一種吸附加工治具的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種吸附加工治具，包括基座、腔體管和吸氣管，基座內(nèi)表面與石英板表面相吻合并貼合石英板表面，基座背面設(shè)有容置腔體管端部的接口，基座內(nèi)表面上設(shè)有若干吸氣孔或吸氣槽，腔體管通過接口與吸氣孔或吸氣槽相通，腔體管另一端與吸氣管相通，吸氣管另一端與真空裝置相接，本實(shí)用新型在石英產(chǎn)品制作時，采用真空吸附方法來夾持石英板，使得石英板在高溫焊接時不會受壓變形，而腔體管的設(shè)計(jì)，則可以形成一個穩(wěn)壓空間，使基座內(nèi)表面的吸氣孔或吸氣槽的吸力更加均勻和穩(wěn)定，保證吸附可靠和安全，同時也有利于焊接時的旋盤夾持。
【專利說明】
一種吸附加工治具
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及到石英產(chǎn)品加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及到一種能提高石英管加工效率、降低加工成本的吸附加工治具。
【背景技術(shù)】
[0002]石英產(chǎn)品屬于半導(dǎo)體設(shè)備中的必要產(chǎn)品。在高溫情況下，石英產(chǎn)品作為反應(yīng)腔體，與外部金屬隔離，防止金屬離子的污染，現(xiàn)有技術(shù)是采用石英管在加熱熔融狀態(tài)下，用工具從中間壓下來，使其一分為二，并在熔融狀態(tài)下，利用離心作用使其圓封而成，這種加工技術(shù)存在的缺點(diǎn)是:整體效率低，能耗較大，質(zhì)量不穩(wěn)定，石英管表面會產(chǎn)生皺褶，生產(chǎn)成本很高，而且作業(yè)人員長時間在高溫中工作，對身體傷害很大。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型主要解決現(xiàn)有石英管加工中存在的技術(shù)問題;提供了一種能提高石英管加工效率、降低加工成本的吸附式加工治具。
[0004]為了解決上述存在的技術(shù)問題，本實(shí)用新型主要是采用下述技術(shù)方案:
[0005]本實(shí)用新型的一種吸附加工治具，用于對石英板進(jìn)行吸附，所述治具包括基座、腔體管和吸氣管，所述基座內(nèi)表面與所述石英板表面相吻合并貼合石英板表面，所述基座背面設(shè)有與所述腔體管端部相吻合且容置腔體管端部的接口，基座內(nèi)表面上設(shè)有若干吸氣孔或吸氣槽，所述吸氣孔或吸氣槽與所述接口連通，腔體管通過接口與吸氣孔或吸氣槽相通，腔體管的另一端與所述吸氣管相通，吸氣管的另一端與外部真空裝置相接，在石英產(chǎn)品制作時，采用真空吸附方法來夾持石英板，使得石英板在高溫焊接時不會受熱變形，而腔體管的設(shè)計(jì)，則可以形成一個穩(wěn)壓空間，使基座內(nèi)表面的吸氣孔或吸氣槽的吸力更加均勻和穩(wěn)定，保證吸附可靠和安全，同時也有利于焊接時的旋盤夾持。
[0006]作為優(yōu)選，所述基座內(nèi)表面呈平面形并與石英板表面貼合，基座內(nèi)表面設(shè)有多個吸氣孔，所述吸氣孔沿基座內(nèi)表面中心環(huán)狀均勻分布，根據(jù)不同的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，通過多個吸氣孔的設(shè)計(jì)，分散吸附壓力，在高溫下不會造成石英板的變形，同時，也能保證石英板產(chǎn)品獲得較好的吸附。
[0007]作為優(yōu)選，所述基座表面呈內(nèi)凹弧面形結(jié)構(gòu)，所述弧面形結(jié)構(gòu)與所述石英板表面的外凸曲面相吻合并貼合外凸曲面，基座內(nèi)表面上設(shè)有多條吸氣槽，弧面狀的基座內(nèi)表面可以對應(yīng)球面狀的石英板產(chǎn)品，多條吸氣槽均勻分布在弧形面上，吸附力均勻，可有效吸附石英板，保證產(chǎn)品加工時的可靠性和安全性。
[0008]作為優(yōu)選，所述基座材質(zhì)為高純度石墨材料，所述腔體管材質(zhì)為不銹鋼材料，石墨材料和不銹鋼材料不會對石英產(chǎn)品造成污染及表面劃傷，同時在高溫下不會變形，提高產(chǎn)品的加工質(zhì)量。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果是:在石英產(chǎn)品制作時，采用真空吸附方法來夾持石英板，使得石英板在高溫焊接時不會受熱變形，而腔體管的設(shè)計(jì)，則可以形成一個穩(wěn)壓空間，使基座內(nèi)表面的吸氣孔或吸氣槽的吸力更加均勻和穩(wěn)定，保證吸附可靠和安全，同時也有利于焊接時的旋盤夾持。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實(shí)用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2是圖1基座的一種結(jié)構(gòu)不意圖。
[0012]圖3是圖2結(jié)構(gòu)的側(cè)視示意圖。
[0013]圖4是圖1基座的另一種結(jié)構(gòu)不意圖。
[0014]圖5是圖4結(jié)構(gòu)的側(cè)視示意圖。
[0015]圖中1.石英板，2.基座，3.腔體管，4.吸氣管，5.吸氣孔，6.吸氣槽，7.石英圓管。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面通過實(shí)施例，并結(jié)合附圖，對本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步具體的說明。
[0017]實(shí)施例1:本實(shí)施例1的一種吸附加工治具，用于對石英板I進(jìn)行吸附夾持，如圖1所示，治具包括基座2、腔體管3和吸氣管4，基座由高純度石墨材料制成，如圖2和圖3所示，基座表面呈內(nèi)凹弧面形結(jié)構(gòu)，弧面形結(jié)構(gòu)與石英板表面的外凸曲面相吻合并貼合外凸曲面，基座內(nèi)表面上設(shè)有多條吸氣槽6，吸氣槽與接口相通，腔體管由不銹鋼材料制成，腔體管一側(cè)端部嵌設(shè)于接口中并與接口相通，腔體管的另一端與吸氣管相通并通過吸氣管與真空裝置相接。
[0018]治具裝配時，先將腔體管一端嵌設(shè)于接基座背面的接口中，腔體管另一端連接吸氣管并通過吸氣管連接至真空栗上。
[0019]加工時，將石英圓管7夾持在加工機(jī)床的一端旋盤上，使石英圓管端部位于焊接位上，然后，打開真空栗，將裝配好治具的基座內(nèi)表面貼合石英板并吸附石英板，再將吸附有石英板的治具通過另一側(cè)旋盤夾持在加工機(jī)床上，使石英板與圓管對準(zhǔn)貼合，最后，旋盤轉(zhuǎn)動，開始進(jìn)行石英圓管與石英板接觸區(qū)的焊接。
[0020]實(shí)施例2:本實(shí)施例2的一種吸附加工治具，用于對石英板進(jìn)行吸附夾持，治具包括基座、腔體管和吸氣管，如圖4和圖5所示，基座內(nèi)表面呈平面形并與石英板表面貼合，基座內(nèi)表面設(shè)計(jì)有多個吸氣孔5，吸氣孔沿基座內(nèi)表面中心呈環(huán)狀均勻分布，本實(shí)施例2的其它部分均與實(shí)施例1的相應(yīng)部分類同，本文不再贅述。
[0021]在本實(shí)用新型的描述中，技術(shù)術(shù)語“上”、“下”、“前”、“后”、“內(nèi)”、“外”等表示方向或位置關(guān)系是基于附圖所示的方向或位置關(guān)系，僅是為了便于描述和理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，以上說明并非對本實(shí)用新型作了限制，本實(shí)用新型也不僅限于上述說明的舉例，本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)范圍內(nèi)所做出的變化、改型、增添或替換，都應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種吸附加工治具，用于對石英板(I)進(jìn)行吸附夾持，其特征在于:所述治具包括基座(2)、腔體管(3)和吸氣管(4)，所述基座內(nèi)表面與所述石英板表面相吻合并貼合石英板表面，所述基座背面設(shè)有與所述腔體管端部相吻合且容置腔體管端部的接口，基座內(nèi)表面上設(shè)有若干吸氣孔(5)或吸氣槽(6)，所述吸氣孔或吸氣槽與所述接口連通，腔體管通過接口與吸氣孔或吸氣槽相通，腔體管的另一端與所述吸氣管相通，吸氣管的另一端與外接真空裝置相接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種吸附加工治具，其特征在于:所述基座(2)內(nèi)表面呈平面形并與石英板(I)表面貼合，基座內(nèi)表面設(shè)有多個吸氣孔(5)，所述吸氣孔沿基座內(nèi)表面中心環(huán)狀均勻分布。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種吸附加工治具，其特征在于:所述基座(2)表面呈內(nèi)凹弧面形結(jié)構(gòu)，所述弧面形結(jié)構(gòu)與所述石英板(I)表面的外凸曲面相吻合并貼合外凸曲面，基座內(nèi)表面上設(shè)有多條吸氣槽(6)。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種吸附加工治具，其特征在于:所述基座(2)材質(zhì)為高純度石墨材料，所述腔體管(3)材質(zhì)為不銹鋼材料。
【文檔編號】C03B20/00GK205420152SQ201521013002
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2015年12月8日
【發(fā)明人】楊軍, 顧永明
【申請人】杭州大和熱磁電子有限公司