一種藍(lán)寶石單晶爐真空系統(tǒng)用的連接法蘭的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種藍(lán)寶石單晶爐真空系統(tǒng)用的連接法蘭，包括有法蘭本體（1），法蘭本體（1）內(nèi)設(shè)有導(dǎo)流槽（6），法蘭本體（1）上設(shè)有與導(dǎo)流槽（6）導(dǎo)通的冷卻水入口（2）和冷卻水出口（3），法蘭本體（1）的通孔內(nèi)設(shè)有支撐架（5），支撐架（5）上連接有若干過濾板（4）。本實(shí)用新型具有能減緩密封墊圈老化損壞速度，延長密封墊圈的使用壽命，能凝結(jié)部分抽出氣體中的揮發(fā)物，降低揮發(fā)物對真空泵的性能和壽命的影響的有益效果。
【專利說明】
一種藍(lán)寶石單晶爐真空系統(tǒng)用的連接法蘭
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種法蘭，特別是一種藍(lán)寶石單晶爐真空系統(tǒng)用的連接法蘭。
【背景技術(shù)】
[0002]法蘭，又叫法蘭凸緣盤或突緣。法蘭是管子與管子之間相互連接的零件，用于管端之間的連接;也有用在設(shè)備進(jìn)出口上的法蘭，用于兩個(gè)設(shè)備之間的連接。如在藍(lán)寶石單晶爐真空系統(tǒng)中，真空室與真空栗之間經(jīng)管道連接，但是由于單晶爐內(nèi)的溫度高于100tC，真空栗抽出的氣體具有很高的溫度，使連接管道的管壁溫度很高，導(dǎo)致法蘭連接處的密封墊圈(橡膠圈)很容易老化損壞，密封性降低，如果更換不及時(shí)還會(huì)出現(xiàn)漏氣的現(xiàn)象，影響真空室的真空度；同時(shí)，由于單晶爐內(nèi)的藍(lán)寶石晶體材料在高溫熔融時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量的揮發(fā)物，揮發(fā)物進(jìn)入真空栗后會(huì)對真空栗的性能和壽命造成一定的影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種藍(lán)寶石單晶爐真空系統(tǒng)用的連接法.~~.0
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案:一種藍(lán)寶石單晶爐真空系統(tǒng)用的連接法蘭，包括有法蘭本體，法蘭本體內(nèi)設(shè)有導(dǎo)流槽，法蘭本體上設(shè)有與導(dǎo)流槽導(dǎo)通的冷卻水入口和冷卻水出口，法蘭本體的通孔內(nèi)設(shè)有支撐架，支撐架上連接有若干過濾板。
[0005]前述的藍(lán)寶石單晶爐真空系統(tǒng)用的連接法蘭，所述支撐架是兩根平行設(shè)置在法蘭本體通孔內(nèi)的金屬桿，金屬桿垂直穿過過濾板板面后，兩端連接在法蘭本體的內(nèi)環(huán)壁上。
[0006]本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型通過在法蘭內(nèi)設(shè)置導(dǎo)流槽，并在法蘭上設(shè)置與導(dǎo)流槽導(dǎo)通的冷卻水入口和冷卻水出口，使用過程中通過冷卻水入口向法蘭內(nèi)通入冷卻水，降低法蘭的溫度，減緩了法蘭連接處的密封墊圈的老化速度，延長了密封墊圈的使用壽命;同時(shí)，本實(shí)用新型通過在法蘭通孔內(nèi)設(shè)置過濾板，法蘭內(nèi)的導(dǎo)流槽中通入冷卻水以后會(huì)降低法蘭處的管道內(nèi)的溫度，形成一定的溫差，真空栗抽出的氣體中的揮發(fā)物在此凝結(jié)，減少揮發(fā)物進(jìn)入真空栗的量，降低了揮發(fā)物對真空栗的性能和壽命的影響。綜上所述，本實(shí)用新型具有能減緩密封墊圈老化損壞速度，延長密封墊圈的使用壽命，能凝結(jié)部分抽出氣體中的揮發(fā)物，降低揮發(fā)物對真空栗的性能和壽命的影響的有益效果。
【附圖說明】
[0007]附圖1為本實(shí)用新型的透視圖；
[0008]附圖2為本實(shí)用新型的主剖視圖。
[0009]附圖標(biāo)記說明:1-法蘭本體，2-冷卻水入口，3_冷卻水出口，4_過濾板，5-支撐架，6-導(dǎo)流槽。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明，但并不作為對本實(shí)用新型限制的依據(jù)。
[0011]本實(shí)用新型的實(shí)施例:一種藍(lán)寶石單晶爐真空系統(tǒng)用的連接法蘭，如附圖1-2所示，包括有法蘭本體I，法蘭本體I內(nèi)設(shè)有導(dǎo)流槽6，法蘭本體I上設(shè)有與導(dǎo)流槽6導(dǎo)通的冷卻水入口 2和冷卻水出口 3，法蘭本體I的通孔內(nèi)設(shè)有支撐架5，支撐架5上連接有若干過濾板4。
[0012]所述支撐架5是兩根平行設(shè)置在法蘭本體I通孔內(nèi)的金屬桿，金屬桿垂直穿過過濾板4板面后，兩端連接在法蘭本體I的內(nèi)環(huán)壁上。
[0013]本實(shí)用新型工作時(shí)，首先將法蘭本體I安裝在連接處，在冷卻水入口2和冷卻水出口 3處連接好相應(yīng)的管道，冷卻水從冷卻水入口 2進(jìn)入導(dǎo)流槽6內(nèi)，帶走熱量，降低了法蘭本體I上的溫度，降低了高溫對法蘭本體I一側(cè)的密封墊圈的壽命的影響，最后吸收熱量的冷卻水從冷卻水出口 3流出，同時(shí)，真空栗抽出的高溫氣體在法蘭處受溫差的影響，氣體中的揮發(fā)物在此凝結(jié)并附著在過濾板附近，降低了揮發(fā)物對真空栗的性能的影響。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種藍(lán)寶石單晶爐真空系統(tǒng)用的連接法蘭，其特征在于:包括有法蘭本體(I)，法蘭本體(I)內(nèi)設(shè)有導(dǎo)流槽(6)，法蘭本體(I)上設(shè)有與導(dǎo)流槽(6)導(dǎo)通的冷卻水入口(2)和冷卻水出口(3)，法蘭本體(I)的通孔內(nèi)設(shè)有支撐架(5)，支撐架(5)上連接有若干過濾板(4)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石單晶爐真空系統(tǒng)用的連接法蘭，其特征在于:所述支撐架(5)是兩根平行設(shè)置在法蘭本體(I)通孔內(nèi)的金屬桿，金屬桿垂直穿過過濾板(4)板面后，兩端連接在法蘭本體(I)的內(nèi)環(huán)壁上。
【文檔編號(hào)】C30B35/00GK205556855SQ201620231887
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2016年3月24日
【發(fā)明人】高佑君, 李志強(qiáng), 代小波, 王光明
【申請人】獨(dú)山晶科光電信息材料有限公司