專(zhuān)利名稱(chēng)：感光樹(shù)脂組合物和使用該感光樹(shù)脂組合物的干膜抗蝕劑的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種堿溶性感光樹(shù)脂組合物和使用該感光樹(shù)脂組合物的干膜抗蝕劑，更具體地，涉及一種用于Cu基底或ITO基底蝕刻的感光樹(shù)脂組合物和使用該感光樹(shù)脂組合物的干膜抗蝕劑。
背景技術(shù)：
隨近來(lái)電子設(shè)備的高度集成，對(duì)具有窄配線和絕緣區(qū)圖案的高度集成電路的需求正增加。并且，對(duì)具有優(yōu)良的耐熱性、耐化學(xué)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性的干膜抗蝕劑的需求也正在增加。
常規(guī)干膜抗蝕劑在對(duì)基底的粘附性和溶解性方面受限制。為了克服這些問(wèn)題，使用如硅烷偶聯(lián)劑的粘性增強(qiáng)劑。
然而，由于粘性增強(qiáng)劑本身不穩(wěn)定，因此，其易于破壞組合物的儲(chǔ)存穩(wěn)定性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是通過(guò)使含有磷酸酯的丙烯酸酯單體與聚合物樹(shù)脂共聚合而提供一種具有優(yōu)良的儲(chǔ)存穩(wěn)定性和改善的粘附性的丙烯酸酯樹(shù)脂及其制備方法。
本發(fā)明的另一目的是提供一種具有優(yōu)良的圖案形成能力、粘附性、儲(chǔ)存穩(wěn)定性、耐熱性、耐化學(xué)性和溶解性的使用丙烯酸酯共聚物樹(shù)脂的感光樹(shù)脂組合物。
本發(fā)明的再一目的是提供一種使用感光樹(shù)脂組合物的干膜抗蝕劑。
為了實(shí)現(xiàn)這些目的，本發(fā)明提供了一種由以下化學(xué)式1表示的丙烯酸酯樹(shù)脂化學(xué)式1 其中，R1為氫、或具有或不具有芳基或羥基的C1-C6烷基；R2為氫或甲基；R3為五乙二醇、五丙二醇或六乙二醇；n為8～40的整數(shù)；并且m為1～4的整數(shù)。
本發(fā)明也提供了一種制備由化學(xué)式1表示的丙烯酸酯樹(shù)脂的方法，該方法包括在溶劑中使a)20～50wt％不飽和碳酸、b)15～45wt％芳族單體、c)1～15wt％含有磷酸酯的單體和d)10～30wt％丙烯酰基單體共聚合的步驟。
本發(fā)明進(jìn)一步提供了一種包括由化學(xué)式1表示的丙烯酸酯樹(shù)脂的堿溶性感光樹(shù)脂組合物。
本發(fā)明的感光樹(shù)脂組合物優(yōu)選地包括a)30～60wt％的由化學(xué)式1表示的丙烯酸酯樹(shù)脂；b)5～30wt％的具有至少兩個(gè)乙烯雙鍵的交聯(lián)單體；c)0.5～10wt％的光聚合引發(fā)劑；d)0.5～3wt％的染料和著色劑；e)0.2～1wt％的添加劑；和f)溶劑。
本發(fā)明進(jìn)一步提供了一種使用上述堿溶性感光樹(shù)脂組合物而獲得的干膜抗蝕劑。
以下更詳細(xì)地描述本發(fā)明。
本發(fā)明的特征在于有效改進(jìn)粘附性的含磷酸酯的丙烯酸酯樹(shù)脂及其制備方法。
制備本發(fā)明的丙烯酸酯樹(shù)脂所用的單體包括a)不飽和碳酸、b)芳族單體、c)含磷酸酯的單體和d)丙烯?；鶈误w。
不飽和碳酸用于提供在堿中的溶解性。對(duì)于不飽和碳酸，可以使用一種或多種選自包括丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、順丁烯二酸、反丁烯二酸、乙烯基乙酸及其酸酐的組的化合物。優(yōu)選地，包括20～50wt％的不飽和碳酸。如果聚合物中不飽和碳酸的含量超過(guò)50wt％，則在聚合過(guò)程中易于發(fā)生凝膠化，聚合度的控制變難，以及感光樹(shù)脂組合物的儲(chǔ)存穩(wěn)定性變差。另外，如果不飽和碳酸的含量低于20wt％，則顯影時(shí)間延長(zhǎng)。
芳族單體用于提供與基底優(yōu)良的粘附性和顯影過(guò)程中穩(wěn)定圖案的形成。對(duì)于芳族單體，可以使用苯乙烯、甲基丙烯酸芐酯、丙烯酸芐酯、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸2-或4-硝基苯酯、甲基丙烯酸2-或4-硝基苯酯、甲基丙烯酸2-或4-硝基芐酯、丙烯酸2-或4-氯苯酯、甲基丙烯酸2-或4-氯苯酯。芳族單體的含量?jī)?yōu)選為15～45wt％，更優(yōu)選為20～40wt％。如果芳族單體的含量超過(guò)45wt％，則顯影時(shí)間延長(zhǎng)，組合物變脆，而耐熱性提高，從而在燒結(jié)過(guò)程中不易去除感光樹(shù)脂。另外，如果芳族單體的含量低于15wt％，則在顯影過(guò)程中與玻璃板的粘附性降低，從而圖案剝離嚴(yán)重，圖案線性加劇，因此難以獲得穩(wěn)定的圖案。
尤其地，包含痕量的含磷酸酯的單體改善粘附性并調(diào)節(jié)聚合物的酸值。含磷酸酯的單體可以根據(jù)含雙鍵的甲基丙烯酸酯的末端官能團(tuán)而變化。例如，可以使用單甲基丙烯酸五乙二醇酯、單甲基丙烯酸五丙二醇酯、單甲基丙烯酸六乙二醇酯等。含磷酸酯的單體的含量?jī)?yōu)選為1～15wt％，更優(yōu)選為5～10wt％。如果含磷酸酯的單體的含量超過(guò)15wt％，則由于抗堿性差，從而在聚合過(guò)程中可能發(fā)生凝膠化，在顯影過(guò)程中圖案剝離嚴(yán)重和圖案線性加劇。另外，如果含磷酸酯的單體的含量低于1wt％，則膜的粘附性沒(méi)有得到改善。
丙烯?；鶈误w控制聚合物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度和極性。對(duì)于丙烯?；鶈误w，可以使用(甲基)丙烯酸2-羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥辛酯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯和丙烯酸正丁酯。考慮到聚合物的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度、耐熱性和與顯影溶液的親合性，該單體的含量?jī)?yōu)選為10～30wt％。
含磷酸酯的丙烯酸酯共聚合樹(shù)脂可以由在具有防止四種單體凝膠化的極性的溶劑中聚合而獲得。該溶劑的優(yōu)選例子為四氫呋喃、二惡烷、二甲基氨基甲醛、甲基乙基酮、卡必醇和γ-丁內(nèi)酯。
可以根據(jù)常規(guī)共聚合方法進(jìn)行聚合。優(yōu)選地，聚合在40～80℃下進(jìn)行4～10小時(shí)，但不限于此。
本發(fā)明的特征也在于提供良好的與基底的粘附性、即使以低曝光量也具有優(yōu)良的圖案形成能力、突出的顯影特性、優(yōu)良的儲(chǔ)存穩(wěn)定性和高溶解性的使用含磷酸酯的丙烯酸酯樹(shù)脂的用于干膜抗蝕劑的感光樹(shù)脂組合物。
優(yōu)選地，本發(fā)明的用于干膜抗蝕劑的感光樹(shù)脂組合物含有a)30～60wt％的含磷酸酯的丙烯酸酯樹(shù)脂；b)5～30wt％的具有至少兩個(gè)乙烯雙鍵的交聯(lián)單體；c)0.5～10wt％的光聚合引發(fā)劑；d)0.5～3wt％的染料和著色劑；e)0.2～1wt％的添加劑；和f)溶劑。
該含磷酸酯的丙烯酸酯樹(shù)脂由化學(xué)式1表示，并且優(yōu)選地具有20,000～100,000、更優(yōu)選30,000～70,000的分子量。優(yōu)選地，該聚合物具有至少100℃的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度。如果玻璃化轉(zhuǎn)變溫度低于100℃，則組合物可以從干膜中泄漏(冷流)。
優(yōu)選地，每100wt％的本發(fā)明的感光樹(shù)脂組合物包括30～60wt％的由化學(xué)式1表示的丙烯酸酯樹(shù)脂。如果丙烯酸酯樹(shù)脂的含量低于30wt％，則圖案形成變難。另外，如果丙烯酸酯樹(shù)脂的含量超過(guò)60wt％，則感光樹(shù)脂組合物的軟化點(diǎn)提高，從而干膜的柔軟性變差。
具有至少兩個(gè)乙烯雙鍵的交聯(lián)單體的例子為二丙烯酸1，4-丁二醇酯、二丙烯酸1，3-丁二醇酯、二丙烯酸乙二醇酯、四丙烯酸季戊四醇酯、二丙烯酸三乙二醇酯、二丙烯酸聚乙二醇酯、二丙烯酸二季戊四醇酯、三丙烯酸山梨糖醇酯、二丙烯酸雙酚A酯衍生物、三丙烯酸三甲基丙酯、聚丙烯酸二季戊四醇酯及其甲基丙烯酸酯。
每100wt％的感光樹(shù)脂組合物，優(yōu)選含有5～30wt％、更優(yōu)選5～20wt％的該具有至少兩個(gè)乙烯雙鍵的交聯(lián)單體。如果該交聯(lián)單體的含量低于5wt％，則由于感光樹(shù)脂的低度固化，從而圖案形成變難。另外，如果該交聯(lián)單體的含量超過(guò)30wt％，則由于高度固化，從而在顯影過(guò)程中圖案剝離嚴(yán)重并且圖案線性變差。
對(duì)于光聚合引發(fā)劑，可以使用一種或多種選自包括三嗪、安息香、苯乙酮、咪唑、和噸酮的組的化合物。光聚合引發(fā)劑的具體例子為2，4-二三氯甲基-6-p-甲氧苯乙烯基-s-三嗪、2-p-甲氧苯乙烯基-4，6-二三氯甲基-s-三嗪、2，4-三氯甲基-6-三嗪、2，4-三氯甲基-4-甲基萘基-6-三嗪、二苯甲酮、p-(二乙基氨基)二苯甲酮、2，2-二氯-4-苯氧苯乙酮、2，2’-二乙氧苯乙酮、2，2’-二丁氧苯乙酮、2-羥基-2-甲基苯丙酮、p-叔丁基三氯苯乙酮、2-甲基噻噸酮、2-異丁基噻噸酮、2-十二烷基噻噸酮、2，4-二甲基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮和2，2’-二-2-氯苯基-4，5，4’，5’-四苯基-2’-1，2’-二咪唑。
每100wt％組合物，優(yōu)選地含有0.5～10wt％、更優(yōu)選2～5wt％的光聚合引發(fā)劑。如果光聚合引發(fā)劑的含量低于0.5wt％，則由于低靈敏性，從而正常的圖案形成變難，并且圖案線性變差。否則，如果光聚合引發(fā)劑的含量超過(guò)10wt％，則由于高度固化，從而儲(chǔ)存穩(wěn)定性變差，并且顯影過(guò)程中圖案剝離嚴(yán)重。
染料和著色劑的例子為無(wú)色結(jié)晶紫、三溴甲基苯基砜、金剛石綠GH、羅丹明B、槐黃堿、副品紅、甲基橙、亞甲基藍(lán)、結(jié)晶紫、乙基紫、酞菁綠、堿性染料商別致藍(lán)20(basic dye man chic blue 20)和夜綠B(night green B)?？梢詥为?dú)或結(jié)合使用這些化合物。
優(yōu)選地，每100wt％的組合物，含有0.5～3wt％的染料和著色劑。如果染料和著色劑的含量低于0.5wt％，則難以通過(guò)曝光而獲得鮮明的色彩。否則，如果染料和著色劑的含量超過(guò)3wt％，則曝光靈敏性可能降低。
添加劑改善涂覆特性。對(duì)于添加劑，每100wt％的感光樹(shù)脂組合物，可以使用0.2～1wt％的硅或氟基表面活性劑。如果添加劑的含量低于0.2wt％，則組合物的均涂特性惡化，從而難以獲得均勻的干膜。另外，如果添加劑的含量超過(guò)1wt％，則圖案形成可能變難。
基于溶解性和涂覆特性選擇溶劑。溶劑的具體例子為乙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、環(huán)己酮、乙基-3-甲氧基丙酸酯、甲基-3-乙氧基丙酸酯、乙基-3-乙氧基丙酸酯、甲基乙基酮、異丙醇、乙醇和甲醇?？梢詥为?dú)或結(jié)合使用這些溶劑。由其它組分決定溶劑的含量。也就是，使總感光樹(shù)脂組合物的含量為100wt％，從而確定溶劑的含量。。
列舉一個(gè)制備干膜抗蝕劑的優(yōu)選實(shí)施例，使用涂覆器將感光樹(shù)脂組合物涂布在聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯膜(以下稱(chēng)為PET膜)上至均勻膜厚度，而后干燥以形成感光樹(shù)脂組合物層。然后，使用橡膠輥，將聚乙烯膜(以下稱(chēng)為PE膜)壓在干的感光樹(shù)脂組合物層上，以使無(wú)泡沫殘留，從而獲得光敏性的干膜抗蝕劑。
如上所述，本發(fā)明通過(guò)使對(duì)于改善粘附性有效的含磷酸酯的丙烯酸酯單體和聚合物樹(shù)脂共聚合，從而提供了一種具有優(yōu)良的儲(chǔ)存穩(wěn)定性和改善的粘附性的丙烯酸酯樹(shù)脂。
因此，本發(fā)明的包括含磷酸酯的丙烯酸酯樹(shù)脂的感光樹(shù)脂組合物具有優(yōu)良的圖案形成能力、粘附性、儲(chǔ)存穩(wěn)定性、耐熱性和耐化學(xué)性以及高溶解性，從而其適于蝕刻Cu基底或ITO基底、以及制備用于電子設(shè)備的干膜抗蝕劑。
具體實(shí)施例方式
以下，通過(guò)實(shí)施例更詳細(xì)地描述本發(fā)明。但是，以下實(shí)施例僅用于理解本發(fā)明，它們并不限制本發(fā)明。除非特別指出，否則，實(shí)施例中的百分比和混合比例是基于重量的。
制備實(shí)施例1和2、對(duì)比制備實(shí)施例1和2(聚合物樹(shù)脂的制備)根據(jù)以下表1中所示的組分和含量，制備由化學(xué)式1表示的丙烯酸酯共聚物樹(shù)脂(制備實(shí)施例1和2)、以及常規(guī)使用的丙烯酸酯共聚物樹(shù)脂(對(duì)比制備實(shí)施例1和2)。70wt％的四氫呋喃(TFH)用作聚合溶劑。使用低溫引發(fā)劑在45℃下進(jìn)行聚合。
表1


在表1中，BM代表甲基丙烯酸芐酯；MA代表甲基丙烯酸；PAM-100和PAM-200為由RHODIA制備的含磷酸酯的甲基丙烯酸酯；HEMA代表甲基丙烯酸-2-羥乙酯；以及MMA代表甲基丙烯酸甲酯。
實(shí)施例1～5和對(duì)比實(shí)施例1～3(感光樹(shù)脂組合物的制備)將交聯(lián)單體、光聚合引發(fā)劑、染料和著色劑加到丙烯酸酯共聚物樹(shù)脂中，下面表2示出各組成和含量。組分溶解后，在室溫下攪拌混合物2小時(shí)，從而得到感光樹(shù)脂組合物。用500-目的濾器過(guò)濾所得的感光樹(shù)脂組合物，從而除去雜質(zhì)。
表2


注)TMP(EO)3TA用環(huán)氧乙烷改性的三丙烯酸三甲基丙酯(由JapanChemical生產(chǎn))Irgacure 907由Ciba Specialty Chemical生產(chǎn)A-DMA由Hodogaya Chemical生產(chǎn)PGMEA丙二醇單甲醚乙酸酯測(cè)試實(shí)施例使用各實(shí)施例1～5和對(duì)比實(shí)施例1～3的光敏組合物制備干膜抗蝕劑。使用30μm厚的干膜抗蝕劑來(lái)評(píng)價(jià)與基底的粘附性、溶解性、抗酸性和剝離特性。
1)干膜抗蝕劑的制備干燥各實(shí)施例1～5和對(duì)比實(shí)施例1～3中制備的感光樹(shù)脂組合物，并使用涂覆器將其涂布在25μm厚的PET膜上至30μm厚的膜。然后，干燥，從而形成感光樹(shù)脂組合物層。使用橡膠輥，將0μm厚度PE膜壓在干的感光樹(shù)脂組合物層上，以使無(wú)泡沫殘留，從而獲得光敏干膜抗蝕劑。
2)粘附性的評(píng)價(jià)在將PE膜從所得的干膜抗蝕劑剝離后，使用80℃的熱輥將該感光樹(shù)脂組合物層壓在基底上。在以70mJ/m2曝光所有表面后，剝離PET膜，并且根據(jù)STM D3359進(jìn)行橫切試驗(yàn)。粘附性評(píng)價(jià)結(jié)果如以下表3所示。
0B破裂為片，并且超過(guò)65％脫離。
1B在切割部位，邊緣和網(wǎng)格的35％～65％脫離。
2B在切割部位，邊緣和網(wǎng)格的15％～35％脫離。
3B在切割部位，5％～15％的交叉脫離。
4B在切割部位，少于5％的交叉脫離。
5B切割部位的邊緣光滑，且無(wú)網(wǎng)格脫離。
表3粘附性評(píng)價(jià)


如表3所示，本發(fā)明的感光樹(shù)脂組合物(實(shí)施例1～5)顯示優(yōu)于對(duì)比實(shí)施例1～3的極佳粘附性。
3)溶解性、抗酸性和剝離特性的測(cè)試對(duì)于各30μm厚的干膜抗蝕劑，評(píng)價(jià)其溶解性、蝕刻基底過(guò)程中的抗酸性和對(duì)于堿的剝離特性。測(cè)試結(jié)果如表4所示。
*溶解性在30℃下、在0.4％Na2CO3溶液中浸沒(méi)60秒后進(jìn)行評(píng)價(jià)。
*抗酸性在60℃下、在王水中浸沒(méi)60秒后進(jìn)行評(píng)價(jià)。
*剝離特性在55℃下、在0.4％KOH溶液中浸沒(méi)40秒后進(jìn)行評(píng)價(jià)。
表4溶解性、抗酸性和剝離特性的評(píng)價(jià)


如表4所示，與常規(guī)的組合物相比，本發(fā)明的感光樹(shù)脂組合物(實(shí)施例1～5)即使在低曝光量下也顯示優(yōu)良的顯影特性和溶解性，以及顯示良好的抗酸性和剝離特性。
權(quán)利要求
1.一種由以下化學(xué)式1表示的丙烯酸酯樹(shù)脂化學(xué)式1 其中，R1為氫、具有或不具有芳基或羥基的C1-C6烷基；R2為氫或甲基；R3為五乙二醇、五丙二醇或六乙二醇；n為8～40的整數(shù)；并且m為1～4的整數(shù)。
2.一種制備權(quán)利要求1的丙烯酸酯樹(shù)脂的方法，包括在溶劑中使a)20～50wt％不飽和碳酸、b)15～45wt％芳族單體、c)1～15wt％含有磷酸酯的單體、和d)10～30wt％丙烯?；鶈误w共聚合的步驟。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的制備丙烯酸酯樹(shù)三脂的方法，其中，所述的不飽和碳酸為一種或多種選自包括丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、順丁烯二酸、反丁烯二酸、乙烯基乙酸及其酸酐的組的化合物。
4.根據(jù)權(quán)利要求2的制備丙烯酸酯樹(shù)脂的方法，其中，所述芳族單體為一種或多種選自包括苯乙烯、甲基丙烯酸芐酯、丙烯酸芐酯、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸2-或4-硝基苯酯、甲基丙烯酸2-或4-硝基苯酯、甲基丙烯酸2-或4-硝基芐酯、丙烯酸2-或4-氯苯酯和甲基丙烯酸2-或4-氯苯酯的組的化合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求2的制備丙烯酸酯樹(shù)脂的方法，其中，所述的含有磷酸酯的單體為一種或多種選自包括單甲基丙烯酸五乙二醇酯、單甲基丙烯酸五丙二醇酯和單甲基丙烯酸六乙二醇酯的組的化合物。
6.根據(jù)權(quán)利要求2的制備丙烯酸酯樹(shù)脂的方法，其中，所述丙烯?；鶈误w為一種或多種選自包括(甲基)丙烯酸2-羥乙基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基辛酯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯和丙烯酸正丁酯的組的化合物。
7.根據(jù)權(quán)利要求2的制備丙烯酸酯樹(shù)脂的方法，其中，所述溶劑為一種或多種選自包括四氫呋喃、二惡烷、二甲氨基甲醛、甲基乙基酮、卡必醇和γ-丁內(nèi)酯的組的化合物。
8.一種包括由以下化學(xué)式1表示的丙烯酸酯樹(shù)脂的堿溶性感光樹(shù)脂組合物化學(xué)式1 其中，R1為氫、具有或不具有芳基或羥基的C1-C6烷基；R2為氫或甲基；R3為五乙二醇、五丙二醇或六乙二醇；n為8～40的整數(shù)；并且m為1～4的整數(shù)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的堿溶性感光樹(shù)脂組合物，其包括a)由化學(xué)式1表示的丙烯酸酯樹(shù)脂；b)具有至少兩個(gè)乙烯雙鍵的交聯(lián)單體；c)光聚合引發(fā)劑；d)染料和著色劑；e)添加劑；和f)溶劑。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的堿溶性感光樹(shù)脂組合物，包括a)30～60wt％的由化學(xué)式1表示的丙烯酸酯樹(shù)脂；b)5～30wt％的具有至少兩個(gè)乙烯雙鍵的交聯(lián)單體；c)0.5～10wt％的光聚合引發(fā)劑；d)0.5～3wt％的染料和著色劑；e)0.2～1wt％的添加劑；和f)溶劑。
11.根據(jù)權(quán)利要求8～10中任意一項(xiàng)的堿溶性感光樹(shù)脂組合物，其中，由化學(xué)式1表示的丙烯酸酯樹(shù)脂具有20,000～100,000的分子量。
12.根據(jù)權(quán)利要求9的堿溶性感光樹(shù)脂組合物，其中，所述具有至少兩個(gè)乙烯雙鍵的交聯(lián)單體為一種或多種選自包括二丙烯酸1，4-丁二醇酯、二丙烯酸1，3-丁二醇酯、二丙烯酸乙二醇酯、四丙烯酸季戊四醇酯、二丙烯酸三乙二醇酯、二丙烯酸聚乙二醇酯、二丙烯酸二季戊四醇酯、三丙烯酸山梨糖醇酯、二丙烯酸雙酚A酯衍生物、三丙烯酸三甲基丙酯、聚丙烯酸二季戊四醇酯及其甲基丙烯酸酯的組的化合物。
13.根據(jù)權(quán)利要求9的堿溶性感光樹(shù)脂組合物，其中，所述光聚合引發(fā)劑為一種或多種選自包括2，4-二三氯甲基-6-p-甲氧苯乙烯基-s-三嗪、2-p-甲氧苯乙烯基-4，6-二三氯甲基-s-三嗪、2，4-三氯甲基-6-三嗪、2，4-三氯甲基-4-甲基萘基-6-三嗪、二苯甲酮、p-(二乙基氨基)二苯甲酮、2，2-二氯-4-苯氧苯乙酮、2，2’-二乙氧苯乙酮、2，2’-二丁氧苯乙酮、2-羥基-2-甲基苯丙酮、p-叔丁基三氯苯乙酮、2-甲基噻噸酮、2-異丁基噻噸酮、2-十二烷基噻噸酮、2，4-二甲基噻噸酮、2，4-二乙基噻噸酮和2，2’-二-2-氯苯基-4，5，4’，5’-四苯基-2’-1，2’-二咪唑的組的化合物。
14.根據(jù)權(quán)利要求9的堿溶性感光樹(shù)脂組合物，其中，所述的染料和著色劑為一種或多種選自包括無(wú)色結(jié)晶紫、三溴甲基苯基砜、金剛石綠GH、羅丹明B、槐黃堿、副品紅、甲基橙、亞甲基藍(lán)、結(jié)晶紫、乙基紫、酞菁綠、堿性染料商別致藍(lán)20和夜綠B的組的化合物。
15.根據(jù)權(quán)利要求9的堿溶性感光樹(shù)脂組合物，其中，所述添加劑為一種或多種選自包括氟和硅基化合物的組的化合物。
16根據(jù)權(quán)利要求9的堿溶性感光樹(shù)脂組合物，其中，所述溶劑為一種或多種選自包括乙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單甲醚、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、環(huán)己酮、乙基-3-甲氧基丙酸酯、甲基-3-乙氧基丙酸酯、乙基-3-乙氧基丙酸酯、甲基乙基酮、異丙醇、乙醇和甲醇的組的化合物。
17.一種通過(guò)使用權(quán)利要求8的堿溶性感光樹(shù)脂組合物而獲得的干膜抗蝕劑。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種堿溶性感光樹(shù)脂組合物以及使用該感光樹(shù)脂組合物的干膜抗蝕劑，更具體地涉及一種通過(guò)包括對(duì)于改善粘附性有效的丙烯酸酯樹(shù)脂而具有優(yōu)良的耐熱性、耐化學(xué)性、和長(zhǎng)期穩(wěn)定性、以及對(duì)Cu或ITO(氧化銦錫)基底具有優(yōu)良的粘附性的感光樹(shù)脂組合物，以及使用該感光樹(shù)脂組合物的光敏干膜抗蝕劑。
文檔編號(hào)C08F220/06GK1784633SQ200480012068
公開(kāi)日2006年6月7日 申請(qǐng)日期2004年5月6日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月7日
發(fā)明者金奉玘, 樸圣模, 樸贊碩 申請(qǐng)人:東進(jìn)世美肯株式會(huì)社