一種可適應(yīng)大小石英坩堝生產(chǎn)的遮熱板結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及光伏領(lǐng)域,特指一種可適應(yīng)大小石英坩禍生產(chǎn)的遮熱板結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前,電弧法生產(chǎn)的石英坩禍?zhǔn)翘柲?、半?dǎo)體行業(yè)拉制單晶硅必不可少的容器,隨著拉單晶技術(shù)的發(fā)展,對石英坩禍尺寸要求越來越大。大尺寸坩禍生產(chǎn)需要更高功率及溫度熔制,這也對電弧坩禍熔制機(jī)提出了更高的要求,這其中包括了熔制機(jī)的遮熱板結(jié)構(gòu)。
[0003]目前,電弧坩禍熔制機(jī)的遮熱板大多為不銹鋼結(jié)構(gòu)或是石英板結(jié)構(gòu),遮熱板中心采用圓形開孔方式,為了保證坩禍熔制溫度,開孔直徑一般在260?360mm之間,這導(dǎo)致在生產(chǎn)大尺寸石英坩禍的高溫功率條件下:金屬遮熱板容易被電弧灼燒,坩禍內(nèi)表面掉入金屬雜質(zhì),造成坩禍不合格,同時由于電弧高溫作用,長時間使用容易出現(xiàn)變形漏水等問題,使坩禍報廢;石英遮熱板經(jīng)常發(fā)生變形炸裂,使坩禍報廢,同時石英遮熱板的制造成本高,且需要經(jīng)常更換,增加坩禍生產(chǎn)成本。另外,由于大尺寸坩禍高溫高功率,二氧化硅蒸汽揮發(fā)特增多,圓形孔不利于排風(fēng)把熔制過程中揮發(fā)的二氧化硅蒸汽及時排走,造成坩禍內(nèi)表面形成白斑、附著物及氣泡群等缺陷,造成產(chǎn)品不合格。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]針對以上問題,本實用新型提供了一種可適應(yīng)大小石英坩禍生產(chǎn)的遮熱板結(jié)構(gòu),可以避免金屬遮熱板在石英坩禍熔制過程中出現(xiàn)變形、漏水、掉金屬點的問題,以及避免石英遮熱板出現(xiàn)的變形、炸裂、成本高等問題,同時提高二氧化硅蒸汽的排走效率,降低白斑、附著物及氣泡群等缺陷,適合大尺寸坩禍生產(chǎn)。
[0005]為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用的技術(shù)方案如下:
[0006]—種可適應(yīng)大小石英坩禍生產(chǎn)的遮熱板結(jié)構(gòu),機(jī)遮板結(jié)構(gòu)包括進(jìn)水管、出水管、不銹鋼大孔徑遮熱板與采用不合格坩禍直接切割而成的石英片,石英片分別與不銹鋼大孔徑遮熱板對應(yīng)設(shè)置,不銹鋼大孔徑遮熱板中心開孔直徑400?650mm,進(jìn)水管與出水管的一端分別固定設(shè)于不銹鋼大孔徑遮熱板底部左右兩側(cè),進(jìn)水管與出水管另一端與不銹鋼大孔徑遮熱板之間設(shè)有15?40_空隙,石英片對應(yīng)設(shè)于空隙內(nèi)。
[0007]進(jìn)一步而言,所述石英片由8塊石英片拼接成方形結(jié)構(gòu)組成,且中間設(shè)有方形孔徑,方形孔徑尺寸米用260?400mm*260?400mm。
[0008]進(jìn)一步而言,所述方形孔徑中心與不銹鋼大孔徑遮熱板的中心為同心設(shè)置。
[0009]進(jìn)一步而言,所述進(jìn)水管與出水管平行設(shè)置。
[0010]本實用新型有益效果:
[0011]1、不銹鋼遮熱板孔徑擴(kuò)大,加大了遮熱板與電極的中心高溫區(qū)的距離,從而避免了金屬遮熱板在石英坩禍熔制過程中出現(xiàn)變形、漏水、灼燒掉金屬點問題,提高產(chǎn)品合格率;
[0012]2、石英片采用不合格石英坩禍直接切割而成,大大降低了生產(chǎn)成本,且石英砂原料純度在99.99%以上,高純度保證了石英片在高溫下不炸裂,不易變形;
[0013]3、石英片拼接成的方形結(jié)構(gòu)更有利于將二氧化硅蒸汽排走,降低白斑、附著物及氣泡群等缺陷,提尚廣品合格率。
【附圖說明】
[0014]圖1是本實用新型整體結(jié)構(gòu)圖;
[0015]圖2是圖1側(cè)視圖;
[0016]圖3是不銹鋼大孔徑遮熱板結(jié)構(gòu)圖;
[0017]圖4是石英片拼成方形結(jié)構(gòu)圖。
[0018]1、進(jìn)水管;2、出水管;3、不銹鋼大孔徑遮熱板;4、石英片。
【具體實施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖與實施例對本實用新型的技術(shù)方案進(jìn)行說明。
[0020]如圖1至4所示,本實用新型所述一種可適應(yīng)大小石英坩禍生產(chǎn)的遮熱板結(jié)構(gòu),機(jī)遮板結(jié)構(gòu)包括進(jìn)水管1、出水管2、不銹鋼大孔徑遮熱板3與采用不合格坩禍直接切割而成的石英片4,石英片4分別與不銹鋼大孔徑遮熱板3對應(yīng)設(shè)置,不銹鋼大孔徑遮熱板3中心開孔直徑400?650mm,進(jìn)水管1與出水管2的一端分別固定設(shè)于不銹鋼大孔徑遮熱板3底部左右兩側(cè),進(jìn)水管1與出水管2另一端與不銹鋼大孔徑遮熱板3之間設(shè)有15?40_空隙,石英片4對應(yīng)設(shè)于空隙內(nèi)。
[0021]以上所述構(gòu)成本實用新型基本結(jié)構(gòu)。
[0022]傳統(tǒng)的遮熱板開孔直徑采用260?360mm,而本實施例所述不銹鋼大孔徑遮熱板3開孔直徑采用550mm,孔徑的擴(kuò)大也就加大了遮熱板與電極的中心高溫區(qū)的距離,從而有效達(dá)到避免金屬遮熱板與石英坩禍熔制過程中出現(xiàn)變形、漏水、灼燒掉金屬點問題,有效提高產(chǎn)品合格率,石英片4采用不合格石英坩禍直接切割而成,大大降低了生產(chǎn)成本,且石英砂原料純度在99.99%以上,高純度保證了石英片在高溫下不炸裂,不易變形,另外,石英片4設(shè)于進(jìn)水管1與出水管2和不銹鋼大孔徑遮熱板3之間的空隙內(nèi),本實施例采用20_,起到定位作用。
[0023]更具體而言,所述石英片4由8塊石英片拼接成方形結(jié)構(gòu)組成,且中間設(shè)有方形孔徑,方形孔徑尺寸采用260?400mm*260?400mm。采用這樣的結(jié)構(gòu)設(shè)置,每塊石英片都可單獨列換,更方便于操作,本實施例采用300mm*280mm。
[0024]更具體而言,所述方形孔徑中心與不銹鋼大孔徑遮熱板3的中心為同心設(shè)置。采用這樣的結(jié)構(gòu)設(shè)置,在石英坩禍熔制過程中,二氧化硅揮發(fā)物便于通過方形孔內(nèi)及時抽走。
[0025]更具體而言,所述進(jìn)水管1與出水管2平行設(shè)置。
[0026]以上為本實用新型較佳的實施方式,本實用新型所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員還能對上述實施方式進(jìn)行變更和修改。因此,本實用新型并不局限于上述的【具體實施方式】,凡是本領(lǐng)域技術(shù)人員在本實用新型的基礎(chǔ)上所作的任何顯而易見的改進(jìn)、替換或變型均屬于本實用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項】
1.一種可適應(yīng)大小石英坩禍生產(chǎn)的遮熱板結(jié)構(gòu),包括遮熱板結(jié)構(gòu),其特征在于:所述遮熱板結(jié)構(gòu)包括進(jìn)水管(1)、出水管(2)、不銹鋼大孔徑遮熱板(3)與采用不合格坩禍直接切割而成的石英片(4),所述石英片(4)分別與不銹鋼大孔徑遮熱板(3)對應(yīng)設(shè)置,所述不銹鋼大孔徑遮熱板(3 )中心開孔直徑400~650mm,所述進(jìn)水管(1)與出水管(2 )的一端分別固定設(shè)于不銹鋼大孔徑遮熱板(3 )底部左右兩側(cè),所述進(jìn)水管(1)與出水管(2 )另一端與不銹鋼大孔徑遮熱板(3)之間設(shè)有15~40 _空隙,所述石英片(4)對應(yīng)設(shè)于空隙內(nèi)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種可適應(yīng)大小石英坩禍生產(chǎn)的遮熱板結(jié)構(gòu),其特征在于:所述石英片(4)由8塊石英片拼接成方形結(jié)構(gòu)組成,且中間設(shè)有方形孔徑,所述方形孔徑尺寸米用 260~400 111111^260—400 mm。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種可適應(yīng)大小石英坩禍生產(chǎn)的遮熱板結(jié)構(gòu),其特征在于:所述方形孔徑中心與不銹鋼大孔徑遮熱板(3)的中心為同心設(shè)置。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種可適應(yīng)大小石英坩禍生產(chǎn)的遮熱板結(jié)構(gòu),其特征在于:所述進(jìn)水管(1)與出水管(2 )平行設(shè)置。
【專利摘要】本實用新型涉及光伏領(lǐng)域,特指一種可適應(yīng)大小石英坩堝生產(chǎn)的遮熱板結(jié)構(gòu),包括進(jìn)水管、出水管、不銹鋼大孔徑遮熱板與采用不合格坩堝直接切割而成的石英片,石英片分別與不銹鋼大孔徑遮熱板對應(yīng)設(shè)置,不銹鋼大孔徑遮熱板中心開孔直徑400~650mm,進(jìn)水管與出水管的一端分別固定設(shè)于不銹鋼大孔徑遮熱板底部左右兩側(cè),進(jìn)水管與出水管另一端與不銹鋼大孔徑遮熱板之間設(shè)有15~40mm空隙,石英片對應(yīng)設(shè)于空隙內(nèi)。本實用新型采用這樣的設(shè)置,可以避免金屬遮熱板在石英坩堝熔制過程中出現(xiàn)變形、漏水、掉金屬點、石英遮熱板出現(xiàn)的變形、炸裂、成本高等問題,同時提高二氧化硅蒸汽的排走效率,降低白斑、附著物及氣泡群等缺陷,適合大尺寸坩堝生產(chǎn)。
【IPC分類】C30B15/10, C30B29/06
【公開號】CN205046225
【申請?zhí)枴緾N201520775474
【發(fā)明人】李明, 唐美玲, 冷小威, 姚笛, 宿海
【申請人】李明
【公開日】2016年2月24日
【申請日】2015年10月8日