一種多晶硅鑄錠爐及應(yīng)用于多晶硅鑄錠爐的支撐裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及多晶硅鑄錠技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種應(yīng)用于多晶硅鑄錠爐的支撐裝置。本實(shí)用新型還涉及一種多晶硅鑄錠爐。
【背景技術(shù)】
[0002]多晶硅鑄錠爐用于生產(chǎn)多晶硅錠，通過(guò)輻射熱量，將置于坩禍內(nèi)的塊狀多晶硅料加熱融化，然后通過(guò)定向凝固得到鑄造多晶硅錠。在鑄錠爐隔熱腔內(nèi)，在頂部和側(cè)部分別設(shè)有頂加熱器和側(cè)加熱器，用以向硅料輻射熱量;在隔熱腔內(nèi)設(shè)有導(dǎo)熱臺(tái)，坩禍置于導(dǎo)熱臺(tái)上，在凝固長(zhǎng)晶的過(guò)程中，坩禍內(nèi)硅熔體的熱量通過(guò)導(dǎo)熱臺(tái)向下傳導(dǎo)，從而定向凝固生長(zhǎng)晶體。
[0003]在實(shí)際生產(chǎn)中，對(duì)于各生產(chǎn)廠家。由于鑄錠爐內(nèi)投料重量不同或爐型的不同，需要相應(yīng)地調(diào)整隔熱腔內(nèi)熱場(chǎng)分布，主要的調(diào)整措施包括以下三種:
[0004]1、改變側(cè)加熱器的高度來(lái)優(yōu)化調(diào)整側(cè)加熱器與坩禍的相對(duì)位置；
[0005]2、改變支撐腿的高度來(lái)優(yōu)化調(diào)整頂加熱器及側(cè)加熱器與坩禍的相對(duì)位置，其中支撐腿用于支撐導(dǎo)熱臺(tái)；
[0006]3、改變隔熱腔底保溫板與導(dǎo)熱臺(tái)之間的距離，以?xún)?yōu)化調(diào)整導(dǎo)熱臺(tái)下方的散熱空間。
[0007]其中，當(dāng)側(cè)加熱器的安裝高度以及支撐腿的高度確定后，側(cè)加熱器、頂加熱器與坩禍的相對(duì)位置確定，此時(shí)通過(guò)調(diào)整隔熱腔底保溫板與導(dǎo)熱臺(tái)之間的距離，來(lái)調(diào)整導(dǎo)熱臺(tái)下方散熱空間，以改善下方散熱場(chǎng)分布，使底部散熱場(chǎng)達(dá)到適宜的垂直溫度分布，以穩(wěn)定熱場(chǎng)，提尚鑄徒質(zhì)量。
[0008]現(xiàn)有技術(shù)中，調(diào)整導(dǎo)熱臺(tái)與底保溫板之間的相對(duì)位置是采用以下方法實(shí)現(xiàn):如圖1所示，用于支撐導(dǎo)熱臺(tái)的支撐腿穿過(guò)隔熱腔底保溫板，其上端支撐導(dǎo)熱臺(tái)，在支撐腿穿過(guò)底保溫板的位置處設(shè)置凸臺(tái)，由凸臺(tái)將隔熱腔底保溫板支撐；當(dāng)調(diào)整隔熱腔底保溫板與導(dǎo)熱臺(tái)間的距離時(shí)，重新加工支撐腿，改變支撐腿上的凸臺(tái)位置，將支撐腿重新更換。因此，現(xiàn)有的方法需要重新加工、更換支撐腿，不僅耗時(shí)耗力，還會(huì)增加材料及加工成本。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0009]本實(shí)用新型的目的是提供一種多晶硅鑄錠爐及應(yīng)用于多晶硅鑄錠爐的支撐裝置，在調(diào)整隔熱腔底部與導(dǎo)熱臺(tái)的相對(duì)位置時(shí)，不需要重新更換支撐腿，操作簡(jiǎn)單便捷，省時(shí)省力且節(jié)約成本。
[0010]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種應(yīng)用于多晶硅鑄錠爐的支撐裝置，包括:支撐桿和U型調(diào)節(jié)塊；
[0011]所述支撐桿支撐于鑄錠爐內(nèi)導(dǎo)熱臺(tái)與爐體底部之間，并穿過(guò)位于所述導(dǎo)熱臺(tái)與爐體底部之間的底保溫板，在所述支撐桿上低于所述底保溫板區(qū)域設(shè)有橫向支撐部；
[0012]所述U型調(diào)節(jié)塊可放置于所述橫向支撐部上，所述支撐桿嵌于所述U型調(diào)節(jié)塊的凹槽內(nèi)。
[0013]可選地，所述U型調(diào)節(jié)塊端部的形狀包括方形、梯形或半圓形。
[0014]可選地，所述U型調(diào)節(jié)塊的形狀為半圓環(huán)形。
[0015]可選地，所述U型調(diào)節(jié)塊包括石墨硬氈調(diào)節(jié)塊或陶瓷調(diào)節(jié)塊。
[0016]可選地，所述U型調(diào)節(jié)塊的厚度為10_500mm。
[0017]可選地，所述橫向支撐部為設(shè)置于所述支撐桿上的凸臺(tái)。
[0018]可選地，還包括墊于所述凸臺(tái)上的環(huán)形墊片，所述環(huán)形墊片的寬度大于所述凸臺(tái)的寬度。
[0019]可選地，所述橫向支撐部為橫向穿過(guò)所述支撐桿的橫桿；
[0020]在所述支撐桿上設(shè)有橫向貫穿的穿孔，所述橫桿穿過(guò)所述穿孔。
[0021 ]可選地，所述支撐桿為石墨支撐桿。
[0022]本實(shí)用新型還提供一種多晶硅鑄錠爐，包括:置于爐體內(nèi)的隔熱腔，以及設(shè)于所述隔熱腔內(nèi)的導(dǎo)熱臺(tái)；還包括:
[0023]支撐于所述導(dǎo)熱臺(tái)與爐體底部之間的支撐裝置，所述支撐裝置為以上所述的支撐
目.ο
[0024]由上述內(nèi)容可知，本實(shí)用新型所提供的多晶硅鑄錠爐以及應(yīng)用于多晶硅鑄錠爐的支撐裝置，所述支撐裝置包括支撐桿和U型調(diào)節(jié)塊;所述支撐桿支撐于鑄錠爐內(nèi)導(dǎo)熱臺(tái)和爐體底部之間，并穿過(guò)爐體內(nèi)隔熱腔的底保溫板，用于支撐導(dǎo)熱臺(tái)。在支撐桿上低于底保溫板的區(qū)域設(shè)有橫向支撐部，U型調(diào)節(jié)塊可放置于橫向支撐部上。
[0025]在調(diào)整隔熱腔底部與導(dǎo)熱塊的相對(duì)位置時(shí)，通過(guò)將隔熱腔提起，在支撐桿的橫向支撐部上放置U型調(diào)節(jié)塊，U型調(diào)節(jié)塊支撐于隔熱腔底保溫板，通過(guò)改變U型調(diào)節(jié)塊的個(gè)數(shù)可調(diào)節(jié)底保溫板的支撐高度，從而調(diào)整底保溫板與導(dǎo)熱塊之間的距離，這樣實(shí)現(xiàn)調(diào)整隔熱腔底部熱場(chǎng)分布，以調(diào)整到適宜的熱場(chǎng)分布。因此，本實(shí)用新型所述支撐裝置，通過(guò)增加或減少U型調(diào)節(jié)塊就可實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)隔熱腔底部與導(dǎo)熱臺(tái)之間的距離，操作簡(jiǎn)單便捷，相比于現(xiàn)有技術(shù)，不需要更換和重新加工支撐腿，省時(shí)省力，且節(jié)約成本。
【附圖說(shuō)明】
[0026]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0027]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中多晶硅鑄錠爐的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種支撐桿的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種U型調(diào)節(jié)塊的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種多晶硅鑄錠爐的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0031]為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本實(shí)用新型中的技術(shù)方案，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都應(yīng)當(dāng)屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0032]請(qǐng)參考圖2和圖3，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種應(yīng)用于多晶硅鑄錠爐的支撐裝置，包括:支撐桿10和U型調(diào)節(jié)塊11;
[0033]所述支撐桿10支撐于鑄錠爐內(nèi)導(dǎo)熱臺(tái)與爐體底部之間，并穿過(guò)位于所述導(dǎo)熱臺(tái)與爐體底部之間的底保溫板，在所述支撐桿上低于所述底保溫板區(qū)域設(shè)有橫向支撐部100;
[0034]所述U型調(diào)節(jié)塊11可放置于所述橫向支撐部100上，所述支撐桿10嵌于所述U型調(diào)節(jié)塊11的凹槽內(nèi)。
[0035]由上述內(nèi)容可以看出，本實(shí)施例所述應(yīng)用于多晶硅鑄錠爐的支撐裝置，包括支撐桿10和U型調(diào)節(jié)塊11;支撐桿10支撐于鑄錠爐內(nèi)導(dǎo)熱臺(tái)和爐體底部之間，并穿過(guò)爐體內(nèi)隔熱腔的底保溫板，用于支撐導(dǎo)熱臺(tái)。在支撐桿10上低于底保溫板的區(qū)域設(shè)有橫向支撐部100，U型調(diào)節(jié)塊11可放置于橫向支撐部100上。
[0036]在調(diào)