專利名稱：：感光性樹脂組合物、感光性轉(zhuǎn)印材料、間壁墻及其形成方法、光學(xué)元件及其制造方法以及...的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種適于制造彩色濾光器等顯示元件的感光性樹脂組合物及感光性轉(zhuǎn)印材料、以及使用該感光性轉(zhuǎn)印材料的間壁墻及其形成方法、光學(xué)元件及其制造方法、液晶顯示器、液晶彩色電視機(jī)等顯示裝置。
背景技術(shù)：
：近年來，對個人計算機(jī)用液晶顯示器或液晶彩色電視機(jī)等的需求有增加的傾向。另外，對提高構(gòu)成這些顯示器的不可或缺的濾色片的特性和降低成本的要求日益高漲。目前，作為濾色片的制造方法，提出了染色法、顏料分散法、電沉積法、印刷法等。例如，染色法通過在透明基板上形成作為染色用材料的水溶性高分子材料層，利用光刻工序使其形成所希望的圖案后，將得到的圖案浸漬于染色浴中，由此得到著色的圖案。通過重復(fù)進(jìn)行該工序3次，可以形成R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))三種顏色的著色層。另外，顏料分散法作為近年來盛行使用的方法，通過在透明基板上形成分散有顏料的感光性樹脂層，將形成的感光性樹脂層做成圖案，得到單色的圖案。通過重復(fù)進(jìn)行該工序3次，可以形成R、G及B三種顏色的著色層。電沉積法在透明基板上將透明電極做成圖案，浸漬于添加有顏料、樹脂、電解液等的電沉積涂裝液中，電沉積形成著色層。重復(fù)進(jìn)行該工序3次，形成R、G及B三種顏色的著色層，最后進(jìn)行焙燒。印刷法通過將顏料分散于熱固化型樹脂中并反復(fù)進(jìn)行3次印刷分別涂抹R、G、B后，使樹脂熱固化，由此形成著色層。上述方法中的共同點(diǎn)是預(yù)形成紅色、綠色、藍(lán)色三種顏色的著色像素時，需要重復(fù)進(jìn)行3次相同的工序，存在成本高的傾向。而且還存在如下問題由于工序數(shù)多，故成品率容易降低。鑒于上述情況，近年來一直在研究用顏料分散法預(yù)先形成黑底后，利用噴墨法形成RGB的著色像素的濾色片制造方法。利用該噴墨法的方法具有如下優(yōu)點(diǎn)可以通過對由黑底包圍的凹部依次賦予R、G、B各色的著色墨液來形成像素，可以簡化制造工序，可謀求低成本化。另外，噴墨法不僅可以用于制造濾色片，還可以用于制造電致發(fā)光元件等其它光學(xué)元件。電致發(fā)光元件是這樣的元件其具有用陰極和陽極夾持包含熒光性的無機(jī)或有機(jī)化合物的薄膜的構(gòu)成，通過在薄膜上注入電子及空穴(孔)并使其復(fù)合，由此生成激子，利用該激子失活時放出的熒光或磷光使其發(fā)光?？梢岳脟娔▽⑦@種電致發(fā)光元件中使用的各色熒光材料賦予例如形成有TFT等元件的基板，形成發(fā)光層，構(gòu)成元件。如上所述，由于噴墨法等賦予液滴的方法可以謀求簡化制造工藝及降低成本，故可應(yīng)用于濾色片或電致發(fā)光元件等光學(xué)元件的制造。但是，作為利用噴墨法來制造光學(xué)元件時的特有的問題，如圖l所示的"漏白"(圖1中的"A")、"墨液溢出"(圖1中的"B")、"混色"(圖1中的"C")等令人擔(dān)憂。所謂"漏白"，是指像素的濃度變小或者一部分或全部缺損的現(xiàn)象。所謂"墨液溢出"，是指在對由設(shè)成間壁墻的黑底包圍的基板的露出部分(形成像素的區(qū)域)賦予墨液來形成著色區(qū)域時，越過作為間壁墻的黑底溢出墨液的現(xiàn)象。所謂"混色"，是指在溢出的墨液鄰接的著色區(qū)域間混合的現(xiàn)象。在利用噴墨法賦予墨液時，如果發(fā)生墨液的溢出或混色，則制得的例如濾色片產(chǎn)生色斑，或引起顯示圖像的對比度的下降等，成為顯示不良的一個原因。因此，目前正在研究防止墨液溢出或混色的各種技術(shù)。例如，提出了使具有疏水、疏油作用的硅橡膠層圖案化并將其作為防止混色用的隔壁的方法(例如參照專利文獻(xiàn)1);在成為遮光層的黑底上形成硅橡膠層并將其用作防止混色用的間壁墻的方法(例如參照專利文獻(xiàn)2~3)。另外，作為使用表現(xiàn)比硅酮化合物還高的疏油'疏水性的氟化合物的方法，嘗試了利用CF4等離子體的疏墨液處理例(例如參照專利文獻(xiàn)4)。在利用該方法進(jìn)行疏墨液處理時，可有效地防止相鄰像素間墨液的混合，但也存在容易產(chǎn)生漏白的缺點(diǎn)。產(chǎn)生這種問題的原因是上述疏墨液處理不停留在間壁墻上表面，而波及到間壁墻側(cè)面。另外，也存在如下問題為了進(jìn)行等離子體處理，需要很大的設(shè)備投資。作為不需要大的設(shè)備投資的方法，有使用具有反應(yīng)性基團(tuán)的潤濕性調(diào)節(jié)劑的方法。例如，作為具有反應(yīng)性基團(tuán)的潤濕性調(diào)節(jié)劑，公開有利用含氟硅烷偶聯(lián)劑的疏墨液處理例(例如參照專利文獻(xiàn)5)。在利用該方法進(jìn)行疏墨液處理時，雖然可以有效地防止相鄰像素間的墨液的混合、因不處理間壁墻側(cè)面故可以抑制間壁墻附近產(chǎn)生氣泡(飛濺)，但為了在之前涂敷過的黑色的光致抗蝕劑層上進(jìn)行二次涂層，需要用不能溶解該光致抗蝕劑層的溶劑涂敷含氟硅烷偶聯(lián)劑，需要使用通常為高價的全氟(2-丁基四氫呋喃)之類的特殊的溶劑。另外，任一種上述方法都需要設(shè)置用于疏墨液處理的專用工序，造成成本上的負(fù)擔(dān)。另外，公開有使用具有轉(zhuǎn)印層的轉(zhuǎn)印薄膜來形成間壁墻的技術(shù)(例如參照專利文獻(xiàn)6)，所述轉(zhuǎn)印層由基膜上的具有疏墨液性的第1層及親墨液性的第2層構(gòu)成。另外，公開有在設(shè)在構(gòu)成濾色片的透明基板上的遮光層上層疊含有含氟化合物等的樹脂層的濾色片(例如參照專利文獻(xiàn)7)。另外，公開有如下技術(shù)為了提高使用疲勞顯影液進(jìn)行涂設(shè)感紅外線感光性組合物而成的平版印刷版用原版的顯影時的處理性(顯影范圍)，使用含氟的共聚物(例如參照專利文獻(xiàn)8)。專利文獻(xiàn)1:日本特開平4-123005號公報專利文獻(xiàn)2:日本特開平5-241011號公報專利文獻(xiàn)3:日本特開平5-241012號公報專利文獻(xiàn)4:日本特開2003-344640號公報專利文獻(xiàn)5:日本特開平9-127327號公報專利文獻(xiàn)6:日本特開2002-139612號公報專利文獻(xiàn)7:日本特開平7-35916號公報專利文獻(xiàn)8:日本特開2003-248301號公報
發(fā)明內(nèi)容但是，在如上所述的形成硅橡膠層的方法中，作為間壁墻表面的疏墨液性不充分。另外存在如下問題在目前已知的含氟化合物等氟系原材料中不僅疏墨液性不充分，而且欲將包含含氟化合物等氟原料原材料的樹脂層設(shè)置在臨時支撐體上的感光層的下層時，在該樹脂層上形成感光層時感光層形成用的涂敷液濺起，難以得到均勻膜，難以進(jìn)行均勻的涂敷，涂膜的形成性惡化。另外，例如在液晶顯示裝置的液晶單元中，可以通過間隔材料來控制單元間隙，但在間壁墻上進(jìn)行層形成并進(jìn)行疏墨液化的方法中單元間隙不固定，容易引起顯示不均。本發(fā)明是鑒于上述情況而進(jìn)行的發(fā)明，其目的在于，提供固化后的液體接觸角(例如疏墨液性)高的感光性樹脂組合物；保持由轉(zhuǎn)印好的感光性樹脂層構(gòu)成的固化圖案(例如在制造濾色片時黑底等遮光膜)的液體接觸角(例如疏墨液性)及做成光學(xué)元件時的像素的平坦性、可以抑制涂敷時發(fā)生濺起(飛濺)的具有均一的感光性樹脂層的感光性轉(zhuǎn)印材料；疏墨液性良好且可以通過噴墨法良好地賦予墨液的間壁墻及其形成方法；以及沒有顯示不均或?qū)Ρ榷认陆?、可以進(jìn)行良好的圖像顯示的光學(xué)元件及其制造方法；顯示裝置，并以實(shí)現(xiàn)該目的為課題。本發(fā)明是是基于以下見解而完成的發(fā)明在鄰接感光性樹脂層的層中含有含氟化合物時，在含氟化合物的側(cè)鏈上引入聚環(huán)氧乙烷或聚環(huán)氧丙烷，由此可以有效地防止在含有含氟化合物的層上賦予(例如涂敷)感光性樹脂層形成用的液體時的濺起(飛濺)，同時可以使固化后的液體接觸角的提高效果變高。用于完成上述課題的具體的方法如下所述。<1>一種感光性樹脂組合物，其至少包含下述結(jié)構(gòu)式(l)表示的樹脂。[化l]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>在所述結(jié)構(gòu)式(l)中，R1、R2、R3、W及RS各自獨(dú)立、且表示氫原子或總碳數(shù)1~5的烷基。L1、W及1^各自獨(dú)立、且表示可以是單鍵的2價連結(jié)基。X1表示酯基、酰胺基或亞芳基，X2表示醚基、酯基、酰胺基、亞芳基或雜環(huán)殘基。Rf表示含有氟的取代基。n表示220的整數(shù)，a、b及c分別表示質(zhì)量比，a表示040，b表示l40，c表示2098。<2>—種感光性轉(zhuǎn)印材料，其在臨時支撐體上具有感光性樹脂層和設(shè)置在上述感光性樹脂層的上述臨時支撐體側(cè)表面的表面處理層，其中，上述表面處理層至少包含下述結(jié)構(gòu)式(l)表示的樹脂。[化2]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>在上述結(jié)構(gòu)式(l)中，r1、r2、r3、W及rS各自獨(dú)立、且表示氫原子或總碳數(shù)1~5的垸基。L1、17及LS各自獨(dú)立、且表示可以是單鍵的2價連結(jié)基。義表示酯基、酰胺基或亞芳基，乂2表示醚基、酯基、酰胺基、亞芳基或雜環(huán)殘基。Rf表示含有氟的取代基。n表示220的整數(shù)，a、b及c分別表示質(zhì)量比，a表示040，b表示l40，c表示2098。<3>如上述<2>所述的感光性轉(zhuǎn)印材料，其用于濾色片的制造。<4>一種間壁墻的形成方法，其至少具有以下工序(a)壓接工序，將上述<2>或<3>所述的感光性轉(zhuǎn)印材料以感光性樹脂層接觸被轉(zhuǎn)印體的方式壓接在上述被轉(zhuǎn)印體上；(b)曝光工序，對壓接在被轉(zhuǎn)印體上的上述感光性轉(zhuǎn)印材料的感光性樹脂層(至少隔著或不隔著表面處理層)進(jìn)行曝光，形成圖案狀；(c)顯影工序，對曝光好的上述感光性樹脂層進(jìn)行顯影。<5>如上述<4>所述的間壁墻的形成方法，其中，上述(b)曝光工序使上述感光性樹脂層的與上述被轉(zhuǎn)印體接觸的一側(cè)相反側(cè)的表面進(jìn)行氟化。<6>如上述<4>或<5>所述的間壁墻的形成方法，其中，上述(c)顯影工序除去表面處理層。<7>—種間壁墻，其通過上述<4><6>中任一方面所述的間壁墻的形成方法來形成。<8>如上述<7>所述的間壁墻，其中，將被轉(zhuǎn)印體上的感光性樹脂層的與上述被轉(zhuǎn)印體接觸的一側(cè)相反側(cè)的表面通過表面處理層被氟化，被氟化過的表面露出。<9>如上述<7>或<8>所述的間壁墻，其具有遮光性。<10>—種光學(xué)元件的制造方法，其中，上述<7><9>中任一方面所述的間壁墻將被轉(zhuǎn)印體劃分，利用噴墨法對被劃分的被轉(zhuǎn)印體上的凹部賦予液滴，形成圖像區(qū)域。<11>如上述<10>所述的光學(xué)元件的制造方法，其中，上述液滴含有著色劑，將上述圖像區(qū)域著色。<12>—種光學(xué)元件，其在基板上至少具有由多個著色區(qū)域構(gòu)成的像素群和隔離上述像素群的各著色區(qū)域的間壁墻，通過上述<11>所述的光學(xué)元件的制造方法來制造光學(xué)元件。<13>—種顯示裝置，其備有上述<12>所述的光學(xué)元件。根據(jù)本發(fā)明，可以提供固化后的液體接觸角(例如疏墨液性)高的感光性樹脂組合物;保持由轉(zhuǎn)印好的感光性樹脂層構(gòu)成的圖案(例如在制造濾色片時黑底等遮光膜)的液體接觸角(例如疏墨液性)及做成光學(xué)元件時的像素的平坦性、可以抑制形成時發(fā)生濺起(飛濺)的具有均勻的感光性樹脂層的感光性轉(zhuǎn)印材料；疏墨液性良好且可以利用噴墨法良好地賦予墨液的間壁墻及其形成方法；以及沒有顯示不均或?qū)Ρ榷认陆怠⒖梢赃M(jìn)行良好的圖像顯示的光學(xué)元件及其制造方法；顯示裝置。圖1是用于說明在現(xiàn)有的濾色片中產(chǎn)生的墨液溢出及混色、漏白的情況的概念圖。圖2是表示3層構(gòu)成的感光性轉(zhuǎn)印材料的實(shí)例的剖面圖。圖3是表示4層構(gòu)成的感光性轉(zhuǎn)印材料的實(shí)例的剖面圖。圖4是示意性地表示本發(fā)明的濾色片(LCD用)的剖面圖。圖中1、51—間壁墻，2、53A、53B、53C—著色像素(著色區(qū)域)，3一凹部，4一間壁墻的上表面，5—間壁墻的側(cè)面，6_基板，IO—感光性樹脂層，20—中間層(表面處理層)，30—臨時支撐體，40—熱塑性樹脂層，A—漏白，B—墨液的溢出，C一混色。具體實(shí)施例方式下面，對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明?！锤泄庑詷渲M合物〉本發(fā)明的感光性樹脂組合物至少包含以下所示的結(jié)構(gòu)式(l)表示的樹脂的至少一種(以下，有時稱為"本發(fā)明的氟樹脂")，根據(jù)需要還可以使用其他成分來構(gòu)成。優(yōu)選在使用下述結(jié)構(gòu)式(l)表示的樹脂的同時，使用(l)堿可溶性粘合劑、(2)單體及/或低聚物和(3)光聚合引發(fā)劑及/或光聚合引發(fā)體系來構(gòu)成感光性的樹脂組合物。從賦予遮光性的角度出發(fā)，進(jìn)一步優(yōu)選包含(4)著色劑。具有遮光性時，有利于黑底等隔離構(gòu)成濾色片的像素群的各著色區(qū)域(著色像素)的間壁墻的形成。本發(fā)明的感光性樹脂組合物優(yōu)選用于進(jìn)行圖案曝光及顯影等來形成固化圖案，可以形成固化后的液體接觸角高的圖案。例如，在所希望的基板上使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物以所希望的圖案形成間壁墻(黑底等)，在利用噴墨法對由所形成的間壁墻包圍的凹部賦予液滴形成圖像區(qū)域的情況下，可以制造較高地保持間壁墻上表面(圖4中間壁墻的上表面4)的疏墨液性、且抑制墨液發(fā)生溢出、混色的光學(xué)元件(包含濾色片)。[化3]R13COOHb00—L1,—L2—X1"/cX2—L3-Rf結(jié)構(gòu)式(1)M:0+或n0+在上述結(jié)構(gòu)式(l)中，R1、R2、R3、R"及RS各自獨(dú)立地、且表示氫原子或總碳數(shù)1~5的垸基。作為RlRS表示的總碳數(shù)l5的烷基，例如有甲基、乙基、丙基、丁基、戊基等，其中，優(yōu)選總碳數(shù)13的垸基、特別優(yōu)選甲基。在上述結(jié)構(gòu)式中，作為R1、R2、R3、R"及R5，優(yōu)選氫原子、甲基。在上述結(jié)構(gòu)式(l)中，L1、1^及I^各自獨(dú)立、且表示單鍵或2價連結(jié)基。作為上述L'表示的2價連結(jié)基，優(yōu)選具有羥基、醚鍵及酯鍵中的至少一個的亞烷基或具有羥基、醚鍵及酯鍵中的至少一個的亞芳基。其中，優(yōu)選單鍵、下述基團(tuán)或具有下述結(jié)構(gòu)的基團(tuán)。[化4]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>作為上述I表示的2價連結(jié)基，優(yōu)選具有取代基的垸基、具有取代基的芳基，而且也可以具有單醚鍵、酯鍵、尿垸鍵等。進(jìn)一步優(yōu)選為單鍵、下述基團(tuán)或具有下述結(jié)構(gòu)的基團(tuán)。[化5]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>作為上述I^表示的2價連結(jié)基，可以是包含羥基、醚鍵及酯鍵中的至個的亞烷基或包含羥基、醚鍵及酯鍵中的至少一個的亞芳基。進(jìn)一步優(yōu)選為單鍵、下述基團(tuán)或具有下述結(jié)構(gòu)的基團(tuán)。[化6]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage14</formula>在結(jié)構(gòu)式(i)中，x'表示酯基、酰胺基或亞芳基，f表示醚基、酯基、酰胺基、亞芳基或雜環(huán)殘基。作為X1、乂2表示的亞芳基，優(yōu)選總碳數(shù)620的亞芳基，例如有亞苯基、亞萘基、亞蒽基、亞聯(lián)苯基，它們可以是鄰、對、間取代。其中，更優(yōu)選總碳數(shù)612的亞芳基，特別優(yōu)選亞苯基、亞聯(lián)苯基。作為乂2表示的雜環(huán)殘基，例如，優(yōu)選含有氮原子或氧原子作為環(huán)的構(gòu)成元素的5元環(huán)或6元環(huán)，其中，優(yōu)選吡啶環(huán)、嘧啶環(huán)、吡嗪環(huán)、噻唑環(huán)、苯并噻唑環(huán)、噁唑環(huán)、苯并噁唑環(huán)、異噁唑環(huán)、吡唑環(huán)、咪唑環(huán)、喹啉環(huán)、噻二唑環(huán)等，更優(yōu)選吡啶環(huán)、噻二唑環(huán)。在此，Rx表示氫原子或總碳數(shù)l12的垸基、總碳數(shù)620的芳基。作為總碳數(shù)112的烷基，例如有甲基、乙基、丙基、丁基、己基、辛基、十二垸基等無取代烷基以及醚基、硫醚基、酯基、酰胺基、氨基、尿烷基、羥基等具有取代基的取代烷基等。其中，優(yōu)選總碳數(shù)1~8的烷基，優(yōu)選甲基、丁基、辛基。作為總碳數(shù)6~20的芳基，例如有苯基、萘基、甲苯基、甲氧基苯基、壬苯基等。其中，優(yōu)選總碳數(shù)615的芳基，優(yōu)選苯基、壬苯基。另外，在上述結(jié)構(gòu)式中，作為X2，優(yōu)選下述連結(jié)基或具有下述結(jié)構(gòu)的連結(jié)基。這里的Rx與上述Rx意義相同。[化9]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>在上述結(jié)構(gòu)式中，作為X1，優(yōu)選下述連結(jié)基或具有下述結(jié)構(gòu)的連結(jié)基。[化8]在結(jié)構(gòu)式(l)中，Rf表示包含氟的基團(tuán)。作為包含氟的基團(tuán)，優(yōu)選下述含氟基團(tuán)或具有下述結(jié)構(gòu)的含氟基團(tuán)。在此，含氟基團(tuán)中的m表示1~20的整數(shù)，1表示110的整數(shù)，n表示l20的整數(shù)。[化10]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>在結(jié)構(gòu)式(l)中，n表示220的整數(shù)，優(yōu)選為4~12。另夕卜，a、b及c分別表示質(zhì)量比，a為0~40(優(yōu)選為0~20)，b為140(優(yōu)選為5~20)，c為2098(優(yōu)選為30-80)。在上述中，優(yōu)選的方式為R1、R3、R"及RS為氫原子，W為甲基，L1為單鍵，L2為-CONHCH2CH2-，L3為-012(:112-，X1為-OCO-，X2為-COO畫，Rf為-QFn、-C6F13、-C4F9，M為下述基團(tuán)(R4為氫原子)，n為7~9。作為本發(fā)明中的氟系樹脂的分子量，以重均分子量(Mw)計優(yōu)選為1000~200000，更優(yōu)選為400050000。當(dāng)Mw在上述范圍內(nèi)時，氟系樹脂穩(wěn)定地存在于表面處理層，并且有利于向間壁墻層移動。下面，表示本發(fā)明中的氟系樹脂的具體例[例示化合物(1)(19)]。但是，在本發(fā)明中，并不限制于這些。需要說明的是，就a、b及c之比而言，可以在上述分子量的范圍內(nèi)選擇。[化12]例示化合物(1)30例示化合物(2)b30、"^^^0j"^n^0^^例示化合物(3)b3o例示化合物(4)她bo例示化合物(5)3Hob例示化合物(6)例示化合物(7)obc0H3ccAD卜。產(chǎn)n0^"cAdC8Fi7(AdH[化B]例示化合物(8)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>例示化合物(9)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>例示化合物(10)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>'9hG例示化合物(11)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>例示化合物(12)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>例示化合物(13)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>例示化合物(14)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>例示化合物(15)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>例示化合物(16)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>例示化合物(17)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>例示化合物(18)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>例示化合物(19)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula>下面，在本發(fā)明的氟系樹脂的例示化合物中，以具體的例示樹脂ak為例來例示合成方法。需要說明的是，例示樹脂ak以外的本發(fā)明的氟系樹脂也可以通過同樣的方法來合成。C合成例i)可以經(jīng)過以下所示的2個步驟來合成。<Step.l〉樹脂A1的合成在氮?dú)饬飨?，將丁?MEK)15g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中，在水浴下加熱至70°C。分別用柱塞泵用2小時向其中滴加在20gMEK中溶解有2-(全氟辛基)-乙基丙烯酸酯(FAAC8、尤尼馬戴克(工-7于、乂夕)(株)制)12.5g(0.024mol)和聚環(huán)氧乙烷單體(PE350、日本油脂(株)制)12.5g(0.029mol)的溶液以及在15gMEK中溶解有2,2'-偶氮二(異丁酸)二甲酯(V601、和光純藥工業(yè)(株)制)0.131g(0.001mol)的溶液。滴加結(jié)束后，攪拌5小時。通過以上操作，使2-(全氟辛基)-乙基丙烯酸酯(FAAC8)及聚環(huán)氧乙烷單體(PE350)共聚，合成FAAC8/PE350二50/50(質(zhì)量比)的樹脂A1。<Step.2>:向樹脂A1導(dǎo)入雙鍵將由上述Step.l得到的樹脂A1的溶液、二-叔戊基對苯二酚(和光純藥工業(yè)(株)制)0.02g和辛酸亞錫(吉原制藥(株)制)0.2g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中并進(jìn)行攪拌，做成均勻的溶液。以內(nèi)部溫度為75'C的方式進(jìn)行調(diào)整，用1小時滴加甲基丙烯酰氧乙基異氰酸酯(卡蘭茲(力^>X)MOI、昭和電工(株)制)4.4g(0.029mo1)。滴加結(jié)束后，攪拌8小時，利用NMR確認(rèn)甲基丙烯酰氧乙基異氰酸酯消失，得到下述的例示樹脂a。需要說明的是，例示樹脂a的重均分子量(以GPC、THF、聚苯乙烯換算)Mw為11，000。[化15]0、例示樹脂a8^17C合成例2)可以經(jīng)過以下所示的2個步驟來合成(<Step.l>:樹脂B1的合成在氮?dú)饬飨拢瑢⒍⊥?MEK)15g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中，在水浴下加熱至70°C。分別用柱塞泵用2小時向其中滴加在20gMEK中溶解有2-(全氟辛基)-乙基丙烯酸酯(FAAC8、尤尼馬戴克(二二7亍、乂夕)(株)制)12.5g(0.024mol)和聚環(huán)氧乙垸單體(PE350、日本油脂(株)制)12.5g(0.029mol)的溶液以及在15gMEK中溶解有2,2'-偶氮二(異丁酸)二甲酯(V601、和光純藥工業(yè)(株)制)0.131g(0.001mol)的溶液。滴加結(jié)束后，攪拌5小時。通過以上操作，使2-(全氟辛基)-乙基丙烯酸酯(FAAC8)及聚環(huán)氧乙垸單體(PE350)共聚，合成FAAC8/PE350二50/50(質(zhì)量比)的樹脂Bl。<Step.2〉向樹脂B1導(dǎo)入雙鍵將由上述Step.l得到的樹脂B1的溶液、二-叔戊基對苯二酚(和光純藥工業(yè)(株)制)0.02g和辛酸亞錫。夕乂夕卜，吉原制藥(株)制)0.3g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中并進(jìn)行攪拌，做成均勻的溶液。以內(nèi)部溫度為75。C的方式進(jìn)行調(diào)整，用1小時滴加丙烯酰氧乙基異氰酸酯(卡蘭茲(力l/yX)AOI、昭和電工(株)制)4.0g(0.029mo1)。滴加結(jié)束后，攪拌8小時，利用NMR確認(rèn)丙烯酰氧乙基異氰酸酯消失，得到下述的例示樹脂b。需要說明的是，例示樹脂b的重均分子量(以GPC、THF、聚苯乙烯換算)Mw為12,000。(合成例3)可以經(jīng)過以下所示的2個步驟來合成。<Step.l>:樹月旨C1的合成在氮?dú)饬飨?，將丁?MEK)15g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中，在水浴下加熱至70°C。分別用柱塞泵用2小時向其中滴加在20gMEK中溶解有2-(全氟辛基)-乙基丙烯酸酯(FAAC8、尤尼馬戴克(二二7亍、;/夕)(株)制)18.8g(0.036mol)和聚環(huán)氧乙烷單體(PE350、日本油脂(株)制)6.3g(0.015mol)的溶液及在15gMEK中溶解有2，2，-偶氮二(異丁酸)二甲酯(V601、和光純藥工業(yè)(株)制)0.118g(0.001mol)的溶液。滴加結(jié)束后，.攪拌5小時。通過以上操作，使2-(全氟辛基)-乙基丙烯酸酯(FAAC8)及聚環(huán)氧乙烷單體(PE350)共聚，合成FAAC8/PE350^75/25(質(zhì)量比)的樹脂Cl。<Step.2>:向樹脂C1導(dǎo)入雙鍵將由上述Step.l得到的樹脂Cl的溶液、二-叔戊基對苯二酚(和光純藥工業(yè)(株)制)0.03g和辛酸亞錫(吉原制藥(株)制)0.3g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中并迸行攪拌，做成均勻的溶液。以內(nèi)部溫度為75匸的方式進(jìn)行調(diào)整，用1小時滴加甲基丙烯酰氧乙基異氰酸酯(卡蘭茲(力X')MOI、昭和電工(株)制)2,2g(0.015mo1)。滴加結(jié)束后，攪拌8小時，利用NMR確認(rèn)甲基丙烯酰氧乙基異氰酸酯消失，得到下述的例示樹脂c。需要說明的是，例示樹脂c的重均分子量(以GPC、THF、聚苯乙烯換算)Mw為11,000。(合成例4)可以經(jīng)過以下所示的2個步驟來合成。<Step.l>:樹脂D1的合成在氮?dú)饬飨?，將丁?MEK)15g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中，在水浴下加熱至70°C。分別用柱塞泵用2小時向其中滴加在20gMEK中溶解有2-(全氟辛基)-乙基丙烯酸酯(FAAC8、尤尼馬戴克(二二7x:y夕)(株)制)12.5g(0.024mol)和聚環(huán)氧乙烷單體(PE200、日本油脂(株)制)12.5g(0.050mol)的溶液及在15gMEK中溶解有2，2'-偶氮二(異丁酸)二甲酯(V601、和光純藥工業(yè)(株)制)0.185g(0.001mol)的溶液。滴加結(jié)束后，攪拌5小時。通過以上操作，使2-(全氟辛基)-乙基丙烯酸酯(FAAC8)及聚環(huán)氧乙垸單體(PE200)共聚，合成FAAC8/PE200二50/50(質(zhì)量比)的樹脂Dl。<Step.2>:向樹脂D1導(dǎo)入雙鍵將由上述Step.l得到的樹脂D1的溶液、二-叔戊基對苯二酚(和光純藥工業(yè)(株)制)0.03g和辛酸亞錫(吉原制藥(株)制)0.3g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中并進(jìn)行攪拌，做成均勻的溶液。以內(nèi)部溫度為75。C的方式進(jìn)行調(diào)整，用1小時滴加甲基丙烯酰氧乙基異氰酸酯(卡蘭茲(力X)MOI、昭和電工(株)制)7.8g(0.050mo1)。滴加結(jié)束后，攪拌8小時，利用NMR確認(rèn)甲基丙烯酰氧乙基異氰酸酯消失，得到下述的例示樹脂d。需要說明的是，例示樹脂d的重均分子量(以GPC、THF、聚苯乙烯換算)Mw為10,000。(合成例5)可以經(jīng)過以下所示的2個步驟來合成。<Step.l>:樹脂E1的合成在氮?dú)饬飨拢瑢⒍⊥?MEK)15g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中，在水浴下加熱至70°C。分別用柱塞泵用2小時向其中滴加在20gMEK中溶解有2-(全氟辛基)-乙基丙烯酸酯(FAAC8、尤尼馬戴克(二-7亍、乂夕)(株)制)12.5g(0.024mol)和聚環(huán)氧丙烷單體(PP500、日本油脂(株)制)12.5g(0.021mol)的溶液及在15gMEK中溶解有2，2，-偶氮二(異丁酸)二甲酯(V601、和光純藥工業(yè)(株)制)0.111g(0.001mol)的溶液。滴加結(jié)束后，攪拌5小時。通過以上操作，使2-(全氟辛基)-乙基丙烯酸酯(FAAC8)及聚環(huán)氧丙烷單體(PP500)共聚，合成FAAC8/PP500二50/50(質(zhì)量比)的樹脂E1。<Step.2>:向樹脂E1導(dǎo)入雙鍵將由上述Step.l得到的樹脂E1的溶液、二-叔戊基對苯二酚(和光純藥工業(yè)(株)制)0.02g和辛酸亞錫(吉原制藥(株)制)0.2g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中并進(jìn)行攪拌，做成均勻的溶液。以內(nèi)部溫度為75。C的方式進(jìn)行調(diào)整，用1小時滴加甲基丙烯酰氧乙基異氰酸酯(卡蘭茲(力^>乂)MOI、昭和電工(株)制)3.2g(0.021mo1)。滴加結(jié)束后，攪拌8小時，利用NMR確認(rèn)甲基丙烯酰氧乙基異氰酸酯消失，得到下述的例示樹脂e。需要說明的是，例示樹脂e的重均分子量(以GPC、THF、聚苯乙烯換算)Mw為14,000。[化19]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula>例示樹脂e<formula>formulaseeoriginaldocumentpage25</formula>(合成例6)可以經(jīng)過以下所示的2個步驟來合成。<Step.l>:樹脂F(xiàn)1的合成在氮?dú)饬飨?，將丁?MEK)15g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中，在水浴下加熱至70°C。分別用柱塞泵用2小時向其中滴加在20gMEK中溶解有丙烯酸(AA、東京化成工業(yè)(株)制)3.1g(0.054mo1)、2-(全氟辛基)-乙基丙烯酸酯(FAAC8、尤尼馬戴克(二二7于、》夕)(株)制)11.8g(0.023mo1)和聚環(huán)氧乙烷單體(PE350、日本油月旨(株)制)10.3g(0.024mol)的溶液及在15gMEK中溶解有2，2'-偶氮二(異丁酸)二甲酯(V60K和光純藥工業(yè)(株)制)0,218g(0.002mol)的溶液。滴加結(jié)束后，攪拌5小時。通過以上操作，使2-(全氟辛基)-乙基丙烯酸酯(FAAC8)、丙烯酸(AA)及聚環(huán)氧乙垸單體(PE350)共聚，合成FAAC8/AA/PE350:47/12/41(質(zhì)量比)的樹脂F(xiàn)1。<Step.2>:向樹脂F(xiàn)1導(dǎo)入雙鍵將由上述Step.l得到的樹脂F(xiàn)l的溶液、二-叔戊基對苯二酚(和光純藥工業(yè)(株)制)0.02g和辛酸亞錫(吉原制藥(株)制)0.2g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中并進(jìn)行攪拌，做成均勻的溶液。以內(nèi)部溫度為75'C的方式進(jìn)行調(diào)整，用1小時滴加甲基丙烯酰氧乙基異氰酸酯(卡蘭茲(力"7乂)MOI、昭和電工(株)制)3,3g(0.021mo1)。滴加結(jié)束后，攪拌8小時，利用NMR確認(rèn)甲基丙烯酰氧乙基異氰酸酯消失，得到下述的例示樹脂f。需要說明的是，例示樹脂f的重均分子量(以GPC、THF、聚苯乙烯換算)Mw為13,000。[化20]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage26</formula>例示樹脂f(合成例7)可以經(jīng)過以下所示的2個步驟來合成。<Step.l>:樹脂G1的合成在氮?dú)饬飨?，將丁?MEK)15g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中，在水浴下加熱至70°C。分別用柱塞泵用2小時向其中滴加在20gMEK中溶解有丙烯酸(AA、東京化成工業(yè)(株)制)3.1g(0.05411101)、2-(全氟辛基)-乙基丙烯酸酯(FAAC8、尤尼馬戴克(工二7亍、7夕)(株)制)11.8g(0.(mmo1)和聚環(huán)氧乙烷單體(PE200、日本油月旨(株)制)10.3g(0.036mol)的溶液及在15gMEK中溶解有2,2，-偶氮二(異丁酸)二甲酯(V601、和光純藥工業(yè)(株)制)0.218g(0.002mol)的溶液。滴加結(jié)束后，攪拌5小時。通過以上操作，使2-(全氟辛基)-乙基丙烯酸酯(FAAC8)、丙烯酸(AA)及聚環(huán)氧乙烷單體(PE200)共聚，合成FAAC8/AA/PE200二47/12/41(質(zhì)量比)的樹脂G1。<Step.2>:向樹脂Gl導(dǎo)入雙鍵將由上述Step.l得封的樹脂Gl的溶液、二-叔戊基對苯二酚(和光純藥工業(yè)(株)制)0.02g和辛酸亞錫(吉原制藥(株)制)0.2g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中并進(jìn)行攪拌，做成均勻的溶液。以內(nèi)部溫度為75。C的方式進(jìn)行調(diào)整，用1小時滴加甲基丙烯酰氧乙基異氰酸酯(卡蘭茲(力X)MOI、昭和電工(株)制)3.3g(0.021mo1)。滴加結(jié)束后，攪拌8小時，利用NMR確認(rèn)甲基丙烯酰氧乙基異氰酸酯消失，得到下述的例示樹脂g。需要說明的是，例示樹脂g的重均分子量(以GPC、THF、聚苯乙烯換算)Mw為13,000。[化21]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage27</formula>(合成例8)可以經(jīng)過以下所示的2個步驟來合成。<Step.l>:樹脂H1的合成在氮?dú)饬飨?，將丁?MEK)15g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中，在水浴下加熱至70°C。分別用柱塞泵用2小時向其中滴加在20gMEK中溶解有2-(全氟己基)-乙基丙烯酸酉旨(FAAC6、尤尼馬戴克(二二7亍、;/夕)(株)制)12.5g(0.031mol)和聚環(huán)氧乙烷單體(PE350、日本油脂(株)制)12.5g(0.029mol)的溶液及在15gMEK中溶解有2，2，-偶氮二(異丁酸)二甲酯(V601、和光純藥工業(yè)(株)制)0.145g(0.001mol)的溶液。滴加結(jié)束后，攪拌5小時。通過以上操作，使2-(全氟己基)-乙基丙烯酸酯(FAAC6)及聚環(huán)氧乙垸單體(PE350)共聚，合成FAAC6/PE350二50/50(質(zhì)量比)的樹脂Hl。<Step.2>:向樹脂H1導(dǎo)入雙鍵將由上述Step.l得到的樹脂HI的溶液、二-叔戊基對苯二酚(和光純藥工業(yè)(株)制)0.02g和辛酸亞錫(吉原制藥(株)制)0.2g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中并進(jìn)行攪拌，做成均勻的溶液。以內(nèi)部溫度為75'C的方式進(jìn)行調(diào)整，用1小時滴加丙烯酰氧乙基異氰酸酯(卡蘭茲(力l^yX)AOI、昭和電工(株)制)4.4g(0.029mo1)。滴加結(jié)束后，攪拌8小時，利用NMR確認(rèn)丙烯酰氧乙基異氰酸酯消失，得到下述的例示樹脂h。需要說明的是，例示樹脂h的重均分子量(以GPC、THF、聚苯乙烯換算)Mw為8,200。[化22〗<formula>formulaseeoriginaldocumentpage28</formula>例示樹脂h(合成例9)可以經(jīng)過以下所示的2個步驟來合成。<Step.l>:樹脂Il的合成在氮?dú)饬飨?，將丁?MEK)15g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中，在水浴下加熱至7(TC。分別用柱塞泵用2小時向其中滴加在20gMEK中溶解有2-(全氟己基)-乙基丙烯酸酯(FAAC6、尤尼馬戴克(二工7亍:y夕)(株)制)10.0g(0,026mo1)、聚環(huán)氧乙烷單體(PE350、日本油脂(株)制)12.5g(0.029mol)和丙烯酸(AA)2.5g(0.045mol)的溶液及在15gMEK中溶解有2，2，-偶氮二(異丁酸)二甲酯(V601、和光純藥工業(yè)(株)制)0.145g(0.001mol)的溶液。滴加結(jié)束后，攪拌5小時。通過以上操作，使2-(全氟己基)-乙基丙烯酸酉旨(FAAC6)、聚環(huán)氧乙烷單體(PE350)及丙烯酸(AA)共聚，合成FAAC6/PE350/AA-45/50/5(質(zhì)量比)的樹脂Il。<Step.2>:向樹脂Il導(dǎo)入雙鍵將由上述Step.l得到的樹脂Il的溶液、二-叔戊基對苯二酚(和光純藥工業(yè)(株)制)0.02g和辛酸亞錫(吉原制藥(株)制)0.2g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中并進(jìn)行攪拌，做成均勻的溶液。以內(nèi)部溫度為75'C的方式進(jìn)行調(diào)整，用1小時滴加丙烯酰氧乙基異氰酸酯(卡蘭茲(力!^^X)AOI、昭和電工(株)制)4.4g(0.029mo1)。滴加結(jié)束后，攪拌8小時，利用NMR確認(rèn)丙烯酰氧乙基異氰酸酯消失，得到下述的例示樹脂i。需要說明的是，例示樹脂i的重均分子量(以GPC、THF、聚苯乙烯換算)Mw為7，500。[化23]<table>tableseeoriginaldocumentpage29</column></row><table>例示樹脂i(合成例10)可以經(jīng)過以下所示的2個步驟來合成。<Step.l>:樹脂J1的合成在氮?dú)饬飨?，將丁?MEK)15g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中，在水浴下加熱至7(TC。分別用柱塞泵用2小時向其中滴加在20gMEK中溶解有2-(全氟丁基)-乙基丙烯酸酯(FAAC4、尤尼馬戴克(工二7亍:y夕)(株)制)10.0g(0.034mo1)、聚環(huán)氧乙烷單體(PE350、曰本油脂(株)制)12.5g(0.029mol)和丙烯酸(AA)2.5g(0,045mol)的溶液及在15gMEK中溶解有2，2'-偶氮二(異丁酸)二甲酯(V601、和光純藥工業(yè)(株)制)0.145g(0.001mol)的溶液。滴加結(jié)束后，攪拌5小時。通過以上操作，使2-(全氟丁基)-乙基丙烯酸酯(FAAC4)、聚環(huán)氧乙垸單體(PE350)及丙烯酸(AA)共聚，合成FAAC4/PE350/AA二45/50/5(質(zhì)量比)的樹脂Jl。<Step.2>:向樹脂J1導(dǎo)入雙鍵將由上述Stepl得到的樹脂Jl的溶液、二-叔戊基對苯二酚(和光純藥工業(yè)(株)制)0.02g和辛酸亞錫(吉原制藥(株)制)0.2g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中并進(jìn)行攪拌，做成均勻的溶液。以內(nèi)部溫度為75。C的方式進(jìn)行調(diào)整，用i小時滴加丙烯酰氧乙基異氰酸酯(卡蘭茲(力u:/乂)AOI、昭和電工(株)制)4.4g(0.029mo1)。滴加結(jié)束后，攪拌8小時，利用NMR確認(rèn)丙烯酰氧乙基異氰酸酯消失，得到下述的例示樹脂j。需要說明的是，例示樹脂j的重均分子量(以GPC、THF、聚苯乙烯換算)Mw為9,600。(合成例11)可以經(jīng)過以下所示的2個步驟來合成?！碨tep.l〉:樹脂K1的合成在氮?dú)饬飨?，將丁?MEK)15g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中，在水浴下加熱至70°C。分別用柱塞泵用2小時向其中滴加在20gMEK中溶解有2-(全氟己基)-乙基丙烯酸酯(FAAC6、尤尼馬戴克(二二7亍、;/夕)(株)制)10.0g(0.026mo1)、聚環(huán)氧乙垸單體(PE350、日本油脂(株)制)12.5g(0.029mol)和丙烯酸(AA)2.5g(0.045mol)的溶液及在15gMEK中溶解有2，2'-偶氮二(異丁酸)二甲酯(V601、和光純藥工業(yè)(株)制)0.145g(0.001mol)的溶液。滴加結(jié)束后，攪拌5小時。冷卻至室溫后，添加在10gMEK中溶解有四丁基溴化鉸(TBAB、東京化成工業(yè)(株)性)0.02g和琥珀酸酐2.9g(0.029mol)的溶液。添加結(jié)束后，例示樹脂j在80。C下攪拌5小時。通過以上操作，使2-(全氟己基)-乙基丙烯酸酯(FAAC6)、聚環(huán)氧乙烷單體(PE350)及丙烯酸(AA)共聚，合成FAAC6/PE350/AA二45/50/5(質(zhì)量比)的琥珀酸酐改性樹脂K1。<Step.2>:向樹脂K1導(dǎo)入雙鍵將由上述Stepl得到的琥珀酸酐改性樹脂Kl的溶液和二-叔戊基對苯二酚(和光純藥工業(yè)(株)制)0.02g加到設(shè)有冷卻管的300ml的三口燒瓶中并進(jìn)行攪拌，做成均勻的溶液。以內(nèi)部溫度為75"C的方式進(jìn)行調(diào)整，用1小時滴加4-丙烯酰氧甲基-1,2-環(huán)氧基環(huán)己烷(賽庫咯馬(廿,夕口7—)A、Daicd化學(xué)工業(yè)(株)制)5,28g(0.029mo1)。滴加結(jié)束后，攪拌8小時，利用NMR確認(rèn)4-丙烯酰氧甲基-l,2-環(huán)氧基環(huán)己垸消失，得到下述的例示樹脂k。需要說明的是，例示樹脂k的重均分子量(以GPC、THF、聚苯乙烯換算)Mw為8,200。[化25]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage31</formula>例示樹脂k作為本發(fā)明的氟系樹脂的感光性樹脂組合物中的含量，相對組合物的總固體成分，優(yōu)選為0.01~5g/m2，更優(yōu)選為0.054g/m2，特別優(yōu)選0.1~4g/m2。當(dāng)氟系樹脂的含量在上述范圍內(nèi)時，可以提高固化后的圖案表面的液體接觸角，在對例如預(yù)先形成的黑底等間壁墻間的凹部噴墨賦予墨液形成著色區(qū)域、制造濾色片等光學(xué)元件的情況下，可以有效地防止墨液的溢出、混色的發(fā)生，可以提高圖像顯示時的顯示特性。接著，作為構(gòu)成感光性樹脂組合物的本發(fā)明的氟系樹脂以外的成分，對上述成分(1)(4)進(jìn)行詳細(xì)敘述。(1)堿可溶性粘合劑作為堿可溶性粘合劑(下面有時僅稱為"粘合劑"。)，優(yōu)選側(cè)鏈上具有羧酸基或羧酸鹽基等極性基團(tuán)的聚合物。作為其實(shí)例，列如有日本特開昭59-44615號公報、日本特公昭54-34327號公報、日本特公昭58-12577號公報、日本特公昭54-25957號公報、日本特開昭59-53836號公報及日本特開昭59-71048號公報所述的甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、馬來酸共聚物、部分酯化馬來酸共聚物等。另外，也可以列舉側(cè)鏈上具有羧基的纖維素衍生物，另外，除這些之外，也優(yōu)選在具有羥基的聚合物上加成有環(huán)狀酸酐的聚合物。另外，作為特別優(yōu)選的實(shí)例，例如有美國專利第4139391號說明書中記載的(甲基)丙烯酸芐酯和(甲基)丙烯酸的共聚物及(甲基)丙烯酸芐酯、(甲基)丙烯酸和其它單體的多元共聚物。具有上述極性基團(tuán)的粘合劑聚合物，可以單獨(dú)使用，也可以以與通常成膜性聚合物并用的組合物的狀態(tài)使用。堿可溶性粘合劑的感光性樹脂組合物中的含量，相對組合物的總固體成分，一般為20-50質(zhì)量％,優(yōu)選25~45質(zhì)量％。(2)單體或低聚物作為單體或低聚物，優(yōu)選具有2個以上乙烯性不飽和雙鍵并通過光的照射進(jìn)行加成聚合的單體或低聚物。作為這樣的單體及低聚物，例如有分子中具有至少l個可以進(jìn)行加聚的乙烯性不飽和基團(tuán)、且沸點(diǎn)在常壓下為IO(TC以上的化合物。作為其實(shí)例，例如有聚乙二醇單(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(甲基)丙烯酸酯及(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯等單官能丙烯酸酯及單官能甲基丙烯酸酯；聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基乙垸三丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷二丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙垸三(丙烯酰氧丙基)醚、三(丙烯酰氧乙基)異氰脲酸酯、三(丙烯酰氧乙基)氰脲酸酯、甘油基三(甲基)丙烯酸酯；在三羥甲基丙垸或甘油等多官能醇上加成環(huán)氧乙烷或環(huán)氧丙烷后進(jìn)行(甲基)丙烯酸酯化得到的物質(zhì)等多官能丙烯酸酯或多官能甲基丙烯酸酯。還可以列舉如日本特公昭48-41708號公報、日本特公昭50-6034號公報及日本特開昭51-37193號公報中記載的尿垸丙烯酸酯類；日本特開昭48-64183號公報、日本特公昭49-43191號公報及日本特公昭52-304卯號公報中記載的聚酯丙烯酸酯類；作為環(huán)氧樹脂和(甲基)丙烯酸的反應(yīng)生成物的環(huán)氧丙烯酸酯類等多官能丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。其中，優(yōu)選三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯。另外，還可以列舉作為優(yōu)選的實(shí)例的日本特幵平11-133600號公報中記載的"聚合性化合物B"。單體或低聚物可以單獨(dú)使用，也可以混合使用兩種以上，作為單體及/或低聚物在感光性樹脂組合物中的含量，相對組合物的總固體成分，一般為550質(zhì)量％，優(yōu)選為10~40質(zhì)量％。(3)光聚合引發(fā)劑或光聚合引發(fā)體系作為光聚合引發(fā)劑或光聚合引發(fā)體系，例如有美國專利第2367660號說明書中記載的連位聚縮酮(Polyketaldonyl)化合物、美國專利第2448828號說明書中記載的偶因醚化合物、美國專利第2722512號說明書中記載的用(x-烴取代了的芳香族偶因化合物、美國專利第3046127號說明書及美國專利第2951758號說明書中記載的多核醌化合物、美國專利第3549367號說明書中記載的三芳基咪唑二聚物和對氨基酮的組合、日本特公昭51-48516號公報中記載的苯并噻唑化合物和三鹵代甲基-s-三嗪化合物、美國專利第4239850號說明書中記載的三鹵代甲基-三嗪化合物、美國專利第4212976號說明書中記載的三鹵代甲基噁二唑化合物等。特別優(yōu)選三鹵代甲基-s-三嗪化合物、三鹵代甲基噁二唑及三芳基咪唑二聚物。另外，除此之外，還可以列舉作為優(yōu)選的聚合引發(fā)劑的日本特開平11-133600號公報中記載的"聚合引發(fā)劑C"，可以使用作為進(jìn)一步優(yōu)選的聚合引發(fā)劑的日本特開2000-310707號公報的段落號中記載的光聚合引發(fā)劑。作為光聚合引發(fā)劑及/或光聚合引發(fā)體系，可以單獨(dú)使用，也可以混合使用兩種以上，但特別優(yōu)選并用兩種以上。在至少使用兩種光聚合引發(fā)劑時，可以降低顯示特性、特別是顯示不均。光聚合引發(fā)劑及/或光聚合引發(fā)體系在感光性樹脂組合物中的含量，相對組合物的總固體成分，一般為0.5-20質(zhì)量％，優(yōu)選為1~15質(zhì)量％。(4)著色劑在感光性樹脂組合物中，優(yōu)選根據(jù)需要添加著色劑。作為著色劑，可以優(yōu)選使用有機(jī)顏料、無機(jī)顏料、染料等，在要求感光性樹脂組合物中的遮光性時，除炭黑、氧化鈦、三氧化二鐵等的金屬氧化物粉末、金屬硫化物粉末、金屬粉末等遮光劑之外，可以使用紅色、藍(lán)色、綠色等顏料的混合物等。其中，由于炭黑的遮光性優(yōu)異，故特別優(yōu)選。需要說明的是，關(guān)于著色劑在感光性樹脂組合物中的量，可以根據(jù)需要適當(dāng)選擇。(5)其他成分在感光性樹脂組合物中，除上述成分之外，可以添加溶劑、表面活性劑、熱阻聚劑、紫外線吸收劑等。-溶劑-在感光性樹脂組合物中，為了其制備，可以進(jìn)一步使用有機(jī)溶劑。作為有機(jī)溶劑的實(shí)例，例如有丁酮、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、環(huán)己酮、環(huán)己醇、甲基異丁基酮、乳酸乙酯、乳酸甲酯、己內(nèi)酰胺等。-表面活性劑-在涂敷感光性樹脂組合物時，從控制均勻的膜厚、更有效地防止涂敷不均(由膜厚變動引起的色斑)的觀點(diǎn)出發(fā)，也可以在用于形成感光性樹脂層的感光性樹脂組合物中含有適當(dāng)?shù)谋砻婊钚詣?。即，在現(xiàn)有的光學(xué)元件(濾色片等)中，為了實(shí)現(xiàn)高的色純度而使各像素的顏色變濃，因而像素的膜厚不均很容易直接作為色斑被認(rèn)出，但可以抑制對像素的膜厚給予直接影響的感光性樹脂層的形成(涂敷)時的膜厚變動。作為表面活性劑，優(yōu)選日本特開2003-337424號公報、日本特開平11-133600號公報中記載的表面活性劑。-熱阻聚劑-在感光性樹脂組合物中，優(yōu)選含有熱阻聚劑。作為熱阻聚劑的實(shí)例，例如有對苯二酚、對苯二酚單甲醚、對甲氧基苯酚、二-叔丁基-對甲酚、鄰苯三酚、叔丁基鄰苯二酚、苯醌、4,4，-硫二(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、2，2，-甲撐二(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2-巰基苯并咪唑、酚噻嗪等。-用于輔助的染料，顏料-在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，從得到更高的遮光性的目的出發(fā)，可以根據(jù)需要在上述著色劑(顏料)的基礎(chǔ)上進(jìn)一步添加公知的著色劑。在上述公知的著色劑中使用顏料時，優(yōu)選其均勻地分散在感光性樹脂組合物中，因此，優(yōu)選粒徑為0.1pm以下，特別優(yōu)選為0.08pm以下。作為上述公知的著色劑，具體而言，可以優(yōu)選使用日本特開2005-17716號公報的段落號中記載的色料、特開2005-361447號公報的段落號中記載的顏料及特開2005-17521號公報的段落號中記載的著色劑。-紫外線吸收劑-在本發(fā)明中的感光性樹脂組合物中，可以根據(jù)需要含有紫外線吸收劑。作為紫外線吸收劑，除日本特開平5-72724號公報中記載的化合物之外，例如有水楊酸酯系、二苯甲酮系、苯并三唑系、氰基丙烯酸酯系、鎳螯合物系、受阻胺系等。具體而言，例如有水楊酸苯酯、水楊酸-4-叔丁基苯酯、2，4-二叔丁基一3',5'-二-叔-4'-羥基苯甲酸酯、水楊酸-4-叔丁基苯酯、2，4-二羥基二苯甲酮、2-羥基-4-甲氧基二苯甲酮、2-羥基-4-正辛氧基二苯甲酮、2-(2，-羥基-5，-甲苯基)苯并三唑、2-(2，-羥基-3，-叔丁基-5，-甲苯基)-5-氯苯并三唑、乙基_2_氰基_3,3_二苯基丙烯酸酯、2，2，-羥基-4-甲氧基二苯甲酮、二丁基二硫代氨基甲酸鎳、二(2，2，6，6-四甲基-4-吡啶)-癸二酸酯、水楊酸-4-叔丁基苯酯、水楊酸苯酯、4-羥基-2，2，6,6-四甲基哌啶縮合物、琥珀酸-二(2，2,6，6-四甲基-4-亞哌啶基)酯、2-[2-羥基-3，5-雙(ot,(x-二甲芐基)苯基]-2H-苯并三唑、7_{[4-氯-6-(二乙氨基)-5-三嗪-2-基]氨基}-3-苯基香豆素等。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，除上述之外，可以含有日本特開平11-133600號公報中記載的"助粘劑"或其它添加劑等。另外，本發(fā)明的感光性樹脂組合物，只要是含有所述的本發(fā)明的氟系樹脂的感光性樹脂組合物，例如，就可以通過含有(a)在酸催化劑的存在下使至少含有對甲酚的酚類與醛類反應(yīng)而得到的非高鄰位型甲酚基酚醛清漆樹脂及(b)含醌二疊氮基化合物來構(gòu)成正型光致抗蝕劑組合物。而且，該正型光致抗蝕劑組合物優(yōu)選(a)成分中的對甲酚的2核體含量在GPC(凝膠滲透色譜)法中低于2.0%。作為正型光致抗蝕劑組合物的實(shí)例，例如有日本專利第3624718號的段落號中記載的實(shí)例。在使用正型光致抗蝕劑組合物時，可以形成即使進(jìn)行高溫烘培也難以產(chǎn)生升華物，感度、析像度優(yōu)異，同時與殘膜率高的矩形接近的抗蝕圖。<感光性轉(zhuǎn)印材料>本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料可以這樣構(gòu)成；在臨時支撐體上至少含有感光性樹脂層和接觸于感光性樹脂層的臨時支撐體側(cè)表面而設(shè)置的表面處理層，并根據(jù)需要設(shè)置熱塑性樹脂層等其它的層。表面處理層本發(fā)明的表面處理層以接觸于感光性樹脂層的臨時支撐體側(cè)的表面的方式形成，是用于處理感光性樹脂層的臨時支撐體側(cè)的表面的層。具體而言，作為表面處理層，例如，(1)如圖3所示，在臨時支撐體30上依次形成有熱塑性樹脂層40、中間層20及感光性樹脂層IO的感光性轉(zhuǎn)印材料中，表面處理層指的是該中間層20，(2)如圖2所示，在臨時支撐體30上依次以相互接觸的方式形成有中間層20及感光性樹脂層10的感光性轉(zhuǎn)印材料中，表面處理層指的是該中間層20。另外，(3)在臨時支撐體上依次以相互接觸的方式形成有熱塑性樹脂層及感光性樹脂層的感光性轉(zhuǎn)印材料中，表面處理層指的是該熱塑性樹脂層，(4)在臨時支撐體上依次形成有熱塑性樹脂層、中間層、作為表面處理層的其它層及感光性樹脂層的感光性轉(zhuǎn)印材料中，表面處理層指的是該其它層。需要說明的是，在為了形成間壁墻等而將上述感光性轉(zhuǎn)印材料壓接在基板上的情況下，從各層的混合的防止及氧遮斷性、壓接時的密合性優(yōu)異、且經(jīng)濟(jì)性好出發(fā)，本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料特別優(yōu)選為上述(l)的方式。在本發(fā)明中，通過在用于形成該表面處理層的涂敷液中含有作為上述結(jié)構(gòu)式(l)表示的樹脂的含聚合性基團(tuán)的氟化合物，進(jìn)行例如涂敷等在臨時支撐體上形成膜，該含聚合性基團(tuán)氟化合物密集在膜的空氣界面?zhèn)?不與臨時支撐體接觸的一側(cè))。而且，在其上(空氣界面?zhèn)?形成感光性樹脂層時，會在上述表面處理層中的感光性樹脂層側(cè)的界面密集含聚合性基團(tuán)的氟化合物。然后，在該狀態(tài)下將感光性樹脂層疊接在所希望的被轉(zhuǎn)印體上，在壓接后(優(yōu)選從表面處理層側(cè))進(jìn)行曝光。這樣一來，通過感光性樹脂層中的引發(fā)劑的作用引發(fā)聚合反應(yīng)，感光性樹脂層固化。在該曝光固化的過程中，表面處理層中的含聚合性基團(tuán)的氟化合物發(fā)生了與感光性樹脂層化學(xué)鍵合或物理性吸附等相互作用，被固定在表面處理層側(cè)界面。這樣一來，可以僅對感光性樹脂層的曝光過的表面處理層側(cè)界面賦予疏墨液性。而且，曝光后通過后述的(C)對感光性樹脂層進(jìn)行顯影的顯影工序除去表面處理層，由此，可以僅在感光性樹脂層的與被轉(zhuǎn)印體接觸的一側(cè)相反側(cè)的表面(被轉(zhuǎn)印體上的感光性樹脂層的上表面)形成具有疏墨液性的間壁墻。從可以進(jìn)一步加強(qiáng)相互作用方面出發(fā)，也優(yōu)選在(a)壓接工序之前或(a)壓接工序和(b)曝光工序之間設(shè)置加熱表面處理層和感光性樹脂層的工序。如上所述，由于表面處理層使用所述的結(jié)構(gòu)式(l)表示的樹脂來構(gòu)成，因此，其以如下方式構(gòu)成可以較高地保持由轉(zhuǎn)印好的感光性樹脂層構(gòu)成的圖案的液體接觸角，同時，可以防止重疊在臨時支撐體上的表面處理層的表面并賦予(例如涂敷)感光性樹脂層形成用的液體(下面，有時稱為"感光性樹脂層形成液"。例如，涂敷形成感光性樹脂層時的涂敷液)時的濺起(飛濺)的發(fā)生，可以進(jìn)行均勻的涂敷。另外，通過提高液體接觸角，可得到例如疏墨液性，可以有效地防止在欲對由感光性樹脂層構(gòu)成的間壁墻包圍的區(qū)域噴墨賦予墨液而形成著色區(qū)域時的墨液溢出及混色。需要說明的是，通過上述相互作用而固定在感光性樹脂層表面的含聚合性基團(tuán)氟化合物在顯影中沒有被除去，因此，如上所述，可以形成僅對感光性樹脂層的與被轉(zhuǎn)印體接觸的一側(cè)相反側(cè)的表面(被轉(zhuǎn)印體上的感光性樹脂層的上表面)施加疏墨液性而成的間壁墻。如上所述，由于表面處理層只要為一分子層程度的膜厚就可以達(dá)到其目的，因此對表面處理層的層厚沒有特別限制。但是，從經(jīng)濟(jì)性或顯影性的角度出發(fā)，表面處理層的層厚優(yōu)選為15.(Him以下，更優(yōu)選為3.(Him以下。另外，不優(yōu)選在曝光、顯影后的感光性樹脂層的表面存在厚度0.1pm以上的含聚合性基團(tuán)氟化合物。如上所述，在含聚合性基團(tuán)氟化合物形成層時，沒有完全除去表面處理層、而在感光性樹脂層表面殘留通過相互作用沒有被固定的表面處理層的可能性高。此時，在屏幕化時有時氟化合物在液晶中滲出，對液晶的驅(qū)動產(chǎn)生障礙。另外，有時會產(chǎn)生顯示不均等問題，這是由于間壁墻的厚度有時比所希望的厚度厚、單元間隙不能成為所希望的值。在本發(fā)明中，僅在被轉(zhuǎn)印體上的間壁墻的上表面(與被轉(zhuǎn)印體接觸的一側(cè)相反側(cè)的露出面)具有疏墨液性，在側(cè)面沒有疏墨液性的部位。因此，具有難以產(chǎn)生漏白故障的優(yōu)點(diǎn)。另外，具有間壁墻的厚度可以做成與感光性樹脂層的厚度相同，不發(fā)生由膜厚的變動引起的問題的優(yōu)點(diǎn)。表面處理層在賦予疏墨液性方面，其層本身不一定需要具有感光性，優(yōu)選為不含有光聚合弓I發(fā)劑及光聚合弓I發(fā)體系的非感光性。在此，所謂"不含有"，是指在制備表面處理層形成用的液體(例如用于涂敷的涂敷液)時，不添加光聚合引發(fā)劑或光聚合引發(fā)體系。具體而言，優(yōu)選光聚合引發(fā)劑及光聚合引發(fā)體系在層中的含量為層的總質(zhì)量的10質(zhì)量％以下。在表面處理層含有光聚合引發(fā)劑及光聚合引發(fā)體系時，在曝光時表面處理層也會凝固，結(jié)果間壁墻的厚度比所希望的厚度厚。這樣一來，由于單元間隙達(dá)不到所希望的值，因此會產(chǎn)生顯示不均等問題。本發(fā)明的表面處理層設(shè)置在臨時支撐體和感光性樹脂層之間并鄰接感光性樹脂層即可，也可以在設(shè)置好的表面處理層和臨時支撐體之間設(shè)置臨時支撐體的底涂層等其它的層。另外，表面處理層可以由單層構(gòu)成，也可以由兩層以上的多層構(gòu)成。表面處理層是至少包含所述的結(jié)構(gòu)式(l)表示的樹脂的至少一種(本發(fā)明的氟系樹脂)的層，可以根據(jù)需要進(jìn)一步使用其他成分來構(gòu)成。關(guān)于結(jié)構(gòu)式(l)表示的樹脂(本發(fā)明的氟系樹脂)的詳細(xì)情況及優(yōu)選的方式，如已所述。作為本發(fā)明的氟系樹脂在表面處理層中的含量，優(yōu)選為0.015g/m2，更優(yōu)選為0.054g/m2，特別優(yōu)選為0.1~4g/m2。當(dāng)氟系樹脂的含量在上述范圍內(nèi)時，可以確保由轉(zhuǎn)印好的感光性樹脂層構(gòu)成的固化圖案的液體接觸角(例如在制造濾色片時黑底等的遮光膜上的疏墨液性)，同時有效防止重疊在臨時支撐體上的表面處理層的表面并賦予(例如感光性樹脂層形成用的涂敷液的涂敷)感光性樹脂層形成液時的濺起(飛濺)。下面，作為表面處理層的實(shí)例，對中間層、熱塑性樹脂層進(jìn)行說明。中間層在本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料中，為了防止多個涂敷層在涂敷時及涂敷后的保存時的成分的混合等，優(yōu)選設(shè)置中間層。此時，在作為表面處理層的中間層中含有至少一種本發(fā)明的氟系樹脂。另外，從與感光性樹脂層的分別涂抹的角度出發(fā)，中間層優(yōu)選為水系的層(使用溶劑的25質(zhì)量％以上為水的液體來形成的層)。作為中間層，可以是在日本特開平5-72724號公報的段落號中記載為"分離層"的、具有氧遮斷功能的中間層。作為氧遮斷膜，優(yōu)選顯示低的氧透過性且分散或溶解于水或堿性水溶液中的氧遮斷膜，可以從公知的氧遮斷膜中適當(dāng)選擇。作為氧遮斷層，優(yōu)選為聚乙烯醇，特別優(yōu)選為聚乙烯醇和聚乙烯基吡咯烷酮的組合。作為中間層的層厚，以干燥厚度計通常為0.25pm，優(yōu)選為0.53pm，特別優(yōu)選為l~2.5|am。熱塑性樹脂層在本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料中，也可以根據(jù)需要形成熱塑性樹脂層。此時，在作為表面處理層的熱塑性樹脂層中含有至少一種本發(fā)明的氟系樹脂。熱塑性樹脂層是至少使用樹脂成分來構(gòu)成的具有堿可溶性的層。作為上述樹脂成分，優(yōu)選實(shí)質(zhì)的軟化點(diǎn)為8(TC以下。在設(shè)置熱塑性樹脂層時，可以在轉(zhuǎn)印時(例如構(gòu)成濾色片的黑底等間壁墻的形成時)使其與永久支撐體(基板)良好地密合。作為"實(shí)質(zhì)的軟化點(diǎn)為80'C以下"的堿可溶性的熱塑性樹脂，例如有-乙烯和丙烯酸酯共聚物的皂化物；苯乙烯和(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物；乙烯基甲苯和(甲基)丙烯酸酯共聚物的皂化物；聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸丁酯和乙酸乙烯酯等的(甲基)丙烯酸酯共聚物等的皂化物等。在熱塑性樹脂層中，可以適當(dāng)選擇使用上述熱塑性樹脂中的至少一種，還可以使用"塑料性能手冊"(日本塑料工業(yè)聯(lián)盟、全日本塑料成形工業(yè)聯(lián)合會編著、工業(yè)調(diào)查會發(fā)行、1968年10月25日發(fā)行)中軟化點(diǎn)約為8(TC以下的有機(jī)高分子中的可溶于堿性水溶液的物質(zhì)。另外，對軟化點(diǎn)為80'C以上的有機(jī)高分子物質(zhì)，也可以通過在該有機(jī)高分子物質(zhì)中添加具有與該高分子物質(zhì)相溶性的各種增塑劑，將實(shí)質(zhì)的軟化點(diǎn)下降到80'C以下來使用。另外，在這些有機(jī)高分子物質(zhì)中，為了調(diào)節(jié)與臨時支撐體的粘接力，也可以在實(shí)質(zhì)的軟化點(diǎn)不超過8(TC的范圍內(nèi)加入各種聚合物或過冷卻物質(zhì)、密合改良劑或表面活性劑、脫模劑等。作為優(yōu)選的增塑劑的具體例，例如有聚丙二醇、聚乙二醇、鄰苯二甲酸二辛酯、鄰苯二甲酸二庚酯、鄰苯二甲酸二丁酯、磷酸三甲苯酯、磷酸甲苯二苯酯、磷酸聯(lián)苯基二苯基酯。感光性樹脂層在構(gòu)成本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料的臨時支撐體上的上述表面處理層的表面至少設(shè)置有一層感光性樹脂層。該感光性樹脂層是用于在向被轉(zhuǎn)印體轉(zhuǎn)印后進(jìn)行圖案曝光及顯影等形成圖案的層，由于在設(shè)置在臨時支撐體上的所述的本發(fā)明的表面處理層的表面直接進(jìn)行層形成，因此，一邊將由感光性樹脂層構(gòu)成的固化圖案表面保持高的液體接觸角(例如疏墨液性)，一邊抑制液體的濺起(飛濺)而進(jìn)行感光性樹脂層的形成(例如涂敷形成)。感光性樹脂層可以通過以層狀賦予(優(yōu)選涂敷)至少包含(l)堿可溶性粘合劑、(2)單體及/或低聚物和(3)光聚合弓I發(fā)劑及/或光聚合弓I發(fā)體系的感光性樹脂組合物而形成。從賦予遮光性的觀點(diǎn)出發(fā)，該樹脂組合物優(yōu)選還包含(4)著色劑。在感光性樹脂層具有遮光性時，可以使黑底等具有作為間壁墻隔離構(gòu)成濾色片的像素群的各色著色區(qū)域(著色像素)的功能，因此優(yōu)選。關(guān)于這些成分(1)(4)的詳細(xì)情況如已所述。另外，上述堿可溶性粘合劑在感光性樹脂層中的含量，相對層的總固體成分，一般為20~50質(zhì)量％，優(yōu)選為2545質(zhì)量％。作為上述單體及/或低聚物在感光性樹脂層中的含量，相對層的總固體成分，一般為5~50質(zhì)量％，優(yōu)選為1040質(zhì)量％。上述光聚合弓I發(fā)劑及/或光聚合引發(fā)體系在感光性樹脂層中的含量，相對層的總固體成分，一般為0.5-20質(zhì)量％,優(yōu)選115質(zhì)量％。需要說明的是，著色劑在感光性樹脂層中的量，可以根據(jù)需要適當(dāng)選擇。本發(fā)明中的感光性樹脂層可以使用感光性樹脂組合物來構(gòu)成，也可適合使用所述的本發(fā)明的感光性樹脂組合物來形成。而且，也可以是通過含有例如(a)在酸催化劑下使至少含有對甲酚的酚類與醛類反應(yīng)得到的非高鄰位型甲酚酚醛清漆樹脂及(b)含醌二疊氮基化合物來構(gòu)成的正型光致抗蝕劑組合物。而且，該正型光致抗蝕劑組合物優(yōu)選(a)成分中的對甲酚的2核體含量在GPC(凝膠滲透色譜)法中為低于2.0%。作為正型光致抗蝕劑組合物的實(shí)例，例如有日本專利第3624718號的段落號中記載的實(shí)例。在使用正型光致抗蝕劑組合物時，可以形成即使進(jìn)行高溫烘培也難以產(chǎn)生升華物，感度、析像度優(yōu)異，同時與殘膜率高的矩形接近的抗蝕圖。除上述之外，在本發(fā)明的感光性樹脂組合物及本發(fā)明的感光性樹脂層中，也可以含有在23(TC下加熱1小時時的質(zhì)量減少率為2質(zhì)量％以下的熱塑性樹脂。在使用該樹脂時，可以提供一種顏色品質(zhì)優(yōu)異的顯示裝置(例如液晶顯示器)，該顯示裝置即使進(jìn)行ITO膜的制造、定向膜的制造等超過200'C之類的加熱工序，也不會產(chǎn)生因樹脂的老化的變色而引起的光學(xué)元件(濾色片等)的色特性的劣化。作為該樹脂的實(shí)例，例如有日本特開平11-194214號公報的段落號中記載的樹脂。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物及本發(fā)明的感光性樹脂層中，還可以添加平均粒徑(例如l-100nm左右)小于曝光波長的無機(jī)微粒子。無機(jī)微粒子可以由可以具有官能團(tuán)(例如感光性基團(tuán))的膠態(tài)硅石等構(gòu)成。感光性樹脂組合物、感光性樹脂層可以是負(fù)型或正型的任一種，也可以進(jìn)行水或堿顯影。通過含有無機(jī)微粒子，可以大大改善耐氧等離子體性、耐熱性、耐干蝕刻性、感度及析像度。作為無機(jī)微粒子的實(shí)例，例如有，.日本特開平11-327125號公報的段落號中記載的無機(jī)微粒子。本發(fā)明的感光性樹脂組合物及本發(fā)明的感光性樹脂層可以含有延遲降低的粒子。通過含有延遲降低粒子，可以使延遲的絕對值為15nm以下，由此形成的濾色片的視場角的依賴性優(yōu)異，通過使用該濾色片可提供一種具有高品質(zhì)的圖像的液晶顯示裝置。作為該延遲降低的粒子的具體例，例如有日本特開2000-187114號公報的段落號中記載的延遲降低粒子。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物及本發(fā)明的感光性樹脂層中還可以含有光穩(wěn)定劑。作為光穩(wěn)定劑，例如，優(yōu)選選自磷酸酯系、苯并三唑系、二苯甲酮系、受阻胺系、水楊酸酯系、三嗪系、受阻酚系及硫醚系中的至少1種化合物。作為光穩(wěn)定劑的具體例，優(yōu)選例如日本特開2000-214580號公報的段落號中記載的光穩(wěn)定劑。在感光性樹脂組合物、感光性樹脂層中使用綠色有機(jī)顏料時，對綠色有機(jī)顏料中的四氯鄰苯二甲酸、四氯鄰苯二甲酸酐及四氯鄰苯二甲酰亞胺的量進(jìn)行分析，它們的總計優(yōu)選為500ppm以下。得到優(yōu)選的范圍的顏料的方法，例如有日本特開2000-321417號公報的段落號中記載的方法。另外，也可以利用同樣的方法降低綠色以外的顏料的雜質(zhì)。在使用該有機(jī)顏料時，可以得到這樣的濾色片在顯影時圖案上不產(chǎn)生缺失及剝落，且在做成顯示面板時不發(fā)生余象等顯示不良，并且成膜后的機(jī)械強(qiáng)度優(yōu)異，與圖案的基板的密合性優(yōu)異、圖案的形狀優(yōu)異。顏料優(yōu)選為以電壓保持率為80%以上的方式進(jìn)行選擇或處理得到的顏料。作為優(yōu)選的顏料，例如有日本特開2000-329929號公報的段落號中記載的顏料。通過使用以電壓保持率為80%以上的方式進(jìn)行選擇或處理得到的顏料，可以得到這樣的濾色片在顯影時圖案上不產(chǎn)生缺失及剝落，顯影性優(yōu)異，而且不產(chǎn)生由余象引起的顯示面板的顯示不良，并且成膜后的機(jī)械強(qiáng)度優(yōu)異，另外與像素的基板的密合性優(yōu)異、圖案的形狀優(yōu)異。本發(fā)明的感光性樹脂組合物及本發(fā)明的感光性樹脂層優(yōu)選使用了玻璃化轉(zhuǎn)變溫度Tg為6012(TC的范圍且重均分子量為10000100000的范圍的聚合物、25'C下的粘度為108000mPa's范圍的多官能單體和著色劑。作為該情況下的優(yōu)選的樹脂組合物，例如有日本特開平10-115917號公報的段落號中記載的組合。在該情況下，由于感光性樹脂層顯示203(TC的范圍的適度的粘性，因此，可以提供材料的使用效率優(yōu)異、并且不含有濕式的顯影工序及洗滌工序的工序簡便的制造方法。另外，在本發(fā)明的感光性樹脂組合物及本發(fā)明的感光性樹脂層中使用銅酞菁顏料時，優(yōu)選該顏料中所含的游離銅的含量為200ppm以下。作為該顏料，例如有日本特幵2004-189852號公報的段落號中記載的顏料。該顏料有利于提高感光性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物及本發(fā)明的感光性樹脂層中使用炭黑時，優(yōu)選一次粒徑為2030nm、DBP吸收量為140ml/100g以下、pH為2.5~4的炭黑。作為該炭黑的實(shí)例，例如有日本特開2004-292672號公報的段落號中記載的炭黑。該炭黑有利于形成顯影性、OD值都優(yōu)異的間壁墻(黑底、著色劑等)。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物及本發(fā)明的感光性樹脂層中使用金屬化合物時，優(yōu)選感光性樹脂層形成用的感光性樹脂組合物的比重為2.5以上。作為該樹脂組合物，優(yōu)選日本特開2004-352890號公報的段落號中記載的樹脂組合物。在使用該樹脂組合物形成圖案(黑底等間壁墻等)時，可以形成比以往都好的黑色的圖案。本發(fā)明的感光性樹脂組合物及本發(fā)明的感光性樹脂層優(yōu)選如下組合物其固化后的圖案(黑底等間壁墻等)的硬度以鉛筆硬度計為3H9H以下，并且將曝光后所得到的樹脂層浸漬于100r，p，m攪拌下的25'C的堿性水溶液中，經(jīng)過120秒后感光性樹脂層的未曝光區(qū)域溶解的部分的透過率(平均為400780nm)為98%以上100%以下。例如有日本特開2005-10763號公報的段落號中記載的樹脂組合物。在使用該樹脂組合物形成圖案時，可以兼顧高的表面硬度和優(yōu)異的顯影性。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物及本發(fā)明的感光性樹脂層中使用含氮原子分散劑時，該分散劑在23(TC下加熱30分鐘時的總氮量的殘留率(力口熱后的總氮量相對加熱前的總氮量的質(zhì)量比率)優(yōu)選為60質(zhì)量％以下。作為該分散劑，例如有日本特開2004-325968號公報的段落號中記載的分散劑。由于使用了該分散劑的濾色片(含有間壁墻及著色像素等)對液晶的電壓保持率的影響非常小，因此，可以制造難以產(chǎn)生顯示不均、余象等顯示不良；品質(zhì)非常高的顯示裝置。作為用于形成使用本發(fā)明的感光性樹脂組合物或者轉(zhuǎn)印本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料的感光性樹脂層而形成的固化膜(黑底等間壁墻等)的組合物，例如有日本特開平10-293397號公報的段落號中記載的樹脂組合物。通過將接觸角設(shè)定在優(yōu)選的范圍內(nèi)，可以形成析像度高且表面平滑性優(yōu)異的圖案、而且可以抑制形成的圖案產(chǎn)生表面凸起、以高的成品率形成圖案。在制造作為本發(fā)明的光學(xué)元件一濾色片時，在設(shè)置外敷層的情況下，外敷層的壓痕硬度優(yōu)選為在下述式(l)的范圍內(nèi)。另外，無論是設(shè)置外敷層的情況還是不設(shè)置外敷層的情況，濾色片的壓痕硬度都優(yōu)選為在下述式(2)的范圍內(nèi)。當(dāng)壓痕硬度在上述范圍內(nèi)時，難以產(chǎn)生由單元間隙的不均引起的液晶顯示裝置的顯示不均。作為實(shí)現(xiàn)上述優(yōu)選范圍的硬度的方法，例如有日本特幵平11-271525號公報的段落號中記載的方法。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage44</formula>…(1)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage44</formula>…(2)其中，P為硬度評價時的壓痕負(fù)荷(mN)，h為PmN中的壓痕深度(Mm)，g為重力加速度一9.807m/s2)，k為由壓頭的形狀確定的常數(shù)。另外，濾色片優(yōu)選由平均折射率為1.60以上1.90以下、并且雙折射率的絕對值為0.01以下的著色層形成。由于使用了該優(yōu)選的范圍內(nèi)的著色層(含有間壁墻)的濾色片延遲降低，因此，可以提供顯示特性優(yōu)異的液晶顯示裝置。作為制造上述優(yōu)選的范圍內(nèi)的濾色片的方法，例如有日本特開2000-136253號公報的段落號中記載的方法。作為構(gòu)成濾色片時使用的顏料，優(yōu)選比表面積在35~120m2g—1范圍內(nèi)的顏料。作為得到該比表面積在優(yōu)選的范圍內(nèi)的顏料的方法，例如有日本特開2001-42117號公報的段落號中記載的方法。在使用該顏料制備感光性樹脂層形成用的組合物時，可以得到良好地維持著組合物的流動特性的兼顧高透過率和高色純度的著色膜。作為其結(jié)果，可以得到提高了色特性的濾色片，而且可以提高顯示裝置的色特性。臨時支撐體作為構(gòu)成本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料的臨時支撐體，可以從對化學(xué)及熱穩(wěn)定且由可撓性物質(zhì)構(gòu)成的臨時支撐體中適當(dāng)選擇。具體而言，例如有特富龍(注冊商標(biāo))、聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚乙烯、聚丙烯等薄片材、薄膜或它們的層疊體。其中，特別優(yōu)選雙軸拉伸聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜。作為臨時支撐體的厚度，適宜為530(^m，優(yōu)選為20150nm。~保護(hù)膜~為了保護(hù)貯藏時對感光性樹脂層的污染或損傷，優(yōu)選設(shè)置薄的保護(hù)膜。保護(hù)膜可以由與臨時支撐體相同或類似的材料構(gòu)成，但不能從感光性樹脂層容易地分離。作為保護(hù)膜的材料，例如硅酮紙、聚烯烴或聚四氟乙烯片材等。感光性轉(zhuǎn)印材料的制造方法一本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料可以優(yōu)選以如下方式構(gòu)成在臨時支撐體上具有表面處理層和感光性樹脂層，成為鄰接表面處理層和感光性樹脂層而形成的層疊結(jié)構(gòu)，以在臨時支撐體上依次相互接觸熱塑性樹脂層、中間層和感光性樹脂層的方式設(shè)置。這種情況下，本發(fā)明的氟系樹脂至少在中間層中含有，也可以根據(jù)情況進(jìn)一步在熱塑性樹脂層、感光性樹脂層中含有。在此，對上述優(yōu)選方式的感光性轉(zhuǎn)印材料的制造方法進(jìn)行說明。感光性轉(zhuǎn)印材料可以通過如下方法來制造，即，首先在臨時支撐體上涂敷溶解有熱塑性樹脂層的構(gòu)成成分的涂敷液(熱塑性樹脂層用涂敷液)并使其干燥，由此形成熱塑性樹脂層；在形成的熱塑性樹脂層上涂敷含有使用了不溶解熱塑性樹脂層的溶劑的中間層的構(gòu)成成分(包含本發(fā)明的氟系樹脂)的涂敷液(中間層用涂敷液)并使其干燥，由此形成中間層；其后，在形成的中間層上涂敷含有使用了不溶解中間層的溶劑的感光性樹脂層的構(gòu)成成分的涂敷液(感光性樹脂層用涂敷液)并使其干燥，設(shè)置感光性樹脂層。另外，感光性轉(zhuǎn)印材料也可以通過如下方法制造，即，準(zhǔn)備在臨時支撐體上設(shè)置有熱塑性樹脂層及中間層的片材及在保護(hù)膜上設(shè)置有感光性樹脂層的片材，以中間層和感光性樹脂層相互接觸的方式相互貼合。需要說明的是，在本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料中，作為感光性樹脂層的厚度，優(yōu)選為1.05.0nm，更優(yōu)選為1.04.0nm，特別優(yōu)選為1.03.0nm。另外，作為其它各層的優(yōu)選的膜厚，沒有特別限定，通常優(yōu)選臨時支撐體為15100|am，熱塑性樹脂層為2~30|am，中間層為0，5~3.(^m，保護(hù)膜為4~40,。需要說明的是，上述涂敷可以利用公知的涂敷裝置等進(jìn)行，但在本發(fā)明中，優(yōu)選利用在液體吐出的部分具有狹縫狀的孔的狹縫狀噴嘴進(jìn)行涂敷。具體而言，優(yōu)選使用日本特開2004-89851號公報、日本特開2004-17043號公報、日本特開2003-170098號公報、日本特開2003-164787號公報、日本特開2003-10767號公報、日本特開2002-79163號公報、日本特開2001-310147號公報等中記載的狹縫狀噴嘴及狹縫式涂布機(jī)。<間壁墻及其形成方法>本發(fā)明的間壁墻可通過如下方法形成，即，至少具有以下工序(a)壓接工序，使用所述的本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料，將該感光性轉(zhuǎn)印材料以感光性樹脂層接觸于被轉(zhuǎn)印體的方式壓接在上述被轉(zhuǎn)印體上；(b)曝光工序，對壓接在被轉(zhuǎn)印體上的上述感光性轉(zhuǎn)印材料的感光性樹脂層(至少隔著或不隔著表面處理層)進(jìn)行曝光，形成圖案狀；(c)顯影工序，對曝光好的上述感光性樹脂層進(jìn)行顯影，優(yōu)選設(shè)置對在上述(c)顯影工序之后進(jìn)行(d)顯影而得到的間壁墻圖案進(jìn)行烘培處理的烘培工序。如上所述，由于本發(fā)明的間壁墻由將使用含有本發(fā)明的氟系樹脂的表面處理層設(shè)置為接觸于感光性樹脂層而得的感光性轉(zhuǎn)印材料來形成，因此，對經(jīng)過轉(zhuǎn)印后的曝光、顯影等形成的間壁墻的上表面(間壁墻的與被轉(zhuǎn)印體接觸的一側(cè)相反側(cè)的表面；圖4中的間壁墻的上表面4)選擇性地賦予疏墨液性(包含疏油及疏水性)，同時對成為著色區(qū)域(像素)的露光的基板表面及間壁墻的側(cè)面(圖4中的間壁墻的側(cè)面5)不進(jìn)行氟化處理，不具有疏墨液性。-被轉(zhuǎn)印體-作為使用所述的本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料而轉(zhuǎn)印形成間壁墻的被轉(zhuǎn)印體，例如有使用透明性的基板且表面具有氧化硅被膜的鈉鈣玻璃板；低膨脹玻璃、無堿玻璃、石英玻璃板等公知的玻璃板、或塑料薄膜等。上述被轉(zhuǎn)印體通過預(yù)先進(jìn)行偶合處理，可以良好地進(jìn)行與感光性轉(zhuǎn)印材料的感光性樹脂層的密合。作為偶合處理，優(yōu)選日本特開2000-39033號公報等中記載的方法。需要說明的是，基板的厚度沒有特別限定，通常優(yōu)選700~1200pm。-壓接工序-在壓接工序中，將所述的本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料以感光性樹脂層的表面接觸于被轉(zhuǎn)印體的方式壓接在被轉(zhuǎn)印體的表面。所謂壓接，是例如以層疊的方式施加壓力使其接觸，使用本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料將形成為薄膜狀的感光性樹脂層用加熱及/或加壓過的輥或平版進(jìn)行壓接或熱壓接，由此可以做成在被轉(zhuǎn)印體上粘著有感光性轉(zhuǎn)印材料的層疊體。具體而言，例如可以使用以下方法日本特開平7-110575號公報、曰本特開平11-77942號公報、日本特開2000-334836號公報、日本特開2002-148794號公報中記載的層疊機(jī)及層疊方法，但從低雜質(zhì)的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選使用日本特開平7-110575號公報中記載的方法。另外，作為層疊機(jī)，可以使用能夠并列供給多張轉(zhuǎn)印材料的層疊機(jī)(多層層疊機(jī))。作為多層層疊機(jī)的實(shí)例，例如有日本特開2004-333616號公報的段落號號公報中記載的多層層疊機(jī)。通過使用多層層疊機(jī)，使用能夠多張并列供給比轉(zhuǎn)印區(qū)域?qū)挾日膶挾鹊霓D(zhuǎn)印材料的層疊機(jī)(多層層疊機(jī))，可以不依賴于樹脂轉(zhuǎn)印材料的涂敷寬度，實(shí)現(xiàn)寬幅的層疊。-曝光，顯影工序-曝光工序?qū)ι鲜鰤航庸ば蛑袎航釉诒晦D(zhuǎn)印體上的感光性轉(zhuǎn)印材料的感光性樹脂層至少隔著表面處理層進(jìn)行曝光，形成圖案狀。曝光可通過例如如下方法進(jìn)行，即，在轉(zhuǎn)印于被轉(zhuǎn)印體上的感光性樹脂層的再上方配置規(guī)定的掩模，同時，在該掩模的再上方配置光源，通過掩模及表面處理層從掩模上方進(jìn)行照射。作為曝光的光源，只要是可以照射能固化感光性樹脂層的波長域的光(例如365nm、405nm等)的光源，就可以適當(dāng)?shù)剡x擇使用。具體而言，例如有超高壓水銀燈、高壓水銀燈、金屬鹵化物燈等。作為曝光量，通常為5300mJ/cm2，優(yōu)選為10~200mJ/cm2。需要說明的是，圖案狀的曝光除上述使用掩模進(jìn)行的曝光方法之外，還可以通過特開2004-240216號公報的段落號號公報中記載的激光光源的曝光來進(jìn)行。在曝光工序中，對設(shè)置在被轉(zhuǎn)印體上的感光性樹脂層的不與被轉(zhuǎn)印體接觸的露出面進(jìn)行氟化。在對感光性樹脂層進(jìn)行曝光、固化的過程中，發(fā)生表面處理層中的本發(fā)明的氟系樹脂與感光性樹脂層化學(xué)鍵合或物理吸附等相互作用，氟系樹脂被固定在感光性樹脂層的表面處理層側(cè)界面，因此，可以對感光性樹脂層的表面處理層側(cè)界面賦予疏墨液性。顯影工序使用顯影液對在上述曝光工序中曝光好的感光性樹脂層進(jìn)行顯影，顯影除去未曝光區(qū)域的感光性樹脂層。經(jīng)過進(jìn)行該顯影工序，由此可以將由曝光形成的潛影表觀化，并作為間壁墻得到。此時，可以通過顯影除去表面處理層。由此可以除去感光性樹脂層上的表面處理層，但由于被固定在感光性樹脂層表面的本發(fā)明的氟系樹脂殘留，因此可以做成選擇性地僅對感光性樹脂層的與被轉(zhuǎn)印體接觸的一側(cè)相反側(cè)的表面(被轉(zhuǎn)印體上的感光性樹脂層的上表面)賦予了疏墨液性的間壁+血I回。作為上述顯影液，沒有特別限制，可以使用日本特開平5-72724號公報中記載的顯影液等公知的顯影液。需要說明的是，顯影液優(yōu)選感光性樹脂層具有溶解型的顯影行為的顯影液，例如優(yōu)選以0.055mol/L的濃度含有pKa-713的化合物的顯影液，而且可以少量添加進(jìn)一步與水具有混合性的有機(jī)溶劑。在此，作為"與水具有混合性的有機(jī)溶劑"，例如有甲醇、乙醇、2-丙醇、l-丙醇、丁醇、二丙酮醇、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇單正丁醚、芐醇、丙酮、丁酮、環(huán)己酮、e-己內(nèi)酯、Y-丁內(nèi)酯、二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、六甲基磷酰胺、乳酸乙酯、乳酸甲酯、e-己內(nèi)酰胺、N-甲基吡咯烷酮等。有機(jī)溶劑的濃度優(yōu)選為0.130質(zhì)量％。在上述顯影液中，可以進(jìn)一步添加公知的表面活性劑，表面活性劑的濃度優(yōu)選為0.0110質(zhì)量％。作為顯影的方式，可以使用攪拌式(paddle)顯影、噴淋顯影、噴淋&旋轉(zhuǎn)顯影、浸漬顯影等公知的方法。在此，對噴淋顯影進(jìn)行說明。噴淋顯影通過對曝光后的感光性樹脂層以噴啉方式噴涂顯影液，由此可以除去未固化部分。需要說明的是，優(yōu)選在顯影前通過噴淋等方式噴涂對感光性樹脂層溶解性低的堿性液體，除去熱塑性樹脂層、中間層等。另外，優(yōu)選在顯影后一邊通過噴淋噴涂洗滌劑等邊用刷子等擦，除去顯影殘?jiān)?。顯影液的液體溫度優(yōu)選為204(TC，另外，顯影液的pH優(yōu)選為8~13。-烘培工序-在烘培工序中，對在顯影工序中顯影而得到的間壁墻圖案進(jìn)行烘培(加熱)處理。烘培處理是將通過圖案曝光及顯影形成的圖像(間壁墻圖案)進(jìn)行加熱使其固化。作為烘培處理的方法，可以使用目前公知的各種方法。即，例如有將多張基板放入箱中用加熱爐進(jìn)行處理的方法、用電熱板對每1張進(jìn)行處理的方法、用紅外線加熱器進(jìn)行處理的方法等。另外，作為烘培溫度(加熱溫度)，通常為150~280°C，優(yōu)選為180-250°C。加熱時間根據(jù)上述烘培溫度而變動，但在將烘培溫度設(shè)定為22(TC的情況下，優(yōu)選在中間烘培處理時間為5~30分鐘，在最終烘培處理時間為60200分鐘。另外，在間壁墻的形成方法中的烘培工序中，從防止減膜量不均勻、防止感光性樹脂層中所含的UV吸收劑等成分析出的觀點(diǎn)出發(fā)，可以在烘培處理前對通過上述曝光、顯影工序形成的間壁墻圖案進(jìn)行后曝光。進(jìn)行烘培處理前，在進(jìn)行后曝光時，可以有效防止在層疊時滲入的微小雜質(zhì)膨脹而形成缺陷。-后曝光-在此，對上述后曝光進(jìn)行簡略說明。作為用于后曝光的光源，只要是可以照射能夠固化感光性樹脂層的波長區(qū)域的光(例如365nm、405nm等)的光源，就可以適當(dāng)?shù)剡x擇使用。具體而言，例如有超高壓水銀燈、高壓水銀燈、金屬鹵化物燈等。作為曝光量，只要是補(bǔ)充上述曝光的曝光量即可，通常為50~5000mJ/cm2，優(yōu)選為2002000mJ/cm2，進(jìn)一步優(yōu)選為500~1000mJ/cm2。間壁墻的形成方法的一例在此，將間壁墻的形成方法的一例例示如下。但是，本發(fā)明并不限定于該例。i)基板洗滌在使用無堿玻璃基板(下面有時簡稱為"玻璃基板"。)時，為了除去基板表面的污垢而進(jìn)行洗滌。例如一邊通過噴淋噴涂調(diào)整為25'C的玻璃洗滌劑液(商品名T-SD1、T-SD2、富士膠片(株)制)20秒，一邊用具有尼龍毛的旋轉(zhuǎn)刷進(jìn)行洗滌，再進(jìn)行純凈水噴淋洗滌。ii)硅垸偶聯(lián)劑處理為了增加層疊時感光性樹脂層的密合性，優(yōu)選對玻璃基板實(shí)施硅烷偶聯(lián)劑處理。作為硅烷偶聯(lián)劑，優(yōu)選具有與感光性樹脂相互作用的官能團(tuán)的硅垸偶聯(lián)劑。例如，通過噴淋噴涂硅烷耦合劑液(N-(3(氨乙基)Y-氨丙基三甲氧基硅烷0.3質(zhì)量％水溶液、商品名KBM603、信越化學(xué)工業(yè)(株)製)20秒，用純凈水噴淋洗滌。然后，通過加熱使其反應(yīng)。可以使用加熱槽，但通過層疊機(jī)的基板預(yù)熱也可以使反應(yīng)進(jìn)行。iii)層疊接著，利用基板預(yù)熱裝置在IO(TC下對該玻璃基板進(jìn)行2分鐘加熱后，將其送入下一工序的層疊機(jī)中。由此，可以均勻地進(jìn)行層疊。而且，在剝離所述的本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料的保護(hù)膜后，在橡膠輥溫度13(TC、線壓100N/cm、輸送速度2.2m/分鐘的條件下，使用層疊機(jī)對加熱至IO(TC的玻璃基板的表面進(jìn)行層疊。橡膠輥的溫度優(yōu)選為IO(TC以上15(TC以下。玻璃基板的溫度在上述范圍內(nèi)時，可以抑制轉(zhuǎn)印材料的皺褶，感光性樹脂層的密合也優(yōu)異。iv)圖案曝光層疊后，使用具有超高壓水銀燈的近接式曝光機(jī)進(jìn)行曝光。需要說明的是，進(jìn)行曝光后可以剝離臨時支撐體(此時，通過臨時支撐體和表面處理層對感光性樹脂層進(jìn)行曝光)，剝離臨時支撐體后也可以進(jìn)行曝光(此時，通過表面處理層對感光性樹脂層進(jìn)行曝光)。在這種情況下，曝光時表面處理層處于與感光性樹脂層密合的狀態(tài)，在剝離臨時支撐體時，可以與表面處理層同時剝離，也可以不與表面處理層同時剝離，但優(yōu)選表面處理層仍舊與感光性樹脂層密合而殘留在感光性樹脂層上，僅剝離臨時支撐體。在被轉(zhuǎn)印體的尺寸為50厘米以上的情況下，從防止掩模的撓曲的角度出發(fā)，優(yōu)選在垂直立起基板和掩模(具有圖像圖案的石英曝光掩模)的狀態(tài)下進(jìn)行曝光。掩模面和感光性樹脂層的基板側(cè)表面之間的距離越短析像度越好，但由于雜質(zhì)容易附著，因此設(shè)定為100300um。曝光量優(yōu)選設(shè)定在10300mJ/ci^的范圍。通過如上操作進(jìn)行曝光，形成圖案狀。v)熱塑性樹脂層、中間層的除去結(jié)束曝光及臨時支撐體的剝離除去后，使用三乙醇胺系顯影液(例如含有2.5%的三乙醇胺、非離子表面活性劑及聚丙烯類消泡劑的(商品名-T-PD1、富士膠片(株)制等)等除去熱塑性樹脂層和中間層。此時，理想的方式是，以感光性樹脂層完全沒有被顯影的方式來設(shè)定其它條件。例如，在3(TC、扁平噴嘴壓力為0.04MPa下通過噴淋供給50秒。需要說明的是，在熱塑性樹脂層或中間層不適合于表面處理層時，可以在剝離臨時支撐體時將其與臨時支撐體一起除去。vi)感光性樹脂層的顯影接著，用堿對感光性樹脂層進(jìn)行顯影形成圖案。例如可以使用碳酸鈉系顯影液(例如含有0.06摩爾/升的碳酸氫鈉、同濃度的碳酸鈉、1質(zhì)量％的二丁基萘磺酸鈉、陰離子表面活性劑、消泡劑及穩(wěn)定劑的碳酸鈉系顯影液(商品名T-CD1、富士膠片(株)制)。作為條件，例如在35'C下、錐形噴嘴壓力0.15Mpa下噴淋顯影35秒。作為顯影液，可以使用KOH系、TMAH系。vii)殘?jiān)ソ又?，使用洗滌?例如含有磷酸鹽、硅酸鹽、非離子表面活性劑、消泡劑及穩(wěn)定劑的洗漆劑(商品名T-SD1、富士膠片(株)制)或含有碳酸鈉及苯氧基聚氧化乙烯系表面活性劑的洗滌劑(商品名T-SD2、富士膠片(株)制)等。就條件而言，在33°C、錐形噴嘴壓力0.02MPa下利用噴淋和具有尼龍毛的旋轉(zhuǎn)刷除去殘?jiān)?0秒。通過以上操作除去未曝光部分中的感光性樹脂層的殘存成分。viii)后曝光接著，相對于玻璃基板從圖案形成面?zhèn)扔贸邏核y燈以500mJ/cm2左右進(jìn)行后曝光。后曝光也可以從兩面進(jìn)行，另夕卜，可以在100~800mJ/cm2的范圍內(nèi)選擇。通過進(jìn)行后曝光，可以使其后通過烘培處理進(jìn)行的聚合固化效果升高，同時可以通過后曝光時的曝光量來調(diào)整烘培后的間壁墻的截面形狀。ix)烘培處理通過進(jìn)行烘培處理，可以促進(jìn)單體或低聚物的反應(yīng)形成硬膜。烘培處理優(yōu)選在20024(TC下進(jìn)行30180分鐘的熱處理。這些溫度及時間更優(yōu)選以不降低生產(chǎn)節(jié)拍的方式設(shè)定為高的溫度、短時間。通過經(jīng)過以上的工序，可以形成本發(fā)明的間壁墻。如以上所述，由于本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料通過在以與感光性樹脂層接觸的方式設(shè)置的表面處理層上含有本發(fā)明的氟系樹脂而構(gòu)成，因此，在所希望的被轉(zhuǎn)印體上轉(zhuǎn)印感光性樹脂層而形成的黑底等間壁墻上至少存在本發(fā)明的氟系樹脂，即，構(gòu)成被轉(zhuǎn)印體上的間壁墻的感光性樹脂層的與被轉(zhuǎn)印體接觸的一側(cè)相反側(cè)的表面(被轉(zhuǎn)印體上的感光性樹脂層的上表面)通過表面處理層進(jìn)行氟化，被氟化的表面處于露出的狀態(tài)，在利用噴墨法形成由設(shè)置在被轉(zhuǎn)印體上的間壁墻隔離成的各著色區(qū)域(濾色片等光學(xué)元件的著色像素等)時，利用對劃分各著色區(qū)域間的間壁墻的上表面選擇性賦予的疏墨液性，可以防止噴墨賦予的墨液的混色、溢出，進(jìn)而可以防止賦予的墨液流入或滲入其它著色區(qū)域內(nèi)。在制造濾色片時，優(yōu)選隔離相鄰的著色像素間的同時做成遮光的遮光層，在這樣的情況下可以做成黑底或黑條紋。下面，作為設(shè)有間壁墻的本發(fā)明的光學(xué)元件，以濾色片為例進(jìn)行說明。圖4是示意性地表示濾色片的剖面圖。需要說明的是，為了使說明容易理解，在圖4中，右端的凹部3以不形成著色像素的狀態(tài)顯示。如圖4所示，本發(fā)明的濾色片在玻璃基板6上以按規(guī)定的間隔形成凹部3的方式設(shè)有間壁墻1，對被間壁墻間包圍的凹部3賦予墨液形成著色像素2。在此，為了使說明容易理解，僅顯示5個間壁墻1、4個凹部3，間壁墻及凹部可以根據(jù)需要而設(shè)置。例如，在線條狀的濾色片的情況下，在像素數(shù)為640像素時，每1像素需要RGB的3個著色區(qū)域，因此，需要1921個間壁墻1和1920個凹部3。在液晶顯示元件中，根據(jù)基板間隙的精密性有時也在不進(jìn)行顯示的顯示像素的周圍還形成濾色片圖案，這種情況下可進(jìn)一步增加基板間隙的精密性。在圖案為線條狀時，在長度方向上可以不形成間壁墻1，但有時以間壁墻1完全包圍著色像素2的周圍。特別是在鑲嵌狀的濾色片的情況下，以間壁墻1包圍著色像素2的周圍。用于劃分著色像素2的間壁墻1在玻璃基板6上形成為線狀或格子狀。該間壁墻1的形狀只要以對應(yīng)于由間壁墻劃分的凹部3欲形成的著色像素2的方式形成即可。例如，在形成線條狀的濾色片時形成為線狀，在對應(yīng)于方形的著色像素2時形成為格子狀。由于其可以由著色像素2的形狀適當(dāng)?shù)卮_定，因此也可以考慮為放射狀、圓周狀等各種形狀。間壁墻l在構(gòu)成為液晶顯示元件等時，兼?zhèn)渥鳛楹诘椎墓δ苁怯欣?。下面，對間壁墻l兼?zhèn)浜诘椎膶?shí)例進(jìn)行說明，但在不作為黑底形成時，只要做成不含有黑色的材料等的構(gòu)成即可。間壁墻1在利用噴墨法將凹部3進(jìn)行著色時，具有防止滴入的墨液流入或滲入其它凹部或所設(shè)置的著色像素的作用。因此，優(yōu)選間壁墻l的高度為一定程度的高度，在要求構(gòu)成濾色片時的整體的平坦性高時，優(yōu)選將其設(shè)定為接近于需要的著色像素的厚度的高度。具體而言，為了得到所希望的著色像素，所需要的墨液的堆積量也不同，通常為0.13pm左右。在對玻璃基板6上的凹部3噴墨賦予墨液時，如果在間壁墻1的上表面(圖4所示的上表面4)殘存墨液，則平坦性、著色像素間的厚度及著色的均勻性受損，但由于對本發(fā)明的間壁墻的上表面進(jìn)行了疏墨液處理，因此可以有效抑制厚度及著色不均。另一方面，對本發(fā)明的間壁墻的側(cè)面不進(jìn)行(圖4所示的側(cè)面5)疏墨液處理。l卩，間壁墻1的表面4具有彈起墨液的性質(zhì)，側(cè)面具有難以彈起墨液的性質(zhì)。進(jìn)一步，由于對欲形成著色像素的凹部3也不進(jìn)行疏墨液處理，因此凹部3的露出面具有難以彈起墨液的性質(zhì)，因此，在噴墨賦予墨液時，在凹部3中難以發(fā)生漏白，而且可以有效防止墨液溢出或混色。在此，作為對構(gòu)成濾色片的間壁墻1的表面4賦予疏墨液性的程度，以水的接觸角計優(yōu)選為85~140°。在該水的接觸角低于85°時，在間壁墻的上表面容易殘存墨液，在其超過140°時，有時容易阻礙間壁墻間的凹部的著色、喪失間壁墻的上表面的平滑性。特別優(yōu)選在100-125°的范圍內(nèi)。疏墨液性的程度(水的接觸角的范圍)可以通過所述的表面處理層中的本發(fā)明的氟系樹脂的含量或相對感光性樹脂層的圖案的曝光量等來控制。在此，水的接觸角的測定可以利用協(xié)和界面科學(xué)(株)制的接觸角計DM300進(jìn)行，墨液的接觸角也可以通過同樣地操作求出。在本發(fā)明中，所謂黑底，是指例如在形成線條狀的濾色片時形成為線狀、為了對應(yīng)于方形的像素而形成為格子狀的設(shè)置在具有遮光性的著色像素間的間壁墻。黑底根據(jù)著色像素的形狀適當(dāng)?shù)卮_定，可以形成放射狀、圓周狀等各種形狀。黑底可以通過使用可以向感光性樹脂層賦予遮光性的著色劑來制造。<光學(xué)元件及其制造方法>在由轉(zhuǎn)印本發(fā)明的感光性轉(zhuǎn)印材料的感光性樹脂層而形成于被轉(zhuǎn)印體上的間壁墻劃分好的凹部，通過噴墨法對其賦予液滴形成著色區(qū)域(例如著色像素)，由此可以制造本發(fā)明的光學(xué)元件。在本發(fā)明的光學(xué)元件中包含通過如下方法形成的光學(xué)元件通過噴墨法賦予液滴，使濾色片、電致發(fā)光元件等的由預(yù)先形成的間壁墻包圍成的凹狀區(qū)域著色而成的光學(xué)元件。作為上述濾色片的實(shí)例，例如有在玻璃等基板上將著色成紅色、綠色、藍(lán)色等的矩形圖像分別配置成矩陣狀，在圖像和圖像的邊界配置黑底等間壁墻而構(gòu)成的方式等。另外，作為電致發(fā)光元件的實(shí)例，例如有下述元件具有用陰極和陽極夾持有含有熒光性的無機(jī)或有機(jī)化合物的薄膜的構(gòu)成，在所述薄膜上注入電子、正孔(孔)使其復(fù)合，由此生成激子，利用該激子失活時放出的熒光或磷光使其發(fā)光。在電致發(fā)光元件中，可以利用噴墨法對形成有例如TFT等元件的基板賦予熒光材料液滴而形成發(fā)光層，由此構(gòu)成元件。由于噴墨法等賦予液滴的方法可以謀求制造工藝的簡化及成本降低，故可應(yīng)用于濾色片或電致發(fā)光元件這樣的光學(xué)元件的制造。噴墨法可以采用利用電場來控制的連續(xù)噴射帶電墨液的方法；使用壓電元件間歇噴射墨液的方法；將墨液進(jìn)行加熱，利用其發(fā)泡間歇進(jìn)行噴射的方法等各種方法。就墨液而言，油性、水性都可以使用。另外，就墨液中所含的著色劑而言，染料、顏料都可以使用，從耐久性方面來考慮，優(yōu)選顏料。另外，也可以使用公知的濾色片的制造中所使用的油性著色墨液(著色樹脂組合物)。考慮賦予墨液后的工序，也可以在墨液中添加通過加熱進(jìn)行固化或通過紫外線等能量射線進(jìn)行固化的成分。作為通過加熱進(jìn)行固化的成分，廣泛使用各種熱固化性樹脂，作為通過能量射線進(jìn)行固化的成分，可以使用例如在丙烯酸酯衍生物或甲基丙烯酸酯衍生物中添加有光反應(yīng)引發(fā)劑的物質(zhì)。特別是考慮耐熱性時，更優(yōu)選分子內(nèi)具有多個丙烯酰基、甲基丙烯?；奈镔|(zhì)。這些丙烯酸酯衍生物、甲基丙烯酸酯衍生物優(yōu)選為水溶性物質(zhì)，難熔于水的物質(zhì)可以進(jìn)行乳化后使用。該情況下，可以優(yōu)選使用上述包含"感光性樹脂層"項(xiàng)中列舉的顏料等著色劑的感光性樹脂組合物。作為光學(xué)元件，在構(gòu)成例如濾色片時，優(yōu)選紅色著色像素的像素內(nèi)段差A(yù)Tk、綠色著色像素的像素內(nèi)段差A(yù)Tc、藍(lán)色著色像素的像素內(nèi)段差A(yù)TB全部為0.5)im以下，更優(yōu)選為0.2pm以下。以像素內(nèi)段差優(yōu)選的著色像素構(gòu)成的濾色片可以抑制由光漏引起的對比度下降或余像等顯示不良的發(fā)生，可以以優(yōu)異的畫質(zhì)顯示圖像。作為將像素內(nèi)段差調(diào)整為優(yōu)選的范圍的方法，例如有日本特開平11-218607號公報的段落號中記載的方法。另外，至少由三種顏色構(gòu)成的濾色片(著色像素)優(yōu)選基于各膜的三刺激值[X，Y,Z]計算而得的白色顯示坐標(biāo)(Uwhite,V'white，)及黑色顯示坐標(biāo)(U'阪k，v'b滅，)在連結(jié)坐標(biāo)P"0.18,0.52)、坐標(biāo)Q,(0.25,0.52)、坐標(biāo)R,(0.23,0.42)、坐標(biāo)S《0.15，0.42)四個坐標(biāo)而得的直線的范圍內(nèi)的濾色片。作為該濾色片的實(shí)例，例如有日本特開2005-25175號公報的段落號中記載的濾色片。使用濾色片的顯示裝置可以適當(dāng)取得像素間的平衡，使對顯示的顏色的調(diào)節(jié)簡便。另外，尤其可以優(yōu)選用作電視機(jī)用濾色片。需要說明的是，用于形成著色區(qū)域的墨液(感光性樹脂組合物)優(yōu)選為如下感光性樹脂組合物:在置于水平的清潔的玻璃基板上滴加1滴墨液時，將玻璃基板由水平傾斜45。使滴加物流下，在10(TC下烘培處理3分鐘后，在該感光性樹脂組合物的擴(kuò)展部中的膜厚換算為lpm時的濁度值為2以下。作為感光性樹脂組合物的實(shí)例，例如有日本特開2003-330174號公報的段落號中記載的組合物。在使用該組合物時，可以形成膜厚的面內(nèi)均勻性良好、沒有斑的濾色片。另外，利用墨液形成的著色像素的對比度優(yōu)選為2000以上。作為提高對比度的方法，例如有日本特幵2005-25206號公報的段落號中記載的方法。使用對比度高的濾色片的顯示裝置，可以用作具有優(yōu)異的色再現(xiàn)性的EBU規(guī)格的TV用液晶顯示裝置。在制造濾色片時，通過利用噴墨法滴入通常的RGB三色的墨液，可以形成三色的濾色片。該濾色片可與液晶顯示元件、電泳顯示元件、電致發(fā)光顯示元件、PLZT等組合而用作顯示元件。也可以用于彩色照相機(jī)或使用其它濾色片的用途。含有濾色片的本發(fā)明的光學(xué)元件，可以有效地抑制各色墨液的滲出、溢出、與相鄰像素的混色等缺陷。本發(fā)明的光學(xué)元件可以用于如上所述的各種顯示裝置，也可以用于在對置的一對基板間封入了液晶材料的液晶顯示元件。另外，本發(fā)明的光學(xué)元件構(gòu)成濾色片的情況，可以應(yīng)用于例如在后述的液晶顯示裝置的對置基板(側(cè)面沒有TFT等能動元件的基板)上形成的方式或在TFT基板側(cè)形成的COA方式、在TFT基板側(cè)僅形成黑色的BOA方式或在TFT基板上具有高開口結(jié)構(gòu)的HA方式。在濾色片上可以進(jìn)一步根據(jù)需要形成外敷膜或透明導(dǎo)電膜。<顯示裝置>本發(fā)明的顯示裝置是備有所述的本發(fā)明的顯示元件(包含濾色片。)的顯示裝置，例如，含有液晶顯示裝置、等離子體顯示裝置、EL顯示裝置、CRT顯示裝置等顯示裝置等。例如，可以以規(guī)定的間隙定向配置作為本發(fā)明的光學(xué)元件的濾色片和與其不同的準(zhǔn)備好的對置基板，在濾色片和對置基板之間封入液晶，由此制造液晶顯示裝置。作為液晶的顯示方式，沒有特別限制，可以根據(jù)目的適當(dāng)選擇?？梢詰?yīng)用于例如ECB(電壓控制雙折射，ElectricallyControlledBirefringence)、TN(扭曲向列，TwistedNematic)、OCB(分支編碼本，OpticallyCompensatoryBend)、VA(垂直取向，VerticallyAligned)、HAN(混成分子排列向列，HybridAlignedNematic)、STN(超扭曲向列，SupperTwistedNematic)、IPS(共面轉(zhuǎn)換，In-PlaneSwitching)、GH(格斯特基質(zhì)，GuestHost)、FLC(強(qiáng)誘電性液晶)、AFLC(反強(qiáng)誘電性液晶)、PDLC(高分子分散型液晶)等顯示方式。實(shí)施例下面，利用實(shí)施例更具體地說明本發(fā)明，但只要不超出本發(fā)明的要旨，就并不限定于下面的實(shí)施例。需要說明的是，只要沒有特別說明，"份"表示質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。實(shí)施例1在厚度75pm的聚對苯二甲酸乙二醇酯臨時支撐體上使用狹縫狀噴嘴涂敷由下述配方C構(gòu)成的熱塑性樹脂層用涂敷液并使其干燥，形成熱塑性樹脂層。接著，在上述熱塑性樹脂層的表面涂敷由下述配方PI構(gòu)成的表面處理層用涂敷液并使其干燥，形成表面處理層，在形成的表面處理層的表面進(jìn)一步涂敷下述表1中記載的感光性樹脂組合物K1并使其干燥，形成感光性樹脂層K。由此，在臨時支撐體上設(shè)置干燥膜厚為6.(Hmi的熱塑性樹脂層、干燥膜厚為1.6|im的表面處理層和干燥膜厚為2.5|tim的黑色(K)的感光性樹脂層K，進(jìn)一步在感光性樹脂層上壓接保護(hù)膜(厚度為12pm的聚丙烯薄膜)，制造構(gòu)成為臨時支撐體/熱塑性樹脂層凍面處理層(氧遮斷膜)/感光性樹脂層K/保護(hù)膜的層疊結(jié)構(gòu)的感光性轉(zhuǎn)印材料Kl。在此，按照下述評價標(biāo)準(zhǔn)評價感光性樹脂組合物Kl的涂敷性。需要說明的是，不均及彈起的程度為A級、B級、C級的情況是實(shí)際應(yīng)用上可以允許的范圍。評價結(jié)果示于下表2。<評價標(biāo)準(zhǔn)>A級可以進(jìn)行沒有不均》濺起的產(chǎn)生的涂敷，涂敷性良好。B級有一些不均，但涂敷性良好。<table>tableseeoriginaldocumentpage58</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage59</column></row><table>(單位份)在此，對上述表1中記載的感光性樹脂組合物K1的制備進(jìn)行說明。感光性樹脂組合物K1通過如下方法得到，即，量取上述表l中記載的量的顏料分散物1及丙二醇單甲醚乙酸酯，在溫度24'C(土2。C)下進(jìn)行混合并以150rp，m的轉(zhuǎn)速攪拌IO分鐘，然后，量取上述表1中記載的量的丁酮、粘合劑l、DPHA液體、2,4-二(三氯甲基)-6-[4，-(N,N-二乙氧羰基甲氨基)-3，-溴苯基]-s-三嗪、對苯二酚單甲醚及表面活性劑1，在溫度25。C(土2。C)下依次添力口，在溫度40。C(士2。C)下以150r'p'm的轉(zhuǎn)速攪拌30分鐘。需要說明的是，感光性樹脂組合物K1中的顏料分散物1、粘合劑l、DPHA液體及表面活性劑1的組成如下所述。*顏料分散物1'炭黑(德固賽(f夕、'、乂廿公司制造、商品名SpecialBlack250)…13.1份^^-二-(3-二乙氨基丙基)-5-{4-[2-氧-1-(2-氧-2，3-二氫-111-苯并咪唑-5-基氨基甲?；?-丙基偶氮]-苯甲酰氨基H司苯二甲酰胺..力.65份聚合物(甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸二72/28摩爾比的無規(guī)共聚物，重均分子量3.7萬).,.6.72份.丙二醇單甲醚乙酸酯...79.53份*粘合劑1甲基丙烯酸芐酯/甲基丙烯酸(二78/22[摩爾比])的無規(guī)共聚物、(重均分子量4.4萬)…27份丙二醇單甲醚乙酸酯...73份*DPHA液二季戊四醇六丙烯酸酉旨(含500ppm阻聚劑MEHQ、日本化藥(株)制、商品名KAYARADDPHA)...76份*丙二醇單甲醚乙酸酯...24份*表面活性劑1C6F13CH2CH2OCOCH=CH2(40份)、H(OCH(CH3)CH2)7OCOCH=CH2(55份)和H(OCH2CH2)7OCOCH=CH2(5份)的共聚物(重均分子量30萬)...30份*丁酮...70份(R墨液)在下述組成中的成分中，首先，將顏料、高分子分散劑及溶劑進(jìn)行混合，使用3根輥和珠磨機(jī)得到顏料分散液。然后，一邊用溶解機(jī)充分?jǐn)嚢柙擃伭戏稚⒁海贿吷倭慷啻蔚靥砑邮Ｓ嗟某煞?，制備R(紅色)像素用著色墨液(R墨液)。(R墨液的組成)顏料(C.I.顏料紅254)…5份高分子分散劑(AVECIA公司制造、速路斯帕斯(y少7^—7)24000)…l份粘合劑(甲基丙烯酸縮水甘油酯/苯乙烯共聚物)...3份第一環(huán)氧樹脂...2份(酚醛清漆型環(huán)氧樹脂；艾皮庫特(工t:。3—卜)154、油化殼牌公司制造)*第二環(huán)氧樹脂...5份(新戊二醇二縮水甘油醚)固化劑(偏苯三酸)…4份溶劑(3-乙氧基丙酸乙酯)...80份(G墨液)接著，將上述R墨液的組成中的C.I.顏料紅254取代為C丄顏料綠36并使用相同的量，除此之外，與R像素用著色墨液組合物的情況同樣地操作，制備G(綠色)像素用著色墨液組合物(G墨液)。(B墨液)接著，將上述R墨液的組成中的C.I.顏料紅254取代為C.I.顏料藍(lán)15:6并使用相同的量，除此之外，與R像素用著色墨液組合物的情況同樣地操作，制備B(藍(lán)色)像素用著色墨液組合物(B墨液)。接著，以壓電方式準(zhǔn)備裝載有噴嘴析像度180dpi的磁頭的噴墨記錄裝置，裝填通過上述操作制得的R墨液、G墨液及B墨液，通過形成于玻璃基板上的黑底(間壁墻)包圍凹部(玻璃基板的露出部)，使其形成矩陣狀，以成為所希望的濃度的方式將R、G、B各墨液利用噴墨法對凹部賦予液滴。然后，對設(shè)有黑底及R、G、B墨液的玻璃基板，在23(TC下進(jìn)行1小時的熱處理使各色墨液固化，制造設(shè)有R、G、B三色的著色區(qū)域(像素)和隔離各著色區(qū)域的黑底(間壁墻)而成的濾色片。[濾色片的評價〗1、墨液的溢出及混色對得到的濾色片，利用光學(xué)顯微鏡觀察濾色片的任意3000個像素，按照下述標(biāo)準(zhǔn)評價墨液的溢出及混色的有無。需要說明的是，所謂墨液的溢出及混色，是指圖l所示的現(xiàn)象，下述A級、B級或C級的情況為實(shí)際應(yīng)用上可以允許的范圍。評價結(jié)果示于下述表2。<評價標(biāo)準(zhǔn)>A級完全沒有墨液的溢出及混色B級1~2處有墨液的溢出及混色C級3~4處有墨液的溢出及混色D級5~10處有墨液的溢出及混色E級11處以上有墨液的溢出及混色2、平坦性濾色片的像素內(nèi)的平坦性、即段差的測定(厚度不均的評價)如下。用Tencor公司制造的表面粗糙度計P-10測定任意像素的表面形狀，求出像素內(nèi)最突出的部分和像素內(nèi)的最低部分的高度差A(yù)T。允許的段差為0.1^im以下。<評價標(biāo)準(zhǔn)>A級厶T^0.—B級0.1pm<AT^0.15fimC級AT〉0.15jam-ITO圖案的形成-在如上所述制得的濾色片的黑底及著色區(qū)域(像素)的形成面上不設(shè)置外敷層，在形成了RGB的像素的濾色片上通過濺射直接形成ITO膜，設(shè)置透明電極。-間隔物的形成-對上述形成ITO膜后的玻璃基板，在其ITO膜上將感光性樹脂組合物Kl的配方取代為下述感光性樹脂層用涂敷液的配方S，同時，將表面處理層用涂敷液的配方P1取代為下述配方PC1，除此之外，與上述[間壁墻的形成]中的情況同樣地操作，制造感光性轉(zhuǎn)印材料K2，形成間隔物。其中，曝光、顯影及熱處理通過以下方法進(jìn)行。借助規(guī)定的光掩模，利用超高壓水銀燈以300mJ/cr^進(jìn)行近接式曝光。曝光后，使用K0H顯影液[CDK-1(商品名)的100倍稀釋液(pH-11.8)、富士膠片(株)制]，溶解除去未曝光部分的感光性樹脂層。接著，在230'C下進(jìn)行30分鐘的熱處理，在玻璃基板上的ITO膜上形成直徑16pm、平均高度3.7pm的透明的柱狀間隔物圖案。下面，將形成了該柱狀間隔物圖案的玻璃基板稱為"液晶顯示裝置用基板"。感光性樹脂層用涂敷液的配方S~甲基丙烯酸/甲基丙烯酸烯丙酯共聚物...108份(摩爾比=20/80、分子量40000)二季戊四醇六丙烯酸酯...64.7份(聚合性單體)2，4-二(三氯甲基)-6-[4，-(N,N-二乙氧基羰基甲基)-3，-溴苯基]-s-三嗪...6.24份對苯二酚單甲醚...0.0336份維多利亞純藍(lán)BOHM(保土亇谷化學(xué)(株)制)...0.874份'麥嘎發(fā)克(乂力、77、7夕)F780F...0.856份(大日本墨液化學(xué)工業(yè)(株)制；表面活性劑).丁酮...328份l-甲氧基-2-丙基乙酸酯...475份甲醇...16.6份表面處理層用涂敷液的配方PC1PVA205…32.2份((株)庫來(夕，P)制、皂化度=88%、聚合度550;聚乙烯醇)使用由上述得到的液晶顯示裝置用基板，與日本特開平11-242243號公報的第一實(shí)施例()中記載的方法同樣地操作，制造液晶顯示裝置。在得到的液晶顯示裝置中使各種圖像顯示，通過目視評價作為通常的液晶顯示器是否可以正常地顯示(顯示特性)。評價結(jié)果示于下述表2。(實(shí)施例2)在實(shí)施例1中，將用于表面處理層用涂敷液的配方Pl的制備的例示樹脂a的量變更為4.66份，除此之外，與實(shí)施例1同樣地操作并進(jìn)行評價。(實(shí)施例3)在實(shí)施例1中，將用于表面處理層用涂敷液的配方Pl的制備的例示樹脂a的量變更為10.3份，除此之外，與實(shí)施例1同樣地操作并進(jìn)行評價。(實(shí)施例4)在實(shí)施例1中，將用于表面處理層用涂敷液的配方P1的制備的例示樹脂a的量變更為15.6份，除此之外，與實(shí)施例1同樣地操作并進(jìn)行評價。(實(shí)施例5)在實(shí)施例1中，將用于表面處理層用涂敷液的配方Pl的制備的例示樹脂a0.59份取代為例示樹脂bl0.3份，除此之外，與實(shí)施例l同樣地操作并進(jìn)行評價。(實(shí)施例6)在實(shí)施例1中，將用于表面處理層用涂敷液的配方Pl的制備的例示樹脂a0.59份取代為例示樹脂c10.3份，除此之外，與實(shí)施例1同樣地操作并進(jìn)行評價。(實(shí)施例7)在實(shí)施例1中，將用于表面處理層用涂敷液的配方P1的制備的例示樹脂a0.59份取代為例示樹脂dl0.3份，除此之外，與實(shí)施例l同樣地操聚乙烯基吡咯烷酮(BASF公司制造、K-30)，蒸餾水甲醇…14.9份...524份...429份作并進(jìn)行評價。(實(shí)施例8)在實(shí)施例1中，將用于表面處理層用涂敷液的配方P1的制備的例示樹脂a0.59份取代為例示樹脂e10.3份，除此之外，與實(shí)施例1同樣地操作并迸行評價。(實(shí)施例9)在實(shí)施例1中，將用于表面處理層用涂敷液的配方Pl的制備的例示樹脂a0.59份取代為例示樹脂fl0.3份，除此之外，與實(shí)施例l同樣地操作并進(jìn)行評價。(實(shí)施例10)在實(shí)施例1中，將用于表面處理層用涂敷液的配方P1的制備的例示樹脂a0.59份取代為例示樹脂gl0.3份，除此之外，與實(shí)施例l同樣地操作并進(jìn)行評價。(實(shí)施例11)在實(shí)施例1中，將用于表面處理層用涂敷液的配方P1的制備的例示樹脂a0.59份取代為例示樹脂hl0.3份，除此之外，與實(shí)施例l同樣地操作并進(jìn)行評價。(實(shí)施例12)在實(shí)施例1中，將用于表面處理層用涂敷液的配方Pl的制備的例示樹脂a0.59份取代為例示樹脂i10.3份，除此之外，與實(shí)施例1同樣地操作并進(jìn)行評價。(實(shí)施例13)在實(shí)施例1中，將用于表面處理層用涂敷液的配方P1的制備的例示樹脂a0.59份取代為例示樹脂j10.3份，除此之外，與實(shí)施例l同樣地操作并進(jìn)行評價。(實(shí)施例l勺在實(shí)施例1中，將用于表面處理層用涂敷液的配方P1的制備的例示樹脂a0.59份取代為例示樹脂k10.3份，除此之外，與實(shí)施例1同樣地操作并進(jìn)行評價。(實(shí)施例15)在實(shí)施例3的[間壁墻的形成]中，將利用近接式曝光機(jī)進(jìn)行的圖案曝光的曝光量變更為300mJ/cm2，除此之外，與實(shí)施例3同樣地操作并進(jìn)行評價。(實(shí)施例16)在實(shí)施例3的[間壁墻的形成]中，將利用近接式曝光機(jī)進(jìn)行的圖案曝光的曝光量設(shè)定為300mJ/cm2，將用純凈水使KOH系顯影液稀釋100倍得到的溶液的顯影時間設(shè)定為40秒，除此之外，與實(shí)施例3同樣地操作并進(jìn)行評價。(實(shí)施例17)在實(shí)施例3中，將R墨液、G墨液及B墨液取代為下述R墨液、G墨液及B墨液，除此之外，與實(shí)施例3同樣地操作并進(jìn)行評價。[墨液的制備J以由下述組成構(gòu)成的丙烯酸類共聚物作為熱固化成分，制備如下所示組成的R墨液、G墨液及B墨液的各墨液。*固化成分甲基丙烯酸甲酯...50份甲基丙烯酸羥乙酯...30份N-羥甲基丙烯酰胺...20份(R墨液的組成)'C丄酸性橙148...3.5份C.I.酸性紅289...0.5份-二乙二醇...30份乙二醇...20份*離子交換水...40份*上述固化成分...6份(G墨液的組成)"C丄酸性黃23...2份，鋅酞菁磺酰胺...2份'二乙二醇...30份乙二醇...20份，離子交換水...40份*上述固化成分...6份(B墨液的組成)'C.I.直接藍(lán)199…4份'二乙二醇...30份乙二醇...20份，離子交換水...40份'上述固化成分...6份(實(shí)施例18)在實(shí)施例3中，在形成外敷層后進(jìn)行ITO圖案的形成，除此之外，與實(shí)施例3同樣地操作并進(jìn)行評價。-外敷層的形成-使用低壓水銀燈uv洗漆裝置(庫林泰克(夕y—y于、乂夕)公司制造)洗滌與實(shí)施例1同樣地操作而制得的濾色片的黑底及著色區(qū)域(像素)的形成面并除去殘?jiān)爱愇锖螅嫱糠笸该魍夥髮觿?，以使膜厚?.5(im，在23(TC下進(jìn)行40分鐘烘培，制備透明的外敷層。此時，為了形成外敷層，以3:1的質(zhì)量比混合使用下述結(jié)構(gòu)式(A)的聚酰胺酸和下述結(jié)構(gòu)式(B)的環(huán)氧化合物。-ITO圖案(PVA方式)的形成-將形成有外敷層的玻璃基板放入濺射裝置，在IO(TC下對厚度1300A的ITO(銦錫氧化物)進(jìn)行全面真空蒸鍍后，在240。C下退火90分鐘，將ITO結(jié)晶化，利用光刻工序制造ITO膜的圖案，用王水蝕刻不需要的ITO，完成了圖案形成。[化26]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage67</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage67</formula>結(jié)構(gòu)式(A)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage67</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage68</formula>結(jié)構(gòu)式(B)(比較例1)在實(shí)施例1中，將用于表面處理層用涂敷液的配方P1的制備的例示樹脂a0.59份取代為EF-123A(Jemco公司制造的EF-123A(磷酸二[2-(N-丙基全氟辛基磺酰氨基)乙基]酯)10.3份，除此之外，與實(shí)施例1同樣地操作，進(jìn)行評價。評價的結(jié)果，在感光性樹脂層用涂敷液的涂敷時發(fā)生濺起，不能形成感光性轉(zhuǎn)印材料。(比較例2)在實(shí)施例1中，將配方P1的表面處理層用涂敷液取代為實(shí)施例1中的用于間隔物的形成的配方PC1的表面處理層用涂敷液，同時，將R、G及B墨液取代為實(shí)施例18的R墨液、G墨液及B墨液，除此之外，與實(shí)施例1同樣地操作，進(jìn)行評價。(比較例3)與比較例1同樣地操作而形成間壁墻，利用下述方法對形成的間壁墻進(jìn)行親水化等離子體處理后，對該間壁墻的上表面進(jìn)行疏墨液化等離子體處理，除此之外，與實(shí)施例1同樣地操作并進(jìn)行評價。-親水化等離子體處理-使用等離子體處理裝置(日本特開2003-344640號公報的圖12中記載的裝置)，在以下的條件下進(jìn)行等離子體處理。，使用氣體氧氣壓力25Pa*虹功率100W處理時間60sec-疏墨液化等離子體處理-使用和上述同樣的等離子體處理裝置，在以下的條件下進(jìn)一步進(jìn)行等離子體處理。M吏用氣體CF4氣體*壓力25Pa-1^功率100W處理時間60sec(比較例4)將實(shí)施例1的感光性轉(zhuǎn)印材料Kl取代為由第1層和第2層構(gòu)成的下述轉(zhuǎn)印薄膜，并且按如下所述變更曝光、顯影方法，除此之外，與實(shí)施例1同樣地操作，形成黑底，制造濾色片等，同時進(jìn)行評價。做成第1層的膜厚為0.5pm、第2層的膜厚為1.5|am的轉(zhuǎn)印薄膜。<轉(zhuǎn)印薄膜>在75pm厚的聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜(基膜)上設(shè)置由下述組成構(gòu)成的第1層、第2層，做成轉(zhuǎn)印薄膜。-第l層-甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸羥乙酯共聚物...30份(基材樹脂)三羥甲基丙垸三丙烯酸酯(光聚合性單體)…25份依路嘎庫阿(^少力'年二7)907(日本氣巴蓋嘎(于/《力、Y年一)(株)制；光聚合引發(fā)劑)…10份.乎咯拉的(7口，一K)FC-430(住友3M(株)制；氟系化合物)…5份-第2層-V-259BK抗蝕劑(新日鐵化學(xué)(株)制)與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行層疊，然后，使用間壁墻形成用的光掩模從基膜側(cè)進(jìn)行圖案曝光后，剝離除去基膜，使用堿顯影液(新日鐵化學(xué)(株)制的V-2401ID)對第1層及第2層進(jìn)行顯影，由此形成具有80nmX220pm的開口部的間壁墻。[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage70</column></row><table>*1:感光性樹脂組合物K1的涂敷性在上述表2中，綜合地判斷各評價，在"判斷"項(xiàng)中將在實(shí)際應(yīng)用上為優(yōu)選的水平項(xiàng)評價為"A"，將達(dá)不到實(shí)際應(yīng)用上優(yōu)選的水平項(xiàng)評價為"C"。如上述表2所示，在實(shí)施例中，可抑制涂敷感光性樹脂組合物時的濺起(飛濺)，可得到均勻地形成有感光性樹脂層的感光性轉(zhuǎn)印材料。另外，在向包圍在黑底中的凹部滴入墨液時，BM表面的疏墨液性良好，可以抑制噴墨賦予過的墨液的溢出及混色的發(fā)生。制得的液晶顯示裝置中所顯示的圖像沒有顯示不均或?qū)Ρ榷冉档?，為良好的圖像。相對與此，在比較例中，感光性樹脂組合物的涂敷性差，而且不能抑制滴入墨液時墨液的溢出及混色的發(fā)生。因此，制得的液晶顯示裝置的顯示特性不好。需要說明的是，在上述實(shí)施例中，以使用作為氟系樹脂的ak的情況為中心進(jìn)行說明，使用本發(fā)明的氟系樹脂的其它化合物的情況或組合使用了兩種以上的情況也可以發(fā)揮與本實(shí)施例同樣的作用，可以發(fā)揮與上述同樣的效果抑制濺起、疏墨液性、墨液的溢出及混色的發(fā)生，同時得到良好的圖像。權(quán)利要求1、一種感光性樹脂組合物，其至少包含下述結(jié)構(gòu)式(1)所示的樹脂，id="icf0001"file="A2007800108890002C1.tif"wi="107"he="45"top="51"left="27"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="yes"/>結(jié)構(gòu)式(1)在結(jié)構(gòu)式(1)中，R1、R2、R3、R4及R5各自獨(dú)立、且表示氫原子或總碳數(shù)1～5的烷基；L1、L2及L3各自獨(dú)立、且表示可以是單鍵的2價連結(jié)基；X1表示酯基、酰胺基或亞芳基，X2表示醚基、酯基、酰胺基、亞芳基或雜環(huán)殘基；Rf表示含有氟的取代基；n表示2～20的整數(shù)，a、b及c分別表示質(zhì)量比，a表示0～40，b表示1～40，c表示20～98。2、一種感光性轉(zhuǎn)印材料，其在臨時支撐體上具有感光性樹脂層和設(shè)置在上述感光性樹脂層的上述臨時支撐體側(cè)表面的表面處理層，其中，上述表面處理層至少包含下述結(jié)構(gòu)式(l)所示的樹脂，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>結(jié)構(gòu)式(1)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>在結(jié)構(gòu)式(l)中，r1、r2、r3、W及rS各自獨(dú)立、且表示氫原子或總碳數(shù)1~5的烷基；L1、I及〃各自獨(dú)立、且表示可以是單鍵的2價連結(jié)基；X1表示酯基、酰胺基或亞芳基，X2表示醚基、酯基、酰胺基、亞芳基或雜環(huán)殘基；Rf表示含有氟的取代基；n表示220的整數(shù)，a、b及c分別表示質(zhì)量比，a表示0~40，b表示1~40，c表示20~98。3、根據(jù)權(quán)利要求2所述的感光性轉(zhuǎn)印材料，其中，上述感光性轉(zhuǎn)印材料用于濾色片的制造。4、一種間壁墻的形成方法，其至少具有以下工序(a)壓接工序，其是將權(quán)利要求2或3所述的感光性轉(zhuǎn)印材料以感光性樹脂層接觸被轉(zhuǎn)印體的方式壓接在上述被轉(zhuǎn)印體上的工序；(b)曝光工序，其是對壓接在被轉(zhuǎn)印體上的上述感光性轉(zhuǎn)印材料的感光性樹脂層，以圖案狀進(jìn)行曝光的工序；(c)顯影工序，其是對己曝光的上述感光性樹脂層進(jìn)行顯影的工序。5、根據(jù)權(quán)利要求4所述的間壁墻的形成方法，其中，在上述(b)曝光工序中，使上述感光性樹脂層的與上述被轉(zhuǎn)印體接觸的一側(cè)相反側(cè)的表面氟化。6、根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的間壁墻的形成方法，其中，在上述(c)顯影工序中，除去表面處理層。7、一種間壁墻，其是通過權(quán)利要求4~6中任一項(xiàng)所述的間壁墻的形成方法來形成的。8、根據(jù)權(quán)利要求7所述的間壁墻，其中，被轉(zhuǎn)印體上的感光性樹脂層的與上述被轉(zhuǎn)印體接觸的一側(cè)相反側(cè)的表面因表面處理層而氟化，且被氟化的表面露出。9、根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的間壁墻，其具有遮光性。10、一種光學(xué)元件的制造方法，其中，權(quán)利要求79中任一項(xiàng)所述的間壁墻劃分被轉(zhuǎn)印體，利用噴墨法向劃分好的被轉(zhuǎn)印體上的凹部賦予液滴，形成圖像區(qū)域。11、根據(jù)權(quán)利要求10所述的光學(xué)元件的制造方法，其中，上述液滴含有著色劑，上述圖像區(qū)域被著色。12、一種光學(xué)元件，其在基板上至少具有由多個著色區(qū)域構(gòu)成的像素群和隔離上述像素群的各著色區(qū)域的間壁墻，并且該元件是通過權(quán)利要求11所述的光學(xué)元件的制造方法來制造的。13、一種顯示裝置，其具有權(quán)利要求12所述的光學(xué)元件。全文摘要本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其至少包含下述結(jié)構(gòu)式(1)所示的樹脂[R¹～R⁵為H、總碳數(shù)1～5的烷基；L¹～L³為2價連結(jié)基；X¹為酯基、酰胺基、亞芳基；X²表示醚基、酯基、酰胺基、亞芳基、雜環(huán)殘基；Rf為包含氟的取代基；n＝2～20，a＝0～40，b＝1～40，c＝20～98[質(zhì)量比]]。文檔編號C08F220/24GK101410758SQ200780010889公開日2009年4月15日申請日期2007年3月28日優(yōu)先權(quán)日2006年3月28日發(fā)明者佐佐木廣樹,安藤豪,有岡大輔申請人:富士膠片株式會社