專利名稱：超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物及其制備方法以及包含其的產(chǎn)品及其應(yīng)用的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及靜電敏感電子元器件組裝工序中的工裝夾具材料和包裝材料所用的超潔凈防靜電/導(dǎo)電/屏蔽工程塑料，尤其涉及一種超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物、其制備方法以及利用該組合物制備的產(chǎn)品和在屏蔽電磁場(chǎng)中的應(yīng)用。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體和晶片技術(shù)的快速發(fā)展以及半導(dǎo)體和晶片制造業(yè)的蓬勃興起，靜電敏感電子元器件的生產(chǎn)工序?qū)ぱb夾具(主要包括用于盛裝和傳輸電子元件的托盤(pán)等)及包裝材料的要求也越來(lái)越高，主要體現(xiàn)在對(duì)工裝夾具和包裝材料的防靜電性能和潔凈性能的要求越來(lái)越嚴(yán)。
半導(dǎo)體和晶片技術(shù)領(lǐng)域中需要使用大量的盛裝和傳輸電子元件的托盤(pán)以及各種用于包裝半導(dǎo)體器件的包裝材料，隨著半導(dǎo)體器件的小型化、微型化，生產(chǎn)工序中所使用的與半導(dǎo)體器件接觸的各種工裝夾具和包裝材料的防靜電性能必須不斷提高，否則會(huì)造成器件在與工裝夾具和包裝材料接觸時(shí)被存在的靜電損壞(這種損壞有時(shí)難以檢測(cè))，造成嚴(yán)重后果。而且由于器件越來(lái)越小，工裝夾具和包裝材料的潔凈性能也必須不斷提高，否則會(huì)出現(xiàn)器件被污染、玷污的情況，造成器件質(zhì)量下降甚至損壞。
然而，目前該領(lǐng)域中所使用的工裝夾具和包裝材料主要利用各種工程塑料，例如聚醚酰亞胺或稱聚酰亞胺醚(PEI)、聚碳酸酯(PC)、聚苯醚(PPO)和聚甲醛(POM)等，難以滿足該領(lǐng)域中不斷提高的防靜電性能和潔凈性能要求。
目前正在使用的材料通常是在塑料基材中添加導(dǎo)電纖維、導(dǎo)電碳黑和金屬粉等來(lái)解決材料的防靜電性能。以聚醚酰亞胺為例，如圖1所示，圖1為現(xiàn)有技術(shù)的聚醚酰亞胺(PEI)中添加導(dǎo)電碳纖維的電子顯微照片，圖中圓柱狀的添加物即是導(dǎo)電碳纖維，其余是塑料基材。
圖2及圖3進(jìn)一步說(shuō)明了這種傳統(tǒng)技術(shù)的缺陷。圖2也是現(xiàn)有技術(shù)的聚醚酰亞胺(PEI)中添加導(dǎo)電碳纖維的電子顯微照片，其中的圓圈即是導(dǎo)電碳纖維，圖3中箭頭所指的是導(dǎo)電碳纖維部位的放大圖)，圖中顯示，導(dǎo)電碳纖維周圍是不導(dǎo)電的塑料基材，其分布的不均勻性顯露無(wú)遺。圖1和圖2顯示的是同一試樣中不同部位的照片。圖1、圖2、圖3中顯示，現(xiàn)有技術(shù)中導(dǎo)電碳纖維在塑料基材中分布不均勻，導(dǎo)電碳纖維密集的地方呈現(xiàn)出較好的防靜電性能，而導(dǎo)電碳纖維疏松的地方則表現(xiàn)出絕緣性。而且，現(xiàn)有技術(shù)中的材料的潔凈性也有待提高。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了克服半導(dǎo)體領(lǐng)域中現(xiàn)有的工裝夾具和包裝材料存在的缺陷，采用了納米級(jí)的導(dǎo)電碳管/納米級(jí)的導(dǎo)電碳黑與塑料基材共混，有針對(duì)性地解決了導(dǎo)電添加物分散不均勻的問(wèn)題。實(shí)現(xiàn)了材料在防靜電性能和潔凈性能方面的提高。
本發(fā)明提供一種超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物，主要包括塑料基材63～98％，納米級(jí)碳管和/或納米級(jí)碳黑1～30％，偶聯(lián)劑0.1～0.5％，分散劑0.1～5％，抗氧化劑0.5～1.5％。
根據(jù)本發(fā)明的超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物，其中所述塑料基材選自由聚醚酰亞胺(PEI)、聚碳酸酯(PC)、聚苯醚(PPO)和聚甲醛(POM)、聚烯烴組成的組。
根據(jù)本發(fā)明的的超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物，其中所述偶聯(lián)劑選自有機(jī)鉻絡(luò)合物、硅烷類偶聯(lián)劑、鈦酸酯類偶聯(lián)劑和鋯類偶聯(lián)劑。
根據(jù)本發(fā)明的根據(jù)本發(fā)明的超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物，其中所述分散劑選自石蠟油、聚乙烯蠟、氧化聚乙烯蠟、脂肪酸皂類、脂肪酸酯類、脂肪酰胺類以及酯類。
根據(jù)本發(fā)明的超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物，其中所述抗氧化劑選自有機(jī)亞磷酸酯和受阻酚。
本發(fā)明還提供一種超潔凈防靜電樹(shù)脂材料的制備方法，包括以下步驟1)混合以下組分塑料基材63～98％，納米碳管/碳黑1～30％，偶聯(lián)劑0.1～0.5％，分散劑0.1～5％，抗氧化劑0.5～1.5％；2)利用雙螺桿造粒機(jī)將前一步驟中得到的混合物造粒，得到超潔凈防靜電樹(shù)脂材料。
本發(fā)明還提供用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的超潔凈防靜電產(chǎn)品，其由根據(jù)本發(fā)明的超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物形成。在一個(gè)實(shí)施例中，該產(chǎn)品為用于盛裝和傳輸電子元件的托盤(pán)。
本發(fā)明還提供該超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物在屏蔽電磁場(chǎng)中的應(yīng)用。
根據(jù)本發(fā)明的材料具有良好的防靜電性能，納米級(jí)的導(dǎo)電碳管/碳黑均勻分布在塑料基材中，不易脫落，可以達(dá)到超潔凈的要求。而且根據(jù)本發(fā)明提供的材料具有一定的屏蔽性。


圖1是現(xiàn)有技術(shù)的聚醚酰亞胺(PEI)中添加導(dǎo)電碳纖維的電子顯微照片(SEM，500倍)。
圖2是現(xiàn)有技術(shù)的聚醚酰亞胺(PEI)中添加導(dǎo)電碳纖維的另一張電子顯微照片(SEM，500倍)，其與圖1顯示的是同一試樣的不同部位。
圖3是圖2中的電子顯微照片的局部放大圖(SEM，2000倍)。
圖4顯示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的透射電鏡(TEM)照片。
圖5顯示根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的掃描電鏡(SEM)照片。
具體實(shí)施例方式
組合物本發(fā)明提供一種超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物，包括塑料基材63～98％，納米級(jí)碳管和/或碳黑1～30％，偶聯(lián)劑0.1～0.5％，分散劑0.1～5％，抗氧化劑0.5～1.5％。其中，各組分的含量為基于組合物的總質(zhì)量的質(zhì)量百分含量，如無(wú)特殊說(shuō)明，本申請(qǐng)的中的含量或百分含量均為質(zhì)量含量。
塑料基材適用于本發(fā)明的塑料基材為各種熱塑性樹(shù)脂，優(yōu)選為熱塑性工程塑料，例如聚醚酰亞胺或稱聚酰亞胺醚(PEI)、聚碳酸酯(PC)、聚苯醚(PPO)和聚甲醛(POM)、聚烯烴(如聚乙烯、聚丙烯)等。作為熱塑性樹(shù)脂實(shí)例，可以采用聚醚酰亞胺、聚苯醚、聚甲醛、聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯、聚偏氯乙烯、ABS樹(shù)脂、聚苯乙烯、丙烯腈-苯乙烯樹(shù)脂、(甲基)丙烯酸樹(shù)脂、聚乙烯醇、EVA、聚酰胺樹(shù)脂、聚縮醛樹(shù)脂、聚碳酸酯樹(shù)脂、聚酯樹(shù)脂、聚四氟乙烯、氟樹(shù)脂、聚亞胺、聚酰亞胺等的熱塑性樹(shù)脂，以及這些物質(zhì)的混合物。
熱塑性樹(shù)脂優(yōu)選具有與碳納米管的親和性高、具有一定長(zhǎng)度的分子長(zhǎng)度、具有柔軟性等特性。該熱塑性樹(shù)脂優(yōu)選具有1萬(wàn)至100萬(wàn)，更優(yōu)選具有5萬(wàn)至30萬(wàn)的平均分子量。在該范圍內(nèi)，熱塑性樹(shù)脂分子相互接合，使得樹(shù)脂分子容易進(jìn)入到的碳納米管之間，因此使得碳納米管均勻分散在樹(shù)脂基體中?，F(xiàn)有技術(shù)中使用的各種熱塑性樹(shù)脂均適用于本發(fā)明。根據(jù)本發(fā)明，熱塑性樹(shù)脂的用量為材料總質(zhì)量的63％至98％。
納米級(jí)碳管或納米級(jí)碳黑納米級(jí)碳管(又稱為碳納米管或納米導(dǎo)電碳管)包括圓筒狀的單層結(jié)構(gòu)或者這些圓筒結(jié)構(gòu)配置成套管狀的多層結(jié)構(gòu)。即，碳納米管可以由單層構(gòu)成，也可以由多層構(gòu)成，還可以同時(shí)包括單層結(jié)構(gòu)和多層結(jié)構(gòu)。并且，還可以使用部分包括碳納米管結(jié)構(gòu)的碳材料。碳納米管平均直徑為0.5至200nm，優(yōu)選為20-100nm，更優(yōu)選為30nm以上至100nm以下。而且，碳納米管既可以是直纖維狀也可以是彎曲纖維狀。
單層碳納米管或多層碳納米管可以通過(guò)電弧放電、激光消融、氣相沉積等方法制備。電弧放電法是在壓力稍低于大氣壓的氬或氫氛圍下，在用碳棒制成的電極材料之間進(jìn)行電弧放電，從而得到堆積于陰極上的多層碳納米管的方法。另外，單層碳納米管是從在碳棒中混合鎳/鈷等催化劑并進(jìn)行電弧放電后，附著到處理容器內(nèi)側(cè)面上的碳黑中獲得的。激光消融法是一種在氬氣中，通過(guò)向作為靶的混合有鎳/鈷等催化劑的碳材料表面照射強(qiáng)脈沖激光使碳材料表面熔融、蒸發(fā)，從而獲得單層碳納米管的方法。氣相沉積法是在氣相中熱解苯、甲苯等碳?xì)浠衔镆孕纬商技{米管，更具體地，可以列舉流動(dòng)催化劑法、沸石載體催化劑法等。
優(yōu)選地，碳納米管在與樹(shù)脂材料混和之前預(yù)先進(jìn)行表面處理，例如，通過(guò)進(jìn)行離子注入處理、濺射蝕刻處理、等離子處理等，以改善與樹(shù)脂的結(jié)合。使得碳納米管可以均勻地分散在樹(shù)脂基體中。根據(jù)本發(fā)明，碳納米管的添加量為1％至30％。
納米級(jí)碳黑(納米導(dǎo)電碳黑)是納米級(jí)的碳黑粉體，其粒徑通常在100納米以下。其可由微米級(jí)碳黑制備，制備方法可參見(jiàn)中國(guó)專利申請(qǐng)200310121138.9。與納米碳管類似，碳納碳黑在與樹(shù)脂材料混和之前預(yù)先進(jìn)行表面處理，例如，通過(guò)進(jìn)行離子注入處理、濺射蝕刻處理、等離子處理等，以改善與樹(shù)脂的結(jié)合。納米碳黑的添加量為1％至30％。
根據(jù)本發(fā)明，納米級(jí)碳管與納米級(jí)碳黑可分別加入到樹(shù)脂組合物中?？蛇x地，兩者也可同時(shí)加入到樹(shù)脂組合物中。
偶聯(lián)劑偶聯(lián)劑是具有兩種不同性質(zhì)的基團(tuán)的物質(zhì)，其中一部分基團(tuán)可以與樹(shù)脂分子反應(yīng)或結(jié)合，另一部分基團(tuán)用于與碳納米管結(jié)合，從而增強(qiáng)樹(shù)脂材料與碳納米管之間的結(jié)合性。由于本發(fā)明的材料需要同時(shí)具有良好的防靜電性能，必須將碳納米管與樹(shù)脂均勻混合，使得碳納米管均勻地分散在樹(shù)脂分子中。同時(shí)根據(jù)本發(fā)明的材料必須具有超潔凈性能，這要求材料中的各個(gè)成分在樹(shù)脂中的穩(wěn)定性必須非常好，各個(gè)成分不能向材料表面滲透。因此，偶聯(lián)劑是本發(fā)明中的一個(gè)必要的組分，其加入量為質(zhì)量比的0.1％至0.5％。
可以用于本發(fā)明的組合物的偶連劑包括有機(jī)鉻絡(luò)合物、硅烷類偶聯(lián)劑、鈦酸酯類偶聯(lián)劑和鋯類偶聯(lián)劑，優(yōu)選為硅烷類偶聯(lián)劑。其中鋯類偶聯(lián)劑為含鋁酸鋯的低分子量的無(wú)機(jī)聚合物，可以改變復(fù)合材料的流變性能。在需要改變流變性的情況下優(yōu)選為鋯類偶聯(lián)劑。
分散劑本發(fā)明的實(shí)施例中的分散劑用于改變碳納米管在塑料基材中的分散效果以提高抗靜電性能和超潔凈性?，F(xiàn)有技術(shù)中存在多種分散劑，例如烴類(石蠟油、聚乙烯蠟、氧化聚乙烯蠟等)、脂肪酸皂類、脂肪酸酯類、脂肪酰胺類以及酯類等，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)需要進(jìn)行選擇。
分散劑的種類可以根據(jù)需要進(jìn)行選擇，以便有效促進(jìn)碳納米管在基材中的分散效果。在本發(fā)明中，分散劑的使用量為組合物總重量的0.1-5％。
抗氧化劑抗氧化劑是用于提高組合物的抗老化性能的助劑，任何合適的抗氧化劑都可以用于本發(fā)明，除了具有優(yōu)良的抗氧化性能外，用于本發(fā)明的抗氧化劑還必須在成型后具有良好的耐抽出性，否則難以滿足超潔凈性的要求。本發(fā)明優(yōu)選使用以有機(jī)亞磷酸酯和受阻酚為主體的抗氧化體系穩(wěn)定劑作為抗氧化劑，當(dāng)用于本發(fā)明的組合物時(shí)，其具有良好的抗氧化性和耐抽出性。在本發(fā)明中，抗氧化劑的使用量為組合物總重量的約0.5-1.5％。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)具體的工藝條件適當(dāng)改變抗氧化劑的用量。
在熱塑性樹(shù)脂和碳納米管混合之前、混合過(guò)程中或之后，可以加入在熱塑性樹(shù)脂成型中所采用的其它已知的添加劑，例如脫模劑、顏料、塑化劑、增強(qiáng)材料、阻燃劑等。但是，加入的添加劑對(duì)于碳納米管的分散性和材料的超潔凈性不能有損害。
混合、造粒根據(jù)本發(fā)明的組合物的各個(gè)成分通過(guò)混合而得到共混物。聚合物共混物是指通過(guò)將兩種或兩種以上成分共混而獲得的混合物。共混物中各組分之間主要是物理結(jié)合，但是，在共混改性過(guò)程中，也會(huì)使得其中不同的聚合物大分子之間存在少量化學(xué)鍵，例如在強(qiáng)剪切力作用下的熔融混煉過(guò)程中，可能由于剪切作用使得大分子斷裂，產(chǎn)生大量自由基，從而形成少量嵌段或接枝共聚物。因此，共混物不同于一般的共聚高分子化合物，也不同于一般意義上的聚合物摻混物。根據(jù)本發(fā)明的組合物在共混后可以得到良好的分散性和穩(wěn)定性。
共混物主要采用機(jī)械共混法制備，即將各個(gè)組分在混合設(shè)備(如高速混合機(jī)、擠出機(jī))中均勻混合。
在共混物中，共混物的形態(tài)結(jié)構(gòu)對(duì)其性能有著至關(guān)重要的影響，而其形態(tài)結(jié)構(gòu)又首先受到參與共混的聚合物組分之間的熱力學(xué)相容性的制約，可借助偶聯(lián)劑和分散劑促進(jìn)各組分之間的相容性，使得各組分處于穩(wěn)定的混容狀態(tài)。
在根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，通過(guò)雙螺桿造粒機(jī)，經(jīng)配混將納米級(jí)碳管/納米級(jí)碳黑與塑料基材以及其它助劑混合造粒，生產(chǎn)出超潔凈防靜電材料。
利用根據(jù)本發(fā)明的超潔凈防靜電材料，經(jīng)注射、擠出、模壓等成型工藝，可以制造用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的各種工裝夾具和包裝材料等產(chǎn)品，例如用于盛裝和傳輸半導(dǎo)體器件的托盤(pán)。該產(chǎn)品具有優(yōu)良的防靜電性能和超潔凈性能。在根據(jù)本發(fā)明制備的產(chǎn)品中，納米級(jí)的導(dǎo)電碳管/碳黑均勻分布在塑料基材中，不易脫落，可以達(dá)到超潔凈的要求。傳統(tǒng)技術(shù)因?qū)щ娞砑游镌谒芰匣闹蟹植疾痪鶆?，從而呈現(xiàn)出防靜電性能的不均勻性。而根據(jù)本發(fā)明的產(chǎn)品中導(dǎo)電添加物尺寸小至納米級(jí)，并加入適當(dāng)?shù)呐悸?lián)劑、分散劑、抗氧化劑等，解決了導(dǎo)電添加物的分布均勻性問(wèn)題，從而可以同時(shí)達(dá)到高標(biāo)準(zhǔn)的防靜電要求和潔凈性要求。
另外，根據(jù)本發(fā)明的材料可通過(guò)增大導(dǎo)電納米碳管/導(dǎo)電納米碳黑的比例，減小復(fù)合材料的電阻來(lái)兼?zhèn)潆姶牌帘喂δ?。試?yàn)證明，利用本發(fā)明的材料制造的產(chǎn)品具有良好的導(dǎo)電性，具有一定的電磁屏蔽功能。
本發(fā)明的技術(shù)效果根據(jù)本發(fā)明的材料同時(shí)具備優(yōu)越的防靜電性能和潔凈性能。導(dǎo)電添加物是納米級(jí)的碳管/納米級(jí)碳黑，其均勻地分布在塑料基材中，形成導(dǎo)走靜電的通路。同時(shí)納米級(jí)的導(dǎo)電添加物與塑料基材結(jié)合緊密，不易脫落。從而實(shí)現(xiàn)同時(shí)具有良好的防靜電性能和潔凈性能，而且還具有一定的電磁屏蔽功能。
實(shí)施例納米碳管和納米碳黑采用中科院成都有機(jī)化學(xué)研究所的產(chǎn)品。偶聯(lián)劑采用揚(yáng)州立達(dá)公司的LD系列(鈦酸酯偶聯(lián)劑)和硅烷偶聯(lián)劑系列。分散劑采用揚(yáng)州立達(dá)公司的LD404(丙烯酸共聚物)?？寡趸瘎┎捎们鄭u海大化工有限公司的抗氧化劑1010(四[甲基-(3，5-二叔丁基-4-羥基苯基)丙酸]季戊四醇酯)和抗氧化劑168(亞磷酸三(2，4-二叔丁基苯基酯))。
實(shí)施例1塑料基材PEI 75g，納米碳管19.5g，硅烷偶聯(lián)劑0.5g，分散劑丙烯酸共聚物4g，抗氧化劑亞磷酸三(2，4-二叔丁基苯基酯1g。
將上述材料通過(guò)普通雙螺桿造粒機(jī)，經(jīng)配混將納米級(jí)碳管/納米級(jí)碳黑與塑料基材及助劑混合造粒，生產(chǎn)出超潔凈防靜電材料。利用實(shí)施例1的顆粒材料經(jīng)注射成型制備標(biāo)準(zhǔn)樣板，以便進(jìn)行性能試驗(yàn)。實(shí)施例1的樣板的透射電鏡(TEM)圖顯示納米碳管均勻地分散在樹(shù)脂材料中，如圖4所示。實(shí)施例1的樣板的掃描電鏡(SEM)圖顯示納米碳管均勻地分散在樹(shù)脂材料中，如圖5所示。
比較例1購(gòu)買市售現(xiàn)有的用于半導(dǎo)體器件加工的加入導(dǎo)電碳纖維的PEI產(chǎn)品作為比較例。
抗靜電性能測(cè)試，實(shí)施例1的材料與比較例1的材料的技術(shù)指標(biāo)對(duì)比結(jié)果見(jiàn)表1。
表1


上述指標(biāo)采用ESD S11.11、ASTM D257和FTMS-101C的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法測(cè)定。
超潔凈性能測(cè)試，實(shí)施例1的材料與比較例1的材料的超潔凈技術(shù)指標(biāo)對(duì)比結(jié)果見(jiàn)表2。
表2

液體顆粒數(shù)測(cè)試(LPC)步驟1.準(zhǔn)備干凈的燒杯，加入50毫升的純凈水。
2.將裝有水的燒杯放入超聲波清洗缸中振洗一分鐘，取出燒杯靜置10分鐘。
3.用激光液體顆粒計(jì)數(shù)儀測(cè)定燒杯中的水中的顆粒含量，定為空白值(顆粒數(shù)/毫升)。
4.取同樣的燒杯加入50毫升純凈水，放入要測(cè)試的標(biāo)定尺寸的樣板。
5.重復(fù)步驟2、3，得到測(cè)試的樣品的樣品值(顆粒數(shù)/毫升)。
6.結(jié)果＝(樣品值-空白值)×水量/樣品表面積(顆粒數(shù)/單位面積)。
揮發(fā)性氣體測(cè)試(SHS)步驟1.準(zhǔn)備定量的要測(cè)試樣品，稱重。
2.將樣品放入氣相色譜儀的制樣室。
3.設(shè)定氣相色譜儀的測(cè)試程序，包括溫度和時(shí)間。
4.進(jìn)入氣相色譜儀的測(cè)試程序，進(jìn)行從樣品室收集到的揮發(fā)性氣體的定性和定量分析。
5.結(jié)果＝定量值/樣品重量(μg/g)。
實(shí)施例2塑料基材PC 95g，納米碳黑4g，鈦酸酯偶聯(lián)劑LD125 0.3g，分散劑LD404 0.2g，抗氧化劑四[甲基-(3，5-二叔丁基-4-羥基苯基)丙酸]季戊四醇酯0.5g。
將上述材料通過(guò)普通雙螺桿造粒機(jī)，經(jīng)配混將納米級(jí)碳管/納米級(jí)碳黑與塑料基材及助劑混合造粒，生產(chǎn)出超潔凈防靜電材料。利用該實(shí)施例的顆粒材料經(jīng)注射成型制備標(biāo)準(zhǔn)樣板，以便進(jìn)行性能試驗(yàn)。試驗(yàn)結(jié)果如表3和表4所示。
實(shí)施例3塑料基材聚丙烯66.7g，納米碳纖維28g，硅烷偶聯(lián)劑0.5g，分散劑LD404 4g，抗氧化劑四[甲基-(3，5-二叔丁基-4-羥基苯基)丙酸]季戊四醇酯0.8g。
將上述材料通過(guò)普通雙螺桿造粒機(jī)，經(jīng)配混將納米級(jí)碳管/納米級(jí)碳黑與塑料基材及助劑混合造粒，生產(chǎn)出超潔凈防靜電材料。利用該實(shí)施例的顆粒材料經(jīng)注射成型制備標(biāo)準(zhǔn)樣板，以便進(jìn)行性能試驗(yàn)。試驗(yàn)結(jié)果如表3和表4所示抗靜電性能測(cè)試，實(shí)施例2的材料與實(shí)施例3的材料的技術(shù)指標(biāo)對(duì)比結(jié)果見(jiàn)表3。
表3

超潔凈性能測(cè)試，實(shí)施例2的材料與實(shí)施例3的材料的超潔凈技術(shù)指標(biāo)對(duì)比結(jié)果見(jiàn)表4。
表4

上述指標(biāo)采用與實(shí)施例1相同的測(cè)試方法測(cè)定。上述結(jié)果說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的組合物以及利用該組合物制備的產(chǎn)品具有良好的超潔凈性能和抗靜電性能?？梢岳斫?，利用本發(fā)明提供的組合物制造的產(chǎn)品可以用于屏蔽電磁場(chǎng)。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物，主要包括塑料基材63～98％，納米級(jí)碳管和/或納米級(jí)碳黑1～30％，偶聯(lián)劑0.1～0.5％，分散劑0.1～5％，抗氧化劑0.5～1.5％。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物，其中所述塑料基材選自由聚醚酰亞胺(PEI)、聚碳酸酯(PC)、聚苯醚(PPO)和聚甲醛(POM)、聚烯烴、聚氯乙烯、聚偏氯乙烯、ABS樹(shù)脂、聚苯乙烯、丙烯腈-苯乙烯樹(shù)脂、(甲基)丙烯酸樹(shù)脂、聚乙烯醇、聚酰胺樹(shù)脂、聚縮醛樹(shù)脂、聚碳酸酯樹(shù)脂、聚酯樹(shù)脂、聚四氟乙烯、氟樹(shù)脂、聚亞胺、聚酰亞胺組成的組。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物，其中所述偶聯(lián)劑選自有機(jī)鉻絡(luò)合物、硅烷類偶聯(lián)劑、鈦酸酯類偶聯(lián)劑和鋯類偶聯(lián)劑。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物，其中所述分散劑選自石蠟油、聚乙烯蠟、氧化聚乙烯蠟、脂肪酸皂類、脂肪酸酯類、脂肪酰胺類以及酯類。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物，其中所述抗氧化劑選自有機(jī)亞磷酸酯和受阻酚。
6.一種超潔凈防靜電樹(shù)脂材料的制備方法，包括以下步驟1)混合以下組分塑料基材63～98％，納米碳管/碳黑1～30％，偶聯(lián)劑0.1～0.5％，分散劑0.1～5％，抗氧化劑0.5～1.5％；2)利用雙螺桿造粒機(jī)將前一步驟中得到的混合物造粒，得到超潔凈防靜電樹(shù)脂材料。
7.一種用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的超潔凈防靜電產(chǎn)品，其由根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物形成。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的產(chǎn)品，其中所述產(chǎn)品為用于盛裝和傳輸電子元件的托盤(pán)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物在屏蔽電磁場(chǎng)中的應(yīng)用。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物、其制備方法以及利用該組合物制備的產(chǎn)品和該組合物在屏蔽電磁場(chǎng)中的應(yīng)用。該超潔凈防靜電樹(shù)脂組合物主要包括塑料基材63～98％；納米級(jí)碳管和/或納米級(jí)碳黑1～30％，偶聯(lián)劑0.1～0.5％，分散劑0.1～5％，抗氧化劑0.5～1.5％。利用該組合物制備的產(chǎn)品具有優(yōu)異的抗靜電性能和超潔凈性能。
文檔編號(hào)C08L59/02GK101016406SQ200710080138
公開(kāi)日2007年8月15日 申請(qǐng)日期2007年2月12日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月12日
發(fā)明者陶峰 申請(qǐng)人:東莞市問(wèn)鼎靜電科技有限公司