專利名稱：有機(jī)膦穩(wěn)定的n-羥基丁二酰亞胺銀配合物及其合成方法與應(yīng)用的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及金屬有機(jī)配合物及其合成方法，具體地說是涉及有機(jī)膦穩(wěn)定的含 多種取代基的7V-羥基丁二酰亞胺銀配合物的的及其合成方法及與其在制備銀薄 膜材料方面的應(yīng)用。
二背景技術(shù)：
對(duì)于產(chǎn)品文獻(xiàn)上尚無報(bào)導(dǎo)，所合成的是一種新的有機(jī)膦穩(wěn)定的7V-羥基丁 二酰亞胺銀配合物。
對(duì)于方法目前合成這些配合物一般要在無水無氧條件下進(jìn)行。
對(duì)于應(yīng)用所合成的W-羥基丁二酰亞胺銀配合物是一種新的配合物，所以還沒 有以它作為前驅(qū)物來生長金屬薄膜材料方面的報(bào)道。
在銅互連技術(shù)日趨成熟的基礎(chǔ)上，新一代的金屬互連技術(shù)已經(jīng)成為科技界的
關(guān)注焦點(diǎn)，YosiShacham-Diamand等人提出了銀互連技術(shù)。金屬銀由于它是所有
金屬中導(dǎo)電性最好的一種金屬(電阻率1.59 nQ*cm)，所以它也是一種非常
有希望的應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路的互連材料。銀互連技術(shù)采用銀作為其互連引
線的材料，與銅相比銀有著更低的電阻率(室溫下1.60 nQ/cm)。采用銀作為互
連材料比采用銅作為互連材料，在傳輸延遲性能方面有7%的改進(jìn)，因此以銀為導(dǎo)
線的器件可承受比銅為導(dǎo)線器件更密集的電路排列，還可以進(jìn)一步減少所需金屬
層的數(shù)目，從而更為有效的降低生產(chǎn)成本。這一新型的金屬互連技術(shù)的應(yīng)用將進(jìn)
一步改善互連性能，并將極大推動(dòng)今后互連技術(shù)的發(fā)展。([l] Kodas T. T.,
Hampden-Smith M. J" The Chemistry of Metal CVD, VCH, Weinheim, 1994; [2〗黃
浩，魏良，唐電，半導(dǎo)體金屬互連集成技術(shù)的進(jìn)展與趨勢，金屬熱處理，2004，
29 (8): 26-31; [3] Yosi Shacham Diamand, Alexandra Inbern, I elena Sverdlov, et
al.， J. Electrochemical Soc., 2000, 147(9): 3345-3349)
銀的前驅(qū)體大致分為如下幾類LAgOOCR、 L.Ag(Cyclopentadienyl)、
Ln.Ag(P-diketonate)、 AgX。<formula>formula see original document page 5</formula>
Silver carboxylates L.Ag(P-diketonates) L'Ag(Cyclopentadienyl)
例如，Voorhoeve等([1] Kodas T. T., Hampden-Smith M. J., The Chemistry of MetalCVD, VCH, Weinheim, 1994)報(bào)道了用銀的氟化物為前驅(qū)體制備銀膜，具 體的反應(yīng)方程式如下
Si(s) + 4AgF——^ 4Ag(s) + SiF4(s)
此反應(yīng)需要很高的反應(yīng)溫度(600 °C)，另外，因?yàn)楣枰r底會(huì)參與反應(yīng)，所 以會(huì)對(duì)襯底有一定的腐蝕性。Beach等([1] Kodas T. T., Hampden-Smith M. J., The Chemistry of Metal CVD, VCH, Weinheim, 1994)用環(huán)戊二烯和有機(jī)膦為配體合成 了一系列的有機(jī)銀配合物，并申請(qǐng)了專利。
<formula>formula see original document page 5</formula>
對(duì)于MOCVD前驅(qū)體的物理與化學(xué)性質(zhì)有著嚴(yán)格的要求，其中一個(gè)主要的挑戰(zhàn)
來自于如何合成合適的前驅(qū)物。 一個(gè)合適的前驅(qū)體，應(yīng)該具備以下幾個(gè)條件(1)
室溫下穩(wěn)定。(2)合適的揮發(fā)性:M0CVD薄膜的生長需要有一種易于操作的前驅(qū)物， 如液態(tài)或者固態(tài)，它在200 'C以下要有足夠的揮發(fā)性以獲得其蒸汽。(3)適當(dāng)?shù)?br> 反應(yīng)性前驅(qū)物能夠在基材表面發(fā)生反應(yīng)，但反應(yīng)活性不能太強(qiáng)，不至于在通往 反應(yīng)室的管道中就分解。(4)很高的純度薄膜的純度對(duì)材料的性能有非常大的
影響，薄膜要求非常地清潔，不含污染物。為了達(dá)到這個(gè)要求，所有的雜質(zhì)都必
須嚴(yán)格控制，排除在反應(yīng)室之外。(5)較小的環(huán)境影響環(huán)境問題在當(dāng)今時(shí)代變 的日益重要，所以，前驅(qū)物盡可能是無毒或是低毒的，殘留物最好能夠回收或者 易于后處理。(6)合適的成本為了能夠應(yīng)用于工業(yè)化生產(chǎn)，前驅(qū)體最好能夠大
量合成，至少是以千克計(jì)，并且采用盡可能簡單的合成步驟。([4] J. Rickerby, J. H. G. Steinke, Current Trends in Patterning with Copper, Chem. Rev., 2002, 102:1525-1549)人們?yōu)榱藢ふ业胶线m的前驅(qū)體，近年來不斷有一些新的Ag配合物陸 續(xù)報(bào)道如以希夫堿和有機(jī)膦為配體的銀配合物。([5] Thomas Haase, Thomas Haase，s doctor thesis, Technische Univers池t Chemnitz, 2004)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種對(duì)襯底的污染小、合成方法簡便，工藝操作簡單，
產(chǎn)率高，成本低的有機(jī)膦穩(wěn)定的含多種取代基的iV-羥基丁二酰亞胺銀配合物及 其合成方法與在制備銀薄膜材料方面的應(yīng)用。
本發(fā)明的有機(jī)膦穩(wěn)定的W-羥基丁二酰亞胺銀配合物用下述通式表示
(R'3P)n
其中
n= 1，2
= H, CH3, CH2CH3
= H, CH^， CH^CH^
R' = OCH3, OCH2CH3, OCF2CF3, CH3, C2H5, i-Pr, n-Pr, n-Bu, s-Bu, i-Bu, t-Bu, Cy, Ph3
上述的Ri、 R2為H、 CH3;上述的R'為CH30、 C2H50、 CH3、 C2H5。
丁二酰亞胺銀的合成方法在惰性氣體保護(hù)下，將N-羥基丁二酰亞胺和三
乙胺加入醇類溶劑至溶清；在-10 °C -40 。C溫度且避光條件下，向上述清液滴
加用乙腈/乙醇混合溶劑溶清的硝酸銀，滴加后攪拌2 3小時(shí)；過濾得白色固體，
用乙醇、乙醚分別洗兩遍，抽干溶劑后固體為類白色；上述N-羥基丁二酰亞胺、
三乙胺、硝酸銀反應(yīng)過程中摩爾比為1: 1: 1;
有機(jī)膦穩(wěn)定的W-羥基丁二酰亞胺銀配合物的合成方法將丁二酰亞胺銀和有 機(jī)膦配體的混合物置于無水有機(jī)溶劑中進(jìn)行攪拌；在-10 °C -40 'C下攪拌反應(yīng) 4小時(shí)以上；反應(yīng)結(jié)束后，過濾得澄清溶液，用油泵將溶劑抽干，即得到配合物; 丁二酰亞胺銀和有機(jī)膦配體反應(yīng)過程中摩爾比為1: 1 1: 2且制備過程在惰性 氣氛且避光條件下進(jìn)行。
6上述的惰性氣體是氮?dú)?，氬氣等，無水有機(jī)溶劑為二氯甲垸或氯仿或l, 2-
二氯乙院。
上述得到的配合物用核磁、紅外、質(zhì)譜、元素分析等檢測手段對(duì)其進(jìn)行了表 征，證明他們是我們預(yù)期的化合物。
上述W-羥基丁二酰亞胺銀配合物用TG-DSC手段分析前驅(qū)體的性質(zhì)，可以 作為前驅(qū)物用于制備銀薄膜材料。
有益效果
對(duì)于產(chǎn)品文獻(xiàn)上尚無報(bào)導(dǎo)，所合成的是一種新的有機(jī)膦穩(wěn)定的JV-羥基丁 二酰亞胺銀配合物。
對(duì)于方法目前合成這些配合物一般要在無水無氧條件下進(jìn)行。 對(duì)于應(yīng)用所合成的iV-羥基丁二酰亞胺銀配合物是一種新的配合物，所以還 沒有以它作為前驅(qū)物來生長金屬薄膜材料方面的報(bào)道。 本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下顯著優(yōu)點(diǎn)
(1) 本發(fā)明的有機(jī)膦穩(wěn)定的iv-羥基丁二酰亞胺銀配合物具有較好的穩(wěn)定性
和較低的分解溫度，分解產(chǎn)物都為氣態(tài)，且對(duì)襯底的污染小，所以可以作為 前驅(qū)物用化學(xué)氣相沉積等方法來生長銀薄膜材料。
(2) 合成方法簡便，工藝操作簡單，產(chǎn)率高，成本低。
四

圖1是配合物的TG-DSC圖。
熱重分析法(TG)是使樣品處于程序控制的溫度下，觀察樣品的質(zhì)量隨溫度 或時(shí)間的函數(shù)。它用于獲得配合物的轉(zhuǎn)變、分解溫度以及失重。差熱分析法(DSC) 是一種高效、快速、靈敏的分析測試手段，已廣泛用于研究物質(zhì)的物理變化(如 玻璃化變、熔融、結(jié)晶、晶型轉(zhuǎn)變、升華、汽化、吸附等)和化學(xué)變化(如分解、 降解、聚合、交聯(lián)、氧化還原等)。這些變化是物質(zhì)在加熱或冷卻過程中發(fā)生的， 它在DSC曲線上表現(xiàn)為吸熱或放熱的峰或基線的不連續(xù)偏移。它用于測定配合物 在熱解過程中熵的變化。這些實(shí)驗(yàn)是用于獲得在化學(xué)汽相沉積實(shí)驗(yàn)中各種前驅(qū)體 的最佳維持溫度。
以配合物(MeO)3PAg03C4H4N為例，TG和DSC實(shí)驗(yàn)是通過同步熱分析儀 (NETZSCHSTA449C)實(shí)現(xiàn)，條件為在氬氣的保護(hù)下，流量為LOcn^min—1,升溫速率為10°Cmin—、
從上圖1可以看出，在72°C時(shí)，配合物[(MeO)3P]Ag03C4H4N熔化是一個(gè)吸熱過 程，緊接著115。C-216。C有一個(gè)明顯的放熱過程，配合物分解。最后，剩余質(zhì)量 分?jǐn)?shù)為35.01 %，基本接近于理論Ag的質(zhì)量分?jǐn)?shù)31.17 %。從配合物 [(MeO)3P].Ag03C4H4N的熱穩(wěn)定性以及分解過程分析，這一系列配合物可以作為前 驅(qū)物用于制備銀薄膜材料。
五具體實(shí)施例方式
實(shí)施例1.
f羥基丁二酰亞胺的合成
NH2OH.HCl + NaOH
+ NaCl + 2H20
(3. 1)
將鹽酸羥胺(7.0 g， 0.1 niol)溶于25 ml蒸餾水中，放置冰浴，溫度保持 在20 'C以下。稀釋后的溶液裝入一蒸餾裝置，攪拌下用滴液漏斗滴加NaOH溶 液(4. 0 g, 0. 1 mol的NaOH溶于25 ml水中)，溫度保持在20 °C以下。攪拌溶 液并分四次加入丁二酸酐(9.0 g, 0.09 mol)，溫度保持在20 。C以下。丁二酸 酐溶解后，緩慢升高溫度至60 。C攪拌一小時(shí)，然后將反應(yīng)混合物的溫度上升到 86 °C，降溫。停止攪拌，減壓蒸餾，逐漸加熱反應(yīng)混合物至110 °C，維持該條 件半小時(shí)，使用干燥空氣恢復(fù)壓強(qiáng)，反應(yīng)物降溫至60 "C以下時(shí)加入100 mL乙 酸乙酯，加熱回流30min，趁熱抽濾，濾渣用5 mL熱的乙酸乙酯洗滌3次，將 洗液并入濾液并蒸餾濃縮至原體積的三分之一，將濾出液放在4 。C的冰箱內(nèi)結(jié) 晶，過夜。([6]范如霖，有機(jī)合成特殊技術(shù).上海上海交通大學(xué)出版社，1985， 109; [7]張啟昆，盧峰.現(xiàn)代無機(jī)合成化學(xué)[M].訕頭汕頭大學(xué)出版社，1995， 59)第二天抽濾得到白色固體，60 'C真空干燥10h后，得白色的固體8.4 g， 產(chǎn)率為74%，熔點(diǎn)95-97 。C。
實(shí)施例2.
8^羥基丁二酰亞胺銀的合成
(3.2)
在氮?dú)獗Ｗo(hù)下，取N-羥基丁二酰亞胺(3. 5 g， 0.03 mol)和三乙胺(3.07 g， 0.03 mol)裝入Schlenk管中，加入50 ml乙醇溶劑至溶清。-20 。C下，向上除 清液滴加用乙腈/乙醇混合溶劑溶清硝酸銀(5.17 g， 0.03 mol)，滴加后攪拌2 小時(shí)，過程中注意避光及低溫條件。用砂芯漏斗過濾，得白色固體5.2g，產(chǎn)率 為78 %，用乙醇、乙醚分別洗兩遍，抽干溶劑后固體為類白色。
在N2氣氛下，將溶于20 mL二氯甲垸的0.1311 g (0.5 mmol)三苯基膦無 色澄清液，滴加到溶于10 mL 二氯甲烷的0.1109 g (0.5 mmol) iV-羥基丁二酰亞 胺銀懸浮液中，-20 'C下攪拌4小時(shí)得黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過濾，用油泵 抽去溶劑，得淡粉紅色固體，即配合物。產(chǎn)率93 %。 Mp.: 179 °C dec.. Anal, calcd. for C22H1903AgPN: C， 54.57; H, 3.95; N， 2.89. Found: C, 54.36; H, 3.91; N， 2.83.丄H NMR (CDC13): S 2.6 (s, 4 H, CH2-H), 7.3—7.6 (m, 15 H, Ph-H). 13C{H} NMR (CDC13): 5 25.1 (CH2), 5 175.7 (C), 133.9 (JPC = 16.5 Hz， C6H5), 130.9 (C6H5), 130.4 (C6H5), 129.1 (Ac = 10.7 Hz， C6H5). IR (KBr) data (cm"): 3050 (m), 2935 (m)， 1752 (m), 1666 (s), 1644 (s), 1480 (m), 1434 (s)， 1239 (s), 1095 (m),雨3 (m), 747 (m), 722 (m), 695 (s), 669 (m), 522 (m), 503 (m).
實(shí)施例3.
Ph3PAg03C4H4N的合成
實(shí)施例4.
(Ph3P)rAg03C4H4N的合成Ag一O — N,
+ 2 PPh
.N——0—Ag(PPh3)2
在N2氣氛下，將溶于20 mL二氯甲垸的0.2622 g (l.Ommol)的三苯基膦無 色澄清液，滴加到溶于10mL二氯甲烷的0.1109g (0.5mmo1) 7V-羥基丁二酰亞胺 銀懸浮液中，-20 'C下攪拌4小時(shí)得淡黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過濾，用油泵 抽去溶劑，得類白色固體，即配合物。產(chǎn)率95%。 Mp.: 185 °C dec.. Anal, calcd. for C40H34O3AgP2N: C, 64.36; H, 4.59; N, 1.88. Found: C, 64.23; H, 4.47; N, 1.83.工H NMR (CDC13): S 2.3 (s, 4 H, CH2-H), 7.3-7.5 (m, 15 H, Ph-H). 13C{H} NMR (CDC13): S 25.0 (CH2), S 176.5 (C), 133.9 (Ac = 16.8 Hz, C6H5), 132.6 (JPC = 24.7 Hz, C6H5), 130.0 (C6H5), 128.7 (J^c = 9.5 Hz, C6H5). IR (KBr) data (cm-1): 3041 (m), 3008 (m)， 2982 (m), 2953 (m), 1748 (m), 1653 (s), 1629 (s)， 1481 (m), 1435 (s)， 1235 (s), 1097 (m), 1085 (m), 746 (s), 721 (m), 697 (s), 667 (m), 508 (s), 494 (m).
在N2氣氛下，將溶于20 mL二氯甲垸的0.0830g (0.5 mmol)的三乙氧基 基膦無色澄清液，滴加到溶于10 mL二氯甲烷的0.1109 g (0.5 mmol) iV-羥基丁 二酰亞胺銀懸浮液中，-20 。C下攪拌4小時(shí)得淡黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過濾， 用油泵抽去溶劑，得淡黃色液體，即配合物。產(chǎn)率94 %。 Anal. cakd. for C10H19O6AgPN: C, 30.95; H， 4.93; N, 3.61. Found: C, 30,78; H, 4.81; N, 3.53. & NMR (CDC13): 5 1.4 (t, 9 H, CH3/CH3CH2-， J麗=7.0Hz), 5 2.7 (s, 4 H, CH2-H), 4.1 (qd, 6 H, CH2/CH3CH2-， J冊(cè)=7.1Hz, J附=2.8Hz). 13C{H} NMR (CDC13): 5 25.0 (CH2), S 175.5 (C), 16.3 (d,心c = 6.8 Hz, CH3/CH3CH2-)， 61.3 (d, J>c = 5.7 Hz, CH2/CH3CH2-). IR (KBr) data (cm"): 3437 (m), 2981 (s), 2937 (m), 2893 (m), 1750
實(shí)施例5.
(EtO)3P.Ag03C4H4N的合成(m), 1672 (s),1641 (m), 1389 (m), 1246 (s), 1164 (m), 1096 (s), 1053 (s), 1022 (s), 935 (s), 811 (m), 772 (s), 742 (m), 674 (m), 540 (m).
實(shí)施例6.
(EtO)3P2Ag03C4H4N的合成
o》
Ag-O — N>」+2P(OEt)3'
:N—0-Ag[P(OEt)3]2 、0
在N2氣氛下，將溶于20 mL二氯甲垸的0.1660g (1.0 mmol)的三乙氧基 基膦無色澄清液，滴加到溶于10 mL 二氯甲烷的0.1109 g (0.5 mmol),羥基丁 二酰亞胺銀懸浮液中，-20 。C下攪拌4小時(shí)得淡黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過濾， 用油泵抽去溶劑，得淡黃色液體，即配合物。產(chǎn)率95%。 Anal, calcd. for Ci6H3409AgP2N: C， 34.67; H, 6.18; N， 2.53. Found: C, 34.49; H, 6.07; N, 2.48.力 NMR (CDC13): S 1.3 (t， 9 H, CH3/CH3CH2-， /冊(cè)=7.1Hz), S 2.6 (s, 4 H, CH2-H), 4.0 (qd, 6 H, CH2/CH3CH2-， J冊(cè)=7.1Hz, Jw/ = 2.5Hz). 13C{H} NMR (CDC13): S 25.1 (CH2), S 175.9 (C), 16.4 (d， JpC = 6.4 Hz, CH3/CH3CH2-)， 60.7 (d, JpC = 6.4 Hz, CH2/CH3CH2-). IR (KBr) data (cm-1): 2980 (m), 2936 (m), 2898 (m)， 1746 (m), 1673 (s), 1642 (m), 1390 (m), 1246 (s), 1164 (m)， 1096 (m), 1023 (s), 938 (s), 813 (m), 773 (m), 744 (m), 674 (m), 543 (m).
實(shí)施例
(MeO)3P*Ag03C4H4N的合成
o、
Ag-O — N、J + P(OMe)3—
,N—O—Ag[P(OMe)3〗 、0
在N2氣氛下，將溶于20 mL二氯甲烷的0.0620 g (0.5 mmol)的三甲氧基 膦無色澄清液，滴加到溶于lOmL二氯甲垸的0.1109 g (0.5 mmol) TV-羥基丁二
11酰亞胺銀懸浮液中，-20 'C下攪拌4小時(shí)得淡黃色液體，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過濾，用 油泵抽去溶劑，得淡黃色固體，即配合物。產(chǎn)率96 %。Mp.: 70 °C dec.. Anal, calcd. for C7H1306AgPN: C, 24.30; H, 3.79; N, 4.05. Found: C, 24.21; H, 3.68; N, 4.01. & NMR (CDC13): S 2.6 (s, 4 H, CH2-H), 3.7 (d, 9 H, CH3-H, J冊(cè)=13.4Hz). 13C{H} 雨R (CDC13): 5 25.1 (CH2), S 175.3 (C), 51.4 (d, JpC =5.5 Hz, CH3). IR (KBr) data (cm-1): 2951 (m), 2843 (m), 1779 (m), 1694 (s), 1672 (s)， 1650 (s), 1310 (m), 1239 (s), 1224 (s), 1182 (m), 1085 (m), 1010 (s), 7卯(s), 752 (s)， 726 (m), 666 (m), 559 (m), 523 (m).
實(shí)施例8.
(MeO)3PrAg03C4H4N的合成
P
:N—O—Ag[P(OMe)3]2
在N2氣氛下，將溶于20mL二氯甲烷的0.1240g (l.Ommol)的三甲氧基膦無 色澄清液，滴加到溶于10mL二氯甲垸的0.1109g (0.5rnrno1) W-羥基丁二酰亞胺 銀懸浮液中，-20 1:下攪拌4小時(shí)得淡黃色澄清液，在氮?dú)獗Ｗo(hù)下過濾，用油泵 抽去溶劑，得淡黃色液體，即配合物。產(chǎn)率94 %。 Anal, calcd. for C1()H2209AgP2N: C, 25.55; H， 4.72; N, 2.98. Found: C, 25.41; H, 4.58; N, 2.89. & NMR (CDC13): 5 2.6 (s, 4 H, CH2-H), 3.7 (d, 9 H, CH3-H, J冊(cè)=12.5Hz). 13C{H}麗R (CDC13): 5 25.1 (CH2), S 175.8 (C), 51.2 (d, = 5.5 Hz, CH3), IR (KBr) data (cm-1): 3450 (m), 2949 (m), 2839 (m)， 1777 (m), 1721 (m), 1673 (s), 1642 (s), 1311 (m), 1246 (s), 1182 (m), 1094 (m), 1011 (s), 791 (m), 762 (m), 729 (m), 670 (m), 524 (m).
實(shí)施例9.
分別用實(shí)施例3-8制備的配合物作為前驅(qū)體，用化學(xué)氣相沉積的方法來生長
銀薄膜材料。在以下最適宜的條件下基底Si， Si02;載氣N2， Al氣，前驅(qū)
體的氣化溫度150 300 °C，生長溫度300 500°C;載氣的流量為25 50 sccm， l-9制備的配合物均能成功的沉積出高純度的銀薄膜。薄膜呈現(xiàn)好的形貌
12
0《
Ag—O—N、
+ 2P(OMe)3_和低的電阻率。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)膦穩(wěn)定的N-羥基丁二酰亞胺銀配合物，其特征在于用下述通式表示其中n＝1，2R1＝H，CH3，CH2CH3R2＝H，CH3，CH2CH3R′＝OCH3，OCH2CH3，OCF2CF3，CH3，C2H5，i-Pr，n-Pr，n-Bu，s-Bu，i-Bu，t-Bu，Cy，Ph3。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的有機(jī)膦穩(wěn)定的iV-羥基丁二酰亞胺銀配合物，其特征在 于所述的&為H或CH3， R2為H或CH3 。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的有機(jī)膦穩(wěn)定的iV-羥基丁二酰亞胺銀配合物，其特征在 于所述的R '為CH30或C2H50或CH3或C2H5。
4.一種有機(jī)膦穩(wěn)定的iV-羥基丁二酰亞胺銀配合物的方法，其特征在于步驟如下(1) 、制備丁二酰亞胺銀在惰性氣體保護(hù)下，將N-羥基丁二酰亞胺和三乙 胺加入醇類溶劑至溶清；在-10 °C -40 'C溫度且避光條件下，向上述清液滴加 用乙腈/乙醇混合溶劑溶清的硝酸銀，滴加后攪拌2 3小時(shí)；過濾得白色固體， 用乙醇、乙醚分別洗兩遍，抽干溶劑后固體為類白色；上述N-羥基丁二酰亞胺、 三乙胺、硝酸銀反應(yīng)過程中摩爾比為1: 1: 1;(2) 、將丁二酰亞胺銀和有機(jī)膦配體的混合物置于無水有機(jī)溶劑中進(jìn)行攪拌; 在-10 °C -40 。C下攪拌反應(yīng)4小時(shí)以上；反應(yīng)結(jié)束后，過濾得澄清溶液，用油泵將溶劑抽干，即得到配合物；丁二酰亞胺銀和有機(jī)膦配體反應(yīng)過程中摩爾比為 1: 1 1: 2且制備過程在惰性氣氛且避光條件下進(jìn)行。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述有機(jī)膦穩(wěn)定的W-羥基丁二酰亞胺銀配合物的合成方法， 其特征在于所述的惰性氣氛為氮?dú)狻?br> 6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述有機(jī)膦穩(wěn)定的iV-羥基丁二酰亞胺銀配合物的合成方法， 其特征在于所述的無水有機(jī)溶劑為二氯甲烷或氯仿或l， 2-二氯乙烷。
7. —種有機(jī)膦穩(wěn)定的iV-羥基丁二酰亞胺銀配合物在制備銀薄膜材料方面的應(yīng) 用。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種有機(jī)膦穩(wěn)定的N-羥基丁二酰亞胺銀配合物及其合成方法及其在制備銀薄膜方面的應(yīng)用，涉及金屬有機(jī)配合物及其合成方法。該N-羥基丁二酰亞胺銀配合物用下述通式表示該配合物。它具有穩(wěn)定性好，分解溫度低，合成簡單，操作方便，產(chǎn)率高，成本低等優(yōu)點(diǎn)，可用來制作銀薄膜材料。
文檔編號(hào)C07F1/00GK101585857SQ20091002773
公開日2009年11月25日 申請(qǐng)日期2009年5月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月19日
發(fā)明者張冬梅, 徐慧華, 李月琴, 杜芳黎, 沈應(yīng)中, 寧 王, 弦 陶 申請(qǐng)人:南京航空航天大學(xué)