一種新型真空密封材料組合物的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種新型真空密封材料組合物，包括粘結(jié)劑、蠟、基礎(chǔ)油和添加劑。制備方法包括：將過濾過的粘結(jié)劑、精制后的蠟、減壓蒸餾后的基礎(chǔ)油及添加劑投入調(diào)和容器中，加熱，開啟攪拌，使物料全部溶解并混合均勻后，再加熱，進(jìn)行高溫熟化，然后再進(jìn)行真空脫氣，過濾后趁熱進(jìn)行包裝。它是一種專用于真空系統(tǒng)接頭、系統(tǒng)堵漏、玻璃真空系統(tǒng)中磨口接頭或金屬管道作半永久性或永久性的真空堵漏材料，也可作硅片腐蝕的屏蔽保護(hù)劑，并且是最理想的半導(dǎo)體臺面造型腐蝕保護(hù)劑。本產(chǎn)品具有密封性好、涂蠟部位不漏氣，極低的飽和蒸氣壓，良好的化學(xué)穩(wěn)定性，一定的硬度和韌性，并且當(dāng)加熱融化后被覆蓋在物體表面上時(shí)，有良好的附著力和收縮率。
【專利說明】一種新型真空密封材料組合物【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種特殊領(lǐng)域用途的新型材料，特別是一種新型真空密封材料組合物。
【背景技術(shù)】
[0002]真空的特點(diǎn)是:單位體積中氣體分子數(shù)目減少；氣體分子間相互碰撞頻率減少使氣體分子的平均自由行程增大了 ；從而降低了各種物質(zhì)的沸點(diǎn)和汽化點(diǎn)。就此一特點(diǎn)，真空技術(shù)被廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究和各個工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域。自此，真空技術(shù)與許多工業(yè)部門的蓬勃發(fā)展形成了直接的甚至是相互依賴的關(guān)系:真空技術(shù)關(guān)聯(lián)有真空的獲得、測量、檢漏，涉及到薄膜技術(shù)、薄膜物理，半導(dǎo)體、電子技術(shù)與光學(xué)，以及之后的表面物理、固體物理、應(yīng)用物理方面，現(xiàn)時(shí)又發(fā)展成為“原子、分子、電子物理”科學(xué)的一個重要分支，真空技術(shù)更促進(jìn)了宇航科學(xué)、高能物理、受控?zé)岷朔磻?yīng)、表面研究等尖端科學(xué)的發(fā)展。
[0003]真空技術(shù)的發(fā)展與真空獲得技術(shù)的發(fā)展緊密關(guān)聯(lián)。工業(yè)需要促進(jìn)了抽氣技術(shù)的發(fā)展，各種新原理的抽氣機(jī)的相繼涌現(xiàn)，使初始只有3kPa的真空度跨入了 10 _ 7kPa的高真空領(lǐng)域，從而促進(jìn)了電真空技術(shù)的發(fā)展。吸附泵、離子泵、深冷泵等真空設(shè)備的出現(xiàn)，使真空獲得躍入於超聞?wù)婵蘸蜆O聞?wù)婵疹I(lǐng)域。
[0004]當(dāng)前隨著現(xiàn)代化高科技的迅猛發(fā)展，真空技術(shù)在尖端領(lǐng)域的出現(xiàn)，從而在實(shí)際應(yīng)用中真空狀況會產(chǎn)生各不相同因素，如在真空系統(tǒng)中為了達(dá)到不同區(qū)域真空度，在獲取真空的過程中，真空密封材料是其決定性因素。所以每個真空系統(tǒng)都必須備用，預(yù)防突發(fā)泄漏。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是解決當(dāng)前隨著現(xiàn)代化高科技的迅猛發(fā)展，真空技術(shù)在尖端領(lǐng)域的出現(xiàn)，從而在實(shí)際應(yīng)用中真空狀況會產(chǎn)生各不相同因素，如在真空系統(tǒng)中為了達(dá)到不同區(qū)域真空度，在獲取真空的過程中，真空密封材料是其決定性因素。所以每個真空系統(tǒng)都必須備用，預(yù)防突發(fā)泄漏。
[0006]一種新型真空密封材料組合物，各原料的重量百分比為:
[0007]
【權(quán)利要求】
1.一種新型真空密封材料組合物，其特征在于，各原料的重量百分比為: A.粘結(jié)劑50~90% B.蠟5~30%



O C.基礎(chǔ)油2~25% D.添加劑0.05廣2%
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型真空密封材料組合物，其特征在于，粘結(jié)劑是天然浙青、煤焦浙青、石油浙青、浙青膠泥或頁巖浙青中的至少一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型真空密封材料的組合物，其特征在于，蠟是動植物蠟、礦物蠟或合成蠟中的至少一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種新型真空密封材料組合物，其特征在于，動植物蠟包括:棕櫚蠟、康蠟、木蠟、蒙旦蠟、蟲蠟，蜂蠟，鯨蠟或羊毛蠟。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種新型真空密封材料組合物，其特征在于，礦物蠟包括:褐煤蠟、石蠟、地蠟、天然地礦蠟或氧化地蠟。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種新型真空密封材料組合物，其特征在于，合成蠟包括--聚乙烯蠟、氧化聚乙烯蠟、費(fèi)歇爾-托普希蠟、氫化蓖麻油蠟、聚四氟乙烯蠟或聚酰胺蠟。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型真空密封材料組合物，其特征在于，蠟是在高真空下，減壓蒸餾提純得到精制的高純度蠟。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型真空密封材料組合物，其特征在于，基礎(chǔ)油包括:礦物油、合成烴、聚_a-烯烴或復(fù)合酯類油中的至少一種。
9.根據(jù)權(quán)利要求10所述的一種新型真空密封材料組合物，其特征在于，基礎(chǔ)油的粘度在 100°C下為 20 ~70mm2/s。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型真空密封材料組合物，其特征在于，基礎(chǔ)油是在高真空下，經(jīng)減壓蒸餾提純得到精制的基礎(chǔ)油。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型真空密封材料組合物，其特征在于，添加劑包括:增粘劑和防銹劑。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型真空密封材料組合物的用途，其特征在于，作為真空封蠟材料，其用于半導(dǎo)體元件生產(chǎn)對硅片表面選擇腐蝕時(shí)，使用真空封蠟材料作屏蔽保護(hù)劑或用在135°C以下電真空器件及系統(tǒng)的永久性或半永久性密封。
13.所述一種新型真空密封材料組合物的制備方法，其特征在于，包括以下幾個步驟: (O首先將粘結(jié)劑進(jìn)行加熱真空過濾； (2)對臘進(jìn)行真空精制后再進(jìn)行熱過濾； (3)對基礎(chǔ)油進(jìn)行減壓蒸餾提純后進(jìn)行過濾； 將過濾過的粘結(jié)劑、精制后的蠟、減壓蒸餾后的基礎(chǔ)油及添加劑投入調(diào)和容器中，加熱至100~150°C，開啟攪拌，使物料全部溶解并混合均勻后，再加熱至180~290°C，進(jìn)行高溫熟化I~6h，然后再進(jìn)行真空脫氣，脫完氣后，再進(jìn)行過濾，趁熱進(jìn)行包裝。
【文檔編號】C08L91/00GK103694715SQ201310641448
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年12月3日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月3日
【發(fā)明者】諸國建, 王芬, 惠澤民, 張曉君, 惠進(jìn)玉 申請人:蘇州惠豐潤滑油有限公司