專利名稱：：光波導(dǎo)用組合物糊和使用其的光波導(dǎo)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及光波導(dǎo)用組合物糊。更詳細(xì)地說，涉及在有機(jī)物質(zhì)中^t有硫酸鋇粒子的光波導(dǎo)用組合物糊和使用其的光波導(dǎo)。
背景技術(shù)：
：現(xiàn)在通過將無機(jī)粒子分散到樹脂等的有機(jī)物質(zhì)中而得的組合物糊、由組合物糊固化得到的固化物廣泛在印刷用涂料、潤(rùn)滑劑、化妝品、接合劑、脫模劑、或顯示器、組裝基板的構(gòu)成材料等中使用。作為使無機(jī)粒子^t在樹脂中的目的，可以列舉出，可以得到熱機(jī)械特性、電磁特性、光學(xué)特性等僅用樹脂不能得到的優(yōu)異特性，在使用昂貴的樹脂的情況中，減少該樹脂的含量從而抑制生產(chǎn)成本，等等。近年來，為了提高材料的表面平滑性和光透射性，另外為了適應(yīng)半導(dǎo)體等的微小加工，在各
技術(shù)領(lǐng)域：
嘗試著使用分散的無機(jī)粒子的粒徑為幾十幾個(gè)納米的微小粒子。其中，在光布線
技術(shù)領(lǐng)域：
中，為了抑制光波導(dǎo)的折射率、尺寸隨溫度的變化，并且確保材料的光透射性，研究了將粒徑為幾十幾個(gè)納米的無機(jī)粒子分散在樹脂中的技術(shù)。作為將無枳4立子M到樹脂中的方法之一，有下述方法首先制造將無機(jī)粒子良好地分散到有機(jī)溶劑中的^L液，接著使該M液與樹脂混合的方法。市售的平均粒徑為幾十個(gè)幾個(gè)納米的無機(jī)粒子大多情況是作為各粒子(初級(jí)粒子)適度凝聚而成的、平均粒徑為幾十個(gè)微米的粉末狀粒子(2次粒子)供應(yīng)的。因此，為了制造平均粒徑為幾十個(gè)幾個(gè)納米的無機(jī)粒子的介狀液，需要使在有機(jī)溶劑中的這些2次粒子的凝聚打開，制造初級(jí)粒子穩(wěn)定分散的^L液。但在初級(jí)粒子的平均粒徑小于50nm等情況中，相對(duì)于粒子體積的表面積的比例非常大，所以一度分歉開的粒子再次凝聚的頻率高，很多情況中M難以進(jìn)行。于是公開了下述方法，即，添加末端具有官能團(tuán)等的被稱作"*劑"的有機(jī)物，使該介軟劑的官能團(tuán)與無機(jī)粒子的表面配位，通過妨害無機(jī)粒子彼此接近，來抑制初級(jí)粒子再次凝聚，提高M(jìn)性。作為這樣的例子，已提出了含有平均粒徑20~40nm的鎳膠體粒子、非極性高分子顏料^t劑、和有機(jī)溶劑的鎳膠體溶液。(參照例如專利文獻(xiàn)1)。另外，還公開了使用分散劑使硫酸鋇粒子分散在有機(jī)溶劑中的方法(參照例如專利文獻(xiàn)2)。但是，在將使用了以往公知的分歉劑的無機(jī)粒子的分軟液與樹脂混合來制造組合物糊，然后使其固化制造M有無機(jī)粒子的固化物的情況中，有時(shí)通過光照射、加熱引起的樹脂的固化反應(yīng)比沒有使用無機(jī)粒子的情況不充分。因此，有時(shí)得到的固化物的熱機(jī)械特性等劣化。另外，在使用含有無機(jī)粒子和經(jīng)光照射固化的樹脂的組合物糊制作膜，對(duì)膜利用光刻法進(jìn)行圖案加工的情況中，有時(shí)因曝光部的固化不充分導(dǎo)致顯影時(shí)組合物溶出，圖案形狀不清晰，或未曝光部的溶解性降低，顯影時(shí)產(chǎn)生組合物糊的殘?jiān)?。因此，有時(shí)利用光刻法制造的光波導(dǎo)的光傳輸損耗大。另外，已知在使樹脂固化時(shí)，如果添加含有聚合性基的磷酸酯單體，則可以得到固化物的防靜電性、阻燃性提高，在樹脂中*的顏料(粒子)的分散性提高等的效果(參照專利文獻(xiàn)3)。一般來說，顏料(粒子)的分散性，不僅因使用顏料是有機(jī)物還是無機(jī)物而大大不同，即使是同樣的無機(jī)物顏料，例如對(duì)于硫酸鋇粒子和氧化鋁粒子來說，表面電位、表面平滑性等大大不同，所以對(duì)于一者來說具有提高^t性的效果的添加劑，有時(shí)對(duì)于另一者會(huì)使M性降低。在專利文獻(xiàn)3中僅記載了可以使用無機(jī)顏料，但并沒有具體公開上述說明那樣的影響分散性的無機(jī)粒子的種類。專利文獻(xiàn)1:特開2004-124237號(hào)公報(bào)(權(quán)利要求，實(shí)施例)專利文獻(xiàn)2:特開2006_106708號(hào)公報(bào)(第18頁)專利文獻(xiàn)3:特開2003-146992號(hào)公才艮(第2頁)
發(fā)明內(nèi)容如上所述，在將平均粒徑為l~50nm的硫酸鋇粒子作為光波導(dǎo)用組合物糊中的構(gòu)成物質(zhì)之一時(shí)，如果含有以粒子+軟為目的而使用的以往公知的分歉劑，則通過光照射、加熱進(jìn)行的組合物糊的固化反應(yīng)變得不充分，在利用光刻法對(duì)使用該組合物糊形成的膜進(jìn)行圖案加工時(shí)，有時(shí)顯影困難。本發(fā)明鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的課題，其目的在于提供可切實(shí)固化的，且顯影性優(yōu)異的光波導(dǎo)用組合物糊。本發(fā)明是一種光波導(dǎo)用組合物糊，含有(A)平均粒徑為l-50nm的硫酸鋇粒子，(B)具有聚合性基和羧基的化合物、或具有聚合性基的磷酸酯化合物，和(C)有機(jī)溶劑。另外，本發(fā)明還是該光波導(dǎo)用組合物糊固化而成的光波導(dǎo)。本發(fā)明的光波導(dǎo)用組合物糊，可通過光照射或加熱切實(shí)固化。另外，在利用光刻法進(jìn)行圖案加工的情況中，曝光部的固化性和未曝光部的顯影性非常好。通過使用本發(fā)明的光波導(dǎo)用組合物糊，可以得到溫度引起的折射率變化率小、線膨脹率小、且光傳輸損耗小的光波導(dǎo)。具體實(shí)施例方式本發(fā)明的光波導(dǎo)用組合物糊(下面稱作"組合物糊")含有(A)硫酸鋇粒子、(B)具有聚合性基和羧基的化合物或具有聚合性基的磷酸酯化合物、和(C)有機(jī)溶劑。下面只要沒有特殊說明，就把具有聚合性基和羧基的化合物或具有聚合性基的磷酸酯化合物稱為"化合物A"。本發(fā)明的組合物糊中，化合物A具有使硫酸鋇粒子分軟的作用。通過化合物A中的羧基或磷酸酯鍵合部位與硫酸鋇粒子相互作用，化合物A被覆在硫酸鋇粒子的表面上。因而可以認(rèn)為，被覆硫酸鋇粒子表面的化合物A的聚合性基朝向硫酸鋇粒子的外側(cè)，與組合物糊中的有機(jī)溶劑、其它化合物等進(jìn)行親和作用，從而使硫酸鋇粒子穩(wěn)定分散?；衔顰中的聚合性基是可通過光或熱進(jìn)行加成反應(yīng)、自由基反應(yīng)等，從而進(jìn)行聚合的有機(jī)基團(tuán)。本發(fā)明的組合物糊，由于化合物A與聚合相關(guān)，所以可迅速且切實(shí)地進(jìn)行固化。本發(fā)明中，化合物A本身受光、熱作用而聚合，成為固化物中的基質(zhì)樹脂。因而本發(fā)明中使用的化合物A同時(shí)具有作為硫酸鋇粒子的^L劑的作用和作為基質(zhì)樹脂的作用?？梢哉J(rèn)為，在借助不具有聚合性基的^劑將硫酸鋇M在用于形成基質(zhì)的具有聚合性基的樹脂中的情況，在基質(zhì)樹脂聚合時(shí)，硫酸鋇粒子移動(dòng)聚集，從而分散性降低。而在本發(fā)明的組合物糊中，由于化合物A以捕獲到硫酸鋇粒子的狀態(tài)聚合，所以即使在固化物中也可以保持硫酸鋇粒子良好的介牧性。因此，固化物的光透射性、表面平坦性良好。進(jìn)而，通過使組合物糊中的化合物A受光作用而固化，可以使用光刻法進(jìn)行圖案加工。在這種場(chǎng)合，由于在曝光部化合物A以捕獲到硫酸鋇粒子的狀態(tài)聚合，所以形成了以硫酸鋇粒子為起點(diǎn)的牢固的網(wǎng)絡(luò)，抑制了顯影時(shí)的曝光部的膨脹、溶解，所以可以實(shí)現(xiàn)清晰的圖案形狀?；衔顰的聚合性基，為了使硫酸鋇粒子分歉良好，優(yōu)選與組合物糊中含有的有機(jī)溶劑、其它化合物的親和性良好的聚合性基。作為此類基團(tuán)，可以列舉出乙烯基、丙烯酸酯基、甲基丙烯酸酯基、環(huán)氧丙烯酸酯基、環(huán)氧曱基丙烯酸酯基、環(huán)氧基等。化合物A同時(shí)具有上述聚合性基和羧基。通過化合物A的羧基與硫酸鋇粒子相互作用，可以使化合物A覆蓋硫酸鋇粒子表面，使硫酸鋇粒子分散。另外，在經(jīng)光作用而使本發(fā)明的組合物糊中的化合物A固化，并利用光刻法進(jìn)行圖案加工的情況中，由于化合物A具有極性高的羧基，所以可以在顯影液中迅速溶解，減少未曝光部中的顯影時(shí)的殘?jiān)１景l(fā)明中使用的化合物A優(yōu)選是下述通式(1)所示的化合物。R1CH產(chǎn)C—C—O—R2—f-OH(1)HIIOO通式(1)中，RJ表示氫原子或甲基，W表示下述通式(2)~(4)的9任一個(gè)所示的2價(jià)基團(tuán)。^CH2^01~("CH2t(2)IIO\2/nII/\O~fCH2—0—C—…、"nIIO通式(2)~(4)中，n和m分別是13的整數(shù)。通式(l)中的聚合性基，在R'是氫原子時(shí)為丙烯酸酯基，在R'是曱基時(shí)為甲基丙烯酸酯基。丙烯酸酯基或曱基丙烯酸酯基具有不飽和鍵，可以經(jīng)光照射、加熱進(jìn)行自由基聚合。在通過光進(jìn)行自由基聚合時(shí)，可以使用介由光掩模照射光的光刻法來形成布線圖案等。R1是氫原子的丙烯酸酯基的情況聚合性更好，所以優(yōu)選。通式(2)~(4)中的n和m，當(dāng)該數(shù)值小時(shí)，單位重量的聚合性基和羧基的數(shù)量多，所以聚合性變得更好，且硫酸鋇粒子的^:性提高。另一方面，當(dāng)n和m的數(shù)值大時(shí)，化合物A在與硫酸鋇粒子配位時(shí)的成為立體阻礙的效果變大，所以+軟性提高。因而，優(yōu)選n和m為碳原子數(shù)2的亞乙基。在通式(1)所示的化合物中，優(yōu)選RJ為氫原子、W為通式(4)所示的2價(jià)基團(tuán)的化合物，此時(shí)，基于上述原因，更優(yōu)選n為2。當(dāng)使用該化合物時(shí)，聚合性和顯影性變得更好。另外，由于可以進(jìn)一步改進(jìn)硫酸鋇粒子的*性，進(jìn)一步縮小M后的硫酸鋇的平均粒徑，所以由組合物糊得到的固化物的光透射性提高。因此，可以得到光傳輸損耗小的光波導(dǎo)。作為本發(fā)明中使用的通式(1)所示的化合物A的具體例，可以列舉出共榮社化學(xué)(林)制的"HOA-MS"(商品名，為通式(1)中R'為氫原子，R2為通式(2)所示的化合物，n、m均為2。)、"HOA-HH"(商品名，為通式(l)中W為氫原子，W為通式(3)所示的4匕合物，n為2。)、"HOA-MPL"(商品名，為通式(1)中W為氫原子，R2為通式(4)所示的化合物，n為2。)另外，還優(yōu)選使用下述通式(5)所示的化合物A。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula>(5)O上述通式(5)中，RtRS表示下述通式(6)(10)的任一個(gè)所示的l價(jià)基團(tuán)或氫原子，RSR5可相同也可不同，但I(xiàn)^RS不能都是氫原子，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage11</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>(8)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage12</formula>(10)上述通式(6)(10)中，議6~119表示氫原子或甲基。R"R"表示碳原子數(shù)為1~10的2價(jià)基團(tuán)，優(yōu)選為碳原子數(shù)為110的2價(jià)烴基，更優(yōu)選為碳原子數(shù)為2個(gè)的烷基。1112是具有羥基的碳原子數(shù)1~10的2價(jià)基團(tuán)，優(yōu)選下述通式(13)(15)所示的有機(jī)基團(tuán)。OH—CH2—CH—CH2—(13)OH—CH2—CH~~CH2—CH2—(14)OH—CH2—CH—(15)通式(5)所示的化合物A，R3~R5的任兩個(gè)是氬原子的磷酸單酯比R3R5的任一個(gè)是氫原子的磷酸二酯，更能提高硫酸鋇粒子的分散性，所以優(yōu)選。另外，磷酸二酯比RlRS均不包括氫原子的磷酸三酯更能提高硫酸鋇粒子的分散性，所以優(yōu)選。通式(6)~(9)所示的一價(jià)基團(tuán)具有丙烯酸酯基或甲基丙烯酸酯基，可經(jīng)光照射、加熱進(jìn)行自由基聚合。！^I^是氫原子的丙烯酸酯基的情況，聚合性更好，所以優(yōu)選。通式(8)(10)的R1D~R12中的碳原子數(shù)，數(shù)量越少，則單位重量的聚合性基和磷酸酯鍵合部位的數(shù)量越多，所以聚合性更好，且硫酸鋇粒子的^:性提高。另外，當(dāng)R"R"中的碳原子數(shù)多時(shí)，化合物A在與硫酸鋇粒子配位時(shí)變?yōu)榱Ⅲw阻礙的效果變大，所以分狀性提高。因此，R"R12的碳原子數(shù)優(yōu)選為1~4。特別是，在通式(5)所示的化合物中，優(yōu)選rsR5的至少一個(gè)是通式(8)所示的1價(jià)基團(tuán)，此情況中更優(yōu)選R"是碳原子數(shù)為1~3的2價(jià)烴基。另外，優(yōu)選通式(5)的R^rS的至少一個(gè)是通式(9)所示的l價(jià)基團(tuán)，通式(9)的R^是具有幾基的碳原子數(shù)為2~3的2價(jià)烴基。作為本發(fā)明中使用的通式(5)所示的化合物A的具體例，可以列舉出共榮社化學(xué)(林)制的"，<卜7夕yk—卜P-1A"(商品名，具有丙烯酸酯基的磷酸單酯)、共榮社化學(xué)(林)制的"，,卜工7X^P-1M"(商品名，具有甲基丙烯酸酯基的磷酸單酯)、"，<卜工7亍/kP-2M，，(商品名，具有甲基丙烯酸酯基的磷酸二酯)、^ViT/Wf^亍、;/夕(林)制的RDX63182(具有環(huán)氧丙烯酸酯基的磷酸二酯)。本發(fā)明中使用的化合物A可以使用1種，也可以使用多種。另外，由本發(fā)明的組合物糊得到的固化物，其物性相對(duì)于溫度的變化微小，例如，溫度引起的折射率的變化率、線膨脹率小。用于提高無機(jī)粒子的*性的^l劑有時(shí)會(huì)使固化物的特性劣化，如會(huì)妨害組合物糊中的樹脂的固化反應(yīng)，使從組合物糊得到的固化物的溫度引起的折射率的變化率、線膨脹率增大，等等。因此，優(yōu)選使分散劑的含量盡可能少。在本發(fā)明中，由于有助于硫酸鋇粒子的分散性的化合物A自身聚合、固化，或由于化合物A與后述的樹脂的聚合相關(guān)，所以可以抑制溫度引起的折射率變化率、線膨脹率增大等的固化物的特性劣化。如上所述，本發(fā)明的組合物糊，化合物A聚合而形成固化物中的基質(zhì)，但也可以含有其它的用于形成基質(zhì)的樹脂。作為此時(shí)使用的樹脂，可以列舉出聚酰胺酸、乙烯基樹脂、降冰片烯樹脂、環(huán)氧樹脂、丙烯酸酯樹脂、甲基丙烯酸酯樹脂、環(huán)氧丙烯酸酯樹脂、環(huán)氧甲基丙烯酸酯樹脂、異氰酸酯樹脂、雙馬來酰亞胺-三溱樹脂、苯并環(huán)丁烯樹脂、硅氧烷樹脂等、具有聚合性基的熱固化型或UV固化型樹脂。另外，還可以列舉出芳族聚酰胺樹脂、聚苯乙烯、聚醚酰亞胺、聚苯醚、熱塑性聚酰亞胺等熱塑性樹脂。這些樹脂可以單獨(dú)使用，也可以將多種按照合適的比例使用。在工序中要求耐熱性等的用途中，在上述樹脂中優(yōu)選熱固化型樹脂、UV固化型樹脂等具有聚合性基的樹脂。另外，在將由組合物糊得到的固化物在要求透光性的光波導(dǎo)用材料中使用的情況中，優(yōu)選使用環(huán)氧樹脂、丙烯酸酯樹脂、甲基丙烯酸酯樹脂、環(huán)氧丙烯酸酯樹脂、環(huán)氧甲基丙烯酸酯樹脂、硅氧烷樹脂等。特別是，如果在這些樹脂中選定UV固化型的樹脂，則可以使用光刻法實(shí)現(xiàn)光波導(dǎo)的構(gòu)圖，所以優(yōu)選。在本發(fā)明中，可以使熱固化型樹脂或UV固化型樹脂具有的聚合性基彼此聚合，或也可以使這些樹脂具有的聚合性基與化合物A的聚合性基聚合。在本發(fā)明的固化物中形成的聚合物包括(a)由化合物A形成的聚合物、(b)化合物A與樹脂的聚合物、或(c)僅由樹脂形成的聚合物、這些各種形態(tài)的聚合物，在這些聚合物中具有以分散狀態(tài)存在的疏酸鋇粒子。另外，只要沒有特別說明，就將在由組合物糊得到的固化物中存在的上述(a)~(c)的各聚合物簡(jiǎn)稱為"聚合物"。根據(jù)組合物糊中含有的化合物A、樹脂、聚合促進(jìn)劑等的組成的不同，由組合物糊得到的固化物中的聚合物是上述(a)(c)中的任一種形態(tài)，或它們混合存在的形態(tài)。例如，在化合物A的聚合性基是丙烯酸酯基，樹脂的聚合性基也是丙烯酸酯基的情況中，由于在硫酸鋇粒子附近存在大量的化合物A，所以聚合物(a)多，在遠(yuǎn)離硫酸鋇粒子的區(qū)域聚合物(c)多，在它們的中間區(qū)域存在聚合物(b)。另外，作為另一例，由含有聚合性基是丙烯酸酯基的化合物A和聚合性基是環(huán)氧基的樹脂的組合物糊可以制造含有聚合物(a)和聚合物(c)的固化物。另外，在使用多種樹脂的情況中，例如使用聚合性基是丙烯酸酯基的化合物A、聚合性基是環(huán)氧丙烯酸酯基的樹脂、以及聚合性基是環(huán)氧基的樹脂，并使這3種成分共聚，也可以得到聚合物(b)。如果本發(fā)明的固化物中的聚合物與硫酸鋇粒子的折射率接近，則入射到固化物中的光的瑞利(rayleigh)散射小，所以固化物的光透射性增加。因而，在光學(xué)材料那樣的要求光透射性的情況中，優(yōu)選以得到具有希望的折射率的聚合物的方式設(shè)定化合物A和樹脂的種類、以及混合比。由于硫酸鋇的折射率為1.6,因而為了提高光透射性，優(yōu)選所得的聚合物的折射率接近1.6，更優(yōu)選聚合物的折射率為1.6。聚合物含有*劑、樹脂等組合物糊中含有的硫酸鋇粒子以外的物質(zhì)，所以優(yōu)選以得到的聚合物的折射率接近1.6的方式來決定各物質(zhì)的種類和混合量。但在通過將折射率不同的多種物質(zhì)混合來形成具有一定折射率的聚合物的情況中，各種物質(zhì)的折射率均接近目標(biāo)折射率的方法容易得到折射率不均勻少的聚合物，所以優(yōu)選。前面列舉的化合物A的折射率，"HOA-MS"為1.46，"HOA-HH"為1.48，"HOA-MPL"為1.52。另外，"，<卜7夕U—卜P-1A"為1.47，"，<卜工7亍/]xp_iM"為1.47，"，<卜工7x/kP-2M，，為1.47，RDX63182為1.54。在光波導(dǎo)等的光學(xué)材料用途中，使用與硫酸鋇的折射率接近的"HOA-MPL"、RDX63182時(shí)，由組合物糊得到的固化物的光透射性容易變得良好，所以優(yōu)選。波導(dǎo)材料中使用的情況中，作為上述熱固化型樹脂或UV固化型樹脂所具有的聚合性基優(yōu)選環(huán)氧基、丙烯酸酯基、甲基丙烯酸酯基、環(huán)氧丙烯酸酯基、環(huán)氧甲基丙烯酸酯基等。但在使環(huán)氧樹脂等進(jìn)行陽離子聚合的情況，有時(shí)陽離子活性種源會(huì)吸附在硫酸鋇粒子上，聚合反應(yīng)變慢。因此，優(yōu)選15適于自由基聚合的丙烯酸酯樹脂、曱基丙烯酸酯樹脂、環(huán)氧丙烯酸酯樹脂、環(huán)氧甲基丙烯酸酯樹脂。作為光布線材料，優(yōu)選上述那樣的與硫酸鋇粒子折射率接近的材料，可以列舉出例如下述式(11)所示的丙烯酸酯樹脂(折射率1.55)、或下述式(12)所示的環(huán)氧丙烯酸酯樹脂(折射率1.56)等。在使用組合物糊利用光刻法進(jìn)行圖案加工的情況中，若作為樹脂選擇下述式(11)所示的樹脂，則可以減少顯影時(shí)的未曝光部的殘?jiān)詢?yōu)選。另一方面，若作為樹脂選擇下述式(12)所示的樹脂時(shí)，則可以減小由組合物糊得到的固化物的折射率的溫度依賴性、線膨脹率，所以優(yōu)選。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>在本發(fā)明的組合物糊中，化合物A的含量?jī)?yōu)選相對(duì)于硫酸鋇粒子100重量份為520重量份。如果化合物A相對(duì)于硫酸鋇粒子的含量為5重量份以上，則可以提高硫酸鋇粒子的分歉性，減小硫酸鋇粒子的^t粒徑，所以由本發(fā)明的組合物糊得到的固化物的光透射性提高。因此，可以得到光傳輸損耗小的光波導(dǎo)。另一方面，如果考慮化合物A和硫酸鋇的折射率差，則在化合物A相對(duì)于硫酸鋇粒子的含量為20重量份以下時(shí)，可以提高由組合物糊得到的固化物的光透射性。因此，可以得到光傳輸損耗小的光波導(dǎo)。另外，在本發(fā)明的組合物糊中，化合物A相對(duì)于組合物糊整體的優(yōu)選含量，固化得到的聚合物僅由化合物A形成的情況，與由化合物A和樹脂形成的情況不同。例如，在固化物中的聚合物僅是化合物A單獨(dú)聚合固化的形態(tài)(a)的情況中，化合物A的含量沒有特殊限定，但相對(duì)于組合物糊中的除了有^L溶劑等揮發(fā)成分以外的固體成分優(yōu)選為2070重量％。當(dāng)化合物A的含量相對(duì)于組合物糊中的除了有機(jī)溶劑等揮發(fā)成分以外的固體成分為20重量％以上時(shí)，所得的固化物的耐破裂性、與皿的接合性提高，對(duì)凝聚破損的抗性提高。當(dāng)化合物A的含量相對(duì)于組合物糊中的除了有機(jī)溶劑等揮發(fā)成分以外的固體成分為30重量％以上時(shí)，這些效果進(jìn)一步提高，所以更加優(yōu)選。當(dāng)化合物A的含量相對(duì)于組合物糊中的除了有機(jī)溶劑等揮發(fā)成分以外的固體成分為70重量。/。以下時(shí)，可以進(jìn)一步減小所得的固化物的溫度引起的折射率變化率、線膨脹率。當(dāng)化合物A的含量相對(duì)于組合物糊中的除了有機(jī)溶劑等揮發(fā)成分以外的固體成分為50重量％以下時(shí)，可以進(jìn)一步提高這些效果。另一方面，在固化物的聚合物包含形態(tài)(b)、(c)的場(chǎng)合，相對(duì)于組合物糊中的除了有機(jī)溶劑等揮發(fā)成分以外的固體成分，化合物A和樹脂的含量之和優(yōu)選為20重量％以上，更優(yōu)選為30重量％以上。另外，相對(duì)于組合物糊中的除了有機(jī)溶劑等揮發(fā)成分以外的固體成分，化合物A和樹脂的含量之和優(yōu)選為70重量％以下，更優(yōu)選為50重量％以下。如果在該范圍，則優(yōu)選，原因與在上述形態(tài)(a)中的原因同樣?；衔顰與樹脂的混合比例可以按照要制造的化合物A與樹脂的聚合物的組成比來任意設(shè)定，但化合物A的含量相對(duì)于硫酸鋇粒子為1重量％以上時(shí)，能夠提高硫酸鋇粒子的介歉性，所以優(yōu)選。另外，在4吏用具有聚合性基的樹脂的情況中，優(yōu)選考慮化合物A和樹脂的聚合特性來設(shè)定它們的混合比。即，在下述情況中化合物A與具有聚合性基的樹脂的混合比不同(bl)化合物A和具有聚合性基的樹脂分別單獨(dú)聚合的情況，(b2)以1個(gè)化合物A為起點(diǎn)、與具有聚合性基的樹脂鏈狀聚合的情況，(b3)化合物A與具有聚合性基的樹脂交替聚合的情況。例如，在上述形態(tài)(b3)的一例、聚合性基是環(huán)氧丙烯酸酯基的化合物A與環(huán)氧樹脂交替聚合的情況中，優(yōu)選兩者的聚合性基數(shù)量相同。本發(fā)明的組合物糊，為了促進(jìn)化合物A、樹脂的聚合，還可以含有能夠產(chǎn)生自由基、陽離子、陰離子等活性種源的聚合促進(jìn)劑。作為聚合促進(jìn)劑，有經(jīng)光照射、加熱處理會(huì)活化的，可以按照用途來區(qū)分使用。在將組合物糊形成膜狀，使用光刻法進(jìn)行構(gòu)圖的情況中，使用經(jīng)光照射而活化的聚合促進(jìn)劑。作為經(jīng)UV光照射產(chǎn)生自由基的聚合促進(jìn)劑，可以列舉出將系、二苯甲酮系、三嗪系、苯并三唑系等。另外，作為經(jīng)UV光照射會(huì)產(chǎn)生陽離子的聚合促進(jìn)劑，可以列舉出錛系、锍系、碘鏘系等。本發(fā)明的組合物糊含有平均粒徑lnm50nm的硫酸鋇。另夕卜，本發(fā)明中的平均粒徑是指數(shù)平均粒徑。組合物糊中的硫酸鋇粒子，有凝聚完全解開后的初級(jí)粒子狀態(tài)、和多個(gè)初級(jí)粒子凝聚后的狀態(tài)。這里，組合物糊中的硫酸鋇粒子的粒徑，對(duì)于沒有凝聚的初級(jí)粒子是該粒子的粒徑，對(duì)于初級(jí)粒子凝聚后的狀態(tài)是該凝聚體的粒徑。為了制造分散的硫酸鋇粒子的平均粒徑為50nm以下的組合物糊，^吏用的石克酸鋇津立子的初敘^立子的平均粒徑需要為50nm以下。作為滿足該條件的硫酸鋇粒子可以列舉出例如嬌化學(xué)工業(yè)(林)制的BF-40(平均初級(jí)粒徑為10nm)。作為組合物糊中的疏酸鋇粒子的平均粒徑的測(cè)定方法，可以列舉出使用SEM(掃描電鏡)、TEM(透射電鏡)直接觀察粒子，然后計(jì)算數(shù)均粒徑的方法。當(dāng)組合物糊中的硫酸鋇粒子的平均粒徑為50nm以下時(shí)，對(duì)于組合物糊和固化物的各形態(tài)18而言，由于均質(zhì)性提高，并且硫酸鋇粒子導(dǎo)致的光的瑞利散射減少，所以光透射性變高。使用這樣的組合物糊，可以得到光傳輸損耗小的光波導(dǎo)。進(jìn)而，如果在組合物糊中分散的硫酸鋇粒子的平均粒徑為30nm以下，則在由該組合物糊得到的固化物中，硫酸鋇粒子引起的光的瑞利散射變得非常小，顯示出與不含有硫酸鋇粒子的固化物的情況基本同等的光透射性。使用這樣的材料時(shí)，可以得到光傳輸損耗非常小的光波導(dǎo)。另一方面，當(dāng)硫酸鋇粒子的粒徑為lnm以上時(shí)，比表面積相對(duì)于粒子的體積變得非常小，粒子的M性變得良好。本發(fā)明中，組合物糊中的硫酸鋇粒子的含量相對(duì)于除了有機(jī)溶劑等揮發(fā)成分以外的固體成分優(yōu)選為30重量％~80重量％。當(dāng)石克酸鋇粒子的含量相對(duì)于組合物糊中的固體成分為30重量％以上時(shí)，由組合物糊得到的固化物的溫度引起的折射率變化率、線膨脹率降低。硫酸鋇粒子相對(duì)于組合物糊中的固體成分的含量更優(yōu)選為50重量％以上。當(dāng)相對(duì)于組合物糊中的固體成分，硫酸鋇粒子的含量為80重量％以下時(shí)，抗破裂性、與基板的接合性提高，對(duì)凝聚破壞的抗性也變高。另外，由于使用這樣的材料可以得到光透射性優(yōu)異的固化物，所以可以得到光傳輸損耗小的光波導(dǎo)。另外，在使用光刻法進(jìn)行圖案加工的情況中，為了減少顯影時(shí)未曝光部的殘?jiān)?，更?yōu)選相對(duì)于組合物糊中的固體成分、硫酸鋇粒子的含量為70重量％以下。本發(fā)明的組合物糊含有有機(jī)溶劑。作為有機(jī)溶劑，可以列舉出n，n-二甲基乙酰胺、n-甲基-2-吡咯烷酮、二甲基咪唑烷酮、二甲亞砜、y-丁內(nèi)酯、乳酸乙酯、l-甲氧基-2-丙醇、l-乙氧基-2-丙醇、乙二醇單正丙醚、雙丙酮醇、四氫糠醇等。本發(fā)明的組合物糊優(yōu)選含有硅烷偶聯(lián)劑。通過含有硅烷偶聯(lián)劑，在使用光刻法加工圖案時(shí)可以減輕曝光部的圖案變細(xì)、剝離，抑制破裂的發(fā)生，可以實(shí)現(xiàn)清楚的圖案形狀。另外，還可以進(jìn)一步減少未曝光部的殘?jiān)?。一般，已知硅烷偶?lián)劑具有提高無機(jī)材料和有機(jī)材料的接合性的效果。在本發(fā)明中，可以期待下述效果提高組合物中的樹脂成分和無機(jī)成分的接合性、提高組合物中的樹脂成分與硅晶片等無機(jī)1^l的接合性，減輕使用光刻法進(jìn)行圖案加工時(shí)曝光部的圖案變細(xì)、剝離，抑制破裂發(fā)生。另一方面，關(guān)于減輕4吏用光刻法進(jìn)行圖案加工時(shí)未曝光部的殘?jiān)男Ч?，可以認(rèn)為有以下原因。當(dāng)顯影液與未曝光部接觸時(shí)，樹脂、化合物A等溶出，另外，化合物A所捕獲到的硫酸鋇粒子也溶出。如果顯影時(shí)化合物A從硫酸鋇粒子脫離，則表面露出的硫酸鋇粒子彼此凝聚，其附近的樹脂等也凝聚，成為顯影殘?jiān)５?dāng)存在硅烷偶聯(lián)劑時(shí)，硅烷偶聯(lián)劑使無機(jī)成分硫酸鋇粒子和有機(jī)成分化合物A的結(jié)合力更加牢固，所以顯影時(shí)的硫酸鋇粒子的M性得到保持，組合物迅速溶出，難以產(chǎn)生殘?jiān)?。作為珪烷偶?lián)劑，優(yōu)選3-環(huán)氧丙氧基丙基三曱氧基珪烷、3-環(huán)氧丙氧基丙基三乙氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙埽酰氧基丙基三乙氧基硅烷、N-2(氨基乙基)3-氨基丙基三甲氧基硅烷、N-2(氨基乙基)3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-異氰酸酯基丙基三曱氧^烷、3-異氰酸酯基丙基三乙氧基硅烷等。另外，組合物糊中的硅烷偶聯(lián)劑的含量，相對(duì)于除了有機(jī)溶劑等揮發(fā)成分以外的固體成分，優(yōu)選為0.1重量％~10重量％。當(dāng)相對(duì)于組合物糊中的固體成分，硅烷偶聯(lián)劑的含量為(U重量。/。以上時(shí)，則可以由上述硅烷偶聯(lián)劑得到充分效果。另外，以上述列舉出的化合物為首的一般的硅烷偶聯(lián)劑，折射率為1.45以下，與硫酸鋇粒子的折射率差別大。因此，當(dāng)相對(duì)于組合物糊中的固體成分、硅烷偶聯(lián)劑的含量為10重量％以下時(shí)，可以降低瑞利散射，提高光透射性，所以優(yōu)選。另外，本發(fā)明的組合物糊，還可以含有化合物A以外的分?jǐn)渼??；衔顰以外的分歉劑的含量相對(duì)于硫酸鋇粒子100重量份，優(yōu)選為5重量份20重量份。化合物A以外的分散劑的含量如果是5重量份以上，則硫酸鋇粒子的分散性的提高效果顯著，如果為20重量份以下，則由組合物糊得到的固化物的溫度引起的折射率變化率、線膨脹率變小。下面，對(duì)本發(fā)明的組合物糊的制造方法進(jìn)行具體說明。首先，示出了將硫酸鋇粒子M在有機(jī)溶劑中來制造*液的方法。將平均初級(jí)粒子粒徑為50nm以下的硫酸鋇粒子(包含2次粒子、凝聚狀態(tài)的粒子)、化合物A、有機(jī)溶劑、和根據(jù)需要添加的其他樹脂、pH調(diào)節(jié)劑、聚合禁止劑等以規(guī)定的分量混合、攪拌。剛混合后，由于硫酸鋇粒子的表面被覆有空氣層，所以硫酸鋇粒子與有機(jī)溶劑的潤(rùn)濕不充分，有時(shí)粘度增加。此時(shí)，優(yōu)選用旋轉(zhuǎn)葉片等花時(shí)間攪拌至疏酸鋇粒子與有機(jī)溶劑完全潤(rùn)濕。在與硫酸鋇粒子混合時(shí)，為了制造目標(biāo)的固化物，可以加入需要樹脂的全部量，或其部分。與在*處理后加入樹脂的情況相比，在M處理前加入樹脂的情況能夠均勻地混合樹脂和硫酸鋇粒子。另一方面，有時(shí)分散液的粘度升高，M處理的效率變差，或^t處理后的M液的保存穩(wěn)定性變差，等等。關(guān)于化合物A,可以在介軟處理前加入必需量的全部，也可以在+軟處理前加入必需量的一部分，并在分軟處理后加入剩余量。另外，還可以一邊測(cè)定分散處理中的分散液的粘度等性狀，一邊慢慢地加入化合物A、其它物質(zhì)。另外，為了制造目標(biāo)固化物，需要添加必要的聚合促進(jìn)劑、消泡劑、抗氧化劑、增塑劑、硅烷偶聯(lián)劑等。但從分散液的保存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)來看，聚合促進(jìn)劑等優(yōu)選在即將制造組合物糊前添加。在將疏酸鋇粒子(包含2次粒子、凝聚狀態(tài)的粒子)、化合物A、有機(jī)溶劑、和其他必要物質(zhì)混合攪拌后，用M裝置進(jìn)行硫酸鋇粒子的^t處理。作為介歉裝置，可以列舉出例如，壽工業(yè)(林)制的"々^卜，7〃:y夕7^^"(商品名)、7iyifr777^y亍、乂夕(林)制的"7夕一$/W，(商品名)等珠磨機(jī)。珠磨機(jī)使用的珠子的平均粒徑優(yōu)選為0.010.5mm。在珠子的平均粒徑為0.5mm以下的情況中，由于在珠磨機(jī)內(nèi)硫酸鋇粒子與珠子的接觸頻率高，所以可以得到充分的分散效果。另一方面，在珠子的平均粒徑為O.Olmm以上的情況中，各珠子具有的運(yùn)動(dòng)量大，所以可以得到用于使凝聚的硫酸鋇粒子M開的充分的剪切力。作為珠子，可以使用陶瓷、玻璃、金屬制的珠子等。作為珠子的材質(zhì)，可以列舉出例如，鈉玻璃、石英、氧化鈦、氮化硅、碳化硅、氧化鋁、二氧化鋯、硅酸鋯、鋼、不銹等。其中特別優(yōu)選硬度高的二氧化鋯珠。使用珠磨機(jī)進(jìn)行分散，可以使用較小的珠子在一次處理中進(jìn)行，也可以分階段改變珠子的尺寸進(jìn)行。例如，首先使用粒徑為0.5mm的珠子進(jìn)行分散處理直至硫酸鋇粒子的M粒徑為100nm左右，然后使用更微小的珠子進(jìn)行M處理。分散處理中花費(fèi)的時(shí)間根據(jù)硫酸鋇粒子、化合物A、有機(jī)溶劑等構(gòu)成M液的物質(zhì)的種類、組成比來適當(dāng)設(shè)定。另外，隔一定時(shí)間就對(duì)分散液取樣，測(cè)定分散液中硫酸鋇粒子的平均粒徑，這樣可以把握分歉狀態(tài)的經(jīng)時(shí)變化，可以判斷分軟處理的完成，所以優(yōu)選。作為介軟液中的硫酸鋇粒子的粒徑的測(cè)定裝置，可以列舉出作為動(dòng)態(tài)光散射方式的V7乂、;/夕7(林)制"世、一夕廿^if一于/ZS，，(商品名)。下面對(duì)將按照上述方法得到的^液與樹脂等混合，制造組合物糊的方法進(jìn)行說明。但在制造M液時(shí)將用于制造目標(biāo)固化物的必需物質(zhì)的全部都混合的情況中，由上述方法得到的介狀液就成為本發(fā)明的組合物糊。在將樹脂與硫酸鋇粒子的分散液混合的情況中，按照分散液中的化合物A等的組成來選定要混合的樹脂的種類、混合量。在使用本發(fā)明得到的*有硫酸鋇粒子的組合物糊來制造光波導(dǎo)的情況中，在從化合物A和樹脂得到的聚合物的折射率是接近硫酸鋇粒子的折射率(1.6)的值時(shí)，光波導(dǎo)的光傳輸損耗降低，所以優(yōu)選。在將上述分散液與樹脂混合時(shí)，可以向樹脂中注入M液至規(guī)定量，也可以向分散液中注入樹脂至規(guī)定量。在制造組合物糊時(shí)還可以進(jìn)一步加入化合物A來調(diào)節(jié)組成。為了使通過混M定量的M液和樹脂等而得到的組合物糊進(jìn)一步均質(zhì)化，可以使用珠磨機(jī)、輥磨機(jī)進(jìn)行處理。另外，在經(jīng)混合處理而在組合物糊中混入了氣泡的情況中，如果通過靜置、在減壓下放置、或使用攪拌脫泡機(jī)等來除去氣泡，則可以避免使用組合物糊制造的固化物中混入氣泡。為了調(diào)節(jié)組合物糊的粘度，還可以添加有機(jī)溶劑，或通過加熱、減壓來除去適量的有機(jī)溶劑。另外，也可以經(jīng)加熱處理、光照射適度進(jìn)行化合物A、樹脂的聚合反應(yīng)。22可以將上述那樣制造的組合物糊固化，在聚合物中分散硫酸鋇粒子，從而制造固化物。下面對(duì)使本發(fā)明的組合物糊固化的方法的例子進(jìn)行說明。首先，通過將組合物糊涂布在M上、拉伸成膜狀或絲狀、或注入到模具中等等方法進(jìn)行成型，然后通過加熱處理來除去組合物糊中的有機(jī)溶劑。作為除去有機(jī)溶劑的方法，可以列舉出通過烘箱、電熱板進(jìn)行加熱干燥，以及真空干燥、利用紅外線、微波等電磁波進(jìn)行加熱等。這里，在有機(jī)溶劑除去不充分的情況中，通過后續(xù)的固化處理得到的組合物有時(shí)為未固化狀態(tài)、熱機(jī)械特性不良。在除去有機(jī)溶劑之后，根據(jù)使用的組合物糊中的化合物A或樹脂的固化機(jī)理，來通過加熱處理、光照射等進(jìn)行組合物糊的固化反應(yīng)。此種情況，也可以在光照射后進(jìn)行加熱處理等，為了使固化進(jìn)行完全而組合多種處理。另外，在100。C以上的環(huán)境下進(jìn)行加熱處理的情況中，如果在氮?dú)獾榷栊詺怏w下進(jìn)^f亍處理，則可以抑制聚合物的氧化，所以優(yōu)選。另外，以使用能夠產(chǎn)生通過氧氣會(huì)導(dǎo)致失活的自由基的聚合促進(jìn)劑的組成，在經(jīng)光照射進(jìn)行固化的情況中如果在氮?dú)獾榷栊詺怏w下進(jìn)行處理，則不妨害聚合，所以優(yōu)選。在利用光刻法進(jìn)行圖案加工的情況中，首先將組合物糊涂布在基板上，除去有機(jī)溶劑，然后通過介由以光僅能通過圖案所對(duì)應(yīng)的必要部分的方式設(shè)計(jì)的掩^t,照射組合物糊的固化波長(zhǎng)帶域所對(duì)應(yīng)的光。作為光源，可以列舉出超高壓汞燈、金屬卣燈、閨燈、氦-氖激光器、YAG激光器等。作為曝光裝置，可以列舉出超高壓汞燈曝光裝置PEM-6M(工-才乂光學(xué)(抹)制)等。在組合物糊的固化機(jī)理是自由基聚合的情況中，為了防止自由基反應(yīng)種源因氧化而失活，優(yōu)選在氮?dú)鈿夥障逻M(jìn)行曝光處理。另外，為了提高圖像的分辨率，優(yōu)選提高曝光裝置的照射光的平行度，進(jìn)而為了為了降低掩模產(chǎn)生的衍射光的影響，優(yōu)選使掩模與141接觸，或減小掩模與141的間隙。有時(shí)曝光時(shí)的照射光在干燥后的組合物糊內(nèi)部散射會(huì)導(dǎo)致圖案邊緣變形。此時(shí)，如果在組合物糊中預(yù)先添加紫外線吸收劑，則紫外線吸收劑會(huì)吸收從曝光部漏出的微弱光，抑制散射，因此可以保持圖案邊緣尖銳，所以優(yōu)選。干燥后的組合物糊內(nèi)部的散射大多是由于硫酸鋇粒子產(chǎn)生的瑞利散射導(dǎo)致的，光波長(zhǎng)越短，其散射越大。因而，可以優(yōu)選使用選擇性吸收短波長(zhǎng)的光的紫外線吸收劑。另外，通過在光源和掩才莫之間插入去除短波長(zhǎng)的光的濾光器，也可以抑制散射。為了在曝光后進(jìn)一步進(jìn)行固化反應(yīng)，也可以將a在室溫下保存一定時(shí)間來進(jìn)行熱處理。曝光處理后，將^浸漬在顯影液中，除去沒有曝光部分的組合物糊，將形成有固化物的圖案的基板洗凈并干燥。為了進(jìn)行固化反應(yīng)，還可以進(jìn)一步進(jìn)行加熱處理。本發(fā)明的組合物糊、固化物優(yōu)選在光波導(dǎo)中使用。光波導(dǎo)是在電子儀器等電路基板上形成的，具有傳送在基板上安裝的IC間的光信號(hào)的作用。光波導(dǎo)由用于傳送光信號(hào)的芯部、和包圍芯部的、比芯部的折射率低的包覆部構(gòu)成。信道型(channel)光波導(dǎo)的結(jié)構(gòu)如圖1所示，平板(slab)型光波導(dǎo)的結(jié)果如圖2所示。信道型光波導(dǎo)具有包覆部2包圍線狀的芯部1的周圍的結(jié)構(gòu)。平板型光波導(dǎo)具有層狀的包覆部2覆蓋層狀的芯部1的上下的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的組合物糊可以用于芯部和包覆部?jī)烧?，也可以僅用于任一者。本發(fā)明的組合物糊經(jīng)光照射可形成圖案，當(dāng)在作為芯部形成用材料使用時(shí)，容易制造各種形狀的光波導(dǎo)，所以優(yōu)選。另外，芯部和包覆部的折射率差大的情況，傳送光的封閉效果好，所以優(yōu)選。光波導(dǎo)的包覆部和芯部的折射率、厚度，可以根據(jù)設(shè)計(jì)的光波導(dǎo)來任意選擇。在多模光波導(dǎo)的情況中，適合增大芯部和包覆部的折射率差，增加芯部的厚度。在單^f莫光波導(dǎo)的情況中，減小芯部和包覆部的折射率差，減薄芯部，以實(shí)現(xiàn)單才莫傳送。在制造信道型光波導(dǎo)的方法中，例如有以下方法。在玻璃、硅晶片、玻璃環(huán)氧基板、塑料膜等的M上涂布下包覆部用組合物糊，并使之干燥固化，形成下包覆部。進(jìn)而在下包覆部上涂布芯部用組合物糊，干燥，形成膜狀的芯部。接著，將膜狀的芯部加工成波導(dǎo)路圖案。在芯部用組合物糊經(jīng)光照射聚合的情況中，可以利用光刻法進(jìn)行圖案形成。另外，在芯部組合物糊受熱聚合的情況中，可以利用反應(yīng)性離子蝕刻等進(jìn)行圖案形成。接著，在芯部上涂布上包覆部用組合物糊，使之干燥、固化，形成上包覆部。作為形成涂膜的方法沒有特殊限定，可以列舉出使用例如旋涂器、絲網(wǎng)印刷器、刮刀涂布器、模涂器等裝置的方法。實(shí)施例下面對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例予以說明，但本發(fā)明并不以此為限。另外，實(shí)施例使用的化合物中的使用縮寫的化學(xué)物表示如下。DMAc:N，N-二曱基乙酰胺THFA:四氫糠醇由硫酸鋇粒子的分散液、組合物糊得到的固化物、和光波導(dǎo)的各特性的測(cè)定方法如下所述。<由組合物糊得到的固化物的折射率的測(cè)定方法〉使用乂卜U^乂社制的棱鏡耦合裝置2010和專用的P-l棱鏡，設(shè)定波長(zhǎng)為850nm、溫度25。C，求出制成膜狀的由組合物糊得到的固化物的折射率。另外，用同一裝置測(cè)定在40。C、60°C、80°C、和100。C下的折射率，通過最小平方法來求出這4點(diǎn)的斜率，計(jì)算出折射率相對(duì)于溫度的變化(折射率溫度依賴性)。<光波導(dǎo)的光傳輸損耗的測(cè)定方法>依照J(rèn)PCA規(guī)定(JPCA-PE02-05-01S-2004),用減少法測(cè)定。入射側(cè)和出射側(cè)的光纖維使用芯徑50jam、開口數(shù)為0.28的多模型。測(cè)定溫度為23°C,測(cè)定光源的波長(zhǎng)為850nm。<在制造M液前已凝聚的原料硫酸鋇粒子的平均粒徑的測(cè)定方法>使用下面的光學(xué)顯微鏡進(jìn)行測(cè)定。將粒子放置在玻璃等的透明板上，將載有粒子的透明板放置在光學(xué)顯微鏡的觀察臺(tái)上。從透明板的下側(cè)照射光，替代光學(xué)顯微鏡的目鏡部，將該透射光像介由安裝的CCD相機(jī)25ADP-240M((林)7口一X少制)以數(shù)字圖像的方式存儲(chǔ)到計(jì)算機(jī)中，用圖像處理軟件FlvFs((林)7口一沁/V制)，對(duì)觀察到的任意的100個(gè)粒子求出近似球形時(shí)的粒徑，計(jì)算數(shù)平均粒徑。<介軟液中的硫酸鋇粒子的平均粒徑的測(cè)定方法>在已進(jìn)行碳蒸鍍的膠棉膜上滴加^lt液，干燥除去有機(jī)溶劑，然后用透射電鏡H-7100FA(日立制作所制(林)制)觀察硫酸鋇粒子。加速電壓設(shè)定為100kV。將觀察到的像作為數(shù)字圖像存儲(chǔ)到計(jì)算機(jī)中，用圖像處理軟件FlvFs((林)7口一^/l/制)，對(duì)觀察到的任意的100個(gè)粒子求出近似球形時(shí)的粒徑，計(jì)算數(shù)平均粒徑。另外，在初級(jí)粒子凝聚存在的情況中，測(cè)定作為凝聚體的粒徑。<組合物糊中的硫酸鋇粒子的平均粒徑的測(cè)定方法>在已進(jìn)行碳蒸鍍的膠棉膜上滴加組合物糊，干燥除去有機(jī)溶劑，然后用透射電鏡H-7100FA(日立制作所制(林)制)觀察石克酸鋇粒子。加速電壓設(shè)定為100kV。將觀察到的圖像作為數(shù)字圖#^儲(chǔ)到計(jì)算機(jī)中，用圖像處理軟件FlvFs((林)7口一^/P制)，對(duì)觀察到的任意的100個(gè)粒子求出近似球形時(shí)的粒徑，計(jì)算數(shù)平均粒徑。另外，在初級(jí)粒子凝聚存在的情況中，測(cè)定作為凝聚體的粒徑。<從組合物糊得到的固化物的線膨脹率的測(cè)定方法>使用工77,7一于乂亍夕乂口^一(林)制的TMA測(cè)定裝置TAM/SS6100，在氮?dú)鈿夥罩袕氖覝厣郎刂?20°C，然后再降溫至室溫，以擠壓荷重50mN測(cè)定此時(shí)的由組合物糊得到的固化物的尺寸的位置變化，計(jì)算出從50。C至70。C升降溫的平均線膨脹率。為了消除線膨脹率的溫度痕跡，連續(xù)重復(fù)2次升降溫，使用第2次的測(cè)定結(jié)果作為位置變化值。<分?jǐn)溡旱闹圃臁等缦履菢又圃旆稚⒁篈-P。將硫酸鋇2次粒子BF-40(嬌化學(xué)工業(yè)(林)制)，平均2次粒徑15jam，平均初級(jí)粒徑10nm)、和分軟劑、有機(jī)溶劑按照表1所示的各混合量混合，使用均質(zhì)機(jī)"工夕ir/l/才一卜"(商品名，(林)日本精機(jī)制作所制)，以旋轉(zhuǎn)刀前端的圓周速度5m/秒處理l小時(shí)，使硫酸鋇粒子M。然后，將使用均質(zhì)機(jī)處理過的上述M液使用珠磨機(jī)'力/k卜，7^、乂夕7$UAM-015"(商品名)(壽工業(yè)(株)制)進(jìn)行M處理。珠子材質(zhì)為二氧化鋯，平均粒徑為0.05mm(二、;/力卜一(林)制，YTZ球)，加入量設(shè)為400g。另外，珠磨機(jī)轉(zhuǎn)子的圓周速度設(shè)定為9.5m/秒，送液壓力設(shè)為O.lMPa。介狀處理時(shí)間，介軟液A0為IO小時(shí)，P為1小時(shí)，分散處理結(jié)束后回收液體，從而得到硫酸鋇粒子的M液。分散結(jié)束時(shí)的分散液中的疏酸鋇粒子的平均粒徑如表1所示。表1中，作為絲液使用的"HOA-MPL，，(商品名)、"HOA-HH"(商品名)是共榮社化學(xué)(林)制的、具有聚合性基和氛基的化合物。另外，"，<卜工7f少P-lM"(商品名，共榮社化學(xué)(林)制)和RDX63182(商品名，ir少廿<X、乂夕(抹)制)是具有聚合性基的磷酸酯化合物。另外，"Disperbyk-lir(商品名，匕、、、乂夕^$—卞八°乂(林)制)是不具有聚合性基的磷酸酯化合物。買施例1將9.8g分歉液A、上述式(11)所示的樹脂5g、肟系UV活性型聚合促進(jìn)劑OXE02(于,只〃、乂卞1JX<^3力^X、(林)制)O.lg、硅烷偶聯(lián)劑"KBM403"(商品名，信越化學(xué)工業(yè)(林)制，化學(xué)名3-環(huán)氧平均粒徑(nm)CMCOCOCOCOCMCOCMCOCMCM5時(shí)間(小時(shí))OooOooooOOooM液組成妄輛諒；，寸卜in寸卜o寸卜m系磁CMCM00CMoCMestOiCMCOCOCMOo卜CMO)CO00CM〇CMCMo工<工<re<:r卜<工<工卜<工卜<卜o<:<<<OO<O<<<卜審a平S^丄^5、葚,2Si、(-J《oc《§誕§3※3一CO寸寸ooo寸so右D-1<OIt」CL<Om」:ei<:o:rCL1<O工工1<:r工<O工工工1<o工工i<丁《i卜Ki「Ta_^KTQL_^'"pr<l「丁COCOCDXocr丄_g§■W丄>5o工誕諒ogog<NogCMgg§ogoogCM<'裙，令m裙繁《繁UJ裙朵令裙繁工裙繁乂-裙，令」《，令3繁裙令Q_28丙氧基丙基三甲氧M烷)0.2g使用珠磨機(jī)進(jìn)行混合，制造組合物糊。另外，該組合物糊中的除了有機(jī)溶劑以外的固體成分中的硫酸鋇粒子的含量為40重量％。另外，組合物糊中的硫酸鋇粒子的平均粒徑為26nm。使用旋涂器將上述組合物糊涂布在石英基板上，在大氣中使用供箱在80匸下干燥1小時(shí)，然后作為組合物糊的固化處理，使用超高壓汞燈啄光裝置(工二才y光學(xué)(林)制)、PEM-6M)，用50mJ/cm2的紫外線曝光，制造厚度10jam的膜狀固化物。波長(zhǎng)850nm、溫度25°C下的該膜狀固化物的折射率為1.556，折射率的溫度變化率為51ppm/°C。另一方面，使用組合物糊如下那樣制造線膨脹率評(píng)價(jià)用的固化物。在①4英寸的硅晶片上貼合10mmx10mm的"特氟隆(注冊(cè)商標(biāo))，，膠帶，在其上;^文置切成5mm長(zhǎng)的內(nèi)徑8mm的"特氟隆(注冊(cè)商標(biāo))"管，在"特氟隆(注冊(cè)商標(biāo))"管內(nèi)注入上述得到的組合物糊使液高為lmm。接著，在大氣中使用烘箱在80。C下干燥1小時(shí)，然后作為組合物糊的固化處理，使用超高壓汞燈曝光裝置(工二才y光學(xué)(林)制)、PEM-6M)，用50mJ/cm2的紫外線曝光，制造底面直徑8mm、厚度lmm的固化物。將所得的固化物從"特氟隆(注冊(cè)商標(biāo))"管內(nèi)取出，測(cè)定厚度方向的線膨脹率，結(jié)果為44ppm/。C。另一方面，使用組合物糊如下那樣制造光波導(dǎo)。首先，使用旋涂器在①4英寸的硅晶片上涂布液態(tài)環(huán)氧樹脂(工求亍、乂夕社制#314)，在大氣中^L用烘箱在80。C下干燥1小時(shí)，然后為了固化在氮?dú)庵?50。C下加熱1小時(shí)，形成厚度5ium的下包覆部。測(cè)定下包覆部在波長(zhǎng)850nm、溫度25。C下的折射率，結(jié)果為1.502。接著，使用旋涂器將上述組合物糊涂布在在石英M上形成的下包覆部上，在大氣中使用烘箱在80'C下干燥1小時(shí)，得到厚度50pm的組合物糊的干燥膜。對(duì)得到的膜使用超高壓汞燈曝光裝置(工-才乂光學(xué)(林)制)、PEM-6M)，介由石英制的掩模用50mJ/cm2的紫外線曝光。石英制掩^^莫具有寬50iam、長(zhǎng)9cm的窄縫部，窄縫部以外的部分是遮光的。將曝光后的141浸漬在顯影液P-7G(東京應(yīng)化工業(yè)(林)制)中5分鐘，除去未曝光部的膜，形成具有寬50iam、長(zhǎng)9cm形狀的芯部。顯影后的圖案是清晰的矩形，無破裂發(fā)生，未啄光部也沒發(fā)現(xiàn)殘?jiān)?，顯影性良好。進(jìn)而，在上面使用旋涂器涂布與下包覆部相同的材料，在8ox:下干燥l小時(shí)，然后為了固化在氮?dú)庵?50'C下加熱1小時(shí)，形成厚度5nm的上包覆部，從而得到光波導(dǎo)。使用切塊裝置連同基板一起切斷光波導(dǎo)的兩端，求出光傳輸損耗，結(jié)果為0.3dB/cm。實(shí)施例3~290用與實(shí)施例1相同的方法制it^2~31所示組成的組合物糊，使用它們制造物性值評(píng)價(jià)用固化物和光波導(dǎo)。另外，在實(shí)施例209-226中，在制造組合物糊時(shí)不加樹脂，而在制造分散液時(shí)il^口使用的化合物A，從而添加。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表231中。這里，樹脂A是上述式(11)所示的化合物，樹脂B是上述式(12)所示的化合物，另外，珪烷偶聯(lián)劑"KBM503"(商品名)是信越化學(xué)工業(yè)(抹)制的，化學(xué)名為3-曱基丙烯酰氧基丙基三曱氧基硅烷。另外，對(duì)于在制造光波導(dǎo)時(shí)，顯影后的未曝光部的14l表面上存在薄膜狀的殘?jiān)膶?shí)施例，在表231的顯影性的欄目中記作"未曝光部有殘?jiān)?。另外，對(duì)于在制造光波導(dǎo)時(shí)，發(fā)現(xiàn)了在顯影后的芯部存在破裂的部位的實(shí)施例，在表2~31的顯影性的欄目中記作"芯部出現(xiàn)破裂"。<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table>表3<table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table>表4<table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table>表5結(jié)果組令物糊t的平均粒徑(nm)折射率溫度依賴性(叩m/。C)線膨脹率(ppm/。C)顯影性光傳輸損耗(dB/cm)實(shí)施例23271.5565042良好0.3實(shí)施例24241.5525552良好0.3實(shí)施例25261.5535552良好0.3實(shí)施例26271.5624338良好0.3實(shí)施例27291.5723125良好0.4實(shí)施例28331.5782419未曝光部有殘?jiān)?，芯部出現(xiàn)破裂0.5實(shí)施例29351.5585144良好0.6實(shí)施例30251.5585341良好0.3實(shí)施例31251.5545342良好0.5實(shí)施例32251.5565142良好0.4實(shí)施例33225551良好0.3實(shí)施例34251.5535450良好0.3實(shí)施例35261.5624437良好0.4實(shí)施例36301.5723224芯部出現(xiàn)破裂D.4實(shí)施例373，1.5782418未曝光部有殘?jiān)?，芯部出現(xiàn)破裂0.5實(shí)施例38361.5585143良好0.6實(shí)施例39351.5525652良好0.5實(shí)施例40361.5535651良好0.6實(shí)施例41361.5664336良好0.6實(shí)施例42361.5783122芯部出現(xiàn)破裂0.7實(shí)施例43411.5832517未曝光部有殘淦，芯部出現(xiàn)破裂0.8實(shí)施例44251.5585243良好0.4實(shí)施例45251.5525651良好0.3實(shí)施例46241.5535551良好0.3實(shí)施例47261.5654337良好0.4實(shí)施例48291.5773124芯部出現(xiàn)破裂0.4實(shí)施例49331.5812418未曝光部有殘?jiān)?，芯部出現(xiàn)破裂0.534表6<table>tableseeoriginaldocumentpage35</column></row><table>表7<table>tableseeoriginaldocumentpage36</column></row><table>表8<table>tableseeoriginaldocumentpage37</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage38</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage39</column></row><table>表ll<table>tableseeoriginaldocumentpage40</column></row><table>表12<table>tableseeoriginaldocumentpage41</column></row><table>表13<table>tableseeoriginaldocumentpage42</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage43</column></row><table>表15<table>tableseeoriginaldocumentpage44</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage45</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage46</column></row><table>表18<table>tableseeoriginaldocumentpage47</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage48</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage49</column></row><table>表21<table>tableseeoriginaldocumentpage50</column></row><table>表22<table>tableseeoriginaldocumentpage51</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage52</column></row><table>表25<table>tableseeoriginaldocumentpage53</column></row><table>表26<table>tableseeoriginaldocumentpage54</column></row><table>表27<table>tableseeoriginaldocumentpage55</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage56</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage57</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage58</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage59</column></row><table>比較例12用與實(shí)施例l相同的方法制造表3233所示組成的組合物糊，使用它們制造物性值評(píng)價(jià)用固化物和光波導(dǎo)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表3233中。所得的固化物聚合不充分，柔軟，不能評(píng)價(jià)折射率和線膨脹率。另外，在制造光波導(dǎo)時(shí)的顯影時(shí)未曝光部白化，用5分鐘的浸漬時(shí)間不能除去，通過晃動(dòng)20分鐘除去了未啄光部。在未曝光部的Jj^面上存在薄膜狀的殘?jiān)?。另外，啄光部的光波?dǎo)圖案是^1緩的山形。嘗試測(cè)定光傳輸損耗，但損耗過大，傳送光強(qiáng)度在檢測(cè)界限以下，不能測(cè)定。比較例3~4用與實(shí)施例l相同的方法制造表3233所示組成的組合物糊，使用它們制造物性值評(píng)價(jià)用固化物和光波導(dǎo)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表3233中。折射率的溫度依賴性、線膨脹率均為較大的值。在制造光波導(dǎo)時(shí)的顯影時(shí)未曝光部白化，即使在顯影液中晃動(dòng)基板20分鐘在未曝光部仍然殘留幾個(gè)jim厚度的膜。嘗試測(cè)定光傳輸損耗，但損耗過大，傳送光強(qiáng)度在檢測(cè)界限以下，不能測(cè)定。比較例5~10用與實(shí)施例1相同的方法制造表3233所示組成的組合物糊，使用它們制造物性值評(píng)價(jià)用固化物和光波導(dǎo)。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表3233中。表32組合物糊組成分散液樹脂聚合促進(jìn)劑硅烷偶聯(lián)劑固體成分中的硫酸鋇含量(重量％)固體成分缺a^H.〔重量K)試樣名量(g〉材料量"〉材料量(s)材料量")比較例1分散液N9.8樹脂A5OXE020.1KB關(guān)30.24051比較例2分散液N9.4樹脂A5OXE020.1無.無4053比較例3分散液O9.1樹脂A5OXE020.1KBM4030.24055比較例4分散液o8.8樹脂A5OXE020.1無無4057比較例5分散液P.9.8樹脂A5OXE020.1KBM4030.24057比較例6分散液P2.4樹脂A5OXE020.1KBM4030.21580比較例7分散液P3.4樹脂A5OXE020.1KB關(guān)30.22076比較例8分散液P15.4樹脂A3OXE020.06KBM4030.126038比較例9分散液P26.5樹脂AOXE020.02KBM4030.048020比較例IO分散液P50.1樹脂A0.5OXE02aoiKB關(guān)30.02851560表33<table>tableseeoriginaldocumentpage61</column></row><table>圖l是表示信道型光波導(dǎo)的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖2是表示平板型光波導(dǎo)的結(jié)構(gòu)的示意圖。產(chǎn)業(yè)可利用性本發(fā)明的光波導(dǎo)用組合物糊，可以在計(jì)算機(jī)、硬盤刻錄機(jī)、DVD刻錄機(jī)、游戲機(jī)、便攜電話等進(jìn)行高速信號(hào)傳送的信息機(jī)器中使用的布線^內(nèi)的、進(jìn)行LSI間的情才艮傳送的光布線等中理想使用。符號(hào)說明1芯部2包覆部3光信號(hào)權(quán)利要求1.一種光波導(dǎo)用組合物糊，含有(A)平均粒徑為1～50nm的硫酸鋇粒子，(B)具有聚合性基和羧基的化合物、或具有聚合性基的磷酸酯化合物，和(C)有機(jī)溶劑。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的光波導(dǎo)用組合物糊，所述具有聚合性基和羧基的化合物包含下述通式(1)所示的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>上述通式(l)中，R'表示氫原子或曱基，W表示下述通式(2)(4)的任一個(gè)所示的2價(jià)基團(tuán)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage2</formula>上述通式(2)(4)中，n和m分別是1~3的整數(shù)。3,根據(jù)權(quán)利要求2所述的光波導(dǎo)用組合物糊，上述通式(l)中的R1是氫原子，W是通式(4)所示的2價(jià)基團(tuán)，n是2。4.根據(jù)權(quán)利要求l所述的光波導(dǎo)用組合物糊，上述具有聚合性基的磷酸酯化合物包含下述通式(5)所示的化合物，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>上述通式(5)中，R3R5表示下述通式(6)~(10)的任一個(gè)所示的l價(jià)基團(tuán)或氫原子，！^R5可相同也可不同，但R^R5不能都是氬原子，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>(9)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>(10)上述通式(6)(10)中，R^I^表示氫原子或甲基，R"R"表示碳原子數(shù)為l-10的2價(jià)基團(tuán)，R。是具有羥基的碳原子數(shù)l10的2價(jià)基團(tuán)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光波導(dǎo)用組合物糊，上述通式(5)中的R3~R5的至少一個(gè)是上述通式(8)所示的l價(jià)基團(tuán)。6.才艮據(jù)權(quán)利要求15的任一項(xiàng)所述的光波導(dǎo)用組合物糊，還含有具有聚合性基的樹脂。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光波導(dǎo)用組合物糊，上述具有聚合性基的樹脂包含下述式(11)或(12)所示的樹脂。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>8.根據(jù)權(quán)利要求17的任一項(xiàng)所述的光波導(dǎo)用組合物糊，還含有硅烷偶聯(lián)劑。9,一種光波導(dǎo)，是使權(quán)利要求18的任一項(xiàng)所述的光波導(dǎo)用組合物糊固化而成的。全文摘要本發(fā)明提供可在較短時(shí)間內(nèi)固化的、顯影性優(yōu)異的光波導(dǎo)用組合物糊。本發(fā)明提供了一種光波導(dǎo)用組合物糊，含有(A)平均粒徑為1～50nm的硫酸鋇粒子，(B)具有聚合性基和羧基的化合物、或具有聚合性基的磷酸酯化合物，和(C)有機(jī)溶劑。文檔編號(hào)C08F2/44GK101528781SQ20078003891公開日2009年9月9日申請(qǐng)日期2007年11月6日優(yōu)先權(quán)日2006年11月10日發(fā)明者仁王宏之,榛葉陽一,藤丸浩一,野中敏央,龍?zhí)锛炎由暾?qǐng)人:東麗株式會(huì)社