專利名稱：感光樹(shù)脂及其制備方法與應(yīng)用的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種感光樹(shù)脂及其制備方法與應(yīng)用，尤其涉及一種可用于正性光致抗蝕劑的感光樹(shù)脂及應(yīng)用該感光樹(shù)脂得到的正性光致抗蝕劑。
背景技術(shù)：
目前常用的正性光致抗蝕劑為小分子感光劑(三羥基二苯甲酮與重氮萘醌磺酰氯的酯化產(chǎn)物)、成膜樹(shù)脂(多為酚醛樹(shù)脂)、溶劑和一些其它的助劑。酚醛樹(shù)脂是小分子酚和醛的縮合產(chǎn)物，其具有一定量的分子量分布。這就導(dǎo)致在曝光后顯影時(shí)，曝光區(qū)與未曝光區(qū)的邊緣部分，未曝光區(qū)的小分量的酚醛樹(shù)脂較快的溶解到了顯影液中，使得線寬變得不均勻，從而降低了分辨率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種具有感光性的同時(shí)具有良好成膜性的感光樹(shù)脂。本發(fā)明所提供的感光樹(shù)脂，包括如下所示的化合物
權(quán)利要求
1.一種感光樹(shù)脂，包括如下所示的化合物
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的感光樹(shù)脂，其特征在于所述I為大于等于10且小于等于90的整數(shù)、大于等于35且小于等于80的整數(shù)或大于等于35且小于等于40的整數(shù)。
3.權(quán)利要求I或2所述的感光樹(shù)脂的制備方法，包括如下步驟 使聚甲基丙烯酸甲酯和芳基乙酮在強(qiáng)堿和有機(jī)溶劑存在條件下反應(yīng)，獲得芳基取代的I，3-二酮產(chǎn)物； 使所述芳基取代的1，3- 二酮產(chǎn)物與疊氮在有機(jī)溶劑中反應(yīng)，獲得感光樹(shù)脂。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于所述芳基乙酮為苯乙酮、對(duì)甲基苯乙酮、對(duì)甲氧基苯乙酮、對(duì)N，N- 二甲胺基苯乙酮或萘乙酮。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于所述有機(jī)溶劑為甲苯、四氫呋喃、二氯甲燒、氯仿、二硫化碳或乙腈。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于所述疊氮為對(duì)甲基苯磺酰疊氮或者對(duì)乙酰胺基苯磺酰疊氮。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于所述強(qiáng)堿為甲醇鈉、乙醇鈉或氫化鈉。
8.權(quán)利要求I或2所述的感光樹(shù)脂在制備光致抗蝕劑中的應(yīng)用。
9.一種正性光致抗蝕劑，包含權(quán)利要求I或2所述的感光樹(shù)脂。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的正性光致抗蝕劑，其特征在于還包括選自丙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇單甲醚、丙二醇甲醚、丁酮和環(huán)己酮中的一種或兩種溶劑。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種感光樹(shù)脂及其制備方法與應(yīng)用。本發(fā)明的感光樹(shù)脂包括如下所示的化合物其中R為或者其中R2，R3為H、鹵素、C1-C4烷基、N，N-二甲胺基、N，N-二乙胺基、環(huán)己基、甲氧基或乙氧基；x+y＝100，x為0-99之間整數(shù)和y為1-100之間的整數(shù)。本發(fā)明的感光樹(shù)脂具有感光性的同時(shí)具有了良好的成膜性。
文檔編號(hào)C08F120/14GK102702406SQ201210034258
公開(kāi)日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2012年2月15日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月15日
發(fā)明者劉陸, 薛建設(shè) 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司