一種單晶硅的加熱裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種單晶硅的加熱裝置，包括用于盛裝單晶硅原料的石英坩堝以及爐體，所述爐體的頂部設(shè)有封蓋，還包括用于將石英坩堝輸送至爐體內(nèi)部的輸送機(jī)構(gòu)，所述石英坩堝的外表面上設(shè)有多個(gè)掛鉤，所述輸送機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)相對布置的輸送單元，所述輸送單元包括：動(dòng)力輪，固定于爐體上方的固定滑輪，與固定滑輪以及動(dòng)力輪相配合的吊繩，所述吊繩上設(shè)有與掛鉤相配合的吊環(huán)，用于驅(qū)動(dòng)動(dòng)力輪轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型操作方便，便于將石英坩堝放入爐體內(nèi)進(jìn)行加熱升溫，同時(shí)也便于從爐體中取出石英坩堝，大大提高了單晶硅的制備效率，省時(shí)省力。
【專利說明】
一種單晶硅的加熱裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于晶態(tài)硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種單晶硅的加熱裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]晶態(tài)娃分為單晶娃和多晶娃，它們均具有金剛石晶格，晶體硬而脆，具有金屬光澤，能導(dǎo)電，但導(dǎo)電率不及金屬，且隨溫度升高而增加，具有半導(dǎo)體性質(zhì)。單晶硅在日常生活中是電子計(jì)算機(jī)、自動(dòng)控制系統(tǒng)等現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的基本材料。電視、電腦、冰箱、電話、手表、汽車，處處都離不開單晶硅材料，單晶硅作為科技應(yīng)用普及材料之一，已經(jīng)滲透到人們生活中的各個(gè)角落。多晶硅是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。
[0003]熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時(shí)，硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結(jié)合起來，就結(jié)晶成多晶硅。多晶硅可作拉制單晶硅的原料，多晶硅與單晶硅的差異主要表現(xiàn)在物理性質(zhì)方面。例如，在力學(xué)性質(zhì)、光學(xué)性質(zhì)和熱學(xué)性質(zhì)的各向異性方面，遠(yuǎn)不如單晶硅明顯;在電學(xué)性質(zhì)方面，多晶硅晶體的導(dǎo)電性也遠(yuǎn)不如單晶硅顯著，甚至于幾乎沒有導(dǎo)電性。
[0004]單晶硅制備時(shí)，需要先將多晶硅粉碎至適當(dāng)?shù)拇笮?，并在硝酸和氫氟酸的混合酸液中清洗外表面，以去除可能的金屬等雜質(zhì)，然后放入高純度的石英坩禍中。在填料完成后，將石英坩禍放入爐體中，并將爐體抽成一定真空，再通入一定流量和壓力的保護(hù)氣，最后給爐體加熱升溫，使得硅材料熔化。其中將石英坩禍放入爐體或是取出爐體時(shí)，較為繁瑣，比較費(fèi)力。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]為了解決現(xiàn)有技術(shù)的問題，本實(shí)用新型提供了一種單晶硅的加熱裝置，便于將石英坩禍放入爐體內(nèi)進(jìn)行加熱升溫。
[0006]本實(shí)用新型的技術(shù)方案為:一種單晶硅的加熱裝置，包括用于盛裝單晶硅原料的石英坩禍以及爐體，所述爐體的頂部設(shè)有封蓋，還包括用于將石英坩禍輸送至爐體內(nèi)部的輸送機(jī)構(gòu)，所述石英坩禍的外表面上設(shè)有多個(gè)掛鉤，所述輸送機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)相對布置的輸送單元，所述輸送單元包括:
[0007]動(dòng)力輪，
[0008]固定于爐體上方的固定滑輪，
[0009]與固定滑輪以及動(dòng)力輪相配合的吊繩，所述吊繩上設(shè)有與掛鉤相配合的吊環(huán)，
[0010]用于驅(qū)動(dòng)動(dòng)力輪轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
[0011]當(dāng)將石英坩禍放置于爐體內(nèi)時(shí)，打開封蓋，并將石英坩禍的掛鉤掛設(shè)于吊環(huán)上，然后開啟驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)將驅(qū)動(dòng)動(dòng)力輪轉(zhuǎn)動(dòng)，動(dòng)力輪轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)使得吊繩下降，直至下降至爐體內(nèi)，使得石英坩禍放置于爐體內(nèi)的適宜位置即可，然后將掛鉤從吊環(huán)中取出，并關(guān)閉封蓋，即可進(jìn)行后續(xù)的加熱操作。當(dāng)需要將石英坩禍從爐體中取出時(shí)，打開封蓋，然后將掛鉤掛在吊環(huán)上，啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使得動(dòng)力輪朝向相反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，即可使得吊繩上升，帶動(dòng)石英坩禍上升，從而使得石英坩禍從爐體中取出。
[0012]本實(shí)用新型中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以有多種，作為優(yōu)選，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為電機(jī)。
[0013]作為優(yōu)選，所述封蓋的一端鉸接于爐體上，另一端與爐體之間設(shè)有用于將封蓋與爐體固定連接的鎖緊機(jī)構(gòu)。
[0014]作為優(yōu)選，所述鎖緊機(jī)構(gòu)爐體頂部的定位孔以及封蓋內(nèi)側(cè)的定位柱組成。該鎖緊機(jī)構(gòu)不但鎖緊牢固，而且便于打開。
[0015]作為優(yōu)選，所述爐體上設(shè)有用于抽真空的出氣通道，所述出氣通道內(nèi)設(shè)有第一調(diào)節(jié)閥。
[0016]作為優(yōu)選，所述爐體上設(shè)有用于向爐體內(nèi)部通入氣體的進(jìn)氣通道，所述進(jìn)氣通道內(nèi)設(shè)有第二調(diào)節(jié)閥。
[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果體現(xiàn)在:
[0018]本實(shí)用新型操作方便，便于將石英坩禍放入爐體內(nèi)進(jìn)行加熱升溫，同時(shí)也便于從爐體中取出石英坩禍，大大提高了單晶硅的制備效率，省時(shí)省力。
【附圖說明】
[0019]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0020]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)不意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0022]如圖1所示，本實(shí)用新型包括用于盛裝單晶硅原料的石英坩禍2以及爐體I，爐體I的頂部設(shè)有封蓋11，還包括用于將石英坩禍2輸送至爐體I內(nèi)部的輸送機(jī)構(gòu)，所述石英坩禍2的外表面上設(shè)有多個(gè)掛鉤21，輸送機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)相對布置的輸送單元，所述輸送單元包括:
[0023]動(dòng)力輪3，
[0024]固定于爐體I上方的固定滑輪4，
[0025]與固定滑輪4以及動(dòng)力輪3相配合的吊繩5，吊繩5上設(shè)有與掛鉤21相配合的吊環(huán)，
[0026]用于驅(qū)動(dòng)動(dòng)力輪3轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6。本實(shí)用新型中驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以有多種，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6為電機(jī)。
[0027]如圖1所示，封蓋11的一端鉸接于爐體I上，另一端與爐體I之間設(shè)有用于將封蓋11與爐體I固定連接的鎖緊機(jī)構(gòu)。本實(shí)施例中鎖緊機(jī)構(gòu)爐體I頂部的定位孔(圖中未畫出)以及封蓋11內(nèi)側(cè)的定位柱111組成。該鎖緊機(jī)構(gòu)I不但鎖緊牢固，而且便于打開。
[0028]如圖1所示，本實(shí)用新型爐體I上設(shè)有用于抽真空的出氣通道13，出氣通道13內(nèi)設(shè)有第一調(diào)節(jié)閥。爐體I上設(shè)有用于向爐體I內(nèi)部通入氣體的進(jìn)氣通道14，進(jìn)氣通道14內(nèi)設(shè)有第二調(diào)節(jié)閥。
[0029]當(dāng)將石英坩禍2放置于爐體I內(nèi)時(shí)，打開封蓋11，并將石英坩禍的掛鉤21掛設(shè)于吊環(huán)上，然后開啟驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6將驅(qū)動(dòng)動(dòng)力輪3轉(zhuǎn)動(dòng)，動(dòng)力輪3轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)使得吊繩5下降，直至下降至爐體I內(nèi)，使得石英坩禍2放置于爐體I內(nèi)的適宜位置即可，然后將掛鉤21從吊環(huán)中取出，并關(guān)閉封蓋，即可進(jìn)行后續(xù)的加熱操作。當(dāng)需要將石英坩禍2從爐體I中取出時(shí)，打開封蓋11，然后將掛鉤21掛在吊環(huán)上，啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)6，使得動(dòng)力輪朝向相反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，即可使得吊繩上升，帶動(dòng)石英坩禍2上升，從而使得石英坩禍2從爐體I中取出。
[0030]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種單晶硅的加熱裝置，包括用于盛裝單晶硅原料的石英坩禍(2)以及爐體(I)，所述爐體(I)的頂部設(shè)有封蓋(11)，其特征在于，還包括用于將石英坩禍(2)輸送至爐體(I)內(nèi)部的輸送機(jī)構(gòu)，所述石英坩禍(2)的外表面上設(shè)有多個(gè)掛鉤(21 )，所述輸送機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)相對布置的輸送單元，所述輸送單元包括: 動(dòng)力輪(3)， 固定于爐體(I)上方的固定滑輪(4)， 與固定滑輪(4)以及動(dòng)力輪(3)相配合的吊繩(5)，所述吊繩(5)上設(shè)有與掛鉤(21)相配合的吊環(huán)， 用于驅(qū)動(dòng)動(dòng)力輪(3)轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)。2.如權(quán)利要求1所述的單晶硅的加熱裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(6)為電機(jī)。3.如權(quán)利要求1所述的單晶硅的加熱裝置，其特征在于，所述封蓋(11)的一端鉸接于爐體(I)上，另一端與爐體(I)之間設(shè)有用于將封蓋(11)與爐體(I)固定連接的鎖緊機(jī)構(gòu)。4.如權(quán)利要求3所述的單晶硅的加熱裝置，其特征在于，所述鎖緊機(jī)構(gòu)爐體(I)頂部的定位孔以及封蓋(11)內(nèi)側(cè)的定位柱(111)組成。5.如權(quán)利要求1所述的單晶硅的加熱裝置，其特征在于，所述爐體(I)上設(shè)有用于抽真空的出氣通道(13)，所述出氣通道(13)內(nèi)設(shè)有第一調(diào)節(jié)閥。6.如權(quán)利要求1所述的單晶硅的加熱裝置，其特征在于，所述爐體(I)上設(shè)有用于向爐體(I)內(nèi)部通入氣體的進(jìn)氣通道(14)，所述進(jìn)氣通道(14)內(nèi)設(shè)有第二調(diào)節(jié)閥。
【文檔編號】C30B15/14GK205653537SQ201620458630
【公開日】2016年10月19日
【申請日】2016年5月19日 公開號201620458630.8, CN 201620458630, CN 205653537 U, CN 205653537U, CN-U-205653537, CN201620458630, CN201620458630.8, CN205653537 U, CN205653537U
【發(fā)明人】李愛萍
【申請人】云南三奇光電科技有限公司