一種酸液循環(huán)冷卻裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種酸液循環(huán)冷卻裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導體晶片在生產(chǎn)制造過程中需要多道酸液清洗、腐蝕等工序，通過化學試劑與晶片表面進行反應，對晶片表面的雜質(zhì)和損傷層面進行去除，或者根據(jù)工藝需求制作某一特定的腐蝕形狀。反應過程中腐蝕效果受酸液溫度、濃度的影響比較大，在使用過程中晶片與酸液反應，酸液溫度會迅速升高，酸液濃度分布也會有很大的差異。現(xiàn)有方案只能在酸溫過高時停止操作，等待其回落，或者在酸液中加入冰塊進行降溫，改善酸液濃度不均的方法也只能是空槽時作業(yè)員人工使用燒杯攪拌，嚴重影響到工作效率。
[0003]現(xiàn)今酸液在使用過程中，晶片與酸液反應，酸液溫度會迅速升高，濃度分布也會有很大的差異，而反應過程中腐蝕效果受酸液溫度、濃度的影響比較大，會造成反應速度快，反應效果不均勻，表面厚度去除不一致，腐蝕形狀異常等不良情況，最終影響到產(chǎn)品質(zhì)量。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]為解決半導體晶片在化學酸劑腐蝕過程中，溫度不易控制，反應速度快，反應效果不均勻等問題，本實用新型提供了一種酸液循環(huán)冷卻裝置，目的在于使用耐腐蝕的特質(zhì)盤管放入酸液周圍，內(nèi)充入循環(huán)制冷液，使升高的酸溫通過盤管與制冷液進行冷熱交換，將熱量帶出酸液，達到穩(wěn)定液溫的目的；同時使用耐酸循環(huán)栗使酸液不斷循環(huán)，使酸液的濃度分布均勻一致，最終達到酸溫恒定、濃度均勻的目的。
[0005]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案。
[0006]—種酸液循環(huán)冷卻裝置，包括制冷壓縮機、存放酸液的槽體、外涂耐腐蝕特氟龍材質(zhì)的不銹鋼盤管、耐腐蝕PP循環(huán)栗、酸液出酸口、酸液進酸口及PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道；制冷壓縮機與外涂耐腐蝕特氟龍材質(zhì)的不銹鋼盤管循環(huán)連接，外涂耐腐蝕特氟龍材質(zhì)的不銹鋼盤管位于存放酸液的槽體內(nèi)，所述存放酸液的槽體上設(shè)有酸液出酸口和酸液進酸口，酸液出酸口通過PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道與耐腐蝕PP循環(huán)栗連接，耐腐蝕PP循環(huán)栗通過PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道與酸液進酸口連接。
[0007]作為本實用新型的進一步改進，所述酸液進酸口有兩個，分列于存放酸液的槽體的兩側(cè)。
[0008]所述酸液出酸口位于存放酸液的槽體的底部。
[0009]所述耐腐蝕PP循環(huán)栗與酸液出酸口之間的PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道的直徑，大于耐腐蝕PP循環(huán)栗與酸液進酸口之間的PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道的直徑。
[0010]本實用新型使用耐腐蝕的特質(zhì)盤管放入酸液周圍，盤管內(nèi)充入循環(huán)制冷液，通過外部壓縮機的工作，將制冷液在盤管內(nèi)不斷通過升高的酸液，使升高的酸溫通過冷熱交換將熱量帶出液體，從而穩(wěn)定酸溫；用耐酸循環(huán)栗使酸液不斷循環(huán)，使酸槽內(nèi)不同區(qū)域酸液濃度在要求范圍內(nèi)，使腐蝕的速率相同，均勻一致。
[0011]本實用新型的有益效果是，升高的酸溫通過冷熱交換將熱量帶出液體，達到穩(wěn)定酸溫的效果；酸液不斷循環(huán)，使酸液的濃度分布更均勻一致，達到濃度均勻的目的。酸溫恒定、濃度一致，晶片與酸液的反應更加均勻，厚度去除誤差小，腐蝕形狀一致性好。
[0012]當然，實施本實用新型的任一產(chǎn)品并不一定需要同時達到以上所述的所有優(yōu)點。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]其中，1、制冷壓縮機；2、槽體；3、不銹鋼盤管；4、酸液進酸口 ；5、酸液出酸口 ；6、耐腐蝕PP循環(huán)栗；7、制冷液；8、PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道。
【具體實施方式】
[0015]下面將結(jié)合附圖對本實用新型的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0016]在本實用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。
[0017]在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。
[0018]如圖1所示，一種酸液循環(huán)冷卻裝置，包括制冷循環(huán)系統(tǒng)的制冷壓縮機1、存放酸液的槽體2、外涂耐腐蝕特氟龍材質(zhì)的不銹鋼盤管3，以及酸液循環(huán)攪拌系統(tǒng)的耐腐蝕PP循環(huán)栗6、酸液出酸口 5、酸液進酸口 4、PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道8 ;制冷壓縮機I與外涂耐腐蝕特氟龍材質(zhì)的不銹鋼盤管3循環(huán)連接，外涂耐腐蝕特氟龍材質(zhì)的不銹鋼盤管3位于存放酸液的槽體2內(nèi)，所述存放酸液的槽體2上設(shè)有酸液出酸口 5和酸液進酸口 4，酸液出酸口 5通過PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道8與耐腐蝕PP循環(huán)栗6連接，耐腐蝕PP循環(huán)栗6通過PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道8與酸液進酸口 4連接。
[0019]本實施例的制冷循環(huán)實現(xiàn)流程為:制冷壓縮機I產(chǎn)生的制冷液7通過外涂耐腐蝕特氟龍材質(zhì)的不銹鋼盤管3與生產(chǎn)時存放酸液的槽體2內(nèi)酸液產(chǎn)生的熱量進行冷熱交換，將酸液的溫度熱量通過制冷液7帶出存放酸液的槽體2，從而達到穩(wěn)定液溫的目的；制冷液7出槽后循環(huán)進入制冷壓縮機I釋放熱量后，繼續(xù)參與制冷循環(huán)。
[0020]本實施例的酸液循環(huán)攪拌實現(xiàn)流程為:參與反應的酸液從底部的酸液出酸口 5進入耐腐蝕PP循環(huán)栗6，并重新從酸液進酸口 4進入存放酸液的槽體2，起到酸液攪拌的目的。從而使存放酸液的槽體2內(nèi)不同區(qū)域酸液濃度在要求范圍內(nèi)，使腐蝕的速率相同，均勻一致。
[0021]上述雖然結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】進行了描述，但并非對本實用新型保護范圍的限制，所屬領(lǐng)域技術(shù)人員應該明白，在本實用新型的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性勞動即可做出的各種修改或變形仍在本實用新型的保護范圍以內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種酸液循環(huán)冷卻裝置，其特征是，包括制冷壓縮機(I)、存放酸液的槽體(2)、外涂耐腐蝕特氟龍材質(zhì)的不銹鋼盤管(3)、耐腐蝕PP循環(huán)栗(6)、酸液出酸口(5)、酸液進酸口(4)及PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道(8);制冷壓縮機(I)與外涂耐腐蝕特氟龍材質(zhì)的不銹鋼盤管(3)循環(huán)連接，外涂耐腐蝕特氟龍材質(zhì)的不銹鋼盤管(3)位于存放酸液的槽體(2)內(nèi)，所述存放酸液的槽體(2)上設(shè)有酸液出酸口(5)和酸液進酸口(4)，酸液出酸口(5)通過PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道(8)與耐腐蝕PP循環(huán)栗(6)連接，耐腐蝕PP循環(huán)栗(6)通過PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道(8 )與酸液進酸口( 4 )連接。2.如權(quán)利要求1所述的酸液循環(huán)冷卻裝置，其特征是，所述酸液進酸口(4)有兩個，分列于存放酸液的槽體(2)的兩側(cè)。3.如權(quán)利要求1所述的酸液循環(huán)冷卻裝置，其特征是，所述酸液出酸口(5)位于存放酸液的槽體(2)的底部。4.如權(quán)利要求1所述的酸液循環(huán)冷卻裝置，其特征是，所述耐腐蝕PP循環(huán)栗(6)與酸液出酸口( 5 )之間的PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道(8 )的直徑，大于耐腐蝕PP循環(huán)栗(6 )與酸液進酸口( 4 )之間的PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道(8 )的直徑。
【專利摘要】本實用新型公開了一種酸液循環(huán)冷卻裝置，其制冷壓縮機（1）與外涂耐腐蝕特氟龍材質(zhì)的不銹鋼盤管（3）循環(huán)連接，外涂耐腐蝕特氟龍材質(zhì)的不銹鋼盤管（3）位于存放酸液的槽體（2）內(nèi)，所述存放酸液的槽體（2）上設(shè)有酸液出酸口（5）和酸液進酸口（4），酸液出酸口（5）通過PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道（8）與耐腐蝕PP循環(huán)泵（6）連接，耐腐蝕PP循環(huán)泵（6）通過PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道（8）與酸液進酸口（4）連接。升高的酸溫通過冷熱交換將熱量帶出液體，達到穩(wěn)定酸溫的效果；酸液不斷循環(huán)，使酸液的濃度分布更均勻一致，達到濃度均勻的目的。酸溫恒定、濃度一致，晶片與酸液的反應更加均勻，厚度去除誤差小，腐蝕形狀一致性好。
【IPC分類】C30B33/10
【公開號】CN204825136
【申請?zhí)枴緾N201520617308
【發(fā)明人】郭城, 呂明, 趙海玲, 郭英云, 盧國香
【申請人】山東科芯電子有限公司
【公開日】2015年12月2日
【申請日】2015年8月17日