(xiàn)象。另外，保溫效果不好及頻繁更換保溫屏也會(huì)使晶體生產(chǎn)成本增加。
[0003]鑒于此，如何對長晶爐的保溫筒進(jìn)行改進(jìn)，以解決生產(chǎn)成本高，保溫筒保溫效果不佳的缺陷，已成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為克服上述問題，本實(shí)用新型提供一種節(jié)能式保溫筒及具有該保溫筒的長晶爐，在降低生產(chǎn)成本的同時(shí)，大大提高設(shè)備的保溫效果，而且將加工功率由原先的85?90kw降至 60 ?65kw0
[0005]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種保溫筒，用于長晶爐中，其包括從外向內(nèi)依次設(shè)置的保溫鉬屏層和保溫陶瓷層。其中，保溫鉬屏層由同心布置的多個(gè)第一鉬片，以及設(shè)置在相鄰第一鉬片之間的第二鉬片組成。保溫陶瓷層由氧化鋯材料制成。優(yōu)選的，第一鉬片的數(shù)量為12個(gè)。
[0006]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，第二鉬片的截面呈波浪形，第二鉬片的前后分別與相鄰兩第一鉬片相抵接。
[0007]作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式，保溫陶瓷層由若干個(gè)圓弧形氧化鋯層拼接而成。
[0008]為實(shí)現(xiàn)最佳的保溫效果，保溫鉬屏層的厚度為50?90mm，保溫陶瓷層的厚度為20 ?40mm。
[0009]作為長晶爐這一主題，其包括設(shè)置在最外側(cè)的爐體，以及安裝在爐體內(nèi)的上述保溫筒。該保溫筒與爐體同心設(shè)置，并且在爐體與保溫筒之間還設(shè)置有一真空層，其目的是增加水平溫度梯度，同時(shí)方便對爐體進(jìn)行升級，防止保溫鉬屏層直接與帶有循環(huán)水的爐體相接觸。優(yōu)選的，爐體上還設(shè)有水冷系統(tǒng)。爐體內(nèi)中央位置還設(shè)有一用于支撐坩禍的鎢托桿。
[0010]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其優(yōu)點(diǎn)在于:
[0011]本實(shí)用新型通過對保溫筒結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，在保溫筒的內(nèi)側(cè)設(shè)置一氧化鋯保溫陶瓷層，通過其超低的導(dǎo)熱系數(shù)大幅度提高保溫效果，降低功率，具體的，功率可由原先的85?90kw降至60?65kw，大大節(jié)省成本，與此同時(shí)，在保溫陶瓷層的外側(cè)設(shè)置由12個(gè)第一鉬片支撐而成的保溫鉬屏層，在各個(gè)第一鉬片之間設(shè)置波浪形的第二鉬片，更大程度鎖住保溫筒內(nèi)的熱量。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，易于制造，熱功率低，以及生產(chǎn)成本低的優(yōu)點(diǎn)，適合推廣應(yīng)用。
[0012]以下將結(jié)合附圖和實(shí)施例，對本實(shí)用新型進(jìn)行較為詳細(xì)的說明。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型中長晶爐的剖視圖。
[0014]圖2為圖1的局部放大圖。
[0015]圖中，101、保溫鉬屏層;102、保溫陶瓷層;103、第一鉬片;104、第二鉬片;105、圓弧形氧化鋯層；106、爐體；107、保溫筒；108、真空層；109、鎢托桿。
【具體實(shí)施方式】
[0016]實(shí)施例，請參閱圖1至2，
[0017]一種保溫筒107，其包括從外向內(nèi)依次設(shè)置的保溫鉬屏層101和保溫陶瓷層102。上述保溫筒107應(yīng)用于長晶爐中，該長晶爐包括設(shè)置在最外側(cè)的帶水冷系統(tǒng)(圖中未示出)的爐體106，以及安裝在爐體106內(nèi)的保溫筒107。在爐體106內(nèi)中央位置還設(shè)有一鎢托桿109。上述保溫筒107與爐體106同心設(shè)置，在爐體106與保溫筒107之間還設(shè)置有一真空層 108。
[0018]其中，保溫鉬屏層101由同心布置的十二個(gè)第一鉬片103，以及設(shè)置在相鄰第一鉬片103之間截面呈波浪形的第二鉬片104組成。保溫陶瓷層102由若干個(gè)圓弧形氧化鋯層105拼接而成。保溫鉬屏層101的厚度為60mm，保溫陶瓷層102的厚度為40mm。
[0019]以上所述僅是對本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非對本實(shí)用新型的范圍進(jìn)行限定，故在不脫離本實(shí)用新型設(shè)計(jì)精神的前提下，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對本實(shí)用新型所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或裝飾，均應(yīng)落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種保溫筒，用于長晶爐中，其特征在于:所述保溫筒包括從外向內(nèi)依次設(shè)置的保溫鉬屏層(101)和保溫陶瓷層(102)，其中，保溫鉬屏層(101)由同心布置的多個(gè)第一鉬片(103)，以及設(shè)置在相鄰第一鉬片(103)之間的第二鉬片(104)組成；所述保溫陶瓷層(102)由氧化鋯材料制成。2.如權(quán)利要求1所述保溫筒，其特征在于:所述第二鉬片(104)的截面呈波浪形。3.如權(quán)利要求1所述保溫筒，其特征在于:所述保溫陶瓷層(102)由若干個(gè)圓弧形氧化鋯層(105)拼接而成。4.如權(quán)利要求1所述保溫筒，其特征在于:所述第一鉬片(103)的數(shù)量為12個(gè)。5.如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述保溫筒，其特征在于:所述保溫鉬屏層(101)的厚度為50?90mm，保溫陶瓷層(102)的厚度為20?40mm。6.—種長晶爐，包括設(shè)置在最外側(cè)的爐體(106)，其特征在于:還包括安裝在爐體(106)內(nèi)如權(quán)利要求1至5所述的保溫筒(107)，該保溫筒(107)與爐體(106)同心設(shè)置，并且在爐體(106)與保溫筒(107)之間還設(shè)置有一真空層(108)。7.如權(quán)利要求6所述長晶爐，其特征在于:所述爐體(106)上還設(shè)有水冷系統(tǒng)。8.如權(quán)利要求6或7所述長晶爐，其特征在于:所述爐體(106)內(nèi)中央位置還設(shè)有一用于支撐坩禍的鎢托桿(109)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種保溫筒，用于長晶爐中，其包括從外向內(nèi)依次設(shè)置的保溫鉬屏層和保溫陶瓷層。其中，保溫鉬屏層由同心布置的多個(gè)第一鉬片，以及設(shè)置在相鄰第一鉬片之間的第二鉬片組成。保溫陶瓷層由氧化鋯材料制成。本實(shí)用新型通過對保溫筒結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，在保溫筒的內(nèi)側(cè)設(shè)置一氧化鋯保溫陶瓷層，通過其超低的導(dǎo)熱系數(shù)大幅度提高保溫效果，降低功率，具體的，功率可由原先的85～90kw降至60～65kw，大大節(jié)省成本，與此同時(shí)，在保溫陶瓷層的外側(cè)設(shè)置由12個(gè)第一鉬片支撐而成的保溫鉬屏層，在各個(gè)第一鉬片之間設(shè)置波浪形的第二鉬片，更大程度鎖住保溫筒內(nèi)的熱量。
【IPC分類】C30B35/00
【公開號】CN204779931
【申請?zhí)枴緾N201520477164
【發(fā)明人】周華東, 張會(huì)選, 徐峰, 李凱
【申請人】黃山市東晶光電科技有限公司
【公開日】2015年11月18日
【申請日】2015年7月1日