用于玻璃酸蝕刻的設(shè)備和方法
【專利摘要】蝕刻玻璃板主表面的設(shè)備和方法包含在平面內(nèi)對齊并沿著平面隔開的一系列細(xì)長的輥；支撐玻璃板的系統(tǒng)，該系統(tǒng)用于使玻璃板相對于該系列輥水平移動并接觸該系列輥；機(jī)械裝置，該機(jī)械裝置用于將蝕刻劑液體供應(yīng)到每一輥的中空芯體；和用于沿著輥長度將蝕刻劑液體從芯體分配進(jìn)入多孔覆蓋物的設(shè)備,該分配設(shè)備構(gòu)造成補償沿著輥長度的壓力變化。
【專利說明】用于玻璃酸蝕刻的設(shè)備和方法
[0001 ]相關(guān)申請的交叉參考
[0002]本申請根據(jù)35U.S.C.§119要求2015年04月27日提交的美國臨時申請系列第62/153206號的優(yōu)先權(quán)，本文以該申請的內(nèi)容為基礎(chǔ)并通過參考將其完整地結(jié)合于此。
技術(shù)領(lǐng)域
[0003]本發(fā)明涉及蝕刻玻璃板的方法和設(shè)備，例如，在制造平板顯示器裝置時用作基材的玻璃板。此外，本發(fā)明涉及蝕刻玻璃板的一個或兩個主表面。此外，本發(fā)明涉及當(dāng)玻璃板處于基本上垂直取向時蝕刻玻璃板，且在主表面中具有改善的均勻性。
【背景技術(shù)】
[0004]制造用于平板顯示器的基材的方法包括多個步驟，其中需要在不損壞玻璃板的主表面的情況下支撐和/或傳送(傳輸)玻璃板，特別是在不損壞玻璃板的“高質(zhì)量”表面的情況下，在該表面上形成顯示器的組件例如薄膜晶體管和濾色片。例如，在基材制造過程中，需要將玻璃板切割到所需尺寸、進(jìn)行邊緣研磨、洗滌以及包裝和運輸或以其它方式提供到顯示器制造商。
[0005]隨著玻璃板大小增加且玻璃板厚度沒有相應(yīng)地增加，該玻璃板的橫向剛度顯著下降。同時，運輸速度要求仍然保持恒定或增加。
[0006]已發(fā)現(xiàn)，雖然出于許多原因，非常光滑的表面精磨是非常有利的，但非常光滑的表面精磨可為顯示器制造過程中靜電放電的影響因素。在這種情況下，發(fā)現(xiàn)蝕刻玻璃板的表面來降低它的光滑度是有用的。例如，玻璃的熔合形成方法可提供低至0.15nm或更小的平均表面粗糙度。通常，需要進(jìn)行輕度蝕刻來基本上降低靜電放電的概率，并可在不實質(zhì)上損害玻璃板傳輸光的能力的情況下實施。除了降低靜電放電的概率以外，酸蝕刻處理還可用來改善玻璃基材與LCD制造過程中所用的金屬膜之間后續(xù)形成的結(jié)合。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]在一些實施方式中，蝕刻玻璃板主表面的設(shè)備包含一系列基本上垂直地取向的細(xì)長的輥，所述輥在總體垂直的平面中對齊并沿著該總體垂直的平面水平地隔開。一個系統(tǒng)支撐玻璃板，用于使玻璃板相對于該系列輥水平移動以及切向地接觸該系列輥。當(dāng)玻璃板和輥接觸并相對移動時，支撐每一根輥，使其繞著輥的縱向軸線旋轉(zhuǎn)。蝕刻劑液體線路將蝕刻劑液體供應(yīng)到各輥的中空芯體以及用于在沿著輥長度的區(qū)間將蝕刻劑液體從芯體分配進(jìn)入多孔覆蓋物的設(shè)備。將分配設(shè)備建造和設(shè)置成補償沿著輥長度的液體靜壓力變化，由此與不存在補償時所導(dǎo)致的蝕刻差異相比，降低玻璃板的蝕刻差異。在其它實施方式中，沿著輥長度分布元件來提供有效分配孔口面積，與鄰近輥上端的有效分配孔口面積相比，鄰近輥下端的有效分配孔口面積更小。在其它實施方式中，為同軸管提供可對齊的分配孔口。所述管是可相對于彼此移動的，從而可選擇性地使可對齊的孔口不對齊。在其它實施方式中，同軸管之一是分段的，其中獨立的軸向片段能相對于該同軸管中的另一根管繞著共同的縱向軸線傾斜地或縱向地或傾斜地且縱向地改變位置。在一些實施方式中，同軸管中的內(nèi)部管是分段的。
[0008]在其它實施方式中，蝕刻玻璃板的方法包括支撐處于基本上垂直取向的玻璃板。提供一系列基本上垂直地取向、水平地間隔的輥，其切向于共同的基本上垂直的平面。為輥形成中空芯體和多孔覆蓋物，該多孔覆蓋物的軸向長度至少基本上等于玻璃板高度。通過芯體將蝕刻劑液體供應(yīng)到輥，且通過輥以下述方式來分配蝕刻劑液體:補償芯體中蝕刻液體的液體靜壓頭。因此，蝕刻劑液體經(jīng)多孔覆蓋物沿著輥長度的流量/單位輥長度的均勻性得到改善，同時輥接觸玻璃板的主表面滾動，將蝕刻劑液體從輥轉(zhuǎn)移到玻璃板。在其它實施方式中，為沿著芯體長度分布的一系列孔口提供有效面積，其中鄰近輥下端的有效孔口面積/單位芯體長度小于鄰近輥上端的有效孔口面積/單位芯體長度。在一些實施方式中，為芯體提供一對同軸管，且為每一管提供孔口，該孔口可移動成對齊或不對齊來改變有效孔口面積。在其它實施方式中，為管中之一提供軸向片段，該軸向片段可相對于彼此改變位置以改變改變位置的部分的相對有效孔口面積。在其它實施方式中，同軸管中的內(nèi)部管是軸向分段的。
[0009]在一些實施方式中，可通過熔合法來制備玻璃板，且玻璃板具有第一主表面和第二主表面，第一主表面和第二主表面中的每一個的面積大于5平方米，其中第一主表面和第二主表面中的至少一個至少在中央的90%的面積上的平均表面粗糙度是0.5納米-1.1納米。當(dāng)然，可通過其它示例性制造過程來制備玻璃板，例如但不限于，狹縫拉制、浮法、再拉制、上拉和其它方法，且本文所附的權(quán)利要求不應(yīng)受限于此。
[0010]應(yīng)理解，前面的一般性描述和以下的詳細(xì)描述都僅僅是示例性的，用來提供理解實施方式和權(quán)利要求的性質(zhì)和特性的總體評述或框架。
[0011]在以下的詳細(xì)描述中提出了本發(fā)明另外的特征和優(yōu)點，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，由所述內(nèi)容或通過按照本文所述實施本發(fā)明而了解，其中的部分特性和優(yōu)點將是顯而易見的。包括的附圖提供了對實施方式和權(quán)利要求的進(jìn)一步理解，附圖被結(jié)合在本說明書中并構(gòu)成說明書的一部分。應(yīng)理解，在本說明書和/或附圖中揭示的本發(fā)明實施方式的各種特征可以單獨地或者以任意和所有的組合使用。
【附圖說明】
[0012]結(jié)合以下附圖閱讀本發(fā)明，便可以最好地理解下文中的發(fā)明詳述，只要可能，圖中相同的結(jié)構(gòu)用相同的編號表不:
[0013]圖1是根據(jù)一種實施方式實施示例性玻璃板蝕刻過程的設(shè)備的示意性等距視圖；
[0014]圖2是示例性蝕刻劑液體施加輥組裝件上端的放大斷續(xù)等距視圖，其用于將蝕刻劑液體遞送到玻璃板的主表面；
[0015]圖3是圖2所示輥組裝件的示意性橫截面視圖；以及
[0016]圖4是圖2所示輥組裝件芯體的詳細(xì)橫截面視圖。
【具體實施方式】
[0017]本發(fā)明提供蝕刻玻璃板的方法和設(shè)備，其中可在基本上垂直取向加工該板，其中可將蝕刻溶液(本文也稱為〃蝕刻液體〃)施加到板的一個或兩個側(cè)面。
[0018]在一些實施方式中，被蝕刻的玻璃板可適于用作制造平板顯示器時的基材，例如但不限于，IXD顯示器，OLED顯示器，LTPS顯示器或其它合適的顯示器。合適的非限制性玻璃包括鋁硅酸鹽玻璃、硼硅酸鹽玻璃、硼鋁硅酸鹽玻璃以及含堿的玻璃和低鐵玻璃等。用于合適的顯示器的示例性基材可具有下述尺寸:2850mmx3050mmx0.7mm(主表面積>8.5平方米)到2160mmx2460mmx0.7mm(主表面積>5.0平方米)。當(dāng)然，這些尺寸只是示例性的，因為厚度可為小于約0.Imm(例如，低至約0.0Imm)到大于約5mm,約0.1mm-約3mm,約0.4mm_約2mm,約0.5mm-約Imm,約0.5mm_約0.7mm,和在它們之間的所有子范圍。此外，面積尺寸可為約600mmx600mm到大于約2900mmx3100mm和在它們之間的所有子范圍。
[0019]圖1中顯不用于蝕刻玻璃板11主表面的設(shè)備10。設(shè)備10可設(shè)置成當(dāng)板11在接近垂直取向上受到支撐時蝕刻板11。出于本文之目的，短語“接近垂直取向”或“基本上垂直”或“基本上垂直地取向”用于指以70度-95度的角度偏離水平面。在一些實施方式中，部分垂直地取向指以小于70度但大于10度的角度偏離水平面。設(shè)備10可使用例如多個非接觸式空氣或液體軸承12來以所需的角度支撐板11，該非接觸式空氣或液體軸承12以所需的角度在平面中設(shè)置。在其中于接近或超過90度時加工玻璃板11的實施方式中，可通過合適的空氣或液體軸承，在玻璃板的兩個主表面處支撐玻璃板。在圖1所示的設(shè)置中，可在玻璃板11從右到左移動時加工玻璃板11?？赏ㄟ^嚙合板的底部邊緣的帶式傳送器16來支撐和傳送玻璃板U。帶式傳送器16可通過處于合適的加工速度下的電機(jī)(未顯示)來驅(qū)動，該合適的加工速度通過可適用的條件來決定。在一些實施方式中，帶式傳送器16可為V-形、U-形或另一種合適的形狀。在其它實施方式中帶式傳送器16可支撐在一系列自由旋轉(zhuǎn)(free-wheeling)的支撐輥17上。
[0020]將蝕刻劑液體施加到玻璃板11的主表面可通過一系列或一堆輥組裝件18來實施。在本文中，術(shù)語輥、輥組裝件和它們的復(fù)數(shù)形式互換使用，且這種使用不應(yīng)限制本文所附權(quán)利要求的范圍。輥組裝件18可以規(guī)則的間隔彼此水平地隔開。在一些實施方式中，輥組裝件18可切向于或稍微突入上游或下游非接觸式軸承12的平面。帶式傳送器16的傳送速度和輥組裝件18的任意圓周速度可同步。在一些實施方式中，輥組裝件18可設(shè)置在玻璃板11的相對的側(cè)面上，其中將要蝕刻兩個主表面。
[0021]多種蝕刻溶液可用來增加示例性玻璃板11的表面粗糙度。作為非限制性例子，在一些實施方式中，可使用共同轉(zhuǎn)讓的美國專利號5，851，366中所述類型的他?/出?04溶液。實踐中，可制備濃縮的NaF/H3P04溶液(例如，0.08M NaF和0.4M H3PO4溶液)，并在使用之前用去離子水稀釋(例如，以NaF/H3P04和水的4:5比例)。當(dāng)然，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將容易認(rèn)識到其它合適的蝕刻溶液，本文所附權(quán)利要求不應(yīng)僅僅限制到NaFzUPO4溶液。
[0022]在其中蝕刻溶液是酸性的實施方式中，設(shè)備10的各種組件可為耐化學(xué)腐蝕的，并可由例如不銹鋼或耐酸聚合物制造。
[0023]輥組裝件18中的每一個可具有相同的構(gòu)造，且可為管狀芯體19和多孔鞘或覆蓋物21的復(fù)合材料。可將在芯體19頂部接收的蝕刻劑液體通過芯體壁中的孔口分配進(jìn)入多孔鞘21。然后，蝕刻劑液體可滲透通過多孔鞘21，并通過貼著主表面接觸鞘來直接沉積在玻璃板11的主表面上。
[0024]參考圖4，在一些實施方式中，輥組裝件芯體19可包含一對同軸、較緊密配合的管，其包含外部管23和內(nèi)部管24。在其中蝕刻劑液體是酸的實施方式中，管可由合適的耐酸聚合物或金屬制成。
[0025]在一些實施方式中，外部管23的長度可大于玻璃板11的垂直尺寸，從而可在合適的軸承28，29中支撐管23的上端和下端26，27。內(nèi)部管24的底部可用不透液體的塞子31封閉。
[0026]在其它實施方式中，內(nèi)部管24可延伸到外部管23頂部之外。在一種實施方式中，內(nèi)部管24可沿著它的長度分段，其中下面部分36約為上面部分37，38長度的1/3。各部分36-38可合適地固定在一起。例如，在一些實施方式中，管的上面部分和下面部分36，37，38可螺紋連接在一起、焊接或以其它方式相互結(jié)合。
[0027]可為上面部分38的上端裝配旋轉(zhuǎn)聯(lián)軸器42，以使得上面部分38能接收來自歧管或分布管線43的蝕刻劑液體。通過這樣的方式，分布管線43可連接到輥組裝件18中的每一個或幾個。
[0028]輥組裝件18的多孔鞘或覆蓋物21可為合適的聚合物材料的開孔泡沫，該聚合物材料耐受因暴露于蝕刻劑液體而導(dǎo)致的降解。使用合適的機(jī)械緊固件和/或膠粘劑，將鞘21固定到芯體19的外部管23。
[0029]通過循環(huán)鏈47，用驅(qū)動電機(jī)46使輥組裝件18繞著它們的縱向軸線一致地正向(positively)旋轉(zhuǎn)。鏈47與由電機(jī)46驅(qū)動的鏈輪48和從動鏈輪49嚙合，該從動鏈輪49固定到每一輥組裝件18的外部管23。
[°03°]圖3示意性地顯示通過示例性棍組裝件18來將蝕刻劑液體分布到玻璃板11上。參考圖3，可以預(yù)定的壓力在內(nèi)部管24的頂部處供應(yīng)蝕刻劑液體(通過圖2所示的旋轉(zhuǎn)聯(lián)軸器42)。在一些實施方式中，預(yù)定的壓力可遠(yuǎn)大于常壓或只稍微在常壓以上，這取決于玻璃板是以基本上垂直的取向方式還是以部分垂直的取向方式被蝕刻。然后，蝕刻劑液體可流入內(nèi)部管24的內(nèi)部，并通過內(nèi)部管24和外部管23的壁中的孔口 51，52徑向地向外流動。從孔口51，52流出的蝕刻劑液體可滲透鞘21的多孔介質(zhì)的主體。因此，玻璃板11和鞘21之間的接觸可導(dǎo)致將蝕刻劑液體轉(zhuǎn)移到玻璃板11的主表面。
[0031]在一些實施方式中，可控制蝕刻劑液體沿著芯體19長度流動的速率，以產(chǎn)生均勻的流量或接近均勻的流量，進(jìn)入鞘21并到達(dá)玻璃板11上，從而減少在內(nèi)部管24內(nèi)部沿著液體蝕刻劑柱存在的任何液體靜壓力的影響。這種控制可通過下述來實現(xiàn):調(diào)節(jié)對內(nèi)部輥芯體管24和外部輥芯體管23中的孔口或小孔流量的限制。例如，在一些實施方式中，可移動內(nèi)部管24和外部管23的孔口對51，52，使其不對齊，由此控制對蝕刻劑液體流動的阻礙或限制。這種孔口 51，52的不對齊可通過內(nèi)部管24相對于外部管23軸向地、橫向地和/或傾斜地位移來提供。
[0032]在一些實施方式中，單位長度上孔口51，52的大小、數(shù)目、組別和/或圖案(S卩，有效差異化孔口面積)可沿著管23，24的長度變化，從而補償沿著輥組裝件18長度的液體靜壓力變化。在其它非限制性實施方式中，輥組裝件芯體19下面部分中的孔口面積/單位長度可小于芯體上面部分中的孔口面積/單位長度。在替代實施方式中，芯體19的孔口面積/單位長度可為恒定的，且在下面部分36處的孔口 51，52的不對齊程度可比其它部分更大或更小。當(dāng)然，在其它實施方式中，在中間部分和/或上面部分37，38中的孔口51，52的不對齊程度可比其它部分更大或更小?？赏ㄟ^相對于彼此傾斜地、軸向地、橫向地等改變內(nèi)部管部分36-38的位置以構(gòu)建有效差異孔口面積，來實施如上所述的方法和設(shè)備?？墒褂媚Σ僚浜稀⒐潭萁z、鎖圈或其它已知的手段來選擇性地鎖定外部管23和內(nèi)部管部分36-38的相對位置，來利用這些部分的示例性位移。
[0033]在一些實施方式中，沿著輥組裝件18長度的有效差異孔口面積調(diào)節(jié)可調(diào)節(jié)到抵銷液體靜壓力。在其它實施方式中，任意一個或幾個部分36-38的有效差異孔口面積可大于抵銷在各部分的液體靜壓所需的有效差異孔口面積。又在其它實施方式中，可將內(nèi)部管24的下面部分36的有效差異孔口面積降低到小于對應(yīng)于液體靜壓頭的有效差異孔口面積，從而來補償由重力誘導(dǎo)的通過多孔覆蓋物21和/或從板11的上部區(qū)域到下部區(qū)域的向下蝕刻劑液體流動。
[0034]在離開蝕刻工位之后，可使用高壓和/或低壓水噴射來淋洗玻璃板，并在進(jìn)一步加工(例如檢查和包裝)之前進(jìn)行風(fēng)干。
[0035]使用本文所述的實施方式，可提供具有一個或多個主表面的玻璃板，如通過原子力顯微鏡所測定，在預(yù)定的表面積上，其平均表面粗糙度是約0.1nm-約2nm,約0.3nm_約1.2]1111，約0.511111-約1.1nm,或約0.5nm_約0.9nm。在一些實施方式中，該預(yù)定的、粗糙化的表面積約大于主表面的總面積的50%，約大于主表面的總面積的60%，約大于主表面的總面積的70%，約大于主表面的總面積的80%，約大于主表面的總面積的90%，或約大于主表面的總面積的95%。在一些實施方式中，板的兩主表面的平均表面粗糙度在上述范圍之內(nèi)。
[0036]表面粗糙度的平均數(shù)值可通過下述方法來獲得:例如，在分布在板表面上的不同區(qū)域(例如，10mmx I OOmm面積)之內(nèi)，在約5個點進(jìn)行取樣。例如，相對于Gen 1大小(例如，2850mmx3050)板的角落((O，0)位置)，該區(qū)域可位于下述位置:(350,75) (2600,75) (345，1300) (2575,1250) (400,2700) (1600,2650) (2600,2800) (1500,1700) (1400,1400)。概括地說，平均表面粗糙度可基于對板總面積的30-40%的檢測。
[0037]除了它們的平均表面粗糙度數(shù)值以外，使用本文所述的技術(shù)蝕刻的示例性玻璃板還可通過它們的低水平的變化性來表征，具體來說，通過它們的平均表面粗糙度數(shù)值的標(biāo)準(zhǔn)偏差來表征。例如，可同時考慮表面內(nèi)(在一個表面之內(nèi))和表面間(在不同板的相應(yīng)的表面之間，例如，在板的A側(cè)面之間或板的B側(cè)面之間)的數(shù)值。因此，在一些實施方式中，在板的主表面中至少一個主表面的60% ,70% ,80%，或90%上的平均表面粗糙度的表面內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)偏差可小于或等于約2nm,小于或等于約1.5nm,小于或等于約Inm,小于或等于約0.5nm,小于或等于約0.2nm,小于或等于約0.1nm，小于或等于0.05納米。在其它實施方式中，板的兩表面的表面平均粗糙度的表面內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)偏差均滿足上述標(biāo)準(zhǔn)。在其它實施方式中，在板的主表面中至少一個主表面的60%，70%，80%，或90%上的平均表面粗糙度的表面間標(biāo)準(zhǔn)偏差可小于或等于約2nm,小于或等于約1.5nm,小于或等于約Inm,小于或等于約0.5nm,小于或等于約0.2nm,小于或等于約0.1nm,小于或等于0.05納米。同時，又在其它實施方式中，板的兩表面的表面平均粗糙度的表面間標(biāo)準(zhǔn)偏差均滿足上述標(biāo)準(zhǔn)。
[0038]應(yīng)理解，多個揭示的實施方式可涉及結(jié)合特定實施方式描述的特定特征、要素或步驟。還應(yīng)理解，雖然就一種特定實施方式描述了特定的特征、要素或步驟，但它們可以各種沒有闡述的組合或置換方式與替代實施方式互換或組合。
[0039]還應(yīng)理解的是，本文所用的冠詞“該”、“一個”或“一種”表示“至少一個(一種)”，不應(yīng)局限為“僅一個(一種)”，除非明確有相反的說明。因此，例如，提到的一種“組件”包括具有兩種或更多種這類組件的示例，除非文本中有另外的明確表示。
[0040]在此，范圍可以表示為從“約”一個具體值和/或到“約”另一個具體值的范圍。當(dāng)表述這種范圍時，例子包括自某一具體值始和/或至另一具體值止。類似地，當(dāng)使用在前的“約”表示數(shù)值為近似值時，應(yīng)理解，具體數(shù)值形成另一個方面。還應(yīng)理解的是，每個范圍的端點值在與另一個端點值有關(guān)和與另一個端點值無關(guān)時，都是有意義的。
[0041]如本文所使用，術(shù)語“基本的”、“基本上”及其變體用于指所述的特征等于或近似等于一個數(shù)值或描述。此外，“基本上相近”用于指兩個數(shù)值相等或近似相等。在一些實施方式中，“基本上相近”可指在彼此的約10%的數(shù)值，例如在彼此的約5%之內(nèi)，或在彼此的約2%之內(nèi)。
[0042]除非另有表述，否則都不旨在將本文所述的任意方法理解為需要使其步驟以具體順序進(jìn)行。因此，當(dāng)方法權(quán)利要求實際上沒有陳述為其步驟遵循一定的順序或者其沒有在權(quán)利要求書或說明書中以任意其他方式具體表示步驟限于具體的順序，都不旨在暗示該任意特定順序。
[0043]雖然會用過渡語“包括”來公開特定實施方式的各種特征、元素或步驟，但是應(yīng)理解的是，這暗示了包括可采用過渡語“由……構(gòu)成”、“基本由……構(gòu)成”描述在內(nèi)的替代實施方式。因此，例如，對包含A+B+C的緩沖液的隱含的替代性實施方式包括緩沖液由A+B+C組成的實施方式和緩沖液主要由A+B+C組成的實施方式。
[0044]對本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，顯而易見的是，可以在不偏離本發(fā)明的范圍和精神的情況下對本發(fā)明進(jìn)行各種修改和變動。因為本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以想到所述實施方式的融合了本發(fā)明精神和實質(zhì)的各種改良組合、子項組合和變化，應(yīng)認(rèn)為本發(fā)明包括所附權(quán)利要求書范圍內(nèi)的全部內(nèi)容及其等同內(nèi)容。
【主權(quán)項】
1.一種用于蝕刻玻璃板主表面的設(shè)備，所述設(shè)備包括: 一系列基本上垂直地取向的細(xì)長的輥，所述輥在總體垂直的平面中對齊，并沿著該總體垂直的平面水平地隔開； 用于支撐所述玻璃板的系統(tǒng)，使玻璃板相對于該系列輥水平移動并接觸該系列輥， 機(jī)械裝置，該機(jī)械裝置用于將蝕刻劑液體供應(yīng)到每一輥的中空芯體;和 用于沿著輥長度將蝕刻劑液體從所述芯體分配進(jìn)入多孔覆蓋物的分配設(shè)備，該分配設(shè)備構(gòu)造成補償沿著輥長度的液體靜壓力變化。2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，包括沿著輥長度分布的元件，所述元件提供有效分配孔口面積，與鄰近輥上端的有效分配孔口面積相比，鄰近輥下端的有效分配孔口面積更小。3.如權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其特征在于，包括具有可對齊的分配孔口的同軸管，所述管可相對于彼此移動，從而可選擇性地使該可對齊的孔口不對齊。4.如權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，所述同軸管中的一根管是分段的，其中獨立的軸向片段構(gòu)造用于使該管相對于所述同軸管中的另一根管繞著或沿著共同的縱向軸線或從共同的縱向軸線傾斜地或縱向地或橫向地位移，或這些位移方式的任意組合。5.如權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其特征在于，所述同軸管的內(nèi)部管是分段的。6.一種用于蝕刻玻璃板的設(shè)備，所述設(shè)備包括: 多個基本上垂直地取向、水平地隔開的輥組件，所述多個輥組件中的每一個輥組件包括管狀芯體和繞著所述管狀芯體設(shè)置的多孔覆蓋物，所述管狀芯體包括與液體蝕刻劑流體連通的多個孔口；和 帶式傳送器，所述帶式傳送器構(gòu)造成支撐和傳送所述玻璃板的底部邊緣。7.如權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其特征在于，所述管狀芯體包括一對同軸管，所述孔口分別在所述一對同軸管之間，其中所述一對同軸管中一根管的孔口與所述一對同軸管中另一根管的孔口配對，且構(gòu)造成移動成對齊狀態(tài)或不對齊狀態(tài)來改變各配對的孔口的相對有效孔口面積。8.如權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其特征在于，為所述管中的一根管提供獨立的軸向片段，所述獨立的軸向片段可相對于彼此以傾斜的或縱向的或橫向的位移或這些位移中兩種或更多種的任意組合來改變位置，以改變各改變位置的片段的相對有效孔口面積。9.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其特征在于，所述同軸管的內(nèi)部管是軸向分段的。10.一種用于蝕刻玻璃板的設(shè)備，其包括: 多個基本上垂直地取向、水平地隔開的輥組件，所述多個輥組件中的每一個輥組件包括管狀芯體和繞著所述管狀芯體設(shè)置的多孔覆蓋物，所述管狀芯體包括外部管和設(shè)置在所述外部管之內(nèi)的內(nèi)部管，所述內(nèi)部管和外部管中的每一個包括多個孔口 ；和 帶式傳送器，所述帶式傳送器構(gòu)造成支撐和傳送所述玻璃板的底部邊緣11.如權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其特征在于，所述內(nèi)部管的底部用不透液體的塞子封閉。12.如權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其特征在于，所述內(nèi)部管沿著其長度分段成上面部分和下面部分。13.如權(quán)利要求12所述的設(shè)備，其特征在于，所述下面部分是所述上面部分的1/3長度。14.如權(quán)利要求12所述的設(shè)備，其特征在于，所述上面部分的上端包括旋轉(zhuǎn)聯(lián)軸器。15.如權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其特征在于，所述內(nèi)部管和所述外部管的所述孔口的尺寸、數(shù)目、組別和圖案中的至少一種可沿著所述內(nèi)部管和所述外部管的長度變化，從而補償沿著每一輥組件長度的液體靜壓力變化。
【文檔編號】C03C15/00GK205575935SQ201620366795
【公開日】2016年9月14日
【申請日】2016年4月27日
【發(fā)明人】K·小中澤, G·N·庫德瓦
【申請人】康寧股份有限公司