硝酸吹白裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種硝酸生產領域，尤其是一種硝酸吹白裝置。
【背景技術】
[0002]近幾年，隨著電子產業(yè)飛速發(fā)展，芯片制造行業(yè)也在突飛猛進的發(fā)展，芯片的氧化膜越來越薄。制造芯片時，需要用硝酸對其進行清洗和腐蝕，硝酸純度的高低對芯片的成品率起著關鍵性的作用。即，硝酸純度越高，芯片的成品率越高。因此，人們非常渴望得到高純度的硝酸。
[0003]在工業(yè)上有時候需要比較純凈的硝酸，尤其二氧化氮要少，否則副反應和副產物都會增加。在硝酸工業(yè)中，原則上會經過漂白處理，即用潔凈空氣吹除其中含有的二氧化氮，得到無色透明或略帶黃色的液體；對硝酸濃度要求較高時還得減壓蒸餾，并棄去黃色餾分。如果不經漂白工藝，則會得到工業(yè)發(fā)煙硝酸，而實際應用中，這種發(fā)煙硝酸極少銷售和使用。傳統(tǒng)的硝酸吹白工藝較為老舊，效率不高，而且存在設備簡陋，操作不方便，存在安全隱患等問題。

【發(fā)明內容】

[0004]為了克服現(xiàn)有技術的不足，本實用新型提供了一種結構簡單，操作方便，吹白效率高，工作環(huán)境安全可靠的硝酸吹白裝置。
[0005]本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是:一種硝酸吹白裝置，包括密封設置的反應釜，所述反應釜上部開設有硝酸進口、真空口和純水進口，硝酸進口、真空口和純水進口處分別設有控制閥，所述硝酸吹白裝置還包括:
[0006]吹氣管，插設于反應釜頂部、且吹氣管周壁與反應釜密封配合，該吹氣管包括有位于反應釜外的吹氣進口、及位于反應釜內的吹氣出口，其中吹氣出口延伸至反應釜底部；
[0007]洗氣瓶，該洗氣瓶瓶口處插設有進氣管和出氣管，其中出氣管和吹氣管的吹氣進口通過管路相連通；
[0008]真空栗，該真空栗進氣口與真空口通過管路相連通。
[0009]本實用新型的有益效果是:通過硝酸進口將發(fā)煙硝酸送入反應釜內，關閉硝酸進口處的控制閥，然后通過純水進口將純水加入到反應釜內稀釋發(fā)煙硝酸，關閉純水進口的控制閥，打開真空栗使反應釜內形成真空；通過洗氣瓶進氣管，反應釜內吸入空氣，洗氣瓶內填充有純水，對吸入空氣中的雜質進行過濾；通過吹氣管，洗氣后的空氣混入稀釋后的硝酸內，并帶走二氧化氮氣體。本實用新型結構簡單，操作方便，吹白效率高，吹白過程都在密封的反應釜內進行，工作環(huán)境安全可靠。
[0010]為了讓洗氣后的空氣更加充分地混入稀釋后的硝酸內，則吹氣管的吹氣出口處安裝有噴頭，該噴頭上開設有若干噴孔。
[0011 ] 在吹白過程中，反應爸內將產生大量熱量，則反應爸內還安裝有冷卻管，該冷卻管的兩端部分別貫穿反應釜側壁、且延伸至反應釜外，冷卻管一端進冷卻水，另一端出冷卻水，從而對反應釜內部進行降溫冷卻。
[0012]為了提高冷卻效率，反應釜內的冷卻管呈螺旋結構設置。
[0013]為了方便反應釜內吹白后的硝酸放料，反應釜底部開設有放料口，該放料口處安裝有控制閥。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型實施例的結構示意圖，省略了真空栗。
【具體實施方式】
[0015]下面結合附圖對本實用新型作進一步描述:
[0016]如圖1所示，本實施例包括密封設置的反應釜1、洗氣瓶2和真空栗(未畫出)，反應釜1上部開設有硝酸進口 11、真空口 12和純水進口 13，反應釜1底部開設有放料口 14，硝酸進口 11、真空口 12、純水進口 13和放料口 14處分別設有用于控制各口開閉的控制閥。在反應釜1頂部插設有吹氣管3，該吹氣管3周壁與反應釜1密封配合，吹氣管3包括有位于反應釜1外的吹氣進口 31、及位于反應釜1內的吹氣出口 32，其中吹氣出口 32延伸至反應釜1底部。洗氣瓶2瓶口處插設有進氣管21和出氣管22，其中出氣管22和吹氣管3的吹氣進口 31間通過管路相連通；真空栗進氣口與真空口 12通過管路相連通。其中，洗氣瓶2為現(xiàn)有常規(guī)技術，在此不做贅述。為了讓洗氣后的空氣更加充分地混入稀釋后的硝酸內，則吹氣管3的吹氣出口 32處安裝有噴頭33，該噴頭33上開設有若干噴孔。在吹白過程中，反應釜1內將產生大量熱量，則反應釜1內還安裝有冷卻管4，該冷卻管4的兩端部分別貫穿反應爸1側壁、且延伸至反應爸1外，冷卻管4在反應爸1內的部分呈螺旋結構設置，冷卻管4 一端進冷卻水，另一端出冷卻水，從而對反應釜1內部進行降溫冷卻。
[0017]本實用新型中，通過硝酸進口 11將發(fā)煙硝酸送入反應釜1內，關閉硝酸進口處的控制閥，然后通過純水進口 13將純水加入到反應釜1內稀釋發(fā)煙硝酸，關閉純水進口 13的控制閥，打開真空栗使反應釜內形成真空；通過洗氣瓶2進氣管21吸入空氣，空氣經洗氣瓶2從出氣管22出來，經由吹氣管3進入反應釜1，洗氣瓶2內填充有純水，對吸入空氣中的雜質進行過濾；通過吹氣管3，洗氣后的空氣混入稀釋后的硝酸內，并帶走二氧化氮氣體。本實用新型結構簡單，操作方便，吹白效率高，吹白過程都在密封的反應釜內進行，工作環(huán)境安全可靠。
【主權項】
1.一種硝酸吹白裝置，包括密封設置的反應釜，其特征是，所述反應釜上部開設有硝酸進口、真空口和純水進口，硝酸進口、真空口和純水進口處分別設有控制閥，所述硝酸吹白裝置還包括: 吹氣管，插設于反應釜頂部、且吹氣管周壁與反應釜密封配合，該吹氣管包括有位于反應釜外的吹氣進口、及位于反應釜內的吹氣出口，其中吹氣出口延伸至反應釜底部； 洗氣瓶，該洗氣瓶瓶口處插設有進氣管和出氣管，其中出氣管和吹氣管的吹氣進口通過管路相連通； 真空栗，該真空栗進氣口與真空口通過管路相連通。2.根據(jù)權利要求1所述的硝酸吹白裝置，其特征是:所述吹氣管的吹氣出口處安裝有噴頭，該噴頭上開設有若干噴孔。3.根據(jù)權利要求1所述的硝酸吹白裝置，其特征是:所述反應釜內還安裝有冷卻管，該冷卻管的兩端部分別貫穿反應釜側壁、且延伸至反應釜外。4.根據(jù)權利要求3所述的硝酸吹白裝置，其特征是:所述反應釜內的冷卻管呈螺旋結構設置。
【專利摘要】本實用新型公開了一種硝酸吹白裝置，包括密封設置的反應釜，所述反應釜上部開設有硝酸進口、真空口和純水進口，硝酸進口、真空口和純水進口處分別設有控制閥，所述硝酸吹白裝置還包括：吹氣管，插設于反應釜頂部、且吹氣管周壁與反應釜密封配合，該吹氣管包括有位于反應釜外的吹氣進口、及位于反應釜內的吹氣出口，其中吹氣出口延伸至反應釜底部；洗氣瓶，該洗氣瓶瓶口處插設有進氣管和出氣管，其中出氣管和吹氣管的吹氣進口通過管路相連通；真空泵，該真空泵進氣口與真空口通過管路相連通。本實用新型結構簡單，操作方便，吹白效率高，吹白過程都在密封的反應釜內進行，工作環(huán)境安全可靠。
【IPC分類】C01B21/46
【公開號】CN204958400
【申請?zhí)枴緾N201520602263
【發(fā)明人】阮岳峰
【申請人】浙江尚能電子材料有限公司
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2015年8月11日